JP6071202B2 - 複数ビーム結合装置 - Google Patents
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Description
10 レーザ発振器
20 ビーム分割部
21、22、23 ビームスプリッタ
24 ミラー
30 ビーム拡張部
31 ミラー
32 ビームエキスパンダ
40−1、40−2、40−3 ミラー
50 位相シフト部
51−1、51−2、51−3 位相シフタ
60 ビーム増幅部
61−1、61−2、61−3 増幅器
70 重ね合わせ部
71 ビームスプリッタ
75−1、75−2、75−3 ビームエキスパンダ
80 観測部
81−i、81−1、81−2、81−3 観測装置
82−ij センサ
90 位相制御部
91−1、91−2、91−3 差動増幅器
Ba 基本レーザ光
Bb−1、Bb−2、Bb−3 対象レーザ光
Bc−1、Bc−2、Bc−3 シフトレーザ光
Br 参照光
Bs−1、Bs−2、Bs−3 重ね合わせレーザ光
CON1、CON2、CON3 制御信号
PTN1、PTN2、PTN3 干渉パターン情報
Ri 干渉パターンパラメータ
Claims (7)
- 複数のレーザ光のそれぞれの位相をシフトさせることによって複数のシフトレーザ光を生成する位相シフト部と、
前記複数のシフトレーザ光のそれぞれと参照光とを重ね合わせることによって複数の重ね合わせレーザ光を生成する重ね合わせ部と、
前記複数の重ね合わせレーザ光の各々をある1つの時刻において観測した際に現れる空間的な干渉パターンに関する干渉パターン情報を生成する観測部と、
前記複数の重ね合わせレーザ光毎に得られた前記ある1つの時刻のみにおける前記干渉パターン情報に基づいて制御信号を生成して、前記位相シフト部による位相シフトをフィードバック制御し、それにより、前記複数のシフトレーザ光を所望の状態に設定する位相制御部と
を備え、
前記観測部は、前記複数の重ね合わせレーザ光のそれぞれを並列に観測するように設けられた複数の観測装置を備え、
前記複数の観測装置の各々は、対応する1つの重ね合わせレーザ光の強度を複数の観測位置において観測する複数のセンサを備え、
前記干渉パターン情報は、前記複数の観測位置のそれぞれにおいて観測された前記強度を含む
複数ビーム結合装置。 - 複数のレーザ光のそれぞれの位相をシフトさせることによって複数のシフトレーザ光を生成する位相シフト部と、
前記複数のシフトレーザ光のそれぞれと参照光とを重ね合わせることによって複数の重ね合わせレーザ光を生成する重ね合わせ部と、
前記複数の重ね合わせレーザ光の各々を観測した際に現れる空間的な干渉パターンに関する干渉パターン情報を生成する観測部と、
前記複数の重ね合わせレーザ光毎に得られた前記干渉パターン情報に基づいて、前記位相シフト部による位相シフトをフィードバック制御し、それにより、前記複数のシフトレーザ光を所望の状態に設定する位相制御部と
を備え、
前記観測部は、前記複数の重ね合わせレーザ光のそれぞれを並列に観測するように設けられた複数の観測装置を備え、
前記複数の観測装置の各々は、対応する1つの重ね合わせレーザ光の強度を複数の観測位置において観測する複数のセンサを備え、
前記干渉パターン情報は、前記複数の観測位置のそれぞれにおいて観測された前記強度を含み、
干渉パターンパラメータは、前記複数の観測位置のそれぞれにおいて観測された前記強度に基づいて定義され、
前記位相制御部は、前記複数の重ね合わせレーザ光のそれぞれに関する前記干渉パターンパラメータが目標値に一致するように、前記位相シフト部による前記位相シフトをフィードバック制御する
複数ビーム結合装置。 - 請求項2に記載の複数ビーム結合装置であって、
前記複数のセンサの数は2個であり、
前記2個のセンサは、2箇所の観測位置のそれぞれにおける前記強度を観測し、
前記干渉パターンパラメータは、前記2箇所の観測位置の間の前記強度の比、あるいは傾き、あるいは差に依存する
複数ビーム結合装置。 - 請求項3に記載の複数ビーム結合装置であって、
前記位相制御部は、前記2箇所の観測位置のそれぞれにおける前記強度が等しくなるように、あるいは、所定の値となるように、前記位相シフト部による前記位相シフトをフィードバック制御する
複数ビーム結合装置。 - 請求項1乃至4のいずれか一項に記載の複数ビーム結合装置であって、
更に、
前記複数のシフトレーザ光のそれぞれを増幅するビーム増幅部
を備える
複数ビーム結合装置。 - 請求項1乃至5のいずれか一項に記載の複数ビーム結合装置であって、
更に、
基本レーザ光を生成するレーザ発振器と、
前記基本レーザ光を、前記複数のレーザ光と前記参照光とに分割するビーム分割部と
を備える
複数ビーム結合装置。 - 請求項6に記載の複数ビーム結合装置であって、
前記ビーム分割部によって生成された前記参照光は、周波数シフタを通ることなく、前記重ね合わせ部に到達する
複数ビーム結合装置。
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