JP6068281B2 - Fixing jig and fixing device for parts, and fixed carrier - Google Patents
Fixing jig and fixing device for parts, and fixed carrier Download PDFInfo
- Publication number
- JP6068281B2 JP6068281B2 JP2013146154A JP2013146154A JP6068281B2 JP 6068281 B2 JP6068281 B2 JP 6068281B2 JP 2013146154 A JP2013146154 A JP 2013146154A JP 2013146154 A JP2013146154 A JP 2013146154A JP 6068281 B2 JP6068281 B2 JP 6068281B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- component
- magnet
- pole
- fixing jig
- holding member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 10
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 description 51
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 24
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 12
- 230000005347 demagnetization Effects 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 5
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 5
- 230000036544 posture Effects 0.000 description 5
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 3
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 3
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 229910000828 alnico Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910001172 neodymium magnet Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Permanent Field Magnets Of Synchronous Machinery (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Automatic Assembly (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Description
本発明は、電子部品等の各種部品を固定するための部品の固定治具および固定装置、ならびに各種部品を固定した状態で搬送するための部品の搬送キャリアに関する。 The present invention relates to a component fixing jig and a fixing device for fixing various components such as electronic components, and a component transport carrier for transporting various components in a fixed state.
従来、圧電振動子や半導体素子等の電子部品のパッケージおよびリッドの封止は、シーム溶接によって行われている。このシーム溶接は一般に、パッケージの開口部上にリッドを載置した後に、一対の溶接ローラをパッケージとリッドの接触部に押し付けて転動させながらパルス状の電圧を印加することによって行われている。また、スポット溶接等によりパッケージにリッドを仮付けする工程が、シーム溶接の前に設けられる場合もある。 Conventionally, sealing of packages and lids of electronic components such as piezoelectric vibrators and semiconductor elements has been performed by seam welding. This seam welding is generally performed by placing a lid on the opening of the package and then applying a pulsed voltage while pressing and rolling the pair of welding rollers against the contact portion of the package and the lid. . Moreover, the process of temporarily attaching a lid to a package by spot welding or the like may be provided before seam welding.
近年では、電子部品の益々の小型化に伴い、パッケージおよびリッドもきわめて微小なサイズとなっているため、僅かな外力を受けただけでパッケージ上のリッドに位置ずれが生じやすくなっている。リッドの位置がずれた状態で仮付けまたはシーム溶接が行われると、封止不良が生じやすく、製品歩留まりが低下することとなる。このため、磁石によりリッドを吸引することで、リッドをパッケージ上の所定の位置に固定する手法が提案されている(例えば、特許文献1または2参照)。
In recent years, as electronic components have become increasingly smaller, packages and lids have become extremely small in size, so that the lid on the package is likely to be displaced only by receiving a slight external force. If tacking or seam welding is performed in a state where the position of the lid is deviated, sealing failure is likely to occur, and the product yield will be reduced. For this reason, a method has been proposed in which the lid is fixed at a predetermined position on the package by attracting the lid with a magnet (see, for example,
しかしながら、上記特許文献1または2に記載の手法では、磁化方向(N極とS極を結ぶ方向)を径方向とした円盤状の磁石を使用していることから、吸引力が弱い割に減磁が大きいという問題があった。すなわち、磁極面(N極面およびS極面)以外から発生する磁力線が多いことによる損失が大きいだけでなく、そもそも主として磁極面以外から発生する磁力線によってリッド(キャップ)を吸引するように配置されているため、吸引力が小さい上に磁力が失われやすいという問題があった。
However, in the method described in
さらに、パッケージおよびリッドに向かう方向の厚みが薄くなっていることから、スポット溶接やシーム溶接時の熱の影響を受けやすく、熱による減磁も生じやすいという問題があった。また、磁化方向が径方向であることから、磁石におけるいずれの方向が磁化方向であるかの判別が難しく、また、円形断面の凹部内に収容する必要があることから磁石の向きが定まらないため、磁石を適切に配置するのがきわめて困難という問題もあった。 Further, since the thickness in the direction toward the package and the lid is thin, there is a problem that it is easily affected by heat at the time of spot welding or seam welding, and demagnetization due to heat is likely to occur. In addition, since the magnetization direction is the radial direction, it is difficult to determine which direction in the magnet is the magnetization direction, and the magnet orientation is not determined because it is necessary to be accommodated in the recess of the circular cross section. There is also a problem that it is extremely difficult to properly arrange the magnets.
本発明は、斯かる実情に鑑み、各種部品を安定的且つ簡便に固定することが可能な部品の固定治具および固定装置、ならびに固定搬送キャリアを提供しようとするものである。 In view of such circumstances, the present invention is intended to provide a component fixing jig and a fixing device, and a fixed conveyance carrier capable of stably and easily fixing various components.
(1)本発明は、部品の配列方向の一側にN極を向けた状態で前記配列方向に沿って配列される複数の磁石と、前記磁石を保持する保持部材と、を備え、前記磁石は、前記磁石側と前記部品側を結ぶ方向の寸法が、N極とS極を結ぶ方向の寸法以上となる形状に構成されることを特徴とする、部品の固定治具である。 (1) The present invention includes a plurality of magnets arranged along the arrangement direction with an N pole facing one side of the arrangement direction of the components, and a holding member that holds the magnets, and the magnet Is a component fixing jig characterized in that the dimension in the direction connecting the magnet side and the component side is equal to or larger than the dimension in the direction connecting the N pole and the S pole.
(2)本発明はまた、前記磁石は、N極面およびS極面が略平面状であることを特徴とする、上記(1)に記載の部品の固定治具である。 (2) The present invention also provides the component fixing jig according to (1) above, wherein the magnet has a substantially flat N-pole surface and S-pole surface.
(3)本発明はまた、前記磁石は、前記配列方向に沿って前記部品よりも長い範囲にわたって配列されることを特徴とする、上記(1)または(2)に記載の部品の固定治具である。 (3) The component fixing jig according to (1) or (2), wherein the magnet is arranged over a longer range than the component along the arrangement direction. It is.
(4)本発明はまた、前記磁石は、前記部品ごとに対応させた位置に配置される吸引用磁石と、前記部品の配列範囲外において前記部品に対応しない位置に配置される調整用磁石と、を含むことを特徴とする、上記(3)に記載の部品の固定治具である。 (4) In the present invention, the magnet may be an attracting magnet disposed at a position corresponding to each component, and an adjusting magnet disposed at a position not corresponding to the component outside the arrangement range of the components. The component fixing jig according to (3), wherein the component fixing jig is included.
(5)本発明はまた、上記(1)乃至(4)のいずれかに記載の部品の固定治具と、前記部品を支持する支持部材と、を備えることを特徴とする、部品の固定装置である。 (5) The present invention also includes a component fixing device according to any one of (1) to (4) above, and a support member that supports the component. It is.
(6)本発明はまた、前記部品に対して近接離隔するように前記固定治具を移動させる移動機構を備えることを特徴とする、上記(5)に記載の部品の固定装置である。 (6) The component fixing apparatus according to (5), wherein the present invention further includes a moving mechanism that moves the fixing jig so as to be closely spaced from the component.
(7)本発明はまた、上記(1)乃至(4)のいずれかに記載の部品の固定治具と、前記部品を保持する部品保持部材と、を備えることを特徴とする、部品の固定搬送キャリアである。 (7) The present invention also includes a component fixing jig according to any one of (1) to (4), and a component holding member that holds the component. It is a transport carrier.
(8)本発明はまた、前記保持部材は、前記部品保持部材として兼用されることを特徴とする、上記(7)に記載の部品の固定搬送キャリアである。 (8) The present invention is also the component fixed transport carrier according to (7), wherein the holding member is also used as the component holding member.
本発明の部品の固定治具および固定装置、ならびに固定搬送キャリアによれば、各種部品を安定的且つ簡便に固定することが可能という優れた効果を奏し得る。 According to the component fixing jig and the fixing device and the fixed transport carrier of the present invention, it is possible to obtain an excellent effect that various components can be fixed stably and easily.
以下、本発明の実施の形態を、添付図面を参照して説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
図1(a)は、本発明の実施の形態に係る部品の固定治具1の平面図であり、図1(b)は、部品の固定治具1の底面図である。また、図2(a)は、図1(a)のA−A線断面図であり、図2(b)は、図2(a)のB部拡大図である。本実施形態の部品の固定治具1(以下、単に固定治具1と呼ぶ)は、各種トレイや搬送キャリア等の下側に配置されることで、各種トレイや搬送キャリア上に載置された部品100を固定(位置決め)するためのものである。
FIG. 1A is a plan view of a
これらの図に示されるように、固定治具1は、略平板状の保持部材10と、この保持部材10にマトリクス状に配置された永久磁石である磁石20と、を備えている。また、本実施形態において、部品100は、圧電振動子等の電子部品が内部に収容されたセラミックス製のパッケージ100aと、パッケージ100aの開口部を覆うようにパッケージ100a上に載置されるコバール製のリッド100bと、から構成されており、スポット溶接によってリッド100bがパッケージ100aに仮付けされた状態となっている。すなわち、固定治具1は、具体的には、強磁性体であるリッド100bを磁石20の磁力によって吸引することにより、リッド100bをパッケージ100a上に押しつけて位置決め固定すると共に、部品100全体を各種トレイや搬送キャリア上に押しつけて位置決め固定するものである。
As shown in these drawings, the
保持部材10は、略長方形の平板状に構成され、上面10a側に複数の収容凹部11が形成されている。この収容凹部11は、磁石20を内部に収容して所定の位置に保持するためのものであり、本実施形態では磁石20の形状に合わせた略直方体状の窪みとなっている。また、収容凹部11の底部には、略円形断面のアクセス孔12が設けられている。このアクセス孔12は、底面10b側から収容凹部11内にアクセスするためのものであり、収容凹部11内への磁石20の取り付け、取り外しを容易にするためのものである。
The
保持部材10の長手方向の両端近傍には、固定治具1を位置決めするための位置決め孔13、および保持部材10を架台等に固定するボルト等が挿通される挿通孔14がそれぞれ設けられている。また、保持部材10の幅方向の両端近傍に設けられた小孔15は、保持部材10の組み立て時の位置決めに使用されるものである。
In the vicinity of both ends in the longitudinal direction of the
保持部材10は、図2(b)に示されるように、複数の板を積層することで構成されている。具体的には、アクセス孔12が形成されたベース板10c上に、収容凹部11を構成する貫通孔16が形成された複数の薄板10dを積層し、これらをスポット溶接により接合することで、保持部材10は構成されている。また、本実施形態では、ベース板10cおよび薄板10dを、非磁性体であるSUS304から構成している。
As shown in FIG. 2B, the
収容凹部11は、図1(a)に示されるように、保持部材10の長手方向に沿って32個が一列に並べられると共に、この収容凹部11の列が幅方向に16列設けられている。換言すれば、収容凹部11は、保持部材10において32×16のマトリクス状に配置されている。なお、本実施形態では、挿通孔14と干渉する4箇所においては収容凹部11を各2個省略するようにしているため、実際には32×16−8=504個の収容凹部11が保持部材10に設けられている。
As shown in FIG. 1A, 32
これらの収容凹部11のうち、保持部材10の長手方向の両端部の2つずつを除いた内側の28×16=448個は、部品100の位置に対応して配置された吸引用収容凹部11aとなっている。すなわち、本実施形態の固定治具1は、第1の配列方向D1に28個、第2の配列方向D2に16個の28×16のマトリクス状に配列された448個の部品100(リッド100b)を、磁石20の磁力により個別に吸引して固定するように構成されている。また、保持部材10の長手方向の両端部における4×16−8=56個の収容凹部11は、固定治具1の周囲に生成される磁力線(磁場)の状態を調整する磁石20を配置するための調整用収容凹部11bとなっている。
Among these
磁石20は、上述のように収容凹部11内に収容されており、これにより、所定の位置に配置されている。従って、吸引用収容凹部11a内に収容された448個の磁石20は、部品100に対応する位置に配置され、部品100を実際に吸引するための吸引用磁石21となっている。また、調整用収容凹部11b内に収容された56個の磁石20は、磁力線の状態を調整するための調整用磁石22となっている。
The
図2(b)に示されるように、全ての磁石20は、それぞれ保持部材10の長手方向の一側(本実施形態では、図の右側)にN極を向けた状態で配置されている。換言すれば、全ての磁石20は、第1の配列方向D1の一側にN極を向けた状態で配置されている。そして、これらの磁石20のうち、吸引用磁石21は、部品100の配列範囲M内において各部品の略直下に位置するように配置されている。また、調整用磁石22は、部品100の配列範囲M外における適宜の位置に配置されている。
As shown in FIG. 2B, all the
図3(a)および(b)は、磁石20の外観を示した斜視図である。本実施形態では、図3(a)に示されるように、磁石20を略立方体状に構成している。すなわち、第1の配列方向D1の寸法(全長)L1と、部品100の第2の配列方向D2の寸法(全長)L2と、上下方向D3の寸法(全長)L3と、が略等しくなるようにしている。磁石20の形状をこのようにすることで、部品100を確実且つ安定的に固定すると共に、減磁を小さくすることが可能となる。より具体的には、磁石20のN極面20aとS極面20bを結ぶ方向(N極とS極を結ぶ方向、すなわち磁化方向)である第1の配列方向D1の寸法L1をなるべく短くすると共に、磁石20側と部品100側を結ぶ方向である上下方向D3の寸法L3をなるべく長くすることで、複数の磁石20により発生する磁力線を適正な状態とし、これにより、部品100の確実且つ安定的な保持(固定)と減磁の低減を両立させることが可能となる。
FIGS. 3A and 3B are perspective views showing the appearance of the
図4(a)は、従来使用されていた磁石23により発生する磁力線の状態を示した概略図であり、図4(b)は、本実施形態の磁石20により発生する磁力線の状態を示した概略図である。なお、これらの図において破線で示した磁力線の記載は、必ずしも正確ではない。図4(a)に示されるように、部品100の固定に従来使用されていた磁石23は、上下方向D3の寸法を短く(薄く)し、第1の配列方向D1の寸法を長くしたものが一般的であった。但し、磁石23をこのように構成した場合、磁極面であるN極面23aおよびS極面23b以外から発生する磁力線、すなわち自由磁極が増えるため、これによる減磁が大きくなるという問題があった。
FIG. 4A is a schematic diagram showing a state of magnetic lines of force generated by a conventionally used
また、従来の磁石23では、第1の配列方向D1の寸法を長くしたことにより、磁石23同士の間隔が狭まるため、互いに対向するN極面23aとS極面23bを繋ぐ磁力線が多く発生すると共に、第1の配列方向D1に並ぶ複数の磁石23が1つの細長い磁石として振る舞いやすくなっていた。すなわち、N極面23aおよびS極面23bから発生する磁力線は、部品100の吸引に有効に使用されることなく浪費され、N極面23aおよびS極面23b以外から発生する磁力線によって部品100を吸引することとなるため、吸引力が弱くなるだけでなく、さらに減磁が大きくなるという問題があった。
Further, in the
一方、図4(b)に示されるように、本実施形態の磁石20によれば、第1の配列方向D1の寸法L1を比較的短くし、上下方向D3の寸法L3を比較的長くしているため、磁極面であるN極面20aおよびS極面20bから発生する磁力線を増やすと共に、磁極面以外から発生する磁力線を減らすことが可能となっている。すなわち、自由磁極を減らすと共に、主としてN極面20aおよびS極面20bから発生する磁力線によって部品100を吸引することが可能となっている。
On the other hand, as shown in FIG. 4B, according to the
また、本実施形態の磁石20によれば、部品100を従来と同じピッチで配列した場合にも、磁石20同士の間隔を拡げることができるため、互いに対向するN極面20aとS極面20bを繋ぐ磁力線を減らすと共に、第1の配列方向D1に並ぶ複数の磁石20が1つの細長い磁石として振る舞いにくくすることが可能となっている。すなわち、互いに隣接する磁石20同士の干渉を低減し、個々の磁石20のN極面20aおよびS極面20bから発生する磁力線を有効に活用して部品100を吸引することが可能となっている。
Further, according to the
さらに、図示は省略するが、本実施形態の磁石20は、第1の配列方向D1の寸法L1を比較的短くし、上下方向D3の寸法L3を比較的長くしたことで、部品100(パッケージ100aとリッド100b)を溶接する際の熱の影響を受けにくいものとなっている。すなわち、第1の配列方向D1の寸法L1を短くすることで、部品100側から伝わる熱の受熱面積を減らすと共に、上下方向D3の寸法L3を長くすることで、熱が磁石20全体に伝わりにくくしており、これにより、熱による減磁が生じにくいようになっている。
Further, although not shown in the drawings, the
このように、本実施形態の磁石20は、従来の磁石23と比較して、経年減磁が小さいだけでなく熱による減磁も生じにくく、且つ個々の磁石20が適切な強さの吸引力を発生させることが可能となっている。すなわち、磁石20は、第1の配列方向D1に沿って配列された複数の部品100を複数の磁石20により吸引して固定するのに最適な形状となっている。
As described above, the
図3(a)に戻って、本実施形態の磁石20では、第1の配列方向D1の寸法L1と、部品100の第2の配列方向D2の寸法L2と、上下方向D3の寸法L3と、を略同一としているが、磁石20の寸法がこれに限定されるものでないことは言うまでもない。すなわち、寸法L1は、寸法L3以下、すなわち寸法L3と同一または寸法L3よりも短いものであれば、上述の効果を確実に奏することが可能である。また、寸法L1が寸法L3より長い場合であっても、寸法L3の110%以下であれば、上述の効果を十分に奏することができる。
Returning to FIG. 3A, in the
なお、寸法L1およびL3の具体的な数値および比率は、部品100の寸法形状、部品100の配列ピッチ、磁石20の着磁の程度および必要な吸引力等に応じて適宜に設定すればよい。また、寸法L2の具体的な数値または寸法L1、L3に対する寸法L2の比率は、特に限定されるものではなく、部品100の寸法形状等に応じて適宜に設定すればよいが、自由磁極の低減および受熱面積の縮小の観点からは、寸法L2は寸法L1以下であることが好ましい。
It should be noted that specific numerical values and ratios of the dimensions L1 and L3 may be appropriately set according to the size and shape of the
また、磁石20は、部品100を確実且つ安定的に吸引するためには、部品100のサイズと同等またはこれより小さいサイズであることが好ましい。従って、例えば表面実装型の圧電振動子等、部品100が微小な電子部品である場合には、寸法L1、L2、L3は、それぞれ5mm以下であることが好ましく、少なくとも寸法L1が2mm以下であればより好ましい。なお、本実施形態では、磁石20の寸法L1、L2、L3を、それぞれ2mmに設定している。
Further, the
また、磁石20の形状は、略立方体または直方体に限定されるものではなく、その他の適宜の形状を採用可能であることは言うまでもない。例えば、磁石20は、図3(b)に示されるように、円柱状に構成されるものであってもよく、図示は省略するが、円筒状や多角柱状等に構成されるものであってもよい。磁石20を柱状や筒状等に構成する場合、図3(b)に示されるように、磁化方向を軸心C方向とすることが好ましい。このようにすることで、着磁や異方性化を容易にすることができるため、磁石20を大型化することなく、必要な磁力を得ることが可能となる。また、磁極面であるN極面20aおよびS極面20bを略平面状とすることができるため、自由磁極を減らすと共にN極面20aおよびS極面20bから発生する磁力線を有効に活用して部品100を吸引することが可能となる。また、磁石20の磁化方向の判別を容易にすると共に、磁化方向の向きを定めて磁石20を固定配置することが容易となる。
Needless to say, the shape of the
また、磁石20の材質(種類)は、特に限定されるものではなく、フェライト磁石、ネオジム磁石、サマコバ磁石またはアルニコ磁石等、必要な吸引力や使用環境等に応じた適宜の磁石を採用可能であることは言うまでもない。
In addition, the material (type) of the
図5(a)および(b)は、調整用磁石22の作用を示した概略図である。上述のように本実施形態では、調整用磁石22を部品100の配列範囲Mの外側において、部品100に対応しない位置に配置することで、部品100に作用する磁力線の状態を調整するようにしている。そして、これにより、部品100をより確実且つ安定的に保持することを可能としている。
FIGS. 5A and 5B are schematic diagrams showing the operation of the adjusting
図5(a)は、調整用磁石22を配置しなかった場合の例を示している。上述のように本実施形態では、N極面20aおよびS極面20bから発生する磁力線が多くなるように磁石20を構成している。このため、調整用磁石22を配置せずに、部品100ごとに対応させて配置する吸引用磁石21のみを使用した場合、例えば第1の配列方向D1のS極側端(他側端)の吸引用磁石21に吸引されるリッド100bは、図5(a)に示されるように、遠方からの磁力線の集中するS極面20bに向けてより強く引き寄せられることとなる。同様に、図示は省略するが、第1の配列方向D1のN極側端(一側端)の吸引用磁石21に吸引されるリッド100bは、遠方に向かう磁力線の集中するN極面20aに向けてより強く引き寄せられることとなる。
FIG. 5A shows an example in which the adjusting
すると、例えば部品100全体が微小且つ軽量であるような場合には、配列範囲Mの両端に配置された部品100は磁力線に沿うように姿勢を変化させることとなり、この結果、図5(a)に示されるように、直立したような状態となることがあった。また、リッド100bの仮付けが十分でない場合には、パッケージ100aからリッド100bが外れてしまう可能性もあった。
Then, for example, when the
本実施形態では、このような現象を回避するために、調整用磁石22を配置するようにしている。すなわち、第1の配列方向D1の両側において部品100の配列範囲Mを超えて磁石20を配置することにより、図5(b)に示されるように、遠方を通過する磁力線の集中する最も端のS極面20b(N極面20a)を部品100から遠ざけると共に、配列範囲Mの端の部品100に作用する磁力線の状態を、これより内側の部品100に作用する磁力線と同等の状態とするようにしている。
In this embodiment, in order to avoid such a phenomenon, the adjusting
これにより、配列範囲M内に配置された全ての部品100を安定的に固定することが可能となる。すなわち、図5(b)に示されるように、対応する吸引用磁石21の磁力により、全てのリッド100bをパッケージ100aに向けて適切に押しつけることが可能となるため、パッケージ100aに対するリッド100bの位置がずれないように固定すると共に、部品100全体を固定することができる。
Thereby, it is possible to stably fix all the
なお、本実施形態では、吸引用磁石21および調整用磁石22を略同一の磁石20から構成すると共に、吸引用磁石21同士の間の距離(すなわち、部品100の配列ピッチ)P1と、吸引用磁石21と調整用磁石22の間の距離P2を略同一としているが、本発明はこれに限定されるものではない。すなわち、例えば調整用磁石22の強さや寸法形状を吸引用磁石21と異ならせたり、吸引用磁石21と調整用磁石22の間の距離P2を変更したりすることによって磁力線の状態を調整するようにしてもよい。また、本実施形態では、調整用磁石22を原則として第1の配列方向D1の両側にそれぞれ2個ずつ配置するようにしているが、調整用磁石22の個数を変更したり、調整用磁石22同士の間の距離P3を変更したりすることで、磁力線の状態を調整するようにしてもよい。
In the present embodiment, the
また、調整用磁石22に代えて、鉄、コバルトまたはニッケル等の強磁性体を配置するようにしてもよく、この場合にも調整用磁石22を配置した場合と同等の効果を得ることができる。本実施形態では、上述のように、保持部材10の挿通孔14と干渉する箇所においては、調整用磁石22を省略するようにしているが、挿通孔14に挿通されるボルト等が強磁性体であることから、調整用磁石22を省略していない列と同様に磁力線の状態を調整することが可能となっている。
Further, instead of the adjusting
図6は、調整用磁石22のもう1つの作用を示した概略図である。本実施形態では、磁石20の第1の配列方向D1の寸法L1、すなわち磁化方向の寸法をなるべく短くしていることから、磁石20は本来、自身の内部に生じる反磁界(図中における左向きの破線の矢印)の影響を受けやすいものとなっている。
FIG. 6 is a schematic view showing another operation of the adjusting
しかしながら、本実施形態では、複数の磁石20を磁化方向に沿って配列しているため、両端以外の各磁石20には両隣の磁石20の間に生じる正の磁界(図中における右向きの破線の矢印)が作用することとなり、反磁界の影響を低減することが可能となっている。特に、本実施形態では、調整用磁石22を設けることにより、全ての吸引用磁石21に正の磁界を作用させることが可能となっているため、吸引用磁石21に生じる反磁界に起因する不具合を低減することが可能となっている。
However, in the present embodiment, since the plurality of
図7(a)および(b)は、磁石20のその他の配置例を示した概略図であり、平面図である。上述の例では、磁石20の磁化方向(N極とS極を結ぶ方向)を第1の配列方向D1と略一致させる(略平行にする)ようにしているが、図7(a)に示されるように、磁化方向が、上下方向D3に直交する面内において第1の配列方向D1に対して角度を有する方向となる姿勢で磁石20を配置するようにしてもよい。
FIGS. 7A and 7B are schematic views showing other arrangement examples of the
このようにすることで、例えば矩形状の部品100の対角線方向と磁石20の磁化方向を略一致させる(略平行にする)、すなわち部品100の全長が最も長くなる方向と磁化方向を略一致させることが可能となるため、部品100をより確実且つ安定的に固定することができる場合がある。このように、磁石20は、必ずしも磁化方向を第1の配列方向D1と略一致させた姿勢で配置する必要はなく、部品100の形状や配列等に応じた適宜の方向に磁化方向を向けた(ずらした)姿勢で配置することができる。
By doing so, for example, the diagonal direction of the
なお、この場合においても、各磁石20は、第1の配列方向D1の一側にN極を向けた状態であることは言うまでもない。また、例えば図7(b)に示されるように、部品100の形状や配列等に応じた適宜の斜め方向を第1の配列方向D1と定義すれば、磁石20の磁化方向と第1の配列方向D1が略一致するとみなすことも可能である。
In this case as well, it goes without saying that each
このように配置した場合においても、磁石20を上述の形状とすることで、部品100を確実且つ安定的に固定すると共に、減磁を小さくすることが可能となる。なお、この場合の磁石20の寸法L1は、磁化方向の寸法であるが第1の配列方向D1の寸法とはならないこととなる。また、調整用磁石22を適宜に配置することによって、配列範囲M内に配置された全ての部品100を安定的に固定すると共に、反磁界の影響を低減することが可能となる。
Even in such a case, by making the
なお、磁石20をこのように配置した場合、図7(a)に示されるように、第1の配列方向D1の両側に加え、第2の配列方向D2の両側にも、調整用磁石22を配置するようにしてもよい。すなわち、この場合においても、調整用磁石22の配置は特に限定されるものではなく、磁力線の状態に応じて任意の位置に任意の個数を配置することができる。また、図示は省略するが、吸引用磁石21および調整用磁石22を、互いに磁化方向が異なる姿勢で配置するようにしてもよいし、位置ごとに磁化方向が異なるように姿勢を変化させて配置するようにしてもよい。
When the
次に、部品の固定装置2について説明する。 Next, the component fixing device 2 will be described.
図8(a)〜(c)は、本発明の実施の形態に係る部品の固定装置2を示した概略図である。なお、これらの図においては、部品の固定装置2の各部を簡略化して記載している。本実施形態の部品の固定装置2(以下、単に固定装置2と呼ぶ)は、部品100を搬送する搬送キャリア200を支持すると共に、搬送キャリア200上に載置された部品100(リッド100b)を固定(位置決め)するものである。
FIGS. 8A to 8C are schematic views showing a component fixing device 2 according to an embodiment of the present invention. In these drawings, each part of the component fixing device 2 is simplified. The component fixing device 2 according to the present embodiment (hereinafter simply referred to as a fixing device 2) supports a
図8(a)に示されるように、固定装置2は、固定治具1と、固定治具1が取り付けられる取付部材30と、取付部材30を昇降させる移動機構40と、搬送キャリア200を支持する支持部材50と、を備えている。また、固定装置2には、搬送キャリア200を搬入する搬入装置60と、搬送キャリア200を搬出する搬出装置70が接続されている。
As shown in FIG. 8A, the fixing device 2 supports the fixing
取付部材30は、支持部材50が搬送キャリア200を支持する支持面50aの下方に配置されている。固定治具1は、挿通孔14に挿通されるボルト等(図示両略)によって取付部材30に固定されるようになっている。また、取付部材30の上面には、位置決めピン32が上方に向けて突設されており、この位置決めピンが位置決め孔13に挿通されることで、固定治具1が位置決めされるようになっている。
The
移動機構40は、例えばエアシリンダやボールねじ伝動機構等の既知の構造により、取付部材30を昇降させるように構成されている。従って、固定治具1は取付部材30と共に移動することで、支持部材50の支持面50a上に載置された搬送キャリア200に対して近接離隔するようになっている。
The moving
支持部材50は、搬送キャリア200の端部を支持面50aにより下方から支持するものである。すなわち、支持面50aには、固定治具1が通過可能な開口(図示省略)が形成されており、移動機構40により上昇した固定治具1は、搬送キャリア200の下面に接触するようになっている。また、固定治具1の上昇に伴って、位置決めピン32が搬送キャリア200に設けられた位置決め孔202に挿通されることで、固定治具1に対して搬送キャリア200が位置決めされるようになっている。
The
搬入装置60および搬出装置70の構造は、特に限定されるものではなく、例えばベルトコンベヤ等であってもよいし、ロボットアーム等であってもよい。また、搬送キャリア200の搬入方向および搬出方向が特定の方向に限定されるものではないことは言うまでもない。
The structures of the carry-in
図8(b)および(c)は、固定装置2の動作を示している。固定装置2は、図8(b)に示されるように、固定治具1を下降させた状態を待機状態としている。そして、搬入装置60によって部品100を載置した搬送キャリア200が搬入された後に、図8(c)に示されるように、固定治具1を上昇させる。このとき、位置決めピン32が搬送キャリア200の位置決め孔202に挿通されることで、搬送キャリア200が固定治具1に対して位置決めされる。
FIGS. 8B and 8C show the operation of the fixing device 2. As shown in FIG. 8B, the fixing device 2 is in a standby state in which the fixing
この結果、固定治具1の備える吸引用磁石21がリッド100bを吸引可能な位置に配置されることとなり、これにより、図8(a)に示されるように、リッド100bがパッケージ100aに押しつけられて部品100が固定される。その後、図示は省略するが、リッド100bのシーム溶接等の所定の工程が行われる。所定の工程が完了した後は、固定治具1を下降させて部品100の固定を解除すると共に、位置決めピン32を搬送キャリア200の位置決め孔202から抜き取り、搬出装置70によって搬送キャリア200を搬出する。
As a result, the attracting
なお、移動機構40は、位置決めピン32を取付部材30とは独立して昇降可能なものであってもよい。すなわち、まず位置決めピン32のみを上昇させて搬送キャリアを位置決めした後に、固定治具1を上昇させて吸引用磁石21をリッド100bを吸引可能な位置に配置するようにしてもよい。また、支持部材50は、搬送キャリア200に固定治具1が直接接触しないように構成されるものであってもよい。
The moving
また、部品100を所定の配列で保持するトレイを支持部材50上に略恒常的に配置するようにし、部品100を固定装置2に対して搬入、搬出するようにしてもよい。さらにこの場合、移動機構40を省略して、常に部品100を吸引可能な位置に吸引用磁石21を配置しておくようにしてもよい。
Alternatively, a tray that holds the
次に、部品の固定搬送キャリア3について説明する。
Next, the component fixed
図9(a)および(b)は、本発明の実施の形態に係る部品の固定搬送キャリア3を示した概略図であり、固定搬送キャリア3の一部を示した断面図である。本実施形態の部品の固定搬送キャリア3(以下、単に固定搬送キャリア3と呼ぶ)は、部品100(リッド100b)を吸引用磁石21により吸引して固定(位置決め)した状態で、搬送するものである。
FIGS. 9A and 9B are schematic views showing a
図9(a)に示されるように、固定搬送キャリア3は、固定治具1と、固定治具1の保持部材10に重ねるようにして取り付けられる部品保持部材80と、を備えている。部品保持部材80は、略平板状の部材であり、固定治具1の保持部材10の上面10a側に取り付けられるようになっている。部品保持部材80の上面80aには、部品100を収容するための窪みである部品収容凹部81が、吸引用収容凹部11aに対応する位置(直上の位置)に形成されている。
As shown in FIG. 9A, the fixed
このように、固定治具1を搬送キャリアに組み込んで固定搬送キャリア3とすることにより、部品100をより安定的に保持して搬送することが可能となる。なお、部品保持部材80の保持部材10への取り付けは、例えばボルトおよびナットや係合等によるものであってもよいし、溶接や接着剤等によるものであってもよい。すなわち、固定治具1は、固定搬送キャリア3に着脱可能に組み込まれるものであってもよいし、そうでなくてもよい。また、部品保持部材80は、保持部材10と同様に複数の板を積層して構成されるものであってもよいし、1枚の板から構成されるものであってもよい。
Thus, by incorporating the fixing
図9(b)は、保持部材10を部品保持部材80として兼用するようにした場合の一例を示している。図9(b)に示されるように、例えば、保持部材10の底面10b側に開口するように収容凹部11を形成し、上面10a側に部品収容凹部81を形成するようにすることで、固定治具1のみから固定搬送キャリア3を構成することができる。このようにすることで、製造コストを削減することができる場合がある。なお、収容凹部11を保持部材10の上面10a側に開口するように形成し、その上に部品収容凹部81を設けるようにしてもよいことは言うまでもない。
FIG. 9B shows an example in which the holding
以上説明したように、本実施形態に係る部品の固定治具1は、部品100の配列方向(第1の配列方向D1)の一側にN極を向けた状態で配列方向に沿って配列される複数の磁石20と、磁石20を保持する保持部材10と、を備え、磁石20は、磁石20側と部品100側を結ぶ方向(上下方向D3)の寸法L3が、N極とS極を結ぶ方向(磁化方向)の寸法L1以上となる形状に構成されている。
As described above, the
このような構成とすることで、各種部品100を安定的且つ簡便に固定することが可能となる。すなわち、磁石20を複雑な形状としたり、鉄製のヨーク等を追加したりすることなく、個々の磁石20(吸引用磁石21)に適切な吸引力を発生させると共に、減磁を小さくすることができる。
With such a configuration, the
また、磁石20は、N極面20aおよびS極面20bが略平面状となっている。このようにすることで、自由磁極を減らすと共に、N極面20aおよびS極面20bから発生する磁力線を有効に活用して部品100を吸引することができる。また、磁石20の磁化方向の判別が容易になると共に、例えば収容凹部11の形状等によって磁石20の向きを容易に定めて配置することができるため、製造コストやメンテナンスコストを低減することができる。
Further, the
また、磁石20は、配列方向に沿って部品100よりも長い範囲にわたって配列されている。このようにすることで、部品100に作用する磁力線を適切な状態に調整すると共に、反磁界の影響を低減することが可能となるため、部品100を確実且つ安定的に固定することができる。
Moreover, the
また、磁石20は、部品100ごとに対応させた位置に配置される吸引用磁石21と、部品100の配列範囲M外において部品100に対応しない位置に配置される調整用磁石22と、を含んでいる。このようにすることで、部品100に作用する磁力線を適切な状態に調整すると共に、反磁界の影響を低減し、複数の部品100をそれぞれ対応する吸引用磁石21によって確実且つ安定的に固定することができる。
The
また、本実施形態に係る部品の固定装置2は、部品の固定治具1と、部品100を支持する支持部材50と、を備えている。このような構成とすることで、各種部品100を安定的且つ簡便に固定した状態で、各種工程を効率的に行うことが可能となる。
The component fixing device 2 according to the present embodiment includes a
また、部品の固定装置2は、部品100に対して近接離隔するように固定治具1を移動させる移動機構40を備えている。このようにすることで、部品100の固定および固定の解除を容易に切り替えることが可能となるため、部品100および搬送キャリア200のハンドリングを容易にし、部品100の生産性を向上させることができる。
In addition, the component fixing device 2 includes a moving
また、本実施形態に係る部品の固定搬送キャリア3は、固定治具1と、部品100を保持する部品保持部材80と、を備えている。このような構成とすることで、各種部品100を安定的且つ簡便に固定した状態で、効率的に搬送することが可能となる。
Further, the component fixed
また、保持部材10は、部品保持部材80として兼用されるものであってもよい。このようにすることで、部品の固定搬送キャリア3を簡素な構成とし、製造コストを削減することができる場合がある。
Further, the holding
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明の部品の固定治具および固定装置、ならびに固定搬送キャリアは、上記した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。 Although the embodiment of the present invention has been described above, the component fixing jig and the fixing device and the fixed transport carrier of the present invention are not limited to the above-described embodiment, and depart from the gist of the present invention. Of course, various modifications can be made within the range not to be performed.
例えば、上記実施形態では、パッケージ100aおよびリッド100bからなる部品100においてリッド100bを吸引して固定する例を示したが、部品100はこれに限定されるものではなく、その他の各種部品であってもよい。すなわち、部品100は、部品100全体が磁石20(吸引用磁石21)に吸引されることで、搬送キャリア200等に対して固定(位置決め)されるものであってもよい。
For example, in the above-described embodiment, the example in which the
また、保持部材10および部品保持部材80の形状は、上記実施形態において示した形状に限定されるものではなく、部品100の種類や製造工程等に応じた任意の形状を採用することができる。また、保持部材10は、複数の板を積層して構成されるものに限定されるものではなく、1枚の板から構成されるものであってもよい。また、保持部材10は、磁石20を収容凹部11内に収容することで保持するものに限定されるものではなく、例えば係合やクランプ、接着等、その他の既知の手法により磁石20を保持するものであってもよい。
Moreover, the shape of the holding
また、第1の配列方向D1および第2の配列方向D2は、水平面内の方向に限定されるものではなく、傾斜面内の方向や場合によっては垂直面内の方向であってもよい。すなわち、部品100の配列方向は、部品100の種類や製造工程に応じた任意の方向とすることができる。
Further, the first arrangement direction D1 and the second arrangement direction D2 are not limited to directions in a horizontal plane, and may be directions in an inclined plane or, in some cases, directions in a vertical plane. That is, the arrangement direction of the
また、上記実施形態では、1つの部品100に対して1つの吸引用磁石21を配置するようにした例を示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、部品100の種類や形状等に応じて、1つの部品100に対して複数の吸引用磁石21を配置するようにしてもよいし、複数の部品100に対して1つの吸引用磁石21を配置するようにしてもよい。また、上記実施形態では、調整用磁石22を設ける場合の例について説明したが、部品100の種類や形状等、または磁石20の種類や着磁の程度によっては、調整用磁石22を設けないようにしてもよい。
In the above embodiment, an example in which one
また、上記実施形態において示した作用および効果は、本発明から生じる最も好適な作用および効果を列挙したものに過ぎず、本発明による作用および効果は、これらに限定されるものではない。 In addition, the functions and effects shown in the above embodiment are merely a list of the most preferable functions and effects resulting from the present invention, and the functions and effects of the present invention are not limited to these.
本発明は、各種電子部品や電子機器だけでなく、その他の各種物品の製造や物流の分野において利用することができる。 The present invention can be used not only in various electronic components and electronic devices but also in the field of manufacturing and logistics of various other articles.
1 部品の固定治具
2 部品の固定装置
3 部品の固定搬送キャリア
10 保持部材
20 磁石
20a N極面
20b S極面
21 吸引用磁石
22 調整用磁石
40 移動機構
50 支持部材
80 部品保持部材
100 部品
D1 第1の配列方向
D3 上下方向
L1 第1の配列方向(N極とS極を結ぶ方向)の寸法
L3 上下方向(磁石側と部品側を結ぶ方向)の寸法
M 配列範囲
DESCRIPTION OF
Claims (8)
前記磁石を保持する保持部材と、を備え、
前記磁石は、前記磁石側と前記部品側を結ぶ方向の寸法が、N極とS極を結ぶ方向の寸法以上となる形状に構成されることを特徴とする、
部品の固定治具。 Arranged at intervals from each other so as to correspond to each of the plurality of parts along the arrangement direction with the N pole facing one side in the arrangement direction of the plurality of parts and the S pole facing the other side by a plurality of magnets dimension is that Do and 5mm or less connecting N pole and S pole,
A holding member for holding the magnet,
The magnet is configured such that the dimension in the direction connecting the magnet side and the component side is equal to or greater than the dimension in the direction connecting the N pole and the S pole.
Fixing jig for parts.
請求項1に記載の部品の固定治具。 The magnet is characterized in that the N pole face and the S pole face are substantially planar.
The component fixing jig according to claim 1.
請求項1または2に記載の部品の固定治具。 The magnets are arranged over a longer range than the components along the arrangement direction,
The component fixing jig according to claim 1 or 2.
請求項3に記載の部品の固定治具。 The magnet includes an attraction magnet disposed at a position corresponding to each component, and an adjustment magnet disposed at a position not corresponding to the component outside the arrangement range of the components. ,
The component fixing jig according to claim 3.
前記部品を支持する支持部材と、を備えることを特徴とする、
部品の固定装置。 The component fixing jig according to any one of claims 1 to 4,
A support member for supporting the component,
Parts fixing device.
請求項5に記載の部品の固定装置。 It is characterized by comprising a moving mechanism for moving the fixing jig so as to be close to and away from the component.
The component fixing device according to claim 5.
前記部品を保持する部品保持部材と、を備えることを特徴とする、
部品の固定搬送キャリア。 The component fixing jig according to any one of claims 1 to 4,
A component holding member for holding the component;
Fixed carrier for parts.
請求項7に記載の部品の固定搬送キャリア。 The holding member is also used as the component holding member,
A fixed carrier for parts according to claim 7.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013146154A JP6068281B2 (en) | 2013-07-12 | 2013-07-12 | Fixing jig and fixing device for parts, and fixed carrier |
KR1020130132248A KR101545712B1 (en) | 2013-07-12 | 2013-11-01 | Fixing jig, fixing device, and fixing and conveying carrier for parts |
CN201310566258.3A CN104275567B (en) | 2013-07-12 | 2013-11-14 | The stationary fixture of part, fixing device and fixed carrier |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013146154A JP6068281B2 (en) | 2013-07-12 | 2013-07-12 | Fixing jig and fixing device for parts, and fixed carrier |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015016537A JP2015016537A (en) | 2015-01-29 |
JP6068281B2 true JP6068281B2 (en) | 2017-01-25 |
Family
ID=52251171
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013146154A Active JP6068281B2 (en) | 2013-07-12 | 2013-07-12 | Fixing jig and fixing device for parts, and fixed carrier |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6068281B2 (en) |
KR (1) | KR101545712B1 (en) |
CN (1) | CN104275567B (en) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6818026B2 (en) * | 2016-07-07 | 2021-01-20 | 株式会社Fuji | Work-mounted system |
DE102016011747B4 (en) * | 2016-09-29 | 2018-06-07 | Mühlbauer Gmbh & Co. Kg | Apparatus and method for contactless transfer of at least partially ferromagnetic electronic components from a carrier to a substrate |
JP7249295B2 (en) * | 2020-01-10 | 2023-03-30 | 株式会社ニフコ | Seat cover mounting structure |
JP2022063968A (en) * | 2020-10-13 | 2022-04-25 | 株式会社Fuji | Work machine |
CN116946727B (en) * | 2023-09-21 | 2024-01-02 | 中科摩通(常州)智能制造股份有限公司 | Automatic magnetic steel conveying equipment for new energy motor and working method of automatic magnetic steel conveying equipment |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4860351A (en) * | 1986-11-05 | 1989-08-22 | Ibm Corporation | Tamper-resistant packaging for protection of information stored in electronic circuitry |
JP3194544B2 (en) * | 1992-09-18 | 2001-07-30 | 日本アビオニクス株式会社 | Jig for temporarily fixing cap of semiconductor package |
JP3187981B2 (en) * | 1992-09-25 | 2001-07-16 | 日本アビオニクス株式会社 | Seam joining equipment |
JPH0648983U (en) * | 1992-12-16 | 1994-07-05 | キンセキ株式会社 | Jig for sealing |
JP3416919B2 (en) * | 1994-12-08 | 2003-06-16 | 日本アビオニクス株式会社 | Jig for temporarily fixing cap of package containing chip and cap joining apparatus and method |
JPH08306813A (en) * | 1995-05-11 | 1996-11-22 | Nippon Avionics Co Ltd | Temporarily fixing cap of semiconductor package |
JP3701863B2 (en) * | 2000-11-30 | 2005-10-05 | 日本アビオニクス株式会社 | Ceramic substrate hermetic sealing method |
JP2005142214A (en) * | 2003-11-04 | 2005-06-02 | Daishinku Corp | Positioning jig and method for cap of package |
JP4742502B2 (en) * | 2004-02-23 | 2011-08-10 | ソニー株式会社 | Magnetic shield body, magnetic shield structure, and magnetic memory device |
KR20070013134A (en) * | 2005-07-25 | 2007-01-30 | 삼성전자주식회사 | Apparatus and method for manufacturing display device substrate |
JP2008010731A (en) * | 2006-06-30 | 2008-01-17 | Epson Toyocom Corp | Package sealing method and package sealing apparatus |
CN101515119A (en) * | 2009-04-03 | 2009-08-26 | 清华大学 | Silicon chip bench double-bench switching system employing air floatation plane motor |
JP5244701B2 (en) * | 2009-05-20 | 2013-07-24 | 株式会社 大昌電子 | Substrate holding and conveying jig, substrate pressing member, pressing member removing jig, metal mask plate, printed wiring board conveying method, wiring board manufacturing method with electronic components, and substrate conveying apparatus |
JP2010283983A (en) * | 2009-06-04 | 2010-12-16 | Katsuyuki Kamibayashi | Generation device |
-
2013
- 2013-07-12 JP JP2013146154A patent/JP6068281B2/en active Active
- 2013-11-01 KR KR1020130132248A patent/KR101545712B1/en active IP Right Grant
- 2013-11-14 CN CN201310566258.3A patent/CN104275567B/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015016537A (en) | 2015-01-29 |
KR101545712B1 (en) | 2015-08-19 |
CN104275567A (en) | 2015-01-14 |
KR20150007908A (en) | 2015-01-21 |
CN104275567B (en) | 2017-06-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6068281B2 (en) | Fixing jig and fixing device for parts, and fixed carrier | |
JP2012201451A (en) | Chain conveyor device | |
KR200414775Y1 (en) | apparatus for transfering die | |
JP2005217136A (en) | Aligning method and device of lamination electronic component | |
US20150228517A1 (en) | Universal process carrier for substrates | |
KR102174195B1 (en) | Magnetic levitation system, carrier for magnetic levitation system, and method of operating the magnetic levitation system | |
JP2011060829A (en) | Conveying carrier for flexible printed board, and printing apparatus for flexible printed board using the same | |
JP2017044579A (en) | Work appearance inspection device and work appearance inspection method | |
JP2012250323A (en) | Attracting device | |
JP2016003386A (en) | Deposition holder | |
JP2014218328A (en) | Metal mask sheet supply system | |
TW201932999A (en) | Method of aligning a carrier, apparatus for aligning a carrier, vacuum system, and mask carrier for carring a mask device | |
TW201720573A (en) | Processing device mounting table to be for holding the processed material by the magnetic force on the maintenance surface side | |
TWI278410B (en) | Workpiece transporting device | |
CN209973717U (en) | Magnetic suction assembly and magnetic conveying device | |
JP4836667B2 (en) | Thin plate container | |
JP6163459B2 (en) | Conveyor chain | |
JP3974816B2 (en) | Electronic device storage device | |
JP2014150089A (en) | Conveyance tray of strip substrate, presser jig thereof and conveyance method of them | |
JP2019153682A (en) | Chip carrier | |
JP5841739B2 (en) | Magnetic sheet transfer system, carrier and magnetic sheet transfer method | |
KR102530994B1 (en) | A device for capturing micro metal dust | |
JP2004273756A (en) | Device and method for fixing substrate | |
JP2004256250A (en) | Lifter magnet | |
TWI588929B (en) | Carrying device and its method of operation |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20151001 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20151001 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20151102 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160212 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160223 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160413 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20160607 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160907 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20160920 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161122 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161222 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6068281 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |