JP6105395B2 - 加工方法 - Google Patents
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Description
実施形態1に係る加工方法を、図1から図4に基づいて説明する。図1は、実施形態1に係る加工方法により製造される発光チップを含んで構成される発光ダイオードの構成例を模式的に示す斜視図、図2(a)は、実施形態1に係る加工方法により発光チップに加工されるウエーハの構成例を示す斜視図、図2(b)は、実施形態1に係る加工方法の研削工程の概要を示す側断面図、図3は、実施形態1に係る加工方法の透過性樹脂層形成工程の概要を示す側断面図、図4は、実施形態1に係る加工方法の分割工程の概要を示す側断面図である。
本発明の実施形態2に係る加工方法を、図5から図9に基づいて説明する。図5は、実施形態2に係る加工方法の分割起点形成工程の概要を示す側断面図、図6は、実施形態2に係る加工方法の透過性樹脂層形成工程の概要を示す側断面図、図7は、実施形態2に係る加工方法の透過性樹脂層分割工程の概要を示す側断面図、図8は、実施形態2に係る加工方法のウエーハ分割工程の概要を示す側断面図、図9は、実施形態2に係る加工方法のウエーハ分割工程の要部の概要を示す側断面図である。なお、実施形態1と同一部分には、同一符号を付して説明を省略する。
2a 発光層
2b チップ
2c 透光性部材
32 切削ブレード
W ウエーハ
Wa 表面
Wb 裏面
W1 デバイス領域
W2 外周余剰領域
WR 円形凹部
WP 環状凸部
K 改質層(分割起点)
J 液状樹脂
R 透過性樹脂層
Claims (2)
- 表面に発光層を備えたチップと、該チップの裏面側に貼着された該発光層から出射される光を透過する透過性樹脂層と、から形成された発光チップを製造する加工方法であって、
基板の表面に複数の分割予定ラインで区画された各領域に発光層が形成されたデバイス領域及び該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域を備えるウエーハの、該デバイス領域に対応する該基板の裏面を研削して円形凹部を形成するとともに該円形凹部を囲繞する環状凸部を形成する研削工程と、
該研削工程を実施する前に又は後に、該ウエーハを分割するための、該分割予定ラインに沿って分割起点を形成する分割起点形成工程と、
該研削工程及び該分割起点形成工程を実施した後に、硬化後に該発光層から出射される光を透過する性質を有する液状樹脂を、露呈面がウエーハ表面と平行になるように該円形凹部に充填し硬化して、該円形凹部内に透過性樹脂層を形成する透過性樹脂層形成工程と、
該透過性樹脂層形成工程を実施した後に、該透光性樹脂層を切削ブレードにより該分割予定ラインに沿って個片化して複数の透過性樹脂層に分割する透過性樹脂層分割工程と、
該透過性樹脂層分割工程を実施した後に、該ウエーハの該分割予定ラインに沿って外力を付与し該分割起点を起点に該ウエーハを複数のチップに分割するウエーハ分割工程と、
を備える加工方法。 - 該分割起点形成工程における該分割起点は、該研削工程を実施した後に露呈する該基板の裏面側から該基板を透過する波長のレーザー光線を該円形凹部内の該分割予定ラインに沿って照射して、該円形凹部内の該基板の内部に形成された改質層である、請求項1記載の加工方法。
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