JP6070428B2 - プローブ装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態1に係るプローブ装置の正面図である。プローブ装置10は絶縁体で形成された基板12を備えている。基板12は上面12aと下面12bを備えている。基板12には第1コンタクトプローブ14が固定されている。第1コンタクトプローブ14は接続部14aを備えている。接続部14aは、基板12の上面12aに固定された第1信号線16と電気的に接続されている。
本発明の実施の形態2に係るプローブ装置は、実施の形態1との共通点が多いので実施の形態1との相違点を中心に説明する。図4は、本発明の実施の形態2に係るプローブ装置の正面図である。第1コンタクトプローブ60は、接続部60a、設置部60b、たわみ部60c、先端部60d、及び先端60eを備えている。第1コンタクトプローブ60の長さはL1である。第2コンタクトプローブ62は、接続部62a、設置部62b、たわみ部62c、先端部62d、及び先端62eを備えている。第2コンタクトプローブ62の長さは、前述のL1より短いL2である。
本発明の実施の形態3に係るプローブ装置は、実施の形態1との共通点が多いので実施の形態1との相違点を中心に説明する。図5は、本発明の実施の形態3に係るプローブ装置の平面図である。第1コンタクトプローブ14と第2コンタクトプローブ18の基板12の下面側の部分は破線で示す。また信号線は省略した。
本発明の実施の形態4に係るプローブ装置は、実施の形態1との共通点が多いので実施の形態1との相違点を中心に説明する。図7は、本発明の実施の形態4に係るプローブ装置の正面図である。本発明の実施の形態4に係るプローブ装置は、基板12に固定されたソケット100を備えたことを特徴とする。
本発明の実施の形態5に係るプローブ装置は、実施の形態4との共通点が多いので実施の形態4との相違点を中心に説明する。図11は、本発明の実施の形態5に係るソケットの正面図である。
本発明の実施の形態6に係るプローブ装置は、実施の形態4との共通点が多いので実施の形態4との相違点を中心に説明する。図12は、本発明の実施の形態6に係るソケットの正面図である。
Claims (4)
- 基板と、
前記基板に固定された第1コンタクトプローブと、
前記基板に固定された第2コンタクトプローブと、
前記基板に固定され、前記第1コンタクトプローブと電気的に接続された第1信号線と、
前記基板に固定され、前記第1信号線と絶縁されつつ、前記第2コンタクトプローブと電気的に接続された第2信号線と、を備え、
前記基板から前記第1コンタクトプローブの先端までの最短距離は、前記基板から前記第2コンタクトプローブの先端までの最短距離より長く、
前記基板に固定されたソケットを備え、
前記第1コンタクトプローブ又は前記第2コンタクトプローブは前記ソケットに固定され、
前記基板は貫通孔を有し、
前記ソケットは側面に複数の溝を有し、
前記複数の溝の1つに巻きつけられた第1リングと、
前記複数の溝の、前記第1リングが巻きつけられた溝とは異なる溝に巻きつけられた第2リングとを備え、
前記ソケットが前記貫通孔を通して前記基板を貫通しつつ、前記第1リングと前記第2リングで前記基板を挟むことで、前記ソケットが前記基板に固定されたことを特徴とするプローブ装置。 - 基板と、
前記基板に固定された第1コンタクトプローブと、
前記基板に固定された第2コンタクトプローブと、
前記基板に固定され、前記第1コンタクトプローブと電気的に接続された第1信号線と、
前記基板に固定され、前記第1信号線と絶縁されつつ、前記第2コンタクトプローブと電気的に接続された第2信号線と、を備え、
前記基板に対する前記第1コンタクトプローブの角度と、前記基板に対する前記第2コンタクトプローブの角度は異なり、
前記基板に固定されたソケットを備え、
前記第1コンタクトプローブ又は前記第2コンタクトプローブは前記ソケットに固定され、
前記基板は貫通孔を有し、
前記ソケットは側面に複数の溝を有し、
前記複数の溝の1つに巻きつけられた第1リングと、
前記複数の溝の、前記第1リングが巻きつけられた溝とは異なる溝に巻きつけられた第2リングとを備え、
前記ソケットが前記貫通孔を通して前記基板を貫通しつつ、前記第1リングと前記第2リングで前記基板を挟むことで、前記ソケットが前記基板に固定されたことを特徴とするプローブ装置。 - 基板と、
前記基板に固定された第1コンタクトプローブと、
前記基板に固定された第2コンタクトプローブと、
前記基板に固定され、前記第1コンタクトプローブと電気的に接続された第1信号線と、
前記基板に固定され、前記第1信号線と絶縁されつつ、前記第2コンタクトプローブと電気的に接続された第2信号線と、を備え、
前記基板から前記第1コンタクトプローブの先端までの最短距離は、前記基板から前記第2コンタクトプローブの先端までの最短距離より長く、
前記基板に固定されたソケットを備え、
前記第1コンタクトプローブ又は前記第2コンタクトプローブは前記ソケットに固定され、
前記基板は複数の貫通孔を有し、
前記ソケットは、前記複数の貫通孔のいずれか1つを貫通し、
前記ソケットは側面に複数の溝を有し、
前記複数の溝の1つに巻きつけられた第1リングと、
前記複数の溝の、前記第1リングが巻きつけられた溝とは異なる溝に巻きつけられた第2リングとを備え、
前記ソケットが前記複数の貫通孔のいずれかを通して前記基板を貫通しつつ、前記第1リングと前記第2リングで前記基板を挟むことで、前記ソケットが前記基板に固定されたことを特徴とするプローブ装置。 - 基板と、
前記基板に固定された第1コンタクトプローブと、
前記基板に固定された第2コンタクトプローブと、
前記基板に固定され、前記第1コンタクトプローブと電気的に接続された第1信号線と、
前記基板に固定され、前記第1信号線と絶縁されつつ、前記第2コンタクトプローブと電気的に接続された第2信号線と、を備え、
前記基板に対する前記第1コンタクトプローブの角度と、前記基板に対する前記第2コンタクトプローブの角度は異なり、
前記基板に固定されたソケットを備え、
前記第1コンタクトプローブ又は前記第2コンタクトプローブは前記ソケットに固定され、
前記基板は複数の貫通孔を有し、
前記ソケットは、前記複数の貫通孔のいずれか1つを貫通し、
前記ソケットは側面に複数の溝を有し、
前記複数の溝の1つに巻きつけられた第1リングと、
前記複数の溝の、前記第1リングが巻きつけられた溝とは異なる溝に巻きつけられた第2リングとを備え、
前記ソケットが前記複数の貫通孔のいずれかを通して前記基板を貫通しつつ、前記第1リングと前記第2リングで前記基板を挟むことで、前記ソケットが前記基板に固定されたことを特徴とするプローブ装置。
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- 2013-06-14 JP JP2013126016A patent/JP6070428B2/ja active Active
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