JP6104069B2 - ビーム結合装置、ビーム結合方法 - Google Patents
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Description
図1は、本実施の形態に係るビーム結合装置1の構成を示す概略図である。ビーム結合装置1は、レーザ発振器10、マルチビーム生成部20、位相シフト部30、位相シフト制御部35、ビームスプリッタ40、フィルタ部50、レンズ60、及びセンサ部70を備えている。
第2の実施の形態では、第1の実施の形態で説明されたビーム結合装置1の具体的な構成例を説明する。
第3の実施の形態では、「LOCSET方式(特許文献1、特許文献2を参照)」にフィルタ部50を適用することを考える。LOCSET方式では、複数のビームを互いに区別できるように、それぞれのビームの変調(振幅変調や周波数変調)を行う必要がある。但し、フィルタ部50を適用すれば、区別すべき位相制御対象の数を減らすことができるため、変調器・復調器の数も減らすことが可能となる。
10 レーザ発振器
20 マルチビーム生成部
21 ビーム分割部
21−1〜21−n ビームスプリッタ
22 ビーム増幅部
22−1〜22−n 増幅器
23 ビーム分割部
23−1〜23−3 ビームスプリッタ
24 ビーム変調部
24−1〜24−3 変調器
25 ビーム分割部
25−2〜25−9 ビームスプリッタ
26 ビーム増幅部
26−1〜26−9 増幅器
30 位相シフト部
31−1〜31−n 位相シフタ
35 位相シフト制御部
40 ビームスプリッタ
50 フィルタ部
60 レンズ
70 センサ部
100 位相制御部
B1〜Bn ビーム
Ba 基本ビーム
Bs 選択ビーム
MES 測定データ
Claims (7)
- 複数のビームを結合するビーム結合装置であって、
前記複数のビームのうち一部を選択ビームとして選択し、前記選択ビームを通過させるフィルタ部と、
前記選択ビームの測定に基づき、前記選択ビームのそれぞれの位相を所望の状態に制御する位相制御部と
を備え、
前記フィルタ部は、前記複数のビームの全てが選択されるように、前記選択ビームを時間的に変化させる
ビーム結合装置。 - 請求項1に記載のビーム結合装置であって、
更に、前記選択ビームの遠視野像の強度を測定するセンサ部を備え、
前記位相制御部は、前記測定される強度が最大となるように、前記選択ビームのそれぞれの位相を制御する
ビーム結合装置。 - 請求項2に記載のビーム結合装置であって、
前記複数のビームは、基準ビームを含んでおり、
前記フィルタ部は、前記基準ビームを前記選択ビームの1つとして常に選択し、
前記位相制御部は、前記選択ビームのうち前記基準ビーム以外のそれぞれの位相を、前記基準ビームの位相に揃える
ビーム結合装置。 - 請求項3に記載のビーム結合装置であって、
前記複数のビームは、前記基準ビームを中心として対称的に配置されている
ビーム結合装置。 - 請求項1に記載のビーム結合装置であって、
前記位相制御部は、LOCSET方式により、前記選択ビームのそれぞれの位相を制御する
ビーム結合装置。 - 請求項1に記載のビーム結合装置であって、
前記位相制御部は、光ヘテロダイン方式により、前記選択ビームのそれぞれの位相を制御する
ビーム結合装置。 - 複数のビームを結合するビーム結合方法であって、
前記複数のビームのうち一部を選択ビームとして選択するステップと、
前記選択ビームの測定に基づき、前記選択ビームのそれぞれの位相を所望の状態に制御するステップと、
前記複数のビームの全てが選択されるように、前記選択ビームを時間的に変化させるステップと
を含む
ビーム結合方法。
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