KR102174195B1 - Magnetic levitation system, carrier for magnetic levitation system, and method of operating the magnetic levitation system - Google Patents

Magnetic levitation system, carrier for magnetic levitation system, and method of operating the magnetic levitation system Download PDF

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Abstract

자기 부상 시스템이 제공된다. 자기 부상 시스템은 베이스 구조(110), 베이스 구조(110)에 대해 이동가능한 캐리어(120), 및 캐리어(120)를 베이스 구조(110)에 비접촉식으로 홀딩하도록 구성된 적어도 하나의 능동 자기 베어링(112)을 포함한다. 캐리어(120)는 베이스 구조(110)와 자기적으로 상호작용하도록 구성된 제1 캐리어 부분(121) 및 오브젝트(10)를 운반하도록 구성된 제2 캐리어 부분(122)을 포함하며, 제1 캐리어 부분(121)과 제2 캐리어 부분(122)은 가요성 연결부(125)를 통해 서로 연결된다. 또한, 자기 부상 시스템을 위한 캐리어뿐만 아니라 자기 부상 시스템을 동작시키는 방법이 설명된다.A magnetic levitation system is provided. The magnetic levitation system comprises a base structure 110, a carrier 120 movable relative to the base structure 110, and at least one active magnetic bearing 112 configured to non-contact holding the carrier 120 to the base structure 110. Includes. The carrier 120 comprises a first carrier portion 121 configured to magnetically interact with the base structure 110 and a second carrier portion 122 configured to carry the object 10, the first carrier portion ( 121 and the second carrier portion 122 are connected to each other through a flexible connection 125. In addition, a carrier for the magnetic levitation system as well as a method of operating the magnetic levitation system is described.

Description

자기 부상 시스템, 자기 부상 시스템을 위한 캐리어, 및 자기 부상 시스템을 동작시키는 방법Magnetic levitation system, carrier for magnetic levitation system, and method of operating the magnetic levitation system

[0001] 본 개시내용의 실시예들은, 캐리어를 비접촉식으로(contactlessly) 홀딩하고, 포지셔닝하고 그리고/또는 이송하도록 구성된 자기 부상 시스템(magnetic levitation system)에 관한 것이다. 추가의 실시예들은 자기 부상 시스템을 위한 캐리어뿐만 아니라 자기 부상 시스템을 동작시키는 방법들에 관한 것이다. 더 구체적으로, 진공 시스템을 통해 캐리어를 비접촉식으로 이송하도록 구성된 자기 부상 시스템이 설명되며, 캐리어는, 특히 본질적으로 수직 배향으로 오브젝트(object), 이를테면, 기판을 운반할 수 있다.[0001] Embodiments of the present disclosure relate to a magnetic levitation system configured to contactlessly hold, position and/or transport a carrier. Further embodiments relate to methods of operating the magnetic levitation system as well as a carrier for the magnetic levitation system. More specifically, a magnetic levitation system configured to non-contact transport of a carrier through a vacuum system is described, the carrier being capable of carrying an object, such as a substrate, in particular in an essentially vertical orientation.

[0002] 예컨대, 대기압 미만의 압력(sub-atmospheric pressure) 하에서 베이스 구조(base structure)에 대한 캐리어들의 비접촉식 이송을 위해, 자기 부상 시스템들이 활용될 수 있다. 캐리어에 의해 운반되는 오브젝트, 이를테면, 기판은 진공 시스템 내의 제1 포지션, 즉, 로딩 포지션으로부터 진공 시스템 내의 제2 포지션, 예컨대 증착 포지션으로 이송될 수 있다. 자기 부상 시스템들은 캐리어들의 비접촉식(contactless) 및 그에 따른 비마찰(frictionless) 이송을 가능하게 할 수 있고, 진공 프로세싱 시스템 내에서의 작은 입자들의 발생을 감소시킬 수 있다.[0002] For example, for non-contact transfer of carriers to a base structure under sub-atmospheric pressure, magnetic levitation systems may be utilized. An object, such as a substrate, carried by the carrier may be transferred from a first position in the vacuum system, ie a loading position, to a second position in the vacuum system, eg a deposition position. Magnetic levitation systems can enable contactless and thus frictionless transport of carriers and can reduce the occurrence of small particles in the vacuum processing system.

[0003] 자기 부상 시스템들은 통상적으로, 자기력들을 통해 미리 결정된 거리에서 캐리어를 베이스 구조에 홀딩하도록 구성된 하나 또는 그 초과의 능동적으로 제어되는 자기 베어링(magnetic bearing)들을 포함한다. 캐리어 포지션의 능동적인 제어는, 캐리어가 캐리어의 고유 주파수(natural frequency)들 중 하나로 진동할 때, 문제가 될 수 있다. 특히, 특정 조건들 하에서, 자기 부상 시스템의 능동 자기 베어링들에 의한 능동적인 제어는 캐리어의 고유 진동들을 증폭시킬 수 있으며, 이는 캐리어의 공진 여기(resonance excitation)를 초래할 수 있다.[0003] Magnetic levitation systems typically include one or more actively controlled magnetic bearings configured to hold a carrier in a base structure at a predetermined distance through magnetic forces. Active control of the carrier position can be a problem when the carrier vibrates at one of the carrier's natural frequencies. In particular, under certain conditions, active control by active magnetic bearings of the magnetic levitation system can amplify the natural vibrations of the carrier, which can lead to resonance excitation of the carrier.

[0004] 캐리어 진동들을 감소시키기 위해, 능동 자기 베어링들의 복잡한 제어 알고리즘들이 사용될 수 있다. 그러나, 자기 부상 시스템의 캐리어의 오실레이션(oscillation)들을 감소시키거나 회피하는 것은, 특히 캐리어의 오실레이션 거동(oscillatory behavior)이 캐리어뿐만 아니라 캐리어에 의해 운반되는 오브젝트의 사이즈, 형상 및 재료에 의존할 수 있기 때문에, 까다로울 수 있다. 캐리어의 오실레이션들은 캐리어의 이송 안정성 및 포지셔닝 정확도에 부정적으로 영향을 미칠 수 있다.[0004] To reduce carrier vibrations, complex control algorithms of active magnetic bearings can be used. However, reducing or avoiding the oscillations of the carrier of the magnetic levitation system, in particular, the oscillatory behavior of the carrier will depend on the carrier as well as the size, shape and material of the object carried by the carrier. Because it can be, it can be tricky. Carrier oscillations can negatively affect the carrier's transport stability and positioning accuracy.

[0005] 따라서, 자기 부상 시스템의 캐리어의 이송 및 포지셔닝 정확도를 개선하는 것이 유익할 것이다. 또한, 자기 부상 시스템의 베이스 구조에 정밀하고 정확하게 이송되어 홀딩되도록 적응된, 자기 부상 시스템을 위한 캐리어를 제공하는 것이 유익할 것이다.Therefore, it would be beneficial to improve the transport and positioning accuracy of the carrier of the magnetic levitation system. It would also be beneficial to provide a carrier for the magnetic levitation system, adapted to be accurately and accurately conveyed and held in the base structure of the magnetic levitation system.

[0006] 상기 내용을 고려하여, 자기 부상 시스템, 자기 부상 시스템을 위한 캐리어뿐만 아니라 자기 부상 시스템을 동작시키는 방법이 제공된다.In view of the above, there is provided a magnetic levitation system, a carrier for the magnetic levitation system, as well as a method of operating the magnetic levitation system.

[0007] 본 개시내용의 양상에 따르면, 자기 부상 시스템이 제공된다. 자기 부상 시스템은, 베이스 구조, 베이스 구조에 대해 이동가능한 캐리어, 및 캐리어를 베이스 구조에 비접촉식으로 홀딩하도록 구성된 적어도 하나의 능동 자기 베어링을 포함하며, 캐리어는 베이스 구조와 상호작용하도록 구성된 제1 캐리어 부분 및 오브젝트를 운반하도록 구성된 제2 캐리어 부분을 포함하고, 제1 캐리어 부분과 제2 캐리어 부분은 가요성 연결부(flexible connection)를 통해 서로 연결된다.[0007] According to an aspect of the present disclosure, a magnetic levitation system is provided. The magnetic levitation system includes a base structure, a carrier movable relative to the base structure, and at least one active magnetic bearing configured to non-contactly hold the carrier to the base structure, the carrier being a first carrier portion configured to interact with the base structure. And a second carrier portion configured to carry the object, wherein the first carrier portion and the second carrier portion are connected to each other through a flexible connection.

[0008] 본 개시내용의 다른 양상에 따르면, 자기 부상 시스템을 위한 캐리어가 제공된다. 캐리어는, 캐리어를 비접촉식으로 홀딩하고, 포지셔닝하고 그리고/또는 이송하도록 구성된 자기 부상 시스템의 베이스 구조와 상호작용하도록 구성된 제1 캐리어 부분, 및 오브젝트를 운반하도록 구성된 제2 캐리어 부분을 포함하며, 제1 캐리어 부분과 제2 캐리어 부분은 가요성 연결부를 통해 서로 연결된다.According to another aspect of the disclosure, a carrier for a magnetic levitation system is provided. The carrier comprises a first carrier portion configured to interact with a base structure of a magnetic levitation system configured to contactlessly hold, position and/or transport the carrier, and a second carrier portion configured to carry an object, the first The carrier part and the second carrier part are connected to each other via a flexible connection.

[0009] 본 개시내용의 또 다른 양상에 따르면, 진공 시스템이 제공된다. 진공 시스템은 진공 챔버, 진공 챔버 내에 배열된 증착 소스, 및 본원에서 설명되는 실시예들 중 임의의 실시예에 따른 자기 부상 시스템을 포함한다. 자기 부상 시스템은, 코팅될 오브젝트를 진공 챔버의 증착 영역 내로 운반하는 캐리어를 비접촉식으로 이송하도록 구성된다.According to another aspect of the disclosure, a vacuum system is provided. The vacuum system includes a vacuum chamber, a deposition source arranged within the vacuum chamber, and a magnetic levitation system according to any of the embodiments described herein. The magnetic levitation system is configured to contactlessly transport a carrier that carries an object to be coated into a deposition area of a vacuum chamber.

[0010] 본원에서 설명되는 또 다른 양상에 따르면, 자기 부상 시스템을 동작시키는 방법이 제공된다. 방법은, 가요성 연결부를 통해 서로 연결된 제1 캐리어 부분 및 제2 캐리어 부분을 포함하는 캐리어를 제공하는 단계, 운반될 오브젝트를 제2 캐리어 부분 상에 배열하는 단계, 및 적어도 하나의 능동 자기 베어링을 이용하여 캐리어를 베이스 구조에 비접촉식으로 홀딩하는 단계를 포함하며, 제1 캐리어 부분은 베이스 구조와 자기적으로 상호작용한다.[0010] According to another aspect described herein, a method of operating a magnetic levitation system is provided. The method comprises providing a carrier comprising a first carrier portion and a second carrier portion connected to each other via a flexible connection, arranging an object to be transported on a second carrier portion, and at least one active magnetic bearing. Holding the carrier in a non-contact manner with the base structure, wherein the first carrier portion magnetically interacts with the base structure.

[0011] 본 개시내용의 추가의 양상들, 장점들, 및 특징들은 상세한 설명 및 첨부 도면들로부터 명백하다.[0011] Additional aspects, advantages, and features of the present disclosure are apparent from the detailed description and accompanying drawings.

[0012] 본 개시내용의 상기 열거된 특징들이 상세히 이해될 수 있는 방식으로, 앞서 간략히 요약된 본 개시내용의 보다 구체적인 설명이 실시예들을 참조로 하여 이루어질 수 있다. 첨부 도면들은 본 개시내용의 실시예들에 관한 것이고, 하기에서 설명된다. 통상의 실시예들이 도면들에서 도시되며, 이하의 상세한 설명에서 상세히 설명된다.
[0013] 도 1은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 자기 부상 시스템의 개략적인 단면도이고;
[0014] 도 2는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 자기 부상 시스템의 개략적인 단면도이고;
[0015] 도 3은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 자기 부상 시스템의 개략적인 단면도이고;
[0016] 도 4는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 자기 부상 시스템의 개략적인 단면도이고;
[0017] 도 5a는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 자기 부상 시스템을 위한 캐리어의 개략적인 정면도이고;
[0018] 도 5b는 도 5a의 캐리어의 상부 부분의 개략적인 사시도이고;
[0019] 도 6은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 자기 부상 시스템을 위한 캐리어의 상부 부분의 개략적인 단면도이고; 그리고
[0020] 도 7은 본원에서 설명되는 실시예들에 따라 자기 부상 시스템을 동작시키는 방법을 예시하는 흐름도이다.[0012] In a way that the above-listed features of the present disclosure can be understood in detail, a more specific description of the present disclosure briefly summarized above may be made with reference to embodiments. The accompanying drawings relate to embodiments of the present disclosure and are described below. Typical embodiments are shown in the drawings and are described in detail in the detailed description below.
[0013] Figure 1 is a schematic cross-sectional view of a magnetic levitation system according to embodiments described herein;
[0014] Figure 2 is a schematic cross-sectional view of a magnetic levitation system according to embodiments described herein;
[0015] Figure 3 is a schematic cross-sectional view of a magnetic levitation system according to embodiments described herein;
[0016] Figure 4 is a schematic cross-sectional view of a magnetic levitation system according to embodiments described herein;
[0017] Figure 5A is a schematic front view of a carrier for a magnetic levitation system according to embodiments described herein;
5B is a schematic perspective view of the upper part of the carrier of FIG. 5A;
[0019] Figure 6 is a schematic cross-sectional view of an upper portion of a carrier for a magnetic levitation system according to embodiments described herein; And
7 is a flow diagram illustrating a method of operating a magnetic levitation system in accordance with embodiments described herein.

[0021] 이제, 다양한 실시예들이 상세하게 참조될 것이며, 다양한 실시예들의 하나 또는 그 초과의 예들은 도면들에서 예시된다. 각각의 예는 설명으로 제공되고, 제한으로서 의도되지 않는다. 예컨대, 일 실시예의 일부로서 예시되거나 또는 설명되는 피처(feature)들은, 또 다른 추가의 실시예를 산출하기 위해, 임의의 다른 실시예에 대해 또는 임의의 다른 실시예와 함께 사용될 수 있다. 본 개시내용은 그러한 변형들 및 변화들을 포함하도록 의도된다.[0021] Reference will now be made in detail to various embodiments, and one or more examples of various embodiments are illustrated in the drawings. Each example is provided by way of explanation and is not intended as a limitation. For example, features illustrated or described as part of one embodiment may be used for any other embodiment or in conjunction with any other embodiment, to yield another further embodiment. This disclosure is intended to cover such modifications and variations.

[0022] 도면들의 다음의 설명 내에서, 동일한 참조 번호들은 동일한 또는 유사한 컴포넌트들을 지칭한다. 일반적으로, 개별적인 실시예들에 대한 차이들만이 설명된다. 달리 명시되지 않는 한, 일 실시예의 부분 또는 양상의 설명은 다른 실시예의 대응하는 부분 또는 양상에 또한 적용된다.Within the following description of the drawings, the same reference numbers refer to the same or similar components. In general, only the differences for the individual embodiments are described. Unless otherwise specified, the description of a portion or aspect of one embodiment also applies to the corresponding portion or aspect of another embodiment.

[0023] 도 1은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 자기 부상 시스템(100)의 개략적인 단면도이다. 자기 부상 시스템(100)은 베이스 구조(110), 및 베이스 구조(110)에 비접촉식으로 홀딩되고 그리고 베이스 구조(110)에 대해 이동가능한 캐리어(120)를 포함한다. 베이스 구조(110)는 하나 또는 그 초과의 고정식(stationary) 트랙들 또는 레일들을 포함할 수 있으며, 자기 부상 시스템의 능동적으로 제어되는 자기 유닛들은 트랙들 또는 레일들에 제공될 수 있다.1 is a schematic cross-sectional view of a magnetic levitation system 100 according to embodiments described herein. The magnetic levitation system 100 includes a base structure 110 and a carrier 120 that is non-contactly held to the base structure 110 and is movable relative to the base structure 110. The base structure 110 may include one or more stationary tracks or rails, and actively controlled magnetic units of the magnetic levitation system may be provided on the tracks or rails.

[0024] 도 1에 도시된 실시예에서, 베이스 구조(110)는 캐리어(120) 위에 배열된 최상부 레일을 포함하며, 캐리어(120)는 최상부 레일 아래에 홀딩된다. 대안적으로 또는 부가적으로, 베이스 구조(110)는 캐리어 아래에 배열된 최하부 레일을 포함할 수 있으며, 캐리어는 최하부 레일 위에 홀딩된다. 대안적으로 또는 부가적으로, 베이스 구조(110)는 캐리어(120)의 일 측 또는 2개의 대향 측들에 배열된 적어도 하나의 측면 레일을 포함할 수 있다.In the embodiment shown in FIG. 1, the base structure 110 includes a top rail arranged above the carrier 120, the carrier 120 being held under the top rail. Alternatively or additionally, the base structure 110 may include a lowermost rail arranged below the carrier, the carrier being held above the lowermost rail. Alternatively or additionally, the base structure 110 may comprise at least one side rail arranged on one or two opposite sides of the carrier 120.

[0025] 자기 부상 시스템(100)은 캐리어(120)를 베이스 구조(110)에 비접촉식으로 홀딩하도록 구성된 적어도 하나의 능동 자기 베어링(112)을 포함한다. 복수의 능동 자기 베어링들이 제공될 수 있다. 적어도 하나의 능동 자기 베어링(112)은, 캐리어(120)가 베이스 구조(110)로부터 미리 결정된 거리에 비접촉식으로 홀딩되도록, 베이스 구조(110)와 캐리어(120) 사이에 작용하는 자기력을 발생시키도록 구성될 수 있다. 일부 실시예들에서, 적어도 하나의 능동 자기 베어링(112)은, 제1 방향(V)(통상적으로, 제1 방향(V)은 본질적으로 수직 방향임)에서의 최상부 레일과 캐리어 사이의 거리가 본질적으로 일정하게 유지될 수 있도록, 제1 방향(V)으로 작용하는 자기력을 발생시키도록 구성된다.The magnetic levitation system 100 includes at least one active magnetic bearing 112 configured to contactlessly hold the carrier 120 to the base structure 110. A plurality of active magnetic bearings may be provided. At least one active magnetic bearing 112 generates magnetic force acting between the base structure 110 and the carrier 120 so that the carrier 120 is held in a non-contact manner at a predetermined distance from the base structure 110. Can be configured. In some embodiments, at least one active magnetic bearing 112 has a distance between the top rail and the carrier in the first direction (V) (typically, the first direction (V) is essentially a vertical direction). It is configured to generate a magnetic force acting in the first direction V, so that it can be kept essentially constant.

[0026] 일부 실시예들에서, 적어도 하나의 능동 자기 베어링(112)은, 베이스 구조(110)에 배열된, 특히 베이스 구조(110)의 최상부 레일에 배열된 액추에이터(113)를 포함한다. 액추에이터(113)는 제어가능한 자석, 이를테면, 전자석을 포함할 수 있다. 액추에이터(113)는, 베이스 구조(110)와 캐리어(120) 사이의 미리 결정된 거리를 유지하기 위해 능동적으로 제어가능할 수 있다. 자기 대응부(magnetic counterpart)(118)는 캐리어(120), 특히 캐리어의 헤드 부분에 배열될 수 있다. 캐리어의 자기 대응부(118)는 베이스 구조의 액추에이터(113)와 자기적으로 상호작용할 수 있다.In some embodiments, at least one active magnetic bearing 112 comprises an actuator 113 arranged in the base structure 110, in particular arranged in the top rail of the base structure 110. Actuator 113 may comprise a controllable magnet, such as an electromagnet. The actuator 113 may be actively controllable to maintain a predetermined distance between the base structure 110 and the carrier 120. A magnetic counterpart 118 may be arranged on the carrier 120, in particular in the head portion of the carrier. The magnetic counterpart 118 of the carrier may magnetically interact with the actuator 113 of the base structure.

[0027] 예컨대, 액추에이터(113)에 인가되는 전류와 같은 출력 파라미터는, 캐리어와 베이스 구조 사이의 거리와 같은 입력 파라미터에 따라 제어될 수 있다. 특히, 베이스 구조(110)의 최상부 레일과 캐리어(120) 사이의 거리는 거리 센서에 의해 측정될 수 있고, 액추에이터(113)의 자기장 세기는 측정된 거리에 따라 설정될 수 있다. 특히, 미리 결정된 임계값을 초과하는 거리의 경우에 자기장 세기가 증가될 수 있고, 임계값 미만인 거리의 경우에 자기장 세기가 감소될 수 있다. 액추에이터(113)는 폐루프 또는 피드백 제어로 제어될 수 있다.[0027] For example, an output parameter such as a current applied to the actuator 113 may be controlled according to an input parameter such as a distance between the carrier and the base structure. In particular, the distance between the uppermost rail of the base structure 110 and the carrier 120 may be measured by a distance sensor, and the magnetic field strength of the actuator 113 may be set according to the measured distance. In particular, in the case of a distance exceeding a predetermined threshold value, the magnetic field strength may be increased, and in the case of a distance less than the threshold value, the magnetic field strength may be decreased. The actuator 113 may be controlled by closed loop or feedback control.

[0028] 캐리어(120)의 사이즈, 형상, 및 재료에 따라, 이른바 캐리어의 "고유모드(eigenmode)들" 또는 고유 진동들은, 능동 자기 베어링들에 의한 캐리어 포지션의 안정적이고 견고한 제어를 방해할 수 있다. 캐리어의 고유주파수(eigenfrequency)들에서의 이미 매우 작은 여기 진폭들은 캐리어의 큰 공진 진동(resonance vibration)들을 초래할 수 있다. 고유주파수들의 주파수 범위에 따라, 진동들은 능동 자기 베어링들에 의해 추가로 증폭될 수 있다. 자기 부상 동안 캐리어의 고유 진동들을 감소시키기 위해, 능동 자기 베어링들 및/또는 특정하게 형상화된 캐리어들의 복잡한 제어 알고리즘들이 활용될 수 있다.[0028] Depending on the size, shape, and material of the carrier 120, so-called "eigenmodes" or natural vibrations of the carrier may interfere with stable and robust control of the carrier position by active magnetic bearings. have. Already very small excitation amplitudes at the eigen frequencies of the carrier can lead to large resonance vibrations of the carrier. Depending on the frequency range of the natural frequencies, vibrations can be further amplified by active magnetic bearings. In order to reduce the natural vibrations of the carrier during magnetic levitation, complex control algorithms of active magnetic bearings and/or specially shaped carriers can be utilized.

[0029] 그러나, 위의 대책들은 캐리어의 정확한 비접촉식 포지셔닝 및 안정적인 이송을 가능하게 하기에는 충분하지 않거나 적합하지 않을 수 있다. 본원에서 설명되는 실시예들은 자기 부상 시스템들의 캐리어들의 이송 안정성 및 포지셔닝 정확도를 개선하도록 의도된다.However, the above measures may not be sufficient or suitable to enable accurate non-contact positioning and stable transport of the carrier. The embodiments described herein are intended to improve the positioning accuracy and transport stability of carriers of magnetic levitation systems.

[0030] 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 캐리어(120)는 가요성 연결부(125)를 통해 기계적으로 서로 연결된 제1 캐리어 부분(121) 및 제2 캐리어 부분(122)을 포함한다. 따라서, 적절한 가요성, 탄성, 복원력(restoring force), 질량, 재료 특성들 및 추가의 특징들을 갖는 가요성 연결부를 사용함으로써, 캐리어의 오실레이션 특성들이 적절하게 수정될 수 있다.According to embodiments described herein, the carrier 120 includes a first carrier portion 121 and a second carrier portion 122 that are mechanically connected to each other through a flexible connection 125. Thus, by using a flexible connection having appropriate flexibility, elasticity, restoring force, mass, material properties and additional features, the oscillation properties of the carrier can be appropriately modified.

[0031] 제1 캐리어 부분(121)은 베이스 구조(110)와 자기적으로 상호작용하도록 구성될 수 있다. 예컨대, 적어도 하나의 능동 자기 베어링(112)은 제1 캐리어 부분(121)과 베이스 구조(110) 사이에서 동작할 수 있다. 특히, 적어도 하나의 능동 자기 베어링(112)의 액추에이터(113)와 자기적으로 상호작용하는 자기 대응부(118)가 제1 캐리어 부분(121)에 제공될 수 있다. 대안적으로 또는 부가적으로, 자기 부상 시스템의 능동 자기 유닛들이 제1 캐리어 부분에 통합될 수 있다.The first carrier portion 121 may be configured to magnetically interact with the base structure 110. For example, at least one active magnetic bearing 112 may operate between the first carrier portion 121 and the base structure 110. In particular, a magnetic counterpart 118 that magnetically interacts with the actuator 113 of the at least one active magnetic bearing 112 may be provided on the first carrier portion 121. Alternatively or additionally, active magnetic units of the magnetic levitation system can be integrated in the first carrier part.

[0032] 제2 캐리어 부분(122)은 오브젝트(10)를 운반하도록 구성된다. 특히, 제2 캐리어 부분(122)은, 캐리어에 의해 운반되는 오브젝트(10)가 홀딩되는 홀딩 부분(11)을 포함할 수 있다. 제2 캐리어 부분(122)은 홀딩 부분(11)에 오브젝트(10)를 홀딩하도록 구성된 장착 디바이스를 더 포함할 수 있다.The second carrier portion 122 is configured to carry the object 10. In particular, the second carrier portion 122 may include a holding portion 11 in which the object 10 carried by the carrier is held. The second carrier portion 122 may further comprise a mounting device configured to hold the object 10 on the holding portion 11.

[0033] 특히, 제1 캐리어 부분(121)은 자기 부상 시스템의 자기 컴포넌트들, 예컨대 능동 및/또는 수동 자기 유닛들의 부분들을 포함할 수 있고, 제2 캐리어 부분(122)은 오브젝트(10)를 홀딩하기 위한 홀더로서 구성될 수 있다. 예컨대, 제2 캐리어 부분(122)은 코팅될 기판을 홀딩하기 위한 홀딩 표면을 갖는 플레이트 컴포넌트를 포함할 수 있다. 따라서, 베이스 구조와 상호작용하기 위한 컴포넌트들 및 캐리어에 오브젝트를 홀딩하기 위한 컴포넌트들은, 제1 캐리어 부분(121) 및 제2 캐리어 부분(122)을 제공함으로써, 서로 기능적으로 그리고 공간적으로 분리될 수 있다.[0033] In particular, the first carrier portion 121 may comprise portions of magnetic components of the magnetic levitation system, such as active and/or passive magnetic units, and the second carrier portion 122 carries the object 10. It can be configured as a holder for holding. For example, the second carrier portion 122 may comprise a plate component having a holding surface for holding a substrate to be coated. Thus, components for interacting with the base structure and components for holding an object on a carrier can be functionally and spatially separated from each other by providing a first carrier portion 121 and a second carrier portion 122. have.

[0034] 제1 캐리어 부분(121) 및 제2 캐리어 부분(122)은 가요성 연결부(125)에 의해 서로 연결된다. 가요성 연결부(125)는 캐리어(120)의 오실레이션 거동을 수정하고, 캐리어의 고유 진동들에 관하여 댐핑 효과(damping effect)를 제공한다. 제1 캐리어 부분(121)과 제2 캐리어 부분(122)은 가요성 연결부(125)를 통해 서로에 대해 오실레이팅할 수 있다. 제2 캐리어 부분(122)이 가요성 연결부(125)를 통해 제1 캐리어 부분(121)에 대해 이동할 수 있기 때문에, 공진 주파수들에서의 캐리어의 진동 피크들이 감쇠된다(attenuated).The first carrier portion 121 and the second carrier portion 122 are connected to each other by a flexible connection 125. The flexible connector 125 modifies the oscillation behavior of the carrier 120 and provides a damping effect with respect to the natural vibrations of the carrier. The first carrier portion 121 and the second carrier portion 122 may oscillate with respect to each other through the flexible connector 125. Because the second carrier portion 122 can move relative to the first carrier portion 121 via the flexible connection 125, the vibration peaks of the carrier at resonant frequencies are attenuated.

[0035] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에서, 가요성 연결부(125)는 가요성 재료, 특히 탄성 재료(126)를 포함한다. 탄성 재료의 탄성은, 댐핑될(damped), 캐리어의 고유모드들 및 고유 주파수들에 따라 선택될 수 있다.In some embodiments that may be combined with other embodiments described herein, the flexible connection 125 comprises a flexible material, particularly an elastic material 126. The elasticity of the elastic material can be selected according to the natural frequencies and the natural modes of the carrier to be damped.

[0036] 일부 구현들에서, 탄성 재료(126)는 고무, 바이톤(Viton) 및/또는 다른 탄성 시일링 재료를 포함한다. 일부 실시예들에서, 탄성 재료(126)는 절연체 재료이다. 바이톤을 포함하는 탄성 재료(126)가 진공 애플리케이션들에 특히 적합하다. 상기 재료들은 탄성이 있으며, 탁월한 약화 특성(dampening property)들을 제공한다. 따라서, 캐리어의 진동들이 효과적으로 약화될(dampened) 수 있다.In some implementations, the elastic material 126 includes rubber, Viton, and/or other elastic sealing material. In some embodiments, the elastic material 126 is an insulator material. An elastic material 126 comprising viton is particularly suitable for vacuum applications. These materials are elastic and provide excellent dampening properties. Thus, the vibrations of the carrier can be effectively dampened.

[0037] 도 1의 실시예에서, 탄성 재료(126)가 제1 캐리어 부분(121)과 제2 캐리어 부분(122) 사이에 배열되어서, 제1 캐리어 부분(121)과 제2 캐리어 부분(122)은 제1 방향(V)으로 서로에 대해 이동하거나 오실레이팅할 수 있다. 여기서, 탄성 재료(126)는 제1 캐리어 부분(121)과 제2 캐리어 부분(122) 사이의 갭을 부분적으로 또는 전체적으로 충전(fill)할 수 있다. 제1 방향(V)은, 적어도 하나의 능동 자기 베어링(112)이 캐리어(120)와 베이스 구조(110) 사이의 거리를 제어하는 방향에 대응할 수 있다. 특히, 제1 방향(V)은 본질적으로 수직 방향일 수 있다.In the embodiment of Figure 1, the elastic material 126 is arranged between the first carrier portion 121 and the second carrier portion 122, the first carrier portion 121 and the second carrier portion 122 ) May move or oscillate with respect to each other in the first direction V. Here, the elastic material 126 may partially or wholly fill the gap between the first carrier portion 121 and the second carrier portion 122. The first direction V may correspond to a direction in which at least one active magnetic bearing 112 controls a distance between the carrier 120 and the base structure 110. In particular, the first direction V may be an essentially vertical direction.

[0038] 특히, 일부 실시예들에서, 가요성 연결부(125)는 제1 방향(V)으로 탄성적으로 변형가능하며, 제1 방향은 본질적으로, 적어도 하나의 능동 자기 베어링(112)이 베이스 구조(110)와 캐리어(120) 사이의 거리를 제어하는 방향에 대응한다. 따라서, 적어도 하나의 능동 자기 베어링(112)에 의해 자극될 수 있는 캐리어의 진동들은, 가요성 연결부(125)를 통해 특히 효과적인 방식으로 약화된다.[0038] In particular, in some embodiments, the flexible connection 125 is elastically deformable in a first direction (V), the first direction is essentially, at least one active magnetic bearing 112 is a base Corresponds to the direction controlling the distance between the structure 110 and the carrier 120. Thus, vibrations of the carrier, which can be stimulated by the at least one active magnetic bearing 112, are attenuated in a particularly effective manner via the flexible connection 125.

[0039] 일부 구현들에서, 제1 캐리어 부분(121) 및 제2 캐리어 부분(122)은 주로 금속 컴포넌트들일 수 있고, 탄성 재료(126)는 비-금속 재료, 특히 절연체 재료일 수 있다. 따라서, 탄성 재료를 통해 제1 캐리어 부분(121)과 제2 캐리어 부분(122)을 연결시킴으로써, 제1 캐리어 부분(121)과 제2 캐리어 부분(122)은 열적으로 그리고/또는 전기적으로 서로 절연될 수 있다.In some implementations, the first carrier portion 121 and the second carrier portion 122 may be primarily metal components, and the elastic material 126 may be a non-metal material, particularly an insulator material. Thus, by connecting the first carrier portion 121 and the second carrier portion 122 through an elastic material, the first carrier portion 121 and the second carrier portion 122 are thermally and/or electrically insulated from each other. Can be.

[0040] 가요성 연결부(125)는 제1 캐리어 부분(121)을 제2 캐리어 부분(122)으로부터 열적으로 그리고/또는 전기적으로 절연시킬 수 있다. 특히, 가요성 연결부는 제1 캐리어 부분(121)과 제2 캐리어 부분(122) 사이에 전기 절연 및/또는 열적 배리어를 형성할 수 있다. 따라서, 제1 캐리어 부분(121)에 통합된 컴포넌트들로부터, 제2 캐리어 부분(122)에 의해 홀딩되는 오브젝트(10)를 향한 열 전달이 감소되거나 회피될 수 있다. 또한, 제2 캐리어 부분(122)으로부터 제1 캐리어 부분(121)을 향한 열 전달이 감소되거나 회피될 수 있다. 따라서, 제1 캐리어 부분(121)에 통합될 수 있는 민감한(delicate) 전자 컴포넌트들 및/또는 영구 자석들이, 예컨대, 오브젝트(10) 상의 코팅 재료의 증착 동안 발생될 수 있는 열로부터 보호될 수 있다.The flexible connection 125 may thermally and/or electrically insulate the first carrier portion 121 from the second carrier portion 122. In particular, the flexible connection may form an electrical insulation and/or thermal barrier between the first carrier portion 121 and the second carrier portion 122. Thus, from the components integrated in the first carrier portion 121, heat transfer towards the object 10 held by the second carrier portion 122 can be reduced or avoided. Further, heat transfer from the second carrier portion 122 to the first carrier portion 121 may be reduced or avoided. Thus, delicate electronic components and/or permanent magnets that may be incorporated into the first carrier portion 121 may be protected from heat that may be generated, for example, during the deposition of a coating material on the object 10. .

[0041] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에서, 제1 캐리어 부분(121)은, 캐리어(120)가 베이스 구조(110)에 비접촉식으로 홀딩될 때, 제2 캐리어 부분(122) 위에 전체적으로 또는 부분적으로 배열되는 캐리어 헤드이다. 특히, 제1 캐리어 부분(121)은 베이스 구조의 최상부 레일 아래에 비접촉식으로 홀딩될 수 있고, 제2 캐리어 부분(122)은 제1 캐리어 부분(121) 아래에 배열되고 그리고 가요성 연결부(125)에 의해 제1 캐리어 부분에 기계적으로 연결될 수 있다.[0041] In some embodiments that may be combined with other embodiments described herein, the first carrier portion 121 is, when the carrier 120 is held contactlessly to the base structure 110, the second It is a carrier head that is wholly or partially arranged over the carrier portion 122. In particular, the first carrier portion 121 may be held contactlessly under the top rail of the base structure, the second carrier portion 122 is arranged under the first carrier portion 121 and the flexible connection 125 It can be mechanically connected to the first carrier part by means of.

[0042] 캐리어(120)는 본질적으로 수직 방향으로 연장될 수 있고, 제1 캐리어 부분(121)은 제2 캐리어 부분(122) 위에 배열된다. 제2 캐리어 부분(122)은, 오브젝트(10), 예컨대 기판 또는 마스크를 본질적으로 수직 배향으로 홀딩하기 위한, 본질적으로 수직으로 배향된 홀딩 부분(11)을 포함할 수 있다.The carrier 120 may extend in an essentially vertical direction, and the first carrier portion 121 is arranged over the second carrier portion 122. The second carrier portion 122 may comprise an essentially vertically oriented holding portion 11 for holding an object 10, such as a substrate or mask, in an essentially vertical orientation.

[0043] 도 1에 개략적으로 도시된 바와 같이, 캐리어(120)는, 본질적으로 수직 배향으로 제2 캐리어 부분(122)의 홀딩 부분(11)에 기판을 홀딩하도록 구성된 기판 캐리어일 수 있다. 대안적으로, 캐리어(120)는 상이한 오브젝트, 예컨대 마스크 또는 차폐부를 운반하도록 구성될 수 있다.As schematically shown in FIG. 1, the carrier 120 may be a substrate carrier configured to hold the substrate in the holding portion 11 of the second carrier portion 122 in an essentially vertical orientation. Alternatively, the carrier 120 may be configured to carry a different object, such as a mask or shield.

[0044] 본원에서 사용되는 바와 같은 "기판 캐리어"는, 진공 챔버 내에서 기판 이송 경로를 따라 기판을 운반하도록 구성된 캐리어에 관한 것이다. 기판 캐리어는 기판 상에 코팅 재료를 증착하는 동안 기판을 홀딩할 수 있다. 일부 실시예들에서, 기판은, 예컨대 이송 및/또는 증착 동안에 비-수평 배향, 특히 본질적으로 수직 배향으로 기판 캐리어에 홀딩될 수 있다.“Substrate carrier” as used herein relates to a carrier configured to transport a substrate along a substrate transfer path within a vacuum chamber. The substrate carrier can hold the substrate while depositing the coating material on the substrate. In some embodiments, the substrate may be held on the substrate carrier in a non-horizontal orientation, particularly an essentially vertical orientation, such as during transfer and/or deposition.

[0045] 기판은, 진공 챔버를 통한 이송 동안, 진공 챔버 내에서의, 예컨대, 마스크에 대한 기판의 포지셔닝 동안, 그리고/또는 기판 상에서의 코팅 재료의 증착 동안, 제2 캐리어 부분의 홀딩 표면에 홀딩될 수 있다. 특히, 기판은, 예컨대, 정전 척(electrostatic chuck) 또는 자기 척(magnetic chuck)을 포함하는 장착 디바이스에 의해 제2 캐리어 부분에 홀딩될 수 있다.The substrate is held on the holding surface of the second carrier portion during transport through the vacuum chamber, in the vacuum chamber, for example during positioning of the substrate relative to the mask, and/or during deposition of the coating material on the substrate. Can be. In particular, the substrate can be held in the second carrier portion by a mounting device comprising, for example, an electrostatic chuck or a magnetic chuck.

[0046] 본원에서 사용되는 바와 같은 "마스크 캐리어"는 진공 챔버 내에서 마스크 이송 경로를 따른 마스크의 이송을 위해 마스크를 운반하도록 구성된 캐리어에 관한 것이다. 마스크 캐리어는, 이송 동안, 기판에 대한 정렬 동안 그리고/또는 기판 상에서의 증착 동안 마스크를 운반할 수 있다. 일부 실시예들에서, 마스크는 이송 및/또는 증착 동안 비-수평 배향, 특히 본질적으로 수직 배향으로 마스크 캐리어에 홀딩될 수 있다. 마스크는 장착 디바이스, 예컨대, 기계적 마운트(mechanic mount), 이를테면, 클램프, 정전 척 또는 자기 척에 의해 마스크 캐리어의 제2 캐리어 부분에 홀딩될 수 있다. 캐리어에 연결되거나 통합될 수 있는 다른 타입들의 장착 디바이스들이 사용될 수 있다.[0046] A "mask carrier" as used herein relates to a carrier configured to carry a mask for transport of the mask along the mask transport path within a vacuum chamber. The mask carrier may carry the mask during transport, during alignment to the substrate and/or during deposition on the substrate. In some embodiments, the mask may be held on the mask carrier during transport and/or deposition in a non-horizontal orientation, particularly an essentially vertical orientation. The mask may be held in the second carrier portion of the mask carrier by a mounting device, such as a mechanical mount, such as a clamp, electrostatic chuck or magnetic chuck. Other types of mounting devices that can be connected or integrated into the carrier can be used.

[0047] 마스크 캐리어의 제2 부분은 개구를 갖는 플레이트 바디를 포함할 수 있고, 마스크는, 마스크가 개구를 커버하도록, 개구의 원주방향 에지에 홀딩될 수 있다. 따라서, 코팅 재료는 마스크를 통해 기판을 향해 지향될 수 있다. 마스크는 에지 배제 마스크(edge exclusion mask) 또는 섀도우 마스크(shadow mask)일 수 있다. 에지 배제 마스크는, 기판의 코팅 동안 하나 또는 그 초과의 에지 구역들 상에 어떤 재료도 증착되지 않도록, 기판의 하나 또는 그 초과의 에지 구역들을 마스킹하도록 구성된 마스크이다. 섀도우 마스크는 기판 상에 증착될 복수의 피처들을 마스킹하도록 구성된 마스크이다. 예컨대, 섀도우 마스크는 복수의 작은 개구들, 예컨대, 작은 개구들의 그리드를 포함할 수 있다.[0047] The second portion of the mask carrier may comprise a plate body having an opening, and the mask may be held at the circumferential edge of the opening such that the mask covers the opening. Thus, the coating material can be directed towards the substrate through the mask. The mask may be an edge exclusion mask or a shadow mask. An edge exclusion mask is a mask configured to mask one or more edge regions of the substrate such that no material is deposited on the one or more edge regions during coating of the substrate. The shadow mask is a mask configured to mask a plurality of features to be deposited on a substrate. For example, the shadow mask may comprise a plurality of small openings, such as a grid of small openings.

[0048] 본원에서 사용되는 바와 같은 "본질적으로 수직 배향"은, 중력 벡터와 제2 캐리어 부분(122)의 홀딩 표면 사이의 각도가 20° 또는 그 미만, 구체적으로는 10° 또는 그 미만, 더 구체적으로는 5° 또는 그 미만인, 제2 캐리어 부분(122)의 배향으로서 이해될 수 있다. 따라서, 기판 또는 다른 오브젝트는, 본질적으로 수직 배향으로 홀딩 표면에 홀딩될 수 있다.[0048] As used herein, "essentially vertical orientation" means that the angle between the gravity vector and the holding surface of the second carrier portion 122 is 20° or less, specifically 10° or less, more Specifically, it can be understood as the orientation of the second carrier portion 122, which is 5° or less. Thus, the substrate or other object can be held on the holding surface in an essentially vertical orientation.

[0049] 제1 방향(V)이 반드시 본질적으로 수직 방향일 필요는 없다는 것이 주목되어야 한다. 예컨대, 일부 실시예들에서, 제1 방향은 비-수직 방향, 예컨대 본질적으로 수평 방향일 수 있다. 특히, 베이스 구조는, 캐리어가 본질적으로 수평 배향인 동안, 캐리어를 홀딩, 포지셔닝 및/또는 이송하도록 구성될 수 있다. 제2 캐리어 부분은, 오브젝트가 본질적으로 수평 배향으로 제2 캐리어 부분에 홀딩될 수 있도록, 본질적으로 수평 홀딩 표면을 포함할 수 있다. 캐리어가 본질적으로 수평 배향으로 베이스 구조에 홀딩될 때, 가요성 연결부는 수평 방향으로 탄성적으로 변형가능할 수 있고, 적어도 하나의 능동 자기 베어링은 상기 수평 방향에서의 베이스 구조와 캐리어 사이의 거리를 제어할 수 있다.It should be noted that the first direction V does not necessarily have to be an essentially vertical direction. For example, in some embodiments, the first direction can be a non-vertical direction, such as an essentially horizontal direction. In particular, the base structure can be configured to hold, position and/or transport the carrier while the carrier is in an essentially horizontal orientation. The second carrier portion may comprise an essentially horizontal holding surface such that the object can be held on the second carrier portion in an essentially horizontal orientation. When the carrier is held in the base structure in an essentially horizontal orientation, the flexible connection can be elastically deformable in the horizontal direction, and at least one active magnetic bearing controls the distance between the base structure and the carrier in the horizontal direction. can do.

[0050] 도 2는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 자기 부상 시스템(200)의 개략적인 단면도이다. 자기 부상 시스템(200)은 도 1에 도시된 자기 부상 시스템(100)의 특징들을 포함할 수 있어서, 위의 설명들이 참조될 수 있고, 이들은 여기서 반복되지 않는다.2 is a schematic cross-sectional view of a magnetic levitation system 200 according to embodiments described herein. The magnetic levitation system 200 may include the features of the magnetic levitation system 100 shown in FIG. 1, so that the above descriptions may be referred to, and these are not repeated here.

[0051] 자기 부상 시스템(200)은 고정식 최상부 레일을 포함하는 베이스 구조(110)를 포함하며, 고정식 최상부 레일은 그 최상부 레일 아래에 캐리어(120)를 비접촉식으로 홀딩하도록 구성된다. 제어가능한 액추에이터(113)를 갖는 적어도 하나의 능동 자기 베어링(112)은 캐리어(120)와 베이스 구조(110) 사이에 자기 인력(attractive magnetic force)을 제공한다.[0051] The magnetic levitation system 200 includes a base structure 110 comprising a stationary top rail, and the stationary top rail is configured to hold the carrier 120 in a non-contact manner under the top rail. At least one active magnetic bearing 112 with controllable actuator 113 provides an attractive magnetic force between carrier 120 and base structure 110.

[0052] 캐리어(120)는 자기 부상 시스템의 자기 컴포넌트들을 운반할 수 있는 제1 캐리어 부분(121), 및 오브젝트(10)를 운반하기 위한 홀딩 디바이스로서 구성될 수 있는 제2 캐리어 부분(122)을 포함한다. 제1 캐리어 부분(121)은 제2 캐리어 부분(122) 위에 배열된 캐리어 헤드로서 구성될 수 있다. 제1 캐리어 부분(121)과 제2 캐리어 부분(122)은 가요성 연결부를 통해 연결된다.[0052] The carrier 120 is a first carrier portion 121 capable of carrying magnetic components of the magnetic levitation system, and a second carrier portion 122 that can be configured as a holding device for carrying the object 10 Includes. The first carrier portion 121 can be configured as a carrier head arranged over the second carrier portion 122. The first carrier portion 121 and the second carrier portion 122 are connected via a flexible connection.

[0053] 제2 캐리어 부분(122)은 홀딩 부분(11) 및 홀딩 부분에 오브젝트(10)를 홀딩하도록 구성된 장착 디바이스(15)를 포함할 수 있다. 장착 디바이스(15)는 기계적 마운트, 예컨대 클램프, 및/또는 정전 척 또는 자기 척을 포함할 수 있다. 예컨대, 정전 척은 제2 캐리어 부분(122)의 바디에 통합될 수 있다. 정전 척은, 오브젝트의 표면 그리고/또는 홀딩 부분(11)의 표면에 유도될 수 있는 정전기력들에 의해 홀딩 부분(11)에 오브젝트(10)를 홀딩할 수 있다. 정전 척에 전력을 공급하기 위한 전압 소스, 예컨대 배터리가 제2 캐리어 부분(122)에 배열될 수 있다. 예컨대, 전압 소스는 제2 캐리어 부분(122)에 또는 제2 캐리어 부분(122) 내에 제공된 대기 인클로저(atmospheric enclosure) 내에 하우징될 수 있다.The second carrier portion 122 may include a holding portion 11 and a mounting device 15 configured to hold the object 10 in the holding portion. The mounting device 15 may comprise a mechanical mount, such as a clamp, and/or an electrostatic or magnetic chuck. For example, the electrostatic chuck may be integrated into the body of the second carrier portion 122. The electrostatic chuck may hold the object 10 on the holding portion 11 by electrostatic forces that may be induced on the surface of the object and/or the surface of the holding portion 11. A voltage source for supplying power to the electrostatic chuck, such as a battery, may be arranged in the second carrier portion 122. For example, the voltage source may be housed in the second carrier portion 122 or in an atmospheric enclosure provided within the second carrier portion 122.

[0054] 일부 구현들에서, 적어도 하나의 능동 자기 베어링(112)의 자기 대응부(118)는 제1 캐리어 부분(121)에 고정될 수 있다. 자기 대응부(118)는, 캐리어(120) 위의 베이스 구조(110)에 배열된 액추에이터(113)와 자기적으로 상호작용할 수 있다.In some implementations, the magnetic counterpart 118 of the at least one active magnetic bearing 112 may be secured to the first carrier portion 121. The magnetic counterpart 118 may magnetically interact with the actuator 113 arranged in the base structure 110 over the carrier 120.

[0055] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에서, 제1 방향(V)을 가로지르는, 특히 제1 방향(V)에 수직인 제2 방향(S)으로 캐리어의 측면 안정화(side stabilization)를 제공하기 위한 적어도 하나의 추가의 자기 디바이스(220)가 제공될 수 있다. 제2 방향(S)은 본질적으로 수평 방향, 특히 캐리어(120)의 두께 방향에 대응할 수 있다. 적어도 하나의 추가의 자기 디바이스(220)는 제1 캐리어 부분(121)에 고정된 적어도 하나의 자기 컴포넌트를 포함할 수 있다.[0055] In some embodiments that may be combined with other embodiments described herein, the carrier in a second direction (S) transverse to the first direction (V), in particular perpendicular to the first direction (V) At least one additional magnetic device 220 may be provided to provide side stabilization of the. The second direction S may correspond essentially to the horizontal direction, in particular the thickness direction of the carrier 120. At least one additional magnetic device 220 can include at least one magnetic component secured to the first carrier portion 121.

[0056] 적어도 하나의 추가의 자기 디바이스(220)는 수동 자기 안정화 디바이스(passive magnetic stabilizing device)일 수 있다. 특히, 적어도 하나의 추가의 자기 디바이스(220)는 캐리어에 고정된 제1 복수의 영구 자석들(218) 및 베이스 구조에 고정된 제2 복수의 영구 자석들(219)을 포함할 수 있다. 제1 복수의 영구 자석들(218)과 제2 복수의 영구 자석들(219) 사이의 자기력들은, 캐리어를 제2 방향(S)의 미리 결정된 포지션으로, 예컨대 측면 안내 레일로부터 미리 결정된 거리의 포지션으로 또는 2개의 측면 안내 레일들 사이의 중심 포지션으로 강제(urge)할 수 있다.[0056] At least one additional magnetic device 220 may be a passive magnetic stabilizing device. In particular, the at least one additional magnetic device 220 may include a first plurality of permanent magnets 218 fixed to the carrier and a second plurality of permanent magnets 219 fixed to the base structure. The magnetic forces between the first plurality of permanent magnets 218 and the second plurality of permanent magnets 219 bring the carrier to a predetermined position in the second direction S, for example a position of a predetermined distance from the side guide rail. Alternatively, it can be urged to a central position between the two side guide rails.

[0057] 도 2에 도시된 실시예에서, 추가의 자기 디바이스(220)는 제1 캐리어 부분(121)에 고정된 영구 자석들과 제1 캐리어 부분(121)의 양측들 상의 2개의 측면 안내 레일들 사이에 반발 자기력(repulsive magnetic force)을 제공한다. 따라서, 제1 캐리어 부분(121)은 측면 안내 레일들 사이의 중심 포지션에 비접촉식으로 홀딩될 수 있다. 대안적으로, 도 3에 개략적으로 도시된 바와 같이, 하부 및/또는 상부 측면 안정화 디바이스가 캐리어의 일 측에 제공될 수 있다.[0057] In the embodiment shown in FIG. 2, the additional magnetic device 220 includes permanent magnets fixed to the first carrier portion 121 and two side guide rails on both sides of the first carrier portion 121 It provides a repulsive magnetic force between them. Thus, the first carrier portion 121 can be held in a non-contact manner in a central position between the side guide rails. Alternatively, as schematically shown in FIG. 3, a lower and/or upper side stabilizing device may be provided on one side of the carrier.

[0058] 제2 캐리어 부분(122)은 가요성 연결부(125)를 통해 제1 캐리어 부분(121) 아래에 홀딩될 수 있다. 특히, 제1 캐리어 부분(121)과 제2 캐리어 부분(122) 사이에 갭(124)이 제공될 수 있으며, 가요성 연결부는 캐리어 부분들 사이의 갭(124)을 브리징함으로써, 제1 캐리어 부분(121)과 제2 캐리어 부분을 기계적으로 연결할 수 있다. 갭(124)은 제1 방향(V)으로, 즉, 적어도 하나의 능동 자기 베어링(112)의 제어 방향으로 연장될 수 있다. 캐리어의 진동 피크들이 감쇠될 수 있는데, 왜냐하면, 제1 및 제2 캐리어 부분들이 서로에 대해 탄성적으로 이동가능하기 때문이다.The second carrier portion 122 may be held under the first carrier portion 121 via the flexible connection 125. In particular, a gap 124 may be provided between the first carrier portion 121 and the second carrier portion 122, and the flexible connection portion is provided by bridging the gap 124 between the carrier portions, thereby The 121 and the second carrier portion can be mechanically connected. The gap 124 may extend in the first direction V, that is, in the control direction of at least one active magnetic bearing 112. The vibration peaks of the carrier can be attenuated, since the first and second carrier portions are resiliently movable relative to each other.

[0059] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에서, 가요성 연결부(125)는 제1 캐리어 부분(121)과 제2 캐리어 부분(122) 사이의 갭(124)을 브리징하는 브리징 컴포넌트(130)를 포함한다. 브리징 컴포넌트(130)는 강성 재료, 특히 비탄성 재료, 이를테면 금속을 포함할 수 있다. 특히, 브리징 컴포넌트(130)는 제1 캐리어 부분(121) 및 제2 캐리어 부분(122) 둘 모두에 연결된 플레이트 컴포넌트, 예컨대 어댑터 플레이트로서 구성될 수 있다.[0059] In some embodiments that may be combined with other embodiments described herein, the flexible connection 125 is a gap 124 between the first carrier portion 121 and the second carrier portion 122 And a bridging component 130 for bridging The bridging component 130 may comprise a rigid material, particularly an inelastic material, such as a metal. In particular, the bridging component 130 can be configured as a plate component, such as an adapter plate, connected to both the first carrier portion 121 and the second carrier portion 122.

[0060] 제1 탄성 컴포넌트(131)는 브리징 컴포넌트(130)와 제1 캐리어 부분(121) 사이에서 동작할 수 있고, 그리고/또는 제2 탄성 컴포넌트(132)는 브리징 컴포넌트(130)와 제2 캐리어 부분(122) 사이에서 동작할 수 있다. 제1 탄성 컴포넌트(131) 및 제2 탄성 컴포넌트(132)는 탄성적으로 변형가능한 재료, 예컨대 바이톤으로 제조될 수 있다.[0060] The first elastic component 131 may operate between the bridging component 130 and the first carrier portion 121, and/or the second elastic component 132 is the bridging component 130 and the second It can operate between the carrier portions 122. The first elastic component 131 and the second elastic component 132 may be made of an elastically deformable material, such as Viton.

[0061] 가요성 연결부(125)는 제1 방향(V)에서의 캐리어(120)의 탄성 변형을 가능하게 할 수 있다. 특히, 제1 방향(V)에서의 캐리어(120)의 진동은 제1 탄성 컴포넌트(131) 및/또는 제2 탄성 컴포넌트(132)에 작용하는 전단력(shearing force)을 초래할 수 있다. 탄성 컴포넌트들의 탄성은, 브리징 컴포넌트(130)가 제1 캐리어 부분(121) 및 제2 캐리어 부분(122)에 대해 약간 이동하는 것을 가능하게 할 수 있다. 진동 피크들이 특히 효과적인 방식으로 감쇠될 수 있다.The flexible connection part 125 may enable elastic deformation of the carrier 120 in the first direction V. In particular, the vibration of the carrier 120 in the first direction V may cause a shearing force acting on the first elastic component 131 and/or the second elastic component 132. The elasticity of the elastic components may allow the bridging component 130 to move slightly relative to the first carrier portion 121 and the second carrier portion 122. Vibration peaks can be attenuated in a particularly effective way.

[0062] 도 3은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 자기 부상 시스템(300)의 개략적인 단면도이다. 자기 부상 시스템(300)은 도 1에 도시된 자기 부상 시스템(100) 및/또는 도 2에 도시된 자기 부상 시스템(200)의 특징들을 포함할 수 있어서, 위의 설명들이 참조될 수 있고, 이들은 여기서 반복되지 않는다.3 is a schematic cross-sectional view of a magnetic levitation system 300 according to embodiments described herein. The magnetic levitation system 300 may include features of the magnetic levitation system 100 shown in FIG. 1 and/or the magnetic levitation system 200 shown in FIG. 2, so that the above descriptions may be referred to, which It does not repeat here.

[0063] 자기 부상 시스템(300)은 최상부 레일을 포함하는 베이스 구조(110)를 포함하며, 최상부 레일은 그 최상부 레일 아래에 캐리어(120)를 비접촉식으로 홀딩하도록 구성된다. 적어도 하나의 능동 자기 베어링(112)은 캐리어(120)와 베이스 구조(110) 사이에 자기 인력을 제공하며, 자기 인력은 제1 방향(V), 특히 본질적으로 수직 방향으로 작용할 수 있다.The magnetic levitation system 300 includes a base structure 110 comprising a top rail, the top rail being configured to hold the carrier 120 in a non-contact manner under the top rail. At least one active magnetic bearing 112 provides a magnetic attraction between the carrier 120 and the base structure 110, which magnetic attraction can act in a first direction (V), particularly in an essentially vertical direction.

[0064] 캐리어(120)는 자기 부상 시스템의 자기 컴포넌트들을 운반할 수 있는 제1 캐리어 부분(121), 및 오브젝트(10)를 운반하기 위한 홀딩 디바이스로서 구성되는 제2 캐리어 부분(122)을 포함한다. 제1 캐리어 부분(121)은 제2 캐리어 부분(122) 위에 배열된 캐리어 헤드로서 구성될 수 있다. 제1 캐리어 부분(121)과 제2 캐리어 부분(122)은 가요성 연결부를 통해 연결된다.[0064] The carrier 120 includes a first carrier portion 121 capable of carrying magnetic components of the magnetic levitation system, and a second carrier portion 122 configured as a holding device for carrying the object 10 do. The first carrier portion 121 can be configured as a carrier head arranged over the second carrier portion 122. The first carrier portion 121 and the second carrier portion 122 are connected via a flexible connection.

[0065] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에서, 추가의 가요성 연결부(128)를 통해 제2 캐리어 부분에 연결될 수 있는 제3 캐리어 부분(123)이 제공될 수 있다. 일부 구현들에서, 제3 캐리어 부분(123)은 제2 캐리어 부분(122) 아래에 배열된다. 추가의 가요성 연결부(128)는 본원에서 설명된 가요성 연결부들 중 임의의 가요성 연결부와 유사한 또는 동일한 방식으로 구성될 수 있다. 다른 실시예들에서, 각각의 가요성 연결부를 통해 제2 캐리어 부분에 연결된 또 다른 캐리어 부분들이 제공될 수 있다.[0065] In some embodiments that may be combined with other embodiments described herein, a third carrier portion 123 may be provided that may be connected to the second carrier portion via an additional flexible connection 128. I can. In some implementations, the third carrier portion 123 is arranged under the second carrier portion 122. The additional flexible connections 128 may be configured in a similar or identical manner to any of the flexible connections described herein. In other embodiments, further carrier portions may be provided connected to the second carrier portion via each flexible connection.

[0066] 제3 캐리어 부분(123)은 자기 부상 시스템의 자기 컴포넌트들을 운반할 수 있다. 예컨대, 측면 안정화 디바이스(320)의 적어도 하나의 능동 또는 수동 자기 컴포넌트는 제3 캐리어 부분(123)에 고정될 수 있다.[0066] The third carrier portion 123 may carry magnetic components of the magnetic levitation system. For example, at least one active or passive magnetic component of the side stabilization device 320 may be secured to the third carrier portion 123.

[0067] 대안적으로 또는 부가적으로, 캐리어 이송 경로를 따라 캐리어를 비접촉식으로 이송하도록 구성된 구동 유닛(330)의 적어도 하나의 자기 컴포넌트는 제3 캐리어 부분(123)에 고정될 수 있다. 구동 유닛(330)은 리니어 모터(linear motor)를 포함할 수 있다.[0067] Alternatively or additionally, at least one magnetic component of the drive unit 330 configured to contactlessly transport the carrier along the carrier transport path may be fixed to the third carrier portion 123. The driving unit 330 may include a linear motor.

[0068] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에서, 가요성 연결부(125)는 제1 브리징 컴포넌트(133) 및 제2 브리징 컴포넌트(134)를 포함한다. 제1 브리징 컴포넌트(133)는 캐리어 부분들의 제1 측 상에서 제1 캐리어 부분과 제2 캐리어 부분을 연결할 수 있고, 제2 브리징 컴포넌트(134)는 제1 측에 대향하는, 캐리어 부분들의 제2 측 상에서 제1 캐리어 부분과 제2 캐리어 부분을 연결할 수 있다. 특히, 제1 브리징 컴포넌트(133) 및 제2 브리징 컴포넌트(134)는, 제1 캐리어 부분(121)과 제2 캐리어 부분(122) 사이에 제공되는 갭(124)의 대향 측들 상에 배열될 수 있다.In some embodiments that may be combined with other embodiments described herein, the flexible connection 125 includes a first bridging component 133 and a second bridging component 134. The first bridging component 133 can connect the first carrier part and the second carrier part on the first side of the carrier parts, and the second bridging component 134 is opposite to the first side, the second side of the carrier parts. The first carrier part and the second carrier part may be connected on the top. In particular, the first bridging component 133 and the second bridging component 134 may be arranged on opposite sides of the gap 124 provided between the first carrier portion 121 and the second carrier portion 122. have.

[0069] 제1 탄성 컴포넌트들(131)은 제1 캐리어 부분(121)과 제1 브리징 컴포넌트 사이에서 그리고/또는 제1 캐리어 부분(121)과 제2 브리징 컴포넌트 사이에서 동작할 수 있다. 제2 탄성 컴포넌트들은 제2 캐리어 부분(122)과 제1 브리징 컴포넌트 사이에서 그리고/또는 제2 캐리어 부분(122)과 제2 브리징 컴포넌트 사이에서 동작할 수 있다. 제1 탄성 컴포넌트들(131) 및 제2 탄성 컴포넌트들(132)은 탄성적으로 변형가능한 재료, 예컨대 바이톤으로 제조될 수 있다.[0069] The first elastic components 131 can operate between the first carrier portion 121 and the first bridging component and/or between the first carrier portion 121 and the second bridging component. The second elastic components can operate between the second carrier portion 122 and the first bridging component and/or between the second carrier portion 122 and the second bridging component. The first elastic components 131 and the second elastic components 132 may be made of an elastically deformable material, such as Viton.

[0070] 제1 및 제2 탄성 컴포넌트들은 제1 및 제2 캐리어 부분들에 부착된 탄성 재료의 스트립들로서 구성될 수 있다.[0070] The first and second elastic components may be configured as strips of elastic material attached to the first and second carrier portions.

[0071] 제1 및 제2 브리징 컴포넌트들은 강성 재료, 특히 비탄성 재료, 이를테면 금속을 포함할 수 있다. 특히, 제1 및 제2 브리징 컴포넌트들은 제1 캐리어 부분(121) 및 제2 캐리어 부분(122) 둘 모두에 각각 연결된 비탄성 어댑터 플레이트들로서 구성될 수 있다. 제1 브리징 컴포넌트(133) 및 제2 브리징 컴포넌트(134)가 캐리어의 양측들 상에 배열되고 그리고 제1 방향(V)으로 제1 캐리어 부분 및 제2 캐리어 부분 둘 모두와 각각 오버랩할 때, 수평 벤딩 축을 중심으로 한 캐리어(120)의 벤딩이 방해되거나 방지될 수 있다. 따라서, 벤딩에 대해서는 저항성이 있지만 이와 동시에 제1 방향(V)으로는 가요성이 있는 안정적인 캐리어가 제공될 수 있다.[0071] The first and second bridging components may comprise a rigid material, particularly an inelastic material, such as a metal. In particular, the first and second bridging components can be configured as inelastic adapter plates respectively connected to both the first carrier portion 121 and the second carrier portion 122. When the first bridging component 133 and the second bridging component 134 are arranged on both sides of the carrier and overlap respectively with both the first carrier part and the second carrier part in the first direction (V), horizontal Bending of the carrier 120 about the bending axis may be hindered or prevented. Therefore, it is resistant to bending, but at the same time, a flexible and stable carrier can be provided in the first direction (V).

[0072] 제1 방향(V)에서의 캐리어(120)의 진동들은 제1 탄성 컴포넌트들(131) 및/또는 제2 탄성 컴포넌트들(132)에 대해 전단 변형(shearing strain)을 초래할 수 있다. 탄성 컴포넌트들의 탄성 편향(elastic deflection)으로 인한 제1 캐리어 부분과 제2 캐리어 부분 사이의 상대적 이동은 캐리어의 진동 피크들을 감쇠시킬 수 있고, 벤딩에 대해 저항성이 있는 안정적인 캐리어가 제공될 수 있다.[0072] Vibrations of the carrier 120 in the first direction V may cause shearing strain with respect to the first elastic components 131 and/or the second elastic components 132. The relative movement between the first carrier portion and the second carrier portion due to the elastic deflection of the elastic components may attenuate the vibration peaks of the carrier, and a stable carrier that is resistant to bending may be provided.

[0073] 도 4는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 자기 부상 시스템(400)의 개략적인 단면도이다. 자기 부상 시스템(400)은 이전에 설명된 자기 부상 시스템들 중 임의의 자기 부상 시스템의 특징들을 포함할 수 있어서, 위의 설명들이 참조될 수 있고, 이들은 여기서 반복되지 않는다.4 is a schematic cross-sectional view of a magnetic levitation system 400 according to embodiments described herein. The magnetic levitation system 400 may include features of any of the previously described magnetic levitation systems, such that the above descriptions may be referred to, and these are not repeated herein.

[0074] 자기 부상 시스템(400)은, 도 3에 도시된 자기 부상 시스템(300)의 가요성 연결부와 유사한 가요성 연결부(125)를 통해 서로 연결되는 제1 캐리어 부분(121) 및 제2 캐리어 부분(122)을 갖는 캐리어(120)를 포함한다.[0074] The magnetic levitation system 400 includes a first carrier portion 121 and a second carrier connected to each other through a flexible connection 125 similar to the flexible connection of the magnetic levitation system 300 shown in FIG. 3. And a carrier 120 having a portion 122.

[0075] 특히, 제1 방향(V)에서 제1 캐리어 부분(121)과 제2 캐리어 부분(122) 사이에 갭(124)이 제공된다. 제1 캐리어 부분(121)과 제2 캐리어 부분(122)을 서로 연결시키는 브리징 컴포넌트들이 갭(124)의 2개의 대향 측들 상에 제공된다. 브리징 컴포넌트들은 각각 강성 재료로 제조된 어댑터 플레이트들일 수 있다. 제1 방향(V)에서의 연결의 가요성을 제공하기 위해, 탄성 컴포넌트들이 브리징 컴포넌트들과 캐리어 부분들 사이에 제공될 수 있다.In particular, a gap 124 is provided between the first carrier portion 121 and the second carrier portion 122 in the first direction (V). Bridging components connecting the first carrier portion 121 and the second carrier portion 122 to each other are provided on two opposite sides of the gap 124. Each of the bridging components may be adapter plates made of a rigid material. In order to provide the flexibility of the connection in the first direction V, elastic components can be provided between the bridging components and the carrier parts.

[0076] 도 4에 개략적으로 도시된 바와 같이, 제1 브리징 컴포넌트(133)는 캐리어 부분들의 제1 측 상에 제공될 수 있고, 제2 브리징 컴포넌트(134)는 제1 측에 대향하는, 캐리어 부분들의 제2 측 상에 제공될 수 있다. 제1 탄성 컴포넌트들(131)은 제1 캐리어 부분(121)과 제1 브리징 컴포넌트(133) 사이에 그리고/또는 제1 캐리어 부분(121)과 제2 브리징 컴포넌트(134) 사이에 배열될 수 있다. 제2 탄성 컴포넌트들(132)은 제2 캐리어 부분(122)과 제1 브리징 컴포넌트(133) 사이에 그리고/또는 제2 캐리어 부분(122)과 제2 브리징 컴포넌트(134) 사이에 배열될 수 있다. 따라서, 브리징 컴포넌트들은, 탄성 컴포넌트들이 전단력들에 의해 탄성적으로 변형될 때, 제1 방향(V)으로 제1 캐리어 부분(121)에 대해 그리고/또는 제2 캐리어 부분(122)에 대해 약간 이동할 수 있다.As schematically shown in FIG. 4, a first bridging component 133 may be provided on the first side of the carrier portions, and the second bridging component 134 is opposite to the first side. It can be provided on the second side of the parts. The first elastic components 131 may be arranged between the first carrier portion 121 and the first bridging component 133 and/or between the first carrier portion 121 and the second bridging component 134 . The second elastic components 132 may be arranged between the second carrier portion 122 and the first bridging component 133 and/or between the second carrier portion 122 and the second bridging component 134 . Thus, the bridging components move slightly with respect to the first carrier part 121 and/or with respect to the second carrier part 122 in the first direction (V) when the elastic components are elastically deformed by shear forces. I can.

[0077] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에서, 가요성 연결부(125)는 클램핑 연결부일 수 있다. 특히, 제1 캐리어 부분(121) 및 제2 캐리어 부분(122)은, 제1 및 제2 캐리어 부분들의 대향 측들 상에 배열되는 제1 브리징 컴포넌트(133)와 제2 브리징 컴포넌트(134) 사이에 클램핑될 수 있다. 제1 브리징 컴포넌트(133) 및 제2 브리징 컴포넌트(134)를 대향 측들로부터 제1 및 제2 캐리어 부분들을 향해 가압함으로써, 제2 캐리어 부분(122)은 제1 및 제2 브리징 컴포넌트들에 의해 제공되는 클램핑력(clamping force)에 의해 제1 캐리어 부분(121) 아래에 홀딩될 수 있다.In some embodiments that may be combined with other embodiments described herein, the flexible connection 125 may be a clamping connection. In particular, the first carrier portion 121 and the second carrier portion 122 are between the first bridging component 133 and the second bridging component 134 arranged on opposite sides of the first and second carrier portions. Can be clamped. By pressing the first bridging component 133 and the second bridging component 134 from opposite sides towards the first and second carrier portions, the second carrier portion 122 is provided by the first and second bridging components. It may be held under the first carrier portion 121 by a clamping force.

[0078] 일부 구현들에서, 제1 브리징 컴포넌트(133) 및 제2 브리징 컴포넌트(134)를 대향 측들로부터 제1 캐리어 부분(121) 및 제2 캐리어 부분(122)을 향해 가압하기 위한 연결 엘리먼트들이 제공될 수 있다. 예컨대, 연결 엘리먼트들은 스크루들, 볼트들, 핀들, 로드(rod)들, 또는 유사한 엘리먼트들 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.[0078] In some implementations, connecting elements for pressing the first bridging component 133 and the second bridging component 134 from opposite sides toward the first carrier portion 121 and the second carrier portion 122 are Can be provided. For example, the connecting elements may include at least one of screws, bolts, pins, rods, or similar elements.

[0079] 도 4에 도시된 예시적인 실시예에서, 연결 엘리먼트들은, 제1 캐리어 부분(121) 및 제2 캐리어 부분(122)에 제공된 개구들을 통해 제1 브리징 컴포넌트(133)로부터 제2 브리징 컴포넌트(134)로 연장된다. 대안적으로 또는 부가적으로, 도 4에서 점선들로 도시된 바와 같이, 적어도 하나의 연결 엘리먼트가 제1 캐리어 부분과 제2 캐리어 부분 사이의 갭(124)을 통해 연장될 수 있다.[0079] In the exemplary embodiment shown in FIG. 4, the connecting elements are from the first bridging component 133 to the second bridging component through openings provided in the first carrier portion 121 and the second carrier portion 122. It is extended to (134). Alternatively or additionally, as shown by dotted lines in FIG. 4, at least one connecting element may extend through the gap 124 between the first and second carrier portions.

[0080] 제1 탄성 컴포넌트들(131) 및/또는 제2 탄성 컴포넌트들(132)은 연결 엘리먼트들에 의해 관통되는 탄성 링들로서 구성될 수 있다. 제1 탄성 컴포넌트들(131)은, 이를테면, 제1 캐리어 부분(121)에 제공된 개구들과 정렬되도록, 제1 캐리어 부분(121)의 대향 측 표면들 상에 놓일 수 있다. 제2 탄성 컴포넌트들(132)은, 이를테면, 제2 캐리어 부분(122)에 제공된 개구들과 정렬되도록, 제2 캐리어 부분(122)의 대향 측 표면들 상에 놓일 수 있다. 대안적으로, 제1 탄성 컴포넌트들(131) 및 제2 탄성 컴포넌트들(132)은, 제1 및 제2 캐리어 부분들의 측 표면들 상에 제공된 탄성 재료의 스트립들로서 구성될 수 있다.[0080] The first elastic components 131 and/or the second elastic components 132 may be configured as elastic rings pierced by connecting elements. The first elastic components 131 may lie on opposite side surfaces of the first carrier portion 121, such as to be aligned with the openings provided in the first carrier portion 121. The second elastic components 132 can lie on opposite side surfaces of the second carrier portion 122, such as to be aligned with the openings provided in the second carrier portion 122. Alternatively, the first elastic components 131 and the second elastic components 132 may be configured as strips of elastic material provided on the side surfaces of the first and second carrier portions.

[0081] 제1 및 제2 브리징 컴포넌트들이 캐리어 부분들의 양측들 상에 배열되고 그리고 제1 방향(V)으로 제1 캐리어 부분 및 제2 캐리어 부분 둘 모두와 각각 오버랩할 때, 수평 벤딩 축을 중심으로 한 캐리어(120)의 벤딩이 방지될 수 있다. 따라서, 벤딩에 대해서는 저항성이 있지만 이와 동시에 제1 방향(V)으로 가요성이 있는 안정적인 캐리어가 제공될 수 있다.[0081] When the first and second bridging components are arranged on both sides of the carrier portions and overlap respectively with both the first carrier portion and the second carrier portion in a first direction (V), about a horizontal bending axis Bending of one carrier 120 may be prevented. Accordingly, a stable carrier that is resistant to bending but is flexible in the first direction (V) can be provided at the same time.

[0082] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에서, 캐리어 이송 경로를 따라 캐리어(120)를 비접촉식으로 이동시키도록 구성된 구동 유닛(330)이 제공될 수 있다. 구동 유닛(330)은, 예컨대 도 4의 도면용지 면(paper plane)에 수직하는 제3 방향으로 캐리어를 비접촉식으로 이송하도록 구성될 수 있다. 구동 유닛(330)은 캐리어에 작용하는 자기력들에 의해 캐리어를 이송할 수 있다. 예컨대, 구동 유닛(330)은 리니어 모터를 포함할 수 있다. 구동 유닛(330)은 캐리어에 제공된 자기 대응부와 자기적으로 상호작용할 수 있다. 자기 대응부는 영구 자석들의 하나 또는 그 초과의 어레이들을 포함할 수 있다.In some embodiments that may be combined with other embodiments described herein, a drive unit 330 configured to non-contactly move the carrier 120 along the carrier transport path may be provided. The drive unit 330 may be configured to non-contactly transfer the carrier in a third direction perpendicular to the paper plane of FIG. 4, for example. The driving unit 330 may transport the carrier by magnetic forces acting on the carrier. For example, the driving unit 330 may include a linear motor. The drive unit 330 may magnetically interact with a magnetic counterpart provided on the carrier. The magnetic counterpart may comprise one or more arrays of permanent magnets.

[0083] 일부 실시예들에서, 구동 유닛(330)은 캐리어 아래에 배열되는 베이스 구조(110)의 최하부 레일에 제공될 수 있다. 도 4의 실시예에서, 베이스 구조(110)의 최상부 레일은 베이스 구조(110)에 캐리어를 비접촉식으로 홀딩하기 위한 홀딩력(holding force)의 적어도 일부를 제공하는 능동 자기 베어링을 포함하고, 베이스 구조(110)의 최하부 레일은 캐리어를 이송하도록 구성된 구동 유닛들(330)을 포함한다. 다른 실시예들에서, 구동 유닛들(330)의 포지션들 및/또는 능동 자기 베어링들의 포지션들은 스와핑되거나(swapped) 또는 다른 방식으로 변경될 수 있다.[0083] In some embodiments, the drive unit 330 may be provided on the lowermost rail of the base structure 110 arranged under the carrier. In the embodiment of FIG. 4, the top rail of the base structure 110 comprises an active magnetic bearing that provides at least a portion of the holding force for non-contact holding the carrier to the base structure 110, and the base structure ( The lowermost rail of 110) includes drive units 330 configured to transport the carrier. In other embodiments, the positions of the drive units 330 and/or the positions of the active magnetic bearings may be swapped or otherwise changed.

[0084] 도 5a는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 자기 부상 시스템의 캐리어(520)의 개략적인 정면도이다. 도 5b는, 캐리어(520)의 부분 단면을 또한 도시하는, 도 5a의 캐리어(520)의 상부 부분의 개략적인 사시도이다. 캐리어(520)는 이전에 설명된 실시예들의 특징들을 포함할 수 있고, 이들은 여기서 반복되지 않는다.5A is a schematic front view of a carrier 520 of a magnetic levitation system according to embodiments described herein. 5B is a schematic perspective view of the upper portion of the carrier 520 of FIG. 5A, also showing a partial cross-section of the carrier 520. The carrier 520 may include features of the previously described embodiments, which are not repeated here.

[0085] 캐리어(520)는 본원에서 설명되는 실시예들 중 임의의 실시예의 베이스 구조에 비접촉식으로 홀딩될 수 있다. 예컨대, 캐리어(520)는, 캐리어(520)가 베이스 구조로부터 미리 결정된 거리에서 홀딩 및 이송될 수 있도록, 능동 자기 베어링의 제어가능 액추에이터와 자기적으로 상호작용하도록 구성된 자기 대응부(118)를 포함한다.[0085] The carrier 520 may be held in a contactless manner to the base structure of any of the embodiments described herein. For example, the carrier 520 includes a magnetic counterpart 118 configured to magnetically interact with a controllable actuator of an active magnetic bearing so that the carrier 520 can be held and transported at a predetermined distance from the base structure. do.

[0086] 캐리어(520)는 가요성 연결부(125)를 통해 서로 연결되는 제1 캐리어 부분(121) 및 제2 캐리어 부분(122)을 포함한다. 가요성 연결부(125)는, 탄성 재료(126), 예컨대 바이톤으로 제조된 탄성 컴포넌트들을 포함할 수 있다. 제2 캐리어 부분(122)은 오브젝트, 이를테면, 기판을 운반하도록 구성된 홀딩 부분(11)을 포함한다.The carrier 520 includes a first carrier portion 121 and a second carrier portion 122 connected to each other through a flexible connection 125. The flexible connector 125 may include elastic components made of an elastic material 126, such as Viton. The second carrier portion 122 comprises a holding portion 11 configured to carry an object, such as a substrate.

[0087] 도 5a 및 도 5b에 개략적으로 도시된 바와 같이, 제1 방향(V)으로 연장되는 갭(124)이 제1 캐리어 부분(121)과 제2 캐리어 부분(122) 사이에 제공될 수 있다. 가요성 연결부(125)는 제1 방향(V)에서 제1 캐리어 부분(121)과 제2 캐리어 부분(122) 사이에 가요성을 제공한다.As schematically shown in FIGS. 5A and 5B, a gap 124 extending in the first direction V may be provided between the first carrier portion 121 and the second carrier portion 122. have. The flexible connection 125 provides flexibility between the first carrier portion 121 and the second carrier portion 122 in the first direction (V).

[0088] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에서, 제2 캐리어 부분은 1 ㎡ 또는 그 초과, 구체적으로는 5 ㎡ 또는 그 초과, 더 구체적으로는 10 ㎡ 또는 그 초과의 사이즈를 갖는 오브젝트를 운반하도록 구성될 수 있다. 예컨대, 제2 캐리어 부분(122)은 디스플레이 제조를 위한 대면적 기판을 운반하도록 구성될 수 있다. 따라서, 제2 캐리어 부분은 1 ㎡ 또는 그 초과, 구체적으로는 5 ㎡ 또는 그 초과, 더 구체적으로는 10 ㎡ 또는 그 초과의 면적을 갖는 홀딩 표면을 제공할 수 있다. 대형 캐리어들은 다수의 중요한 고유모드들을 갖는 경향이 있다. 캐리어를, 가요성 연결부들을 통해 서로 연결되는 2개 또는 그 초과의 부분들로 분리하는 것은, 캐리어의 고유 주파수들에서의 캐리어의 오실레이션들을 상당히 댐핑시킬 수 있다.[0088] In some embodiments that may be combined with other embodiments described herein, the second carrier portion is 1 m 2 or more, specifically 5 m 2 or more, more specifically 10 m 2 or more. It can be configured to carry objects with excess size. For example, the second carrier portion 122 can be configured to carry a large area substrate for display manufacturing. Thus, the second carrier portion can provide a holding surface having an area of 1 m 2 or more, specifically 5 m 2 or more, more specifically 10 m 2 or more. Large carriers tend to have a number of important eigenmodes. Separating the carrier into two or more parts that are connected to each other via flexible connections can significantly dampen the oscillations of the carrier at its natural frequencies.

[0089] 가요성 연결부(125)는 제1 캐리어 부분(121) 및 제2 캐리어 부분(122)에 각각 연결되는 복수의 브리징 컴포넌트들(130)을 포함할 수 있으며, 탄성 재료(126)가 브리징 컴포넌트들(130)과 제1 및 제2 캐리어 부분들 사이에 제공된다. 브리징 컴포넌트들(130)은, 제1 및 제2 캐리어 부분들의 양측들 상의, 제1 및 제2 캐리어 부분들에 본질적으로 평행하게 연장되는 플레이트들로서 구성될 수 있다. 각각의 플레이트는 제1 캐리어 부분(121) 및 제2 캐리어 부분(122) 둘 모두와 오버랩할 수 있다. 따라서, 가요성 연결부(125) 주변에서의 캐리어의 벤딩은 방지될 수 있는 한편, 제1 방향(V)에서의 제1 및 제2 캐리어 부분들 사이의 상대적 이동은 가능할 수 있다. 일부 실시예들에서, 가요성 연결부(125)는 제1 및 제2 캐리어 부분들의 양측들 상에 배열된 3개의, 5개의 또는 그 초과의 브리징 컴포넌트들을 포함한다. 예컨대, 가요성 연결부는 캐리어의 폭 방향으로 나란히(next to each other) 제공되는 3개 또는 그 초과의 브리징 컴포넌트들을 포함할 수 있다.[0089] The flexible connection 125 may include a plurality of bridging components 130 respectively connected to the first carrier portion 121 and the second carrier portion 122, and the elastic material 126 is bridging It is provided between the components 130 and the first and second carrier portions. Bridging components 130 may be configured as plates extending essentially parallel to the first and second carrier portions, on both sides of the first and second carrier portions. Each plate may overlap both the first carrier portion 121 and the second carrier portion 122. Accordingly, bending of the carrier around the flexible connector 125 can be prevented, while relative movement between the first and second carrier portions in the first direction V can be possible. In some embodiments, the flexible connection 125 includes three, five or more bridging components arranged on both sides of the first and second carrier portions. For example, the flexible connection may include three or more bridging components provided next to each other in the width direction of the carrier.

[0090] 탄성 재료가 브리징 컴포넌트들(130)과 제1 및 제2 캐리어 부분들 사이에 각각 제공된다. 예컨대, 복수의 탄성 링들 또는 다른 탄성 컴포넌트들이 각각의 브리징 컴포넌트(130)와 제1 캐리어 부분(121) 사이에 제공될 수 있고, 복수의 탄성 링들 또는 다른 탄성 컴포넌트들이 각각의 브리징 컴포넌트와 제2 캐리어 부분(122) 사이에 제공될 수 있다. 브리징 컴포넌트들과 제1 및 제2 캐리어 부분들 사이에서 동작할 수 있는 복수의 탄성 컴포넌트들을 예시하기 위해, 브리징 컴포넌트들 중 하나는 도 5a에서 생략되었다. 탄성 링들로서 구성된 탄성 컴포넌트들은 도 5b에서 단면도로 도시된다.[0090] An elastic material is provided between the bridging components 130 and the first and second carrier portions, respectively. For example, a plurality of elastic rings or other elastic components may be provided between each bridging component 130 and the first carrier portion 121, and a plurality of elastic rings or other elastic components may be provided between each bridging component and the second carrier. It may be provided between portions 122. To illustrate the bridging components and a plurality of elastic components that can operate between the first and second carrier portions, one of the bridging components has been omitted in FIG. 5A. The elastic components configured as elastic rings are shown in cross section in FIG. 5B.

[0091] 도 6은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 캐리어(620)의 상부 부분의 개략적인 단면도이다. 캐리어(620)는 이전에 설명된 실시예들의 특징들을 포함할 수 있고, 이들은 여기서 반복되지 않는다.6 is a schematic cross-sectional view of an upper portion of a carrier 620 according to embodiments described herein. The carrier 620 may include features of the previously described embodiments, which are not repeated here.

[0092] 캐리어(620)는 가요성 연결부(125)를 통해 서로 연결되는 제1 캐리어 부분(121) 및 제2 캐리어 부분(122)을 포함한다. 제1 방향(V)에서 제1 캐리어 부분과 제2 캐리어 부분 사이에 갭(124)이 제공될 수 있다.The carrier 620 includes a first carrier portion 121 and a second carrier portion 122 connected to each other through a flexible connection 125. A gap 124 may be provided between the first carrier portion and the second carrier portion in the first direction V.

[0093] 가요성 연결부(125)는, 제1 방향(V)에서의 제1 캐리어 부분(121)과 제2 캐리어 부분(122) 사이의 상대적 이동을 가능하게 하면서 제1 캐리어 부분(121)과 제2 캐리어 부분(122)을 연결하는 브리징 컴포넌트(130)를 포함할 수 있다. 특히, 제1 탄성 컴포넌트들(131)은 제1 캐리어 부분(121)과 브리징 컴포넌트(130) 사이에서 동작할 수 있고, 제2 탄성 컴포넌트들(132)은 제2 캐리어 부분(122)과 브리징 컴포넌트(130) 사이에서 동작할 수 있다. 제1 탄성 컴포넌트들(131) 및/또는 제2 탄성 컴포넌트들(132)은, 예컨대 탄성 재료, 이를테면, 바이톤을 포함하는 탄성 링들(622)로서 구성될 수 있다.[0093] The flexible connection part 125 enables the relative movement between the first carrier part 121 and the second carrier part 122 in the first direction V, while the first carrier part 121 and It may include a bridging component 130 connecting the second carrier portion 122. In particular, the first elastic components 131 may operate between the first carrier portion 121 and the bridging component 130, and the second elastic components 132 are the second carrier portion 122 and the bridging component. It can operate between 130. The first elastic components 131 and/or the second elastic components 132 may be constructed as elastic rings 622 comprising an elastic material, such as viton, for example.

[0094] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에서, 가요성 연결부(125)는 포지티브 피팅 연결부(positive fit connection)일 수 있다. 특히, 브리징 컴포넌트(130)는 제1 캐리어 부분(121)의 제1 개구 및 제2 캐리어 부분(122)의 제2 개구와 맞물릴 수 있다. 일부 구현들에서, 브리징 컴포넌트는, 수직 방향으로 하나가 다른 하나 위에 놓이는 식으로 그리고/또는 수평 방향으로 나란히(side by side) 배열될 수 있는, 제1 캐리어 부분(121)의 복수의 개구들과 맞물릴 수 있다. 또한, 브리징 컴포넌트(130)는, 수직 방향으로 하나가 다른 하나 위에 놓이는 식으로 그리고/또는 수평 방향으로 나란히 배열될 수 있는, 제2 캐리어 부분(122)의 복수의 개구들과 맞물릴 수 있다.[0094] In some embodiments that may be combined with other embodiments described herein, the flexible connection 125 may be a positive fit connection. In particular, the bridging component 130 may engage a first opening in the first carrier portion 121 and a second opening in the second carrier portion 122. In some implementations, the bridging component comprises a plurality of openings in the first carrier portion 121, which may be arranged side by side in a horizontal direction and/or in a vertical direction one over the other. Can be interlocked. Further, the bridging component 130 may engage a plurality of openings in the second carrier portion 122, which may be arranged side by side in a horizontal direction and/or in a vertical direction one over the other.

[0095] 특히, 브리징 컴포넌트(130)는 본질적으로 수직으로 연장되는 플레이트 부분, 및 제1 및 제2 개구들을 통해 플레이트 부분으로부터 연장되는 복수의 맞물림 핀(engagement pin)들을 포함할 수 있다. 제2 캐리어 부분(122)은 제1 캐리어 부분(121)으로부터 떨어질(drop down) 수 없는데, 왜냐하면 브리징 컴포넌트의 맞물림 핀들이 제1 캐리어 부분의 제1 개구들 및 제2 캐리어 부분의 제2 개구들과 확실하게(positively) 맞물리기 때문이다.In particular, the bridging component 130 may include a plate portion extending essentially vertically, and a plurality of engagement pins extending from the plate portion through the first and second openings. The second carrier portion 122 cannot be dropped down from the first carrier portion 121 because the engagement pins of the bridging component are the first openings in the first carrier portion and the second openings in the second carrier portion. Because it is positively engaged with.

[0096] 일부 구현들에서, 제1 탄성 컴포넌트(131), 특히 탄성 링은 제1 개구 내에 배열되고, 제2 탄성 컴포넌트(132)는 제2 개구 내에 배열된다. 브리징 컴포넌트(130)의 맞물림 핀은 제1 개구에서 제1 탄성 컴포넌트(131)를 관통할 수 있고, 브리징 컴포넌트(130)의 추가의 맞물림 핀은 제2 개구에서 제2 탄성 컴포넌트(132)를 관통할 수 있다. 제2 캐리어 부분(122)이 제1 캐리어 부분(121)에 대해 오실레이팅할 때, 수직 방향으로 작용하는 압축력들 및 인장력들을 탄성 링들(622)이 받아서, 수직 방향에서의 캐리어의 높은 오실레이션 진폭들이 탄성 링들의 결과적인 복원력들에 의해 약화된다.In some implementations, the first elastic component 131, in particular the elastic ring, is arranged in the first opening and the second elastic component 132 is arranged in the second opening. An engagement pin of the bridging component 130 may penetrate the first elastic component 131 at the first opening, and an additional engagement pin of the bridging component 130 penetrates the second elastic component 132 at the second opening. can do. When the second carrier portion 122 oscillates with respect to the first carrier portion 121, the elastic rings 622 receive compressive forces and tensile forces acting in the vertical direction, so that a high oscillation amplitude of the carrier in the vertical direction Are weakened by the resulting restoring forces of the elastic rings.

[0097] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에서, 가요성 연결부(125)는, 제2 캐리어 부분과 제1 캐리어 부분이 제1 방향(V)으로 서로에 대해 이동할 때, 전단력들을 받는 탄성 컴포넌트들을 포함한다(예컨대, 도 2, 3, 4, 5a, 5b에 도시된 캐리어들을 참조). 이러한 캐리어들은 벤딩에 대해 강하게 저항성이 있을 수 있다. 일부 실시예들에서, 가요성 연결부(125)는, 제2 캐리어 부분과 제1 캐리어 부분이 제1 방향(V)으로 서로에 대해 이동할 때, 압축력들 및 인장력들을 받는 탄성 컴포넌트들을 포함한다(예컨대, 도 1 및 6에 도시된 캐리어들을 참조). 이러한 캐리어들은 특히 내구성이 있을 수 있다. 일부 실시예들에서, 가요성 연결부는, 제1 캐리어 부분과 제2 캐리어 부분 사이의 상대적 이동 동안 압축력들 및 인장력들을 받는 탄성 엘리먼트들과 전단력들을 받는 탄성 엘리먼트들의 조합을 포함할 수 있다.[0097] In some embodiments that may be combined with other embodiments described herein, the flexible connection 125 is configured such that the second carrier portion and the first carrier portion are relative to each other in a first direction (V). It contains elastic components that are subjected to shear forces when moving (see, for example, the carriers shown in Figs. 2, 3, 4, 5a, 5b). These carriers can be strongly resistant to bending. In some embodiments, the flexible connection 125 includes elastic components that are subjected to compressive forces and tensile forces when the second carrier portion and the first carrier portion move relative to each other in the first direction (V) (e.g. , See carriers shown in FIGS. 1 and 6). These carriers can be particularly durable. In some embodiments, the flexible connection may include a combination of elastic elements that are subjected to compressive forces and tensile forces during relative movement between the first carrier portion and the second carrier portion and elastic elements that are subjected to shear forces.

[0098] 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 캐리어는, 캐리어(120)를 비접촉식으로 홀딩하고, 포지셔닝하고 그리고/또는 이송하도록 구성된 자기 부상 시스템의 고정식 베이스 구조와 자기적으로 상호작용하도록 구성된 제1 캐리어 부분(121), 및 오브젝트(10)를 운반하도록 구성된 제2 캐리어 부분(122)을 포함한다. 제1 캐리어 부분(121)과 제2 캐리어 부분(122)은 가요성 연결부(125)를 통해 서로 연결된다.[0098] A carrier according to embodiments described herein is a first configured to magnetically interact with a stationary base structure of a magnetic levitation system configured to contactlessly hold, position and/or transport the carrier 120 A carrier portion 121 and a second carrier portion 122 configured to carry the object 10. The first carrier portion 121 and the second carrier portion 122 are connected to each other via a flexible connection 125.

[0099] 본원에서 설명되는 실시예들 중 임의의 실시예에 따른 자기 부상 시스템은 진공 시스템에서 사용될 수 있다. 진공 시스템은 진공 챔버, 진공 챔버 내에 배열된 증착 소스, 및 자기 부상 시스템을 포함한다. 자기 부상 시스템은, 오브젝트를 진공 챔버의 증착 영역 내로 운반하는 캐리어를 비접촉식으로 이송하도록 구성될 수 있다. 코팅 재료는 증착 영역에서 증착 소스에 의해 오브젝트 상에 증착될 수 있다.[0099] The magnetic levitation system according to any of the embodiments described herein may be used in a vacuum system. The vacuum system includes a vacuum chamber, a deposition source arranged within the vacuum chamber, and a magnetic levitation system. The magnetic levitation system may be configured to contactlessly transport carriers that carry objects into the deposition area of the vacuum chamber. The coating material may be deposited on the object by a deposition source in the deposition area.

[00100] 도 7은 본원에서 설명되는 실시예들에 따라 자기 부상 시스템을 동작시키는 방법을 개략적으로 예시하는 흐름도이다.[00100] FIG. 7 is a flow diagram schematically illustrating a method of operating a magnetic levitation system according to embodiments described herein.

[00101] 박스(710)에서, 본원에서 설명되는 실시예들 중 임의의 실시예에 따른 캐리어가 제공된다. 캐리어는 가요성 연결부를 통해 서로 연결되는 제1 캐리어 부분(121) 및 제2 캐리어 부분(122)을 포함한다.[00101] In box 710, a carrier according to any of the embodiments described herein is provided. The carrier comprises a first carrier portion 121 and a second carrier portion 122 connected to each other via a flexible connection.

[00102] 박스(720)에서, 캐리어에 의해 운반될 오브젝트(10)는 제2 캐리어 부분(122) 상에 배열된다.In box 720, the object 10 to be carried by the carrier is arranged on the second carrier portion 122.

[00103] 오브젝트(10)는, 캐리어가 비-수직 배향, 예컨대 본질적으로 수평 배향으로 배열되어 있는 동안, 제2 캐리어 부분(122) 상에 로딩될 수 있다. 이어서, 캐리어는 제2 배향, 예컨대 본질적으로 수직 배향으로 이동될 수 있다. 본질적으로 수직 배향으로, 캐리어는 자기 부상 시스템의 베이스 구조(110)를 따라 홀딩 및 이송될 수 있다. 예컨대, 캐리어는 진공 스윙 모듈에 의해 본질적으로 수평 로딩 포지션으로부터 본질적으로 수직 이송 배향으로 회전될 수 있다.[00103] The object 10 may be loaded on the second carrier portion 122 while the carrier is arranged in a non-vertical orientation, such as an essentially horizontal orientation. The carrier can then be moved in a second orientation, such as an essentially vertical orientation. In an essentially vertical orientation, the carrier can be held and transported along the base structure 110 of the magnetic levitation system. For example, the carrier can be rotated from an essentially horizontal loading position to an essentially vertical transport orientation by means of a vacuum swing module.

[00104] 대안적으로, 오브젝트는, 캐리어가 비-수평 배향, 예컨대 본질적으로 수직 배향으로 배열되어 있는 동안, 제2 캐리어 부분(122) 상에 로딩될 수 있다. 예컨대, 캐리어는 제2 캐리어 부분 상에서의 오브젝트의 로딩 동안 베이스 구조(110)에 홀딩될 수 있다.[00104] Alternatively, the object may be loaded on the second carrier portion 122 while the carrier is arranged in a non-horizontal orientation, such as an essentially vertical orientation. For example, the carrier may be held in the base structure 110 during loading of the object on the second carrier portion.

[00105] 일부 실시예들에서, 오브젝트는 코팅될 기판, 특히 디스플레이 제조를 위한 대면적 기판일 수 있다. 다른 오브젝트들, 예컨대 마스크 또는 차폐부가 캐리어에 의해 운반될 수 있다.[00105] In some embodiments, the object may be a substrate to be coated, particularly a large area substrate for manufacturing a display. Other objects, such as a mask or shield, may be carried by the carrier.

[00106] 박스(730)에서, 캐리어는 적어도 하나의 능동 자기 베어링(112)을 이용하여 자기 부상 시스템의 베이스 구조(110)에 비접촉식으로 홀딩되며, 제1 캐리어 부분(121)은 베이스 구조(110)와 자기적으로 상호작용한다. 예컨대, 적어도 하나의 능동 자기 베어링(112)은 제1 캐리어 부분(121)과 베이스 구조의 최상부 레일 사이에 인력을 제공할 수 있다.[00106] In the box 730, the carrier is non-contactly held to the base structure 110 of the magnetic levitation system using at least one active magnetic bearing 112, and the first carrier portion 121 is the base structure 110 ) And interact magnetically. For example, at least one active magnetic bearing 112 may provide an attractive force between the first carrier portion 121 and the uppermost rail of the base structure.

[00107] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에서, 가요성 연결부(125)는 제1 방향(V)으로, 특히 본질적으로 수직 방향으로 가요성이다. 특히, 제2 캐리어 부분(122)은, 가요성 연결부를 통해, 예컨대 가요성 연결부의 탄성 컴포넌트들의 탄성 변형을 통해, 제1 방향(V)으로 제1 캐리어 부분(121)에 대해 이동가능할 수 있다. 따라서, 캐리어의 오실레이션 거동이 가요성 연결부에 의해 수정될 수 있고, 예컨대 공진 주파수들에서의 캐리어의 진동 피크들이 감쇠될 수 있다.In some embodiments that may be combined with other embodiments described herein, the flexible connection 125 is flexible in the first direction V, in particular in an essentially vertical direction. In particular, the second carrier portion 122 may be movable relative to the first carrier portion 121 in a first direction V through a flexible connection, for example through elastic deformation of the elastic components of the flexible connection. . Thus, the oscillating behavior of the carrier can be modified by the flexible connection, for example the vibration peaks of the carrier at resonant frequencies can be attenuated.

[00108] 적어도 하나의 능동 자기 베어링(112)은 제1 방향(V)에서의 베이스 구조와 캐리어 사이의 거리를 제어할 수 있다. 따라서, 제1 방향(V)으로 작용하는 능동 자기 베어링에 의해 캐리어의 고유 진동들의 증폭이 감소되거나 회피될 수 있다.At least one active magnetic bearing 112 may control a distance between the base structure and the carrier in the first direction (V). Accordingly, the amplification of natural vibrations of the carrier can be reduced or avoided by the active magnetic bearing acting in the first direction V.

[00109] 선택적인 박스(740)에서, 캐리어는, 베이스 구조에 비접촉식으로 홀딩되는 동안 진공 챔버를 통해 이송될 수 있다.[00109] In the optional box 740, the carrier may be transported through the vacuum chamber while being held non-contact with the base structure.

[00110] 선택적인 박스(750)에서, 캐리어는 증착 영역 내에, 예컨대 증착 소스의 전방에 포지셔닝될 수 있다. 캐리어에 의해 운반되는 오브젝트(10) 상에 코팅 재료가 증착될 수 있다. 증착 동안, 캐리어는 베이스 구조에 비접촉식으로 홀딩될 수 있다. 대안적으로, 캐리어는 증착 동안 마운트에 장착될 수 있으며, 캐리어는 마운트와 기계적으로 접촉될 수 있다.[00110] In the optional box 750, the carrier may be positioned within the deposition area, such as in front of the deposition source. A coating material may be deposited on the object 10 carried by the carrier. During deposition, the carrier can be held contactlessly to the base structure. Alternatively, the carrier can be mounted to the mount during deposition, and the carrier can be in mechanical contact with the mount.

[00111] 오브젝트는 기판, 특히 0.5 ㎡ 또는 그 초과, 더 구체적으로는 1 ㎡ 또는 그 초과, 또는 심지어 5 ㎡ 또는 10 ㎡ 또는 그 초과의 사이즈를 갖는 대면적 기판일 수 있다. 예컨대, 기판은 디스플레이 제조를 위한 대면적 기판일 수 있다.[00111] The object may be a substrate, in particular a large area substrate having a size of 0.5 m 2 or more, more specifically 1 m 2 or more, or even 5 m 2 or 10 m 2 or more. For example, the substrate may be a large area substrate for manufacturing a display.

[00112] 유기 재료가 기판 상에 증착될 수 있다. 예컨대, 유기 재료를 기판 상에 증착함으로써, OLED 디바이스가 제조될 수 있다.[00112] An organic material may be deposited on the substrate. For example, an OLED device can be manufactured by depositing an organic material on a substrate.

[00113] 제1 캐리어 부분이 반드시, 오브젝트를 운반하도록 구성된 제2 캐리어 부분 위에 배열될 필요는 없다는 것이 주목되어야 한다. 예컨대, 일부 구현들에서, 제1 캐리어 부분은 제2 캐리어 부분 아래에 또는 제2 캐리어 부분의 측면에 배열될 수 있다. 특히, 제1 캐리어 부분은 베이스 구조의 최하부 레일과 자기적으로 상호작용할 수 있으며, 복수의 능동 자기 베어링들의 액추에이터들이 최하부 레일에 배열될 수 있다. 후자의 경우에서, 능동 자기 베어링들은 캐리어를 최하부 레일 위에 비접촉식으로 홀딩하기 위한 자기 리프팅력(magnetic lifting force)을 발생시킬 수 있다. 또 다른 추가의 실시예들에서, 제2 캐리어 부분은 수평 방향으로 제1 캐리어 부분 다음에 배열될 수 있다. 수평으로 작용하는 측면 안정화 디바이스에 의해 자극되는 진동들의 진폭들이 감소될 수 있고, 고유 진동들의 증폭이 회피될 수 있다.[00113] It should be noted that the first carrier portion need not necessarily be arranged over the second carrier portion configured to carry the object. For example, in some implementations, the first carrier portion can be arranged under the second carrier portion or on the side of the second carrier portion. In particular, the first carrier portion may magnetically interact with the lowermost rail of the base structure, and actuators of a plurality of active magnetic bearings may be arranged on the lowermost rail. In the latter case, active magnetic bearings can generate magnetic lifting forces to hold the carrier contactlessly over the lowermost rail. In still further embodiments, the second carrier portion can be arranged after the first carrier portion in the horizontal direction. The amplitudes of vibrations stimulated by the horizontally acting lateral stabilization device can be reduced, and amplification of natural vibrations can be avoided.

[00114] 전술한 바가 본 개시내용의 실시예들에 관한 것이지만, 본 개시내용의 다른 그리고 추가적인 실시예들이, 본 개시내용의 기본적인 범위를 벗어나지 않으면서 고안될 수 있고, 본 개시내용의 범위는 다음의 청구항들에 의해 결정된다.[00114] Although the foregoing relates to embodiments of the present disclosure, other and additional embodiments of the present disclosure may be devised without departing from the basic scope of the present disclosure, and the scope of the present disclosure is as follows. It is determined by the claims of.

Claims (15)

진공 시스템을 통해 캐리어를 이송하도록 구성된 자기 부상 시스템(magnetic levitation system)으로서,
베이스 구조(base structure)(110);
상기 베이스 구조(110)에 대해 이동가능한 캐리어(120); 및
상기 캐리어(120)를 상기 베이스 구조(110)에 비접촉식으로 홀딩하도록 구성된 적어도 하나의 능동 자기 베어링(active magnetic bearing)(112)을 포함하며,
상기 캐리어(120)는 상기 베이스 구조(110)와 상호작용하도록 구성된 제1 캐리어 부분(121) 및 오브젝트(object)(10)를 운반하도록 구성된 제2 캐리어 부분(122)을 포함하고, 상기 제1 캐리어 부분(121)과 상기 제2 캐리어 부분(122)은 가요성 연결부(flexible connection)(125)를 통해 서로 연결되고,
상기 가요성 연결부(125)는 브리징 컴포넌트(bridging component)(130), 상기 브리징 컴포넌트와 상기 제1 캐리어 부분(121) 사이에서 작용하는 제1 탄성 컴포넌트(131), 및 상기 브리징 컴포넌트와 상기 제2 캐리어 부분(122) 사이에서 작용하는 제2 탄성 컴포넌트(132)를 포함하는,
진공 시스템을 통해 캐리어를 이송하도록 구성된 자기 부상 시스템.As a magnetic levitation system configured to transport a carrier through a vacuum system,
A base structure 110;
A carrier (120) movable relative to the base structure (110); And
At least one active magnetic bearing 112 configured to hold the carrier 120 in a non-contact manner on the base structure 110,
The carrier 120 comprises a first carrier portion 121 configured to interact with the base structure 110 and a second carrier portion 122 configured to carry an object 10, the first The carrier portion 121 and the second carrier portion 122 are connected to each other through a flexible connection 125,
The flexible connection 125 includes a bridging component 130, a first elastic component 131 acting between the bridging component and the first carrier portion 121, and the bridging component and the second Comprising a second elastic component 132 acting between the carrier portions 122,
Magnetic levitation system configured to transport carriers through a vacuum system. 제1 항에 있어서,
상기 가요성 연결부(125)는 가요성 재료 및 탄성 재료(126) 중 적어도 하나를 포함하는,
진공 시스템을 통해 캐리어를 이송하도록 구성된 자기 부상 시스템.The method of claim 1,
The flexible connector 125 includes at least one of a flexible material and an elastic material 126,
Magnetic levitation system configured to transport carriers through a vacuum system. 제1 항에 있어서,
상기 제1 캐리어 부분(121)은 상기 제2 캐리어 부분(122) 위에 부분적으로 또는 전체적으로 배열되는 캐리어 헤드인,
진공 시스템을 통해 캐리어를 이송하도록 구성된 자기 부상 시스템.The method of claim 1,
The first carrier portion 121 is a carrier head partially or wholly arranged over the second carrier portion 122,
Magnetic levitation system configured to transport carriers through a vacuum system. 제1 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 능동 자기 베어링(112)은 상기 베이스 구조(110)에 배열된 액추에이터(113) 및 상기 제1 캐리어 부분(121)에 배열된 자기 대응부(magnetic counterpart)(118)를 포함하고, 상기 액추에이터(113)는 상기 베이스 구조(110)와 상기 캐리어(120) 사이의 미리 결정된 거리를 유지하도록 제어가능한,
진공 시스템을 통해 캐리어를 이송하도록 구성된 자기 부상 시스템.The method of claim 1,
Said at least one active magnetic bearing (112) comprises an actuator (113) arranged in said base structure (110) and a magnetic counterpart (118) arranged in said first carrier portion (121), The actuator 113 is controllable to maintain a predetermined distance between the base structure 110 and the carrier 120,
Magnetic levitation system configured to transport carriers through a vacuum system. 제1 항에 있어서,
상기 가요성 연결부(125)는, 상기 적어도 하나의 능동 자기 베어링(112)이 상기 베이스 구조(110)와 상기 캐리어(120) 사이의 거리를 제어하는 방향에 대응하는 제1 방향(V)으로 탄성적으로 변형가능한,
진공 시스템을 통해 캐리어를 이송하도록 구성된 자기 부상 시스템.The method of claim 1,
The flexible connector 125 is formed in a first direction (V) corresponding to a direction in which the at least one active magnetic bearing 112 controls a distance between the base structure 110 and the carrier 120. Sexually transformable,
Magnetic levitation system configured to transport carriers through a vacuum system. 제1 항에 있어서,
상기 가요성 연결부(125)는, 상기 제1 캐리어 부분(121)과 상기 제2 캐리어 부분(122) 사이에 갭(124)이 제공되도록, 상기 제1 캐리어 부분(121) 아래에 상기 제2 캐리어 부분(122)을 홀딩하는,
진공 시스템을 통해 캐리어를 이송하도록 구성된 자기 부상 시스템.The method of claim 1,
The flexible connection part 125 is provided under the first carrier part 121 so that a gap 124 is provided between the first carrier part 121 and the second carrier part 122. Holding portion 122,
Magnetic levitation system configured to transport carriers through a vacuum system. 제1 항 내지 제6 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 가요성 연결부(125)는 제1 브리징 컴포넌트(133) 및 제2 브리징 컴포넌트(134)를 포함하고, 상기 제1 캐리어 부분 및 상기 제2 캐리어 부분은 상기 제1 브리징 컴포넌트(133)와 상기 제2 브리징 컴포넌트(134) 사이에 클램핑되는,
진공 시스템을 통해 캐리어를 이송하도록 구성된 자기 부상 시스템.The method according to any one of claims 1 to 6,
The flexible connector 125 includes a first bridging component 133 and a second bridging component 134, and the first and second carrier portions are the first bridging component 133 and the second bridging component 134. Clamped between 2 bridging components 134,
Magnetic levitation system configured to transport carriers through a vacuum system. 제1 항 내지 제6 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 브리징 컴포넌트(130)는 상기 제1 캐리어 부분(121)의 제1 개구 그리고 상기 제2 캐리어 부분(122)의 제2 개구와 맞물리고, 상기 제1 탄성 컴포넌트(131)는 상기 제1 개구에 배열되고 그리고 상기 제2 탄성 컴포넌트(132)는 상기 제2 개구에 배열되는,
진공 시스템을 통해 캐리어를 이송하도록 구성된 자기 부상 시스템.The method according to any one of claims 1 to 6,
The bridging component 130 is engaged with the first opening of the first carrier portion 121 and the second opening of the second carrier portion 122, and the first elastic component 131 is in the first opening. Arranged and the second elastic component 132 is arranged in the second opening,
Magnetic levitation system configured to transport carriers through a vacuum system. 제8 항에 있어서,
상기 제1 탄성 컴포넌트(131) 및 제2 탄성 컴포넌트(132)는 탄성 링들인,
진공 시스템을 통해 캐리어를 이송하도록 구성된 자기 부상 시스템.The method of claim 8,
The first elastic component 131 and the second elastic component 132 are elastic rings,
Magnetic levitation system configured to transport carriers through a vacuum system. 제1 항 내지 제6 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제2 캐리어 부분(122)은 상기 오브젝트(10)를 상기 제2 캐리어 부분(122)의 홀딩 부분(11)에 홀딩하도록 구성된 장착 디바이스(15)를 포함하는,
진공 시스템을 통해 캐리어를 이송하도록 구성된 자기 부상 시스템.The method according to any one of claims 1 to 6,
The second carrier part 122 comprises a mounting device 15 configured to hold the object 10 in the holding part 11 of the second carrier part 122,
Magnetic levitation system configured to transport carriers through a vacuum system. 제1 항 내지 제6 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 캐리어(120)는 기판 또는 마스크를 본질적으로 수직 배향으로 홀딩하도록 구성된 기판 캐리어 또는 마스크 캐리어인,
진공 시스템을 통해 캐리어를 이송하도록 구성된 자기 부상 시스템.The method according to any one of claims 1 to 6,
The carrier 120 is a substrate carrier or mask carrier configured to hold a substrate or mask in an essentially vertical orientation,
Magnetic levitation system configured to transport carriers through a vacuum system. 자기 부상 시스템을 위한 캐리어(120)로서,
진공 시스템을 통해 상기 캐리어(120)를 이송하도록 구성된 상기 자기 부상 시스템의 베이스 구조(110)와 상호작용하도록 구성된 제1 캐리어 부분(121); 및
오브젝트(10)를 운반하도록 구성된 제2 캐리어 부분(122)을 포함하며,
상기 제1 캐리어 부분(121)과 상기 제2 캐리어 부분(122)은 가요성 연결부(125)를 통해 서로 연결되고,
상기 가요성 연결부(125)는 브리징 컴포넌트(130), 상기 브리징 컴포넌트와 상기 제1 캐리어 부분(121) 사이에서 작용하는 제1 탄성 컴포넌트(131), 및 상기 브리징 컴포넌트와 상기 제2 캐리어 부분(122) 사이에서 작용하는 제2 탄성 컴포넌트(132)를 포함하는,
자기 부상 시스템을 위한 캐리어(120).As a carrier 120 for a magnetic levitation system,
A first carrier portion (121) configured to interact with a base structure (110) of the magnetic levitation system configured to transport the carrier (120) through a vacuum system; And
Comprising a second carrier portion 122 configured to carry the object 10,
The first carrier portion 121 and the second carrier portion 122 are connected to each other through a flexible connection portion 125,
The flexible connection 125 includes a bridging component 130, a first elastic component 131 acting between the bridging component and the first carrier portion 121, and the bridging component and the second carrier portion 122. ) Comprising a second elastic component 132 acting between,
Carrier 120 for a magnetic levitation system. 자기 부상 시스템을 동작시키는 방법으로서,
가요성 연결부(125)를 통해 서로 연결된 제1 캐리어 부분(121) 및 제2 캐리어 부분(122)을 포함하는 캐리어를 제공하는 단계 ― 상기 가요성 연결부(125)는 브리징 컴포넌트(130), 상기 브리징 컴포넌트와 상기 제1 캐리어 부분(121) 사이에서 작용하는 제1 탄성 컴포넌트(131), 및 상기 브리징 컴포넌트와 상기 제2 캐리어 부분(122) 사이에서 작용하는 제2 탄성 컴포넌트(132)를 포함함 ―;
상기 제2 캐리어 부분(122) 상에 오브젝트(10)를 배열하는 단계;
적어도 하나의 능동 자기 베어링(112)을 이용하여 상기 캐리어를 베이스 구조(110)에 비접촉식으로 홀딩하는 단계 ― 상기 제1 캐리어 부분(121)은 상기 베이스 구조(110)와 상호작용함 ―; 및
상기 캐리어를, 상기 베이스 구조에 홀딩되는 동안, 진공 챔버를 통해 이송하는 단계를 포함하는,
자기 부상 시스템을 동작시키는 방법.As a method of operating a magnetic levitation system,
Providing a carrier comprising a first carrier portion 121 and a second carrier portion 122 connected to each other via a flexible connection 125-the flexible connection 125 comprises a bridging component 130, the bridging A first elastic component (131) acting between the component and the first carrier portion (121), and a second elastic component (132) acting between the bridging component and the second carrier portion (122)- ;
Arranging an object (10) on the second carrier part (122);
Non-contact holding of the carrier to the base structure (110) using at least one active magnetic bearing (112), wherein the first carrier portion (121) interacts with the base structure (110); And
Containing the step of transferring the carrier through a vacuum chamber while being held in the base structure,
How to operate the magnetic levitation system. 제13 항에 있어서,
상기 가요성 연결부(125)는 본질적으로 수직 방향인 제1 방향(V)으로 가요성이고, 그리고 상기 적어도 하나의 능동 자기 베어링(112)은 상기 제1 방향(V)에서의 상기 베이스 구조와 상기 캐리어 사이의 거리를 제어하는,
자기 부상 시스템을 동작시키는 방법.The method of claim 13,
The flexible connector 125 is flexible in a first direction (V), which is essentially a vertical direction, and the at least one active magnetic bearing 112 is provided with the base structure in the first direction (V) and the To control the distance between carriers,
How to operate the magnetic levitation system. 제13 항 또는 제14 항에 있어서,
상기 캐리어를 증착 영역 내에 포지셔닝하는 단계; 및
상기 캐리어에 의해 운반되는 상기 오브젝트(10) 상에 코팅 재료를 증착하는 단계를 더 포함하는,
자기 부상 시스템을 동작시키는 방법.The method of claim 13 or 14,
Positioning the carrier within a deposition area; And
Further comprising depositing a coating material on the object 10 carried by the carrier,
How to operate the magnetic levitation system.
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