RU2014128306A - Устройство для совмещения нескольких лучей - Google Patents

Устройство для совмещения нескольких лучей Download PDF

Info

Publication number
RU2014128306A
RU2014128306A RU2014128306A RU2014128306A RU2014128306A RU 2014128306 A RU2014128306 A RU 2014128306A RU 2014128306 A RU2014128306 A RU 2014128306A RU 2014128306 A RU2014128306 A RU 2014128306A RU 2014128306 A RU2014128306 A RU 2014128306A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
group
laser beams
phase shift
registration
interference pattern
Prior art date
Application number
RU2014128306A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2581513C2 (ru
Inventor
Койти ХАМАМОТО
Такахиро ЯМАДА
Хайк ХОСРОВЯН
Хироаки ФУРУСЭ
Масаюки ФУДЗИТА
Ясукадзу ИДЗАВА
Дзюндзи КАВАНАКА
Нориаки МИЯНАГА
Original Assignee
Мицубиси Хеви Индастрис, Лтд.
Инститьют Фор Лейзер Текнолоджи
Осака Юниверсити
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Мицубиси Хеви Индастрис, Лтд., Инститьют Фор Лейзер Текнолоджи, Осака Юниверсити filed Critical Мицубиси Хеви Индастрис, Лтд.
Publication of RU2014128306A publication Critical patent/RU2014128306A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2581513C2 publication Critical patent/RU2581513C2/ru

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
    • H01S3/10053—Phase control
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J9/00—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength
    • G01J9/02—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength by interferometric methods
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/06—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the phase of light
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/09—Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
    • G02B27/0905—Dividing and/or superposing multiple light beams
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/0121—Operation of devices; Circuit arrangements, not otherwise provided for in this subclass
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/21—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  by interference
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/005—Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
    • H01S3/0085—Modulating the output, i.e. the laser beam is modulated outside the laser cavity
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
    • H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
    • H01S3/1307—Stabilisation of the phase
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/23—Arrangements of two or more lasers not provided for in groups H01S3/02 - H01S3/22, e.g. tandem arrangements of separate active media
    • H01S3/2308—Amplifier arrangements, e.g. MOPA
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/23—Arrangements of two or more lasers not provided for in groups H01S3/02 - H01S3/22, e.g. tandem arrangements of separate active media
    • H01S3/2383—Parallel arrangements

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
  • Lasers (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)

Abstract

1. Устройство для совмещения нескольких лучей, включающее в себя:секцию сдвига фаз, конфигурированную для формирования группы лазерных лучей со сдвигом фаз за счет выполнения сдвига фаз для каждого луча из группы лазерных лучей;секцию наложения, конфигурированную для формирования группы лазерных лучей, полученных наложением, за счет выполнения наложения опорного лазерного луча с каждым лучом из группы лазерных лучей со сдвигом фаз;секцию регистрации, конфигурированную для формирования данных интерференционной картины для пространственной интерференционной картины при регистрации каждого луча из группы лазерных лучей, полученных наложением; исекцию регулирования фазы, конфигурированную для выполнения регулирования сдвига фаз на основе обратной связи в указанной секции сдвига фаз на основе данных интерференционной картины, полученных от каждого луча из группы лазерных лучей, полученных наложением, и приведения каждого луча из группы лазерных лучей со сдвигом фаз в требуемое состояние.2. Устройство по п. 1, в котором указанная секция регистрации включает в себя группу блоков регистрации, расположенных соответственно для регистрации группы лазерных лучей, полученных наложением,причем каждый блок из указанной группы блоков регистрации включает в себя группу датчиков, конфигурированных для регистрации интенсивности соответствующего луча из группы полученных наложением лазерных лучей в группе положений регистрации,при этом данные интерференционной картины содержат интенсивность, регистрируемую в каждом положении из группы положений регистрации.3. Устройство по п. 2, в котором на основе интенсивности, регистриру

Claims (8)

1. Устройство для совмещения нескольких лучей, включающее в себя:
секцию сдвига фаз, конфигурированную для формирования группы лазерных лучей со сдвигом фаз за счет выполнения сдвига фаз для каждого луча из группы лазерных лучей;
секцию наложения, конфигурированную для формирования группы лазерных лучей, полученных наложением, за счет выполнения наложения опорного лазерного луча с каждым лучом из группы лазерных лучей со сдвигом фаз;
секцию регистрации, конфигурированную для формирования данных интерференционной картины для пространственной интерференционной картины при регистрации каждого луча из группы лазерных лучей, полученных наложением; и
секцию регулирования фазы, конфигурированную для выполнения регулирования сдвига фаз на основе обратной связи в указанной секции сдвига фаз на основе данных интерференционной картины, полученных от каждого луча из группы лазерных лучей, полученных наложением, и приведения каждого луча из группы лазерных лучей со сдвигом фаз в требуемое состояние.
2. Устройство по п. 1, в котором указанная секция регистрации включает в себя группу блоков регистрации, расположенных соответственно для регистрации группы лазерных лучей, полученных наложением,
причем каждый блок из указанной группы блоков регистрации включает в себя группу датчиков, конфигурированных для регистрации интенсивности соответствующего луча из группы полученных наложением лазерных лучей в группе положений регистрации,
при этом данные интерференционной картины содержат интенсивность, регистрируемую в каждом положении из группы положений регистрации.
3. Устройство по п. 2, в котором на основе интенсивности, регистрируемой в каждом положении из группы положений регистрации, определяют параметр интерференционной картины,
причем указанная секция регулирования фазы выполнена с возможностью выполнения регулирования сдвига фаз на основе обратной связи в указанной секции сдвига фаз так, чтобы параметр интерференционной картины каждого луча из группы лазерных лучей, полученных наложением, совпадал с заданным значением.
4. Устройство по п. 3, в котором указанная группа датчиков представляет собой два датчика,
причем указанные два датчика регистрируют интенсивность соответствующего лазерного луча, полученного наложением, в двух положениях регистрации,
при этом параметр интерференционной картины зависит от соотношения двух регистрируемых значений интенсивности, наклона между двумя регистрируемыми значениями интенсивности или разности между двумя регистрируемыми значениями интенсивности.
5. Устройство по п. 4, в котором указанная секция регулирования фазы осуществляет регулирование на основе обратной связи так, чтобы два регистрируемых значения интенсивности в двух положениях регистрации были равны друг другу или равны предварительно заданным значениям.
6. Устройство по любому из пп. 1-5, дополнительно включающее в себя:
секцию усиления луча, конфигурированную для усиления каждого луча из группы лазерных лучей со сдвигом фаз.
7. Устройство по любому из пп. 1-5, дополнительно включающее в себя:
лазерный генератор, конфигурированный для формирования основного лазерного луча; и
секцию расщепления луча, конфигурированную для расщепления основного лазерного луча на группу лазерных лучей и опорный лазерный луч.
8. Устройство по п. 7, в котором опорный лазерный луч, сформированный секцией расщепления луча, достигает указанной секции наложения без прохождения через устройство сдвига частоты.
RU2014128306/28A 2012-01-20 2013-01-17 Устройство для совмещения нескольких лучей RU2581513C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012-009972 2012-01-20
JP2012009972A JP6071202B2 (ja) 2012-01-20 2012-01-20 複数ビーム結合装置
PCT/JP2013/050837 WO2013108850A1 (ja) 2012-01-20 2013-01-17 複数ビーム結合装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2014128306A true RU2014128306A (ru) 2016-03-20
RU2581513C2 RU2581513C2 (ru) 2016-04-20

Family

ID=48799273

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2014128306/28A RU2581513C2 (ru) 2012-01-20 2013-01-17 Устройство для совмещения нескольких лучей

Country Status (6)

Country Link
US (1) US9325149B2 (ru)
EP (1) EP2806302B1 (ru)
JP (1) JP6071202B2 (ru)
CN (1) CN104169777B (ru)
RU (1) RU2581513C2 (ru)
WO (1) WO2013108850A1 (ru)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9941661B1 (en) 2015-01-14 2018-04-10 Hrl Laboratories, Llc System for maintaining the locking range of an injection locked laser array within range of the frequency of a master laser
US9945731B1 (en) * 2015-01-14 2018-04-17 Hrl Laboratories, Llc Optical detector for measuring respective phases of multiple beams apparatus and method
RU2582300C1 (ru) * 2015-01-16 2016-04-20 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" Способ когерентного сложения лазерного излучения в многоканальных непрерывных лазерах
DE102016100721B3 (de) * 2016-01-18 2017-03-23 Trumpf Scientific Lasers Gmbh + Co. Kg Relativphasenmessung zum kohärenten Kombinieren von Laserstrahlen
FR3076958B1 (fr) * 2018-01-18 2021-12-03 Compagnie Ind Des Lasers Cilas Procede et systeme d'ajustement de profil d'un front d'onde laser
JP6705610B1 (ja) * 2019-05-30 2020-06-03 三菱電機株式会社 レーザ装置
US11867987B1 (en) * 2019-11-01 2024-01-09 Lockheed Martin Corporation Phase-controlled beam combiners
JP7468861B2 (ja) 2020-03-31 2024-04-16 三菱重工業株式会社 位相差計測装置、ビーム出力装置および位相差計測方法
IL275783B (en) * 2020-07-01 2021-12-01 Elbit Systems Electro Optics Elop Ltd Systems and methods for combining coherent beams
US11522331B2 (en) * 2020-09-23 2022-12-06 Raytheon Company Coherent optical beam combination using micro-electro-mechanical system (MEMS) micro-mirror arrays (MMAs) that exhibit tip/tilt/piston (TTP) actuation
JP2022189265A (ja) 2021-06-11 2022-12-22 三菱重工業株式会社 レーザ増幅媒体およびレーザ増幅媒体の製造方法
KR102640427B1 (ko) * 2023-11-21 2024-02-22 국방과학연구소 다채널 빔결합 레이저 시스템의 궤도 기반 위상 제어 방법 및 장치

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6219360B1 (en) * 1998-04-24 2001-04-17 Trw Inc. High average power solid-state laser system with phase front control
IL130904A (en) 1998-08-11 2004-07-25 Trw Inc Fiber laser system with high average power with phase front control
US7088743B2 (en) * 2004-03-15 2006-08-08 Northrop Grumman Corp. Laser source comprising amplifier and adaptive wavefront/polarization driver
JP4525140B2 (ja) 2004-03-31 2010-08-18 三菱電機株式会社 コヒーレント光結合装置
EP1793460A1 (en) 2004-09-13 2007-06-06 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Laser beam path length difference detector, laser phase controller and coherent optical coupler
US7884997B2 (en) 2007-11-27 2011-02-08 Northrop Grumman Systems Corporation System and method for coherent beam combination
US8184361B2 (en) * 2009-08-07 2012-05-22 Northrop Grumman Systems Corporation Integrated spectral and all-fiber coherent beam combination
US8184363B2 (en) * 2009-08-07 2012-05-22 Northrop Grumman Systems Corporation All-fiber integrated high power coherent beam combination
JP2011254028A (ja) * 2010-06-04 2011-12-15 Mitsubishi Electric Corp フェーズドアレーレーザ装置
CN102012561B (zh) 2010-09-20 2016-03-30 长春理工大学 一种在激光干涉光刻中实现相移的方法和系统

Also Published As

Publication number Publication date
CN104169777B (zh) 2016-08-24
EP2806302A1 (en) 2014-11-26
US9325149B2 (en) 2016-04-26
CN104169777A (zh) 2014-11-26
JP2013148769A (ja) 2013-08-01
EP2806302A4 (en) 2015-09-23
RU2581513C2 (ru) 2016-04-20
EP2806302B1 (en) 2023-06-07
JP6071202B2 (ja) 2017-02-01
WO2013108850A1 (ja) 2013-07-25
US20150138618A1 (en) 2015-05-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2014128306A (ru) Устройство для совмещения нескольких лучей
WO2013176927A3 (en) Coherent laser array control system and method
JP2016536576A5 (ru)
WO2011126610A3 (en) Interferometric encoder systems
WO2016036246A3 (en) Multi electron beam inspection apparatus
MX2017010033A (es) Formacion de haces usando una disposicion de antenas.
WO2013110941A3 (en) Method and apparatus for determining object characteristics
WO2015038793A8 (en) Demodulation of intensity modulation in x-ray imaging
JP2016510931A5 (ru)
WO2015038554A3 (en) Coherent spread-spectrum coded waveforms in synthetic aperture image formation
IL234539B (en) Metrology method and device, lithographic system and device manufacturing method
PH12017502232A1 (en) High-band signal generation
AR093509A1 (es) Aparato y metodo para generar una pluralidad de transmisiones de audio parametricas y aparato y metodo para generar una pluralidad de señales de altavoz
WO2016091724A3 (en) Control of magnetic sector mass spectrometer magnet
MX2013003063A (es) Dispositivo para codificacion predictiva de imagenes, metodo para codificacion predictiva de imagenes, programa informatico para codificacion predictiva de imagenes, dispositivo para decodificacion predictiva de imagenes, metodo para la decodificacion predictiva de imagenes y programa informatico para decodificacion predictiva de imagenes.
RU2015144476A (ru) Устройство получения дифференциального фазоконтрастного изображения с подвижной решеткой(-ами)
JP2018119991A5 (ru)
JP2021502002A5 (ru)
GB201209142D0 (en) Media exposure device
WO2017097812A3 (de) Verfahren zur bestimmung der referenz-fokuslage eines laserstrahls
DK3880335T3 (da) Fremgangsmåde til fremstilling af et sammensat filtermedium, og det sammensatte filtermedium opnået med denne fremgangsmåde
WO2011120805A3 (de) Verfahren zur systematischen behandlung von fehlern
JP2015012036A5 (ru)
PL127363U1 (pl) Pojemnik opakowaniowy na płyty tablic rejestracyjnych
US8922771B2 (en) Multichannel polarization stabilizer