JP6070555B2 - 金属格子の製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、実施形態における金属格子の構成を示す斜視図である。本実施形態の金属格子DGは、図1に示すように、第1シリコン部分11と、第1シリコン部分11上に形成された格子12とを備えて構成される。第1シリコン部分11は、図1に示すようにDxDyDzの直交座標系を設定した場合に、DxDy面に沿った板状または層状である。格子12は、所定の厚さH(格子面DxDyに垂直なDz方向(格子面DxDyの法線方向)の長さ)を有して一方向Dxに線状に延びる複数の第2シリコン部分12aと、前記所定の厚さHを有して前記一方向Dxに線状に延びる複数の金属部分12bとを備え、これら複数の第2シリコン部分12aと複数の金属部分12bとは、交互に平行に配設される。このため、複数の金属部分12bは、前記一方向Dxと直交する方向Dyに所定の間隔を空けてそれぞれ配設される。言い換えれば、複数の第2シリコン層12aは、前記一方向Dxと直交する方向Dyに所定の間隔を空けてそれぞれ配設される。この所定の間隔(ピッチ)Pは、本実施形態では、一定とされている。すなわち、複数の金属部分12b(複数の第2シリコン部分12a)は、前記一方向Dxと直交する方向Dyに等間隔Pでそれぞれ配設されている。第2シリコン部分12aは、前記DxDy面に直交するDxDz面に沿った板状または層状である。金属部分12bは、互いに隣接する第2シリコン部分12aに挟まれた、DxDz面に沿った板状または層状の格子部分12baと、この格子部分12baの一方端から第1シリコン部分11内へ延びる成長始端部分12bbとを備えている。
図2ないし図4は、実施形態における金属格子の第1製造方法を説明するための図である。図5は、実施形態における金属格子の製造工程中のシリコン基板を示す斜視図である。
第1製造方法は、レジスト層33として感光性樹脂層(フォトレジスト層)33aを用いたが、これは、エッチング工程や除去広表面化工程に対し耐性が低いため、これらの工程において削られるので、比較的厚い膜厚が必要となる。このため、第2製造方法は、エッチング工程や除去広表面化工程に対しより耐性の高い材料をレジスト層33として用いるものである。
(蒸着源)と対面させるようにシリコン基板30が配置され、蒸着源を加熱することによって発生した気体状態の成膜物質(蒸着物質)が前記主面側の表面に照射される。この蒸着物質が、前記主面側の表面に到達することで、前記主面側の表面に前記蒸着物質が降り積もって堆積し成膜される。真空蒸着法は、通常、10−2〜10−4Pa程度の低気圧下で実施されるため、蒸着物質の平均自由行程は、数10cm〜数10m程度と長く、ほとんど衝突することなくシリコン基板30に到達するため蒸着源から気化した蒸着物質は、極めて良い指向性を有している。このため、比較的高アスペクトなスリット溝SDの内表面を、スリット溝SDの奥深くまで、均一かつ緻密に製することができる。また、真空蒸着法では、蒸着物質の指向性が極めて高いため、スリット溝SDの内側面に成膜し難い場合には、図12(A)に示すように、シリコン基板30を蒸着源に対しやや斜めに傾けて側面を含めて1回目の成膜を行い、続けて、図12(B)に示すように、前記1回目の成膜とは反対にシリコン基板30を傾けて2回目の成膜を行うことで、スリット溝SDの両側面を成膜することができる。また、さらに緻密で強度の高い絶縁層34を形成するために、真空蒸着中にイオン銃で、数100eV程度のガスイオンを基板に照射するイオンビームアシスト蒸着(Ion-beam Assisted Deposition:IAD )が用いられてもよい。このように真空蒸着法も構造物内壁(本実施形態ではスリット溝SDの内表面)に緻密な膜を形成することができ、その膜厚も数nm〜数μmまで比較的容易に成膜することができる。
上記実施形態の金属格子DGは、高アスペクト比で金属部分を形成することができるので、X線用のタルボ干渉計およびタルボ・ロー干渉計に好適に用いることができる。この金属格子DGを用いたX線用タルボ干渉計およびX線用タルボ・ロー干渉計について説明する。
Z1=(m+1/2)×(d2/λ) ・・・(式2)
ここで、lは、可干渉距離であり、λは、X線の波長(通常は中心波長)であり、aは、回折格子の回折部材にほぼ直交する方向におけるX線源101の開口径であり、Lは、X線源101から第1回折格子102までの距離であり、Z1は、第1回折格子102から第2回折格子103までの距離であり、Z2は、第2回折格子103からX線画像検出器105までの距離であり、mは、整数であり、dは、回折部材の周期(回折格子の周期、格子定数、隣接する回折部材の中心間距離、前記ピッチP)である。
前記金属格子DGは、種々の光学装置に利用することができるが、高アスペクト比で金属部分12bを形成することができるので、例えば、X線撮像装置に好適に用いることができる。特に、X線タルボ干渉計を用いたX線撮像装置は、X線を波として扱い、被写体を通過することによって生じるX線の位相シフトを検出することによって、被写体の透過画像を得る位相コントラスト法の一つであり、被写体によるX線吸収の大小をコントラストとした画像を得る吸収コントラスト法に較べて、約1000倍の感度改善が見込まれ、それによってX線照射量が例えば1/100〜1/1000に軽減可能となるという利点がある。本実施形態では、前記回折格子DGを用いたX線タルボ干渉計を備えたX線撮像装置について説明する。
Claims (6)
- シリコン基板の主面上にレジスト層を形成するレジスト層形成工程と、
前記レジスト層をパターニングして前記パターニングした部分の前記レジスト層を除去するパターニング工程と、
ドライエッチング法によって前記レジスト層を除去した部分に対応する前記シリコン基板をエッチングして所定の深さの凹部を形成するエッチング工程と、
前記シリコン基板における前記凹部の内表面に絶縁層を形成する絶縁層形成工程と、
前記凹部の底部に形成された前記絶縁層の部分を除去するとともに、前記凹部の底部における前記シリコン基板をさらにエッチングすることによって前記凹部の底部分の表面積を該エッチング前より広くする除去広表面積化工程と、
電鋳法によって、前記シリコン基板に電圧を印加して前記凹部を金属で埋める電鋳工程とを備え、
前記除去広表面積化工程は、前記凹部の底部に形成された前記絶縁層の部分を除去するとともに、前記凹部の底部における前記シリコン基板を、側面がテーパ状または曲面状であって深さが前記所定の深さより深くなるようにさらにエッチングすることによって前記凹部の底部分の表面積を該エッチング前より広くすること
を特徴とする金属格子の製造方法。 - 前記絶縁層形成工程は、堆積法、熱酸化法および陽極酸化法のうちのいずれかの方法によって、前記シリコン基板における前記凹部の内表面に絶縁層を形成すること
を特徴とする請求項1に記載の金属格子の製造方法。 - 前記ドライエッチング法は、RIEであること
を特徴とする請求項1または請求項2に記載の金属格子の製造方法。 - 前記ドライエッチング法は、ボッシュプロセスであること
を特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の金属格子の製造方法。 - 前記シリコン基板は、n型シリコンであること
を特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の金属格子の製造方法。 - X線タルボ干渉計またはX線タルボ・ロー干渉計に用いられる回折格子を製造する請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の金属格子の製造方法。
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