JP6091336B2 - カーボンナノチューブの製造方法 - Google Patents
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Description
現在知られている高性能の電池としては、燃料電池などの電極において、電解質膜上の垂直配向カーボンナノチューブに、触媒を担持させるとともに電解質樹脂を被膜することで、電子伝導性および触媒重量当たりの発電効率を向上させたものがある。
第一温度の基板に原料ガスを供給することで、この基板にカーボンナノチューブを所定の長さまで成長させる第一工程と、
上記第一温度よりも高温である第二温度の上記基板に原料ガスを供給することで、所定の長さまで成長させたカーボンナノチューブにアモルファス層を成長させる第二工程とを有するものである。
本実施例に係るカーボンナノチューブの製造方法に使用するものとして、まず、カーボンナノチューブの製造装置(熱CVD装置)について説明する。
そして、基板回収室15では、基板Kの下面(裏面)に保護フィルムが貼り付けられ、この保護フィルムが貼り付けられたステンレス鋼板である基板Kが巻取りロール17に巻き取られる。なお、基板Kの下面に保護フィルムを貼り付けるようにしているのは、基板Kを巻き取った際に、その巻き取られる基板Kに形成されたカーボンナノチューブを保護するためである。
図1に示すように、この加熱室13を形成する内壁面には所定厚さの断熱材4が貼り付けられている。また、区画壁3および区画壁3に貼り付けられた断熱材4には、基板Kを前処理室12から加熱室13内に引き込むためのスリット7(7A)と、基板Kを加熱室13内から後処理室14に送り出すためのスリット7(7B)とが、同一高さに形成されている。これら前後のスリット7(7A,7B)に亘って、基板Kを載置する平板状の石英ガラス台8が固定されている。したがって、この石英ガラス台8は、その上面において巻出しロール16から巻取りロール17に送り出される基板Kを載せて滑らせることで、当該基板Kに多大な張力を与えることなく弛みの発生を防止するものである。
但し、aはダクト31の水平断面における左右方向(または前後方向)の長さ、bは同水平断面における前後方向(または左右方向)の長さを示す。
まず、巻出しロール16から基板Kを引き出し、前処理室12、加熱室13および後処理室14における各区画壁3のスリット7を挿通させ、その先端を巻取りロール17に巻き取らせる。ここで、基板Kは石英ガラス台8に載置されることで、多大な張力を与えられる必要がなく、基板Kの送り出しに必要な力は、基板Kと石英ガラス台8との摩擦力だけで足りる。このため、巻出しロール16および巻取りロール17は、ACサーボモータ5だけでも十分に駆動する。
その後、基板Kは基板回収室15内に移動されて、その下面に保護フィルムが貼り付けられるとともに、巻取りロール17に巻き取られる。すなわち、カーボンナノチューブが形成された基板Kが製品として回収されることになる。なお、カーボンナノチューブが形成された基板Kが全て巻取りロール17に巻き取られると、外部に取り出されることになる。
また、基板Kの送り出しにはACサーボモータ5だけで足りるので、トルクモータと減速機とを組み合わせた高価な駆動機器を必要とせず、装置として安価にすることができる。さらに、ACサーボモータ5により、基板Kの送り出しを適切に制御することができる。
また、ACサーボモータ5は少ない電力消費で駆動でき、また、各発熱体22は一定の温度に設定されて工程ごとの温度変化が断続的に行われないので、消費電力を大幅に下げることができる。
また、上記実施例では、炉本体2の内部を所定の真空度にするとして説明したが、炉本体2の内部の全体ではなく、加熱室13内を所定の真空度にしてもよい。この場合、シール部6は、炉本体2の側壁における上記駆動軸の貫通部ではなく、前後のスリット7に設けられる。
このように(2)式の値を掛けるのは、四角錐台形状のものでは、分散効果が直方体形状のものよりも少し低下するので、これを補うためである。
[剥離工程]
徐冷工程を経た基板K、つまり十分な厚みのアモルファス層を有するカーボンナノチューブが形成された基板Kに、酸素を供給する。供給される酸素の量は、カーボンナノチューブを剥離しようとする基板Kの単位面積(cm2)あたり、0.1〜0.5μL/分とする。このような微量酸素の供給を5〜20分継続することにより、基板Kからカーボンナノチューブを剥離させる。上記微量酸素の供給は、酸素と不活性ガス(例えば窒素など)との混合ガスを供給することにより実現させる。
カーボンナノチューブの長さの成長について、加熱温度および圧力への依存性を知るために、加熱温度を変化させるとともに、圧力を0.2kPa,1kPa,3kPa,3.4kPaの4通りとしてカーボンナノチューブを成長させ、これらカーボンナノチューブの長さを計測した。なお、加熱時間は10分で一定とした。
これにより、カーボンナノチューブの長さの成長を加熱温度で制御するには、3kPa以上の圧力が適しているという結果を得た。
カーボンナノチューブの長さの成長について、加熱時間および圧力への依存性を知るために、加熱時間を0分〜30分に変化させるとともに、圧力を0.2kPa,1kPa,3kPaの3通りとしてカーボンナノチューブを成長させ、これらカーボンナノチューブの長さを計測した。
これにより、カーボンナノチューブの長さを成長させるには、加熱時間を15分程度までにすることが適しているという結果を得た。
カーボンナノチューブの嵩密度の増加(アモルファス層の成長)について、加熱温度および圧力への依存性を知るために、加熱温度を700℃〜820℃に変化させるとともに、加熱時間を0分,10分,15分,20分,25分,30分の6通りとしてカーボンナノチューブを成長させ、これらカーボンナノチューブの嵩密度を計測した。
これにより、カーボンナノチューブのアモルファス層を成長させるには、加熱時間を長くすることが適しているという結果を得た。
カーボンナノチューブの嵩密度の増加(アモルファス層の成長)について、加熱温度および原料ガスの供給量への依存性を知るために、加熱温度を700℃〜820℃に変化させるとともに、原料ガスの供給量を200sccm(3.38×10−2Pa・m3/sec),400sccm(6.76×10−2Pa・m3/sec),600sccm(10.14×10−2Pa・m3/sec)の3通りとしてカーボンナノチューブを成長させ、これらカーボンナノチューブの嵩密度を計測した。
これにより、カーボンナノチューブにアモルファス層を成長させるには、原料ガスの供給量を200sscm〜600sscmから任意に選択し得るという結果を得た。
2 炉本体
5 ACサーボモータ
6 シール部
7 スリット
8 石英ガラス台
13 加熱室
21 加熱部
31 ダクト
31A 第1ダクト
31B 第2ダクト
32 ガス供給孔
34 ガス供給管
35 ガス排出孔
36 ガス排出管
39 スペーサ
41 ガス分散部材
Claims (5)
- 熱CVD法によるカーボンナノチューブの製造方法であって、
第一温度の基板に原料ガスを供給することで、この基板にカーボンナノチューブを所定の長さまで成長させる第一工程と、
上記第一温度よりも高温である第二温度の上記基板に原料ガスを供給することで、所定の長さまで成長させたカーボンナノチューブにアモルファス層を成長させる第二工程とを有することを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。 - 第一温度が640℃以上であり、第二温度が第一温度よりも50〜200℃高いことを特徴とする請求項1に記載のカーボンナノチューブの製造方法。
- 第一温度および第二温度が、それぞれ一定であることを特徴とする請求項1または2に記載のカーボンナノチューブの製造方法。
- 第二工程において供給される原料ガスの圧力が、3〜10kPaであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブの製造方法。
- アモルファス層を成長させた所定の長さのカーボンナノチューブに、酸素を供給した上で、このカーボンナノチューブを基板から剥離させる第三工程を有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブの製造方法。
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