JP2013148363A - 外観検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】外観検査装置1は、撮影部3が撮影したパターンの形成された基板9表面の画像に基づいて、パターンの欠陥を検出する検査部5を備えている。検査部5は、撮影部3が基板9上の検査対象の領域を撮影して画像保持メモリ53に保存した画像データを、複数の画像処理用メモリ593に転送する画像転送部55と、画像転送部55によって画像処理用メモリ53に転送された転送済みの画像データの中から、それぞれの処理対象の領域に対応する画像データを取り出し、欠陥検出のための検査処理を実行する複数のGPU591とを備えている。また、検査部5は、画像転送部55による画像転送とは独立して検査内容を規定する検査タスクを検査タスク保持部51から取得するとともに、該検査タスクに従って複数のGPU591を制御する画像処理制御部57を備えている。
【選択図】図2
Description
<1.1. 外観検査装置1の構成>
図1は、実施形態に係る外観検査装置1の概略構成図である。また図2は、実施形態に係る外観検査装置1の機能ブロック図である。なお、図1および以降の各図においては、理解容易のため、必要に応じて各部の寸法や数を誇張または簡略化して描いている場合がある。また、図1および以降の各図においては、それぞれの位置関係の理解を容易にするため、Z軸方向を鉛直方向、XY平面を水平面とする左手系のXYZ直交座標系を適宜付している場合がある。
外観検査装置1において検査処理が開始される場合、まず、オペレータの操作入力に基づいて、検査レシピ作成部41により検査レシピが生成される。この検査レシピ作成時には、オペレータは、検査範囲や、適用する検査方法などの各種検査条件の指定を行う。検査タスク生成部43は、この作成された検査レシピに基づいて、検査タスクを作成する。作成された検査タスクは、検査タスク保持部51に保存される。また、外観検査装置1は、ステージ制御部45によって、検査レシピに従ってステージ2を移動させるとともに、撮影部3により検査範囲の撮影を行う。
本実施形態に係る外観検査装置1によると、画像転送部55は、撮影部3が検査対象の領域を撮影してバッファメモリ53に保存された画像データを、複数の画像処理ユニット59に順次転送する。一方、GPU制御部57は、画像転送部55による画像データの転送とは独立して、検査タスクを取得するとともに、取得した検査タスクに基づく検査処理を、画像処理ユニット59に実行させる。したがって、画像転送部55が1度に転送する画像データのデータ量を、比較的大きく設定することができる。これにより、データ転送時に発生する通信のためのオーバーヘッドの時間を相対的に小さくすることができるため、検査の効率化を図ることができる。
以上、実施の形態について説明してきたが、本発明は上記のようなものに限定されるものではなく、様々な変形が可能である。
2 ステージ
21 ステージ移動機構
22 Y方向移動機構
221,231 モータ
222 ガイドレール
23 X方向移動機構
232 ガイドレール
24 ステージ昇降機構
3 撮影部
300 撮影領域
31 ラインセンサ
4 制御部
41 検査レシピ作成部
43 検査タスク生成部
5 検査部
51 検査タスク保持部
53 バッファメモリ
55 画像転送部
57 GPU制御部
59 画像処理ユニット
591 GPU
593 画像処理用メモリ
6 欠陥データ処理部
70a〜70d 分割領域
9 基板
91 ダイ
93 非繰り返しパターン領域
95 繰り返しパターン領域
Claims (5)
- 撮影部が撮影したパターンの形成された基板表面の画像に基づいて、前記パターンの欠陥を検出する外観検査装置において、
撮影部が基板上の検査対象の領域を撮影して画像保持メモリに保存した画像データを、複数の画像処理用メモリに転送する画像転送部と、
前記画像転送部によって前記画像処理用メモリに転送された転送済みの画像データの中から、それぞれの処理対象の領域に対応する画像データについて、欠陥検出のための検査処理を実行する複数の画像処理部と、
前記画像転送部による画像転送とは独立して、検査内容を規定する検査タスクを取得するとともに、該検査タスクに従って複数の前記画像処理部を制御する画像処理制御部と、
を備える外観検査装置。 - 請求項1に記載の外観検査装置において、
前記画像処理制御部は、
前記画像保存メモリに転送された前記転送済みの画像データに、前記画像処理部が検査する前記画像データが含まれているかどうか判定し、含まれていない場合には、該画像処理部が検査する画像データが前記画像処理用メモリに転送されるまで該画像処理部を待機させる外観検査装置。 - 請求項1または2に記載の外観検査装置において、
前記画像転送部は、
あらかじめ定められたデータ量の前記画像データが前記画像保存メモリに保存された場合に、該画像データを前記画像処理用メモリに転送する外観検査装置。 - 請求項3に記載の外観検査装置において、
前記撮影部は、ラインセンサを含み、
前記転送部は、前記撮影部によって、あらかじめ定められたライン数の画像データが取得され、前記画像保存メモリに保存された場合に、該画像データを前記画像処理用メモリに転送する外観検査装置。 - 請求項1から4までのいずれか1項に記載の外観検査装置において、
前記画像処理部がGPU(Graphics Processing Unit)を含む外観検査装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020085527A (ja) * | 2018-11-19 | 2020-06-04 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | パターン検査装置及びパターン検査方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003141508A (ja) * | 2001-10-31 | 2003-05-16 | Olympus Optical Co Ltd | 基板外観検査方法及びその装置、基板外観検査用プログラム、コンピュータにより読み取り可能な記憶媒体 |
JP2003208627A (ja) * | 2002-01-15 | 2003-07-25 | Sony Corp | 画像処理装置およびその方法 |
JP2005158780A (ja) * | 2003-11-20 | 2005-06-16 | Hitachi Ltd | パターン欠陥検査方法及びその装置 |
JP2008071261A (ja) * | 2006-09-15 | 2008-03-27 | Toshiba Corp | 画像処理システム及び画像処理方法 |
JP2009281898A (ja) * | 2008-05-23 | 2009-12-03 | Hitachi High-Technologies Corp | 欠陥検査方法及びその装置 |
JP2010216963A (ja) * | 2009-03-16 | 2010-09-30 | Hitachi High-Technologies Corp | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 |
-
2012
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003141508A (ja) * | 2001-10-31 | 2003-05-16 | Olympus Optical Co Ltd | 基板外観検査方法及びその装置、基板外観検査用プログラム、コンピュータにより読み取り可能な記憶媒体 |
JP2003208627A (ja) * | 2002-01-15 | 2003-07-25 | Sony Corp | 画像処理装置およびその方法 |
JP2005158780A (ja) * | 2003-11-20 | 2005-06-16 | Hitachi Ltd | パターン欠陥検査方法及びその装置 |
JP2008071261A (ja) * | 2006-09-15 | 2008-03-27 | Toshiba Corp | 画像処理システム及び画像処理方法 |
JP2009281898A (ja) * | 2008-05-23 | 2009-12-03 | Hitachi High-Technologies Corp | 欠陥検査方法及びその装置 |
JP2010216963A (ja) * | 2009-03-16 | 2010-09-30 | Hitachi High-Technologies Corp | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
JPN6016002083; 橘俊宏 他: 'GPGPUを用いた組合せ最適化問題計算の高速化' 電子情報通信学会技術研究報告 第111巻, 201106, pp.53-58, 社団法人電子情報通信学会 The Institute of Electro * |
JPN6016002085; 田村陽介: '驚異の1TFLOPSオーバーパワーを徹底活用 GPGPUによる並列処理' 月刊アスキードットテクノロジーズ Vol.14, No.12, 200912, pp.26-31, 株式会社アスキー・メディアワークス * |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020085527A (ja) * | 2018-11-19 | 2020-06-04 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | パターン検査装置及びパターン検査方法 |
JP7222671B2 (ja) | 2018-11-19 | 2023-02-15 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | パターン検査装置及びパターン検査方法 |
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