JP6074210B2 - 画像処理装置、外観検査装置、画像処理方法および外観検査方法 - Google Patents
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Description
また、第6の態様は、第4または第5の態様に係る外観検査装置において、前記基板には、一方向に複数のダイが形成されており、前記ダイの前記一方向の長さが既定の最大幅を超えない場合、前記最大幅内に前記ダイが最大数含まれるように前記検査画像を分割して得られる画像各々を前記検査セクションとし、前記ダイの前記一方向の長さが前記最大幅を超える場合、前記一方向の長さが前記最大幅内に収まるように前記検査画像を最小数で等分割して得られる画像各々を前記検査セクションとする。
<1.1. 外観検査装置1の構成>
図1は、実施形態に係る外観検査装置1の概略構成図である。また図2は、実施形態に係る外観検査装置1の機能ブロック図である。なお、図1および以降の各図においては、理解容易のため、必要に応じて各部の寸法や数を誇張または簡略化して描いている場合がある。また、図1および以降の各図においては、それぞれの位置関係の理解を容易にするため、Z軸方向を鉛直方向、XY平面を水平面とするXYZ直交座標系を付している場合がある。
外観検査装置1において検査処理が開始された場合、まず、オペレータの操作入力に基づいて、検査レシピ作成部41により検査レシピが生成される。この検査レシピ作成時には、オペレータは、検査する範囲や、適用する検査方法等の各種検査条件の指定を行う。検査タスク生成部43は、この作成された検査レシピに基づいて、検査タスクを作成する。作成された検査タスクは、検査タスク保持部51に保存される。また、外観検査装置1は、ステージ制御部45によって、検査レシピに従ってステージ2を移動させるとともに、撮影部3により検査範囲の撮影を行う。
(グループ1)検査コマンドC1−1,C1−5,C1−9,C1−13・・・21個
(グループ2)検査コマンドC1−2,C1−6,C1−10,C1−14・・・5個
(グループ3)検査コマンドC1−3,C1−7,C1−11,C−15・・・12個
(グループ4)検査コマンドC1−4,C1−8,C1−12,C1−16・・・14個
以上のように、本実施形態では、先にGPU591に登録された検査コマンド(第一検査コマンド)と、次に登録する(未登録の)検査コマンド(第二検査コマンド)との間で、処理内容に依存関係がない場合、GPU591に次の検査コマンド(第二検査コマンド)が登録される。GPU591において、先の検査コマンド(第一検査コマンド)と次の検査コマンド(第二検査コマンド)とを、並列に処理することが可能となるため、演算処理の効率を向上することができる。
以上、実施形態について説明してきたが、本発明は上記のようなものに限定されるものではなく、様々な変形が可能である。
2 ステージ
21 ステージ移動機構
3 撮影部
31 ラインセンサ
4 制御部
41 検査レシピ作成部
43 検査タスク生成部
45 ステージ制御部
5 画像処理装置
51 検査タスク保持部
53 バッファメモリ
55 画像処理制御部
57 GPU制御部(プロセッサ制御部)
59 画像処理部
5910 GPUコア(コア)
591 GPU(プロセッサ)
593 画像処理用メモリ
6 欠陥データ処理部
9 基板
91,91A,91B ダイ
93 非繰り返しパターン領域
95 繰り返しパターン領域
A1〜A16 矩形領域
C1〜C16 検査コマンド
C31,C32 ダイ検査コマンド
C33 アレイ検査コマンド
C34 マスク処理コマンド
DT11 横幅
DT13 高さ幅
DTM13 最大高さ幅
R11,R13 検査対象領域
T1〜T3 検査タスク
SEC,SEC1〜SEC3 検査セクション
Claims (9)
- 画像処理装置であって、
複数のコアを有するプロセッサを備える画像処理部と、
検査対象となる検査画像を記憶する画像記憶部と、
前記検査画像を複数に分割して得られる検査セクション毎に生成された、前記プロセッサが実行する複数の検査コマンドを含む検査タスクを保持する検査タスク保持部と、
前記複数の検査コマンドを、前記プロセッサに登録して実行させるプロセッサ制御部と、
を備え、
前記プロセッサ制御部は、
1つの前記検査タスクに含まれる前記複数の検査コマンドのうち、前記プロセッサに先に登録した第一検査コマンドと前記プロセッサに未登録である第二検査コマンドとの間で、処理内容に依存関係がない場合、前記プロセッサに先に登録した前記第一検査コマンドが完了するのを待たずに前記第二検査コマンドを登録し、前記第一検査コマンドおよび前記第二検査コマンドに割り当てられる割当コア数が前記プロセッサの総コア数を越えないときは前記第一検査コマンドおよび前記第二コマンドを前記プロセッサに並行に実行させ、前記割当コア数が前記総コア数を越えるときは前記第一検査コマンドおよび前記第二検査コマンドを前記プロセッサに順に実行させ、
前記第一検査コマンドおよび前記第二検査コマンドの間で、前記依存関係がある場合、前記プロセッサに先に登録した前記第一検査コマンドの処理が完了した後に前記第二検査コマンドを登録する、画像処理装置。 - 請求項1に記載の画像処理装置において、
前記画像処理部が、前記プロセッサを複数備えており、
複数の前記検査タスクが、複数の前記プロセッサにそれぞれ分配される、画像処理装置。 - 請求項1または2に記載の画像処理装置において、
前記プロセッサ制御部は、前記第一検査コマンドおよび第二検査コマンドの種類に基づいて、前記プロセッサに前記第二コマンドを登録するか否かを判断する、画像処理装置。 - 基板に形成されたパターンを検査する外観検査装置であって、
請求項1から3までのいずれか1項に記載の画像処理装置と、
基板を撮影して前記検査画像を取得する撮影部と、
を備え、
前記画像処理部は、前記基板に形成されたパターンの欠陥を検査する、外観検査装置。 - 請求項4に記載の外観検査装置において、
前記複数の検査コマンドは、非繰り返しパターンを検査するダイ検査コマンドと、繰り返しパターンを検査するアレイ検査コマンドとを含む、外観検査装置。 - 請求項4または5に記載の外観検査装置において、
前記基板には、一方向に複数のダイが形成されており、
前記ダイの前記一方向の長さが既定の最大幅を超えない場合、前記最大幅内に前記ダイが最大数含まれるように前記検査画像を分割して得られる画像各々を前記検査セクションとし、
前記ダイの前記一方向の長さが前記最大幅を超える場合、前記一方向の長さが前記最大幅内に収まるように前記検査画像を最小数で等分割して得られる画像各々を前記検査セクションとする、外観検査装置。 - 画像処理方法であって、
(a) 検査対象である検査画像を、複数に分割して得られた検査セクション毎に、複数のコアを有するプロセッサが実行する複数の検査コマンドで構成される検査タスクを生成する工程と、
(b) 前記複数の検査コマンドを、前記プロセッサに登録して実行させる工程と、
を含み、
前記(b)工程は、1つの前記検査タスクに含まれる前記複数の検査コマンドのうち、前記プロセッサに先に登録した第一検査コマンドと前記プロセッサに未登録の第二の検査コマンドとの間で、処理内容に依存関係がない場合、前記プロセッサに先に登録した前記第一検査コマンドが完了するのを待たずに前記第二検査コマンドを登録し、前記第一検査コマンドおよび前記第二検査コマンドに割り当てられる割当コア数が前記プロセッサの総コア数を越えないときは前記第一検査コマンドおよび前記第二コマンドを前記プロセッサに並行に実行させ、前記割当コア数が前記総コア数を越えるときは前記第一検査コマンドおよび前記第二検査コマンドを前記プロセッサに順に実行させ、
前記第一検査コマンドおよび前記第二検査コマンドの間で、前記依存関係がある場合、前記プロセッサに先に登録した前記第一検査コマンドの処理が完了した後に前記第二検査コマンドを登録する工程である、画像処理方法。 - 基板に形成されたパターンを検査する外観検査方法であって、
(A) 基板を撮影することによって、検査画像を取得する工程、
(B) 前記検査画像を複数に分割して得られる検査セクション毎に、複数のコアを有するプロセッサが実行する複数の検査コマンドを含む検査タスクを生成する工程と、
(C) 前記複数の検査コマンドを、前記プロセッサに登録して実行させる工程と、
を含み、
前記(C)工程は、1つの前記検査タスクに含まれる前記複数の検査コマンドのうち、前記プロセッサに先に登録した第一検査コマンドと前記プロセッサに未登録の第二の検査コマンドとの間で、処理内容に依存関係がない場合、前記プロセッサに先に登録した前記第一検査コマンドが完了するのを待たずに前記第二検査コマンドを登録し、前記第一検査コマンドおよび前記第二検査コマンドに割り当てられる割当コア数が前記プロセッサの総コア数を越えないときは前記第一検査コマンドおよび前記第二コマンドを前記プロセッサに並行に実行させ、前記割当コア数が前記総コア数を越えるときは前記第一検査コマンドおよび前記第二検査コマンドを前記プロセッサに順に実行させ、
前記第一検査コマンドおよび前記第二検査コマンドの間で前記依存関係がある場合、前記プロセッサに先に登録した前記第一検査コマンドの処理が完了した後に前記第二検査コマンドを登録する工程である、外観検査方法。 - 請求項8に記載の外観検査方法において、
前記基板には、一方向に複数のダイが形成されており、
前記ダイの前記一方向の長さが既定の最大幅を超えない場合、前記最大幅内に前記ダイが最大数含まれるように前記検査画像を分割して得られる画像各々を前記検査セクションとし、
前記ダイの前記一方向の長さが前記最大幅を超える場合、前記一方向の長さが前記最大幅内に収まるように前記検査画像を最小数で等分割して得られる画像各々を前記検査セクションとする、外観検査方法。
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