JP2019153682A - Chip carrier - Google Patents

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亮太郎 清水
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Abstract

To provide a chip carrier which can suppress the occurrence of a damage to a chip.SOLUTION: A chip carrier comprises: a tacky part 21 having a tacky face 22 for putting thereon a chip as an object to be transported, and formed in a film shape; a support part 31 disposed at such a position that the tacky part 21 is located between the chip and itself, and serving to discretely support chips disposed on the tacky part 21 in a direction in which the tacky part 21 extends; a frame part 11 for holding the tacky part 21 and the support part 31; and a plurality of moving parts 41A, 41B arranged so that they are caused to move with the aid of an attractive or repulsive force generated by a magnetic field applied thereto, and disposed in the tacky part 21 between locations where the support is performed by the support part 31. The plurality of moving parts include at least, a first moving part 41A where the attractive or repulsive force generated by the magnetic field is relatively large, and a second moving part 41B where the attractive or repulsive force is relatively small.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、チップキャリア、特に極薄チップ用のチップキャリアに関する。   The present invention relates to a chip carrier, particularly a chip carrier for ultra-thin chips.

チップキャリアは、微小または傷つきやすい光学部品、電子部品であるチップの搬送に用いられるケースの一種である。チップキャリアにより搬送されたチップは、自動実装機などにより配線基板の所望の位置に配置され、はんだ付けにより導電可能とされている(以下「実装される」とも表記する。)。   The chip carrier is a kind of case used for transporting a chip which is a minute or easily damaged optical component or electronic component. The chip conveyed by the chip carrier is placed at a desired position on the wiring board by an automatic mounting machine or the like, and can be made conductive by soldering (hereinafter also referred to as “mounted”).

チップは微小であるため、チップキャリアの粘着シートに貼り付けされて支持されている。自動実装機はチップを実装する際に、チップキャリアからチップを取り出す作業を行う。この取出しの際に、粘着シートの裏側からピンを刺して、チップを突き上げる方法が提案されている(例えば、特許文献1参照。)。   Since the chip is very small, it is supported by being attached to an adhesive sheet of a chip carrier. The automatic mounting machine takes out the chip from the chip carrier when mounting the chip. A method has been proposed in which a pin is stabbed from the back side of the pressure-sensitive adhesive sheet and the chip is pushed up at the time of taking out (see, for example, Patent Document 1).

特開2013−131554号公報JP 2013-131554 A

また、特許文献1に記載されたチップの取出し方法の他に、以下で説明する方法も提案されている。ここで説明する従来技術であるチップキャリア101は、図5(a)および図5(b)に示すように、枠部111、粘着性フィルム121、およびケース171から主に構成されている。粘着性フィルム121は、チップ3を固着するものである。枠部111は、粘着性フィルム121を保持して持ち運びを容易にするものである。ケース171は、外部からの衝撃や異物の混入からチップ3を保護するものである。   In addition to the chip extraction method described in Patent Document 1, a method described below has also been proposed. As shown in FIGS. 5A and 5B, the chip carrier 101 which is a conventional technique described here is mainly composed of a frame portion 111, an adhesive film 121, and a case 171. The adhesive film 121 fixes the chip 3. The frame part 111 holds the adhesive film 121 to facilitate carrying. The case 171 protects the chip 3 from external impacts and foreign matters.

ケース171には、チップキャリア101が配置される本体172と、本体172に対して回動可能に配置され、本体172との間でチップキャリア101を挟んで保持する蓋173と、が主に設けられている。   The case 171 is mainly provided with a main body 172 on which the chip carrier 101 is disposed, and a lid 173 that is rotatably disposed with respect to the main body 172 and holds the chip carrier 101 between the main body 172 and the case 171. It has been.

粘着性フィルム121は、チップ3を固着する側の面にのみ粘着性があり、反対側の面は粘着性がない構成が好ましい。チップ3は、この粘着性フィルム121に粘着された状態で搬送される。搬送後にチップ3を使用する場合にはピンセット等を用いて粘着性フィルム121から剥離される。   It is preferable that the adhesive film 121 has an adhesive property only on the surface to which the chip 3 is fixed, and the opposite surface has no adhesive property. The chip 3 is conveyed in a state of being adhered to the adhesive film 121. When the chip 3 is used after conveyance, it is peeled off from the adhesive film 121 using tweezers or the like.

上述のようにピンセット等を用いて、粘着性フィルム121からチップ3を剥離することが難しいほどチップ3が小さい場合には、図6(a)および図6(b)に一例を示すチップキャリア101が用いられる。チップキャリア101の枠部111には、粘着性フィルム121、および、支持体131が主に設けられている。支持体131は、粘着性フィルム121の下に配置される網目状の構造132を有するものである。粘着性フィルム121の内部には金属片141が埋め込まれ、金属片141は支持体131の網目の中に配置されている。   When the chip 3 is so small that it is difficult to peel the chip 3 from the adhesive film 121 using tweezers or the like as described above, the chip carrier 101 shown in FIG. 6 (a) and FIG. 6 (b) as an example. Is used. An adhesive film 121 and a support 131 are mainly provided on the frame portion 111 of the chip carrier 101. The support 131 has a net-like structure 132 disposed under the adhesive film 121. A metal piece 141 is embedded inside the adhesive film 121, and the metal piece 141 is disposed in the mesh of the support 131.

チップキャリア101の使用例を図7から図9を参照しながら説明する。搬送時においてチップ3は、図7(a)に示すように下側の面の全体が、粘着性フィルム121に貼り付けられている。この状態で、図7(b)に示すように磁石151が下側から近づけられ、金属片141は磁石151に引き寄せられる。金属片141の周囲の粘着性フィルム121は、下方へ引き寄せられチップ3から剥離する。   A usage example of the chip carrier 101 will be described with reference to FIGS. As shown in FIG. 7A, the entire lower surface of the chip 3 is attached to the adhesive film 121 during transportation. In this state, as shown in FIG. 7B, the magnet 151 is brought closer from below, and the metal piece 141 is attracted to the magnet 151. The adhesive film 121 around the metal piece 141 is drawn downward and peeled off from the chip 3.

つまり、チップ3における粘着性フィルム121と接着している面積が減少することにより粘着力が弱まり、チップ3を粘着性フィルム121から剥がしやすくなる。例えば、吸引ノズル61を用いて粘着性フィルム121からチップ3を剥がしやすくなる。   That is, the adhesive force is weakened by reducing the area of the chip 3 that is bonded to the adhesive film 121, and the chip 3 is easily peeled off from the adhesive film 121. For example, it becomes easy to peel off the chip 3 from the adhesive film 121 using the suction nozzle 61.

しかしながら、上述のチップキャリア101には次に説明する問題点があった。つまり、一部の金属片141(図9(a)から図9(c)では左側および中央の金属片141)の周辺の粘着性フィルム121とチップ3との粘着力が相対的に弱い場合には、当該一部の金属片141が接近する磁石151に先に引き寄せられる。   However, the above-described chip carrier 101 has the following problems. That is, when the adhesive force between the adhesive film 121 and the chip 3 around a part of the metal pieces 141 (the metal pieces 141 on the left side and the center in FIGS. 9A to 9C) is relatively weak. Is attracted first to the magnet 151 to which the partial metal piece 141 approaches.

その後、相対的に粘着力が相対的に高い他の金属片141(図9(a)から図9(c)では右側の金属片141)が遅れて磁石151に引き寄せられる。するとチップ3は、図9(c)に示すように、斜めに立ち上った姿勢となる。この姿勢となったチップ3を、吸引ノズル61を用いて粘着性フィルム121から剥がす場合、チップ3と吸引ノズル61とが接触して、チップ3に(場合によっては吸引ノズル61にも)傷がつくおそれがあった。   Thereafter, the other metal piece 141 (the right metal piece 141 in FIG. 9A to FIG. 9C) having a relatively high adhesive force is attracted to the magnet 151 with a delay. Then, as shown in FIG. 9C, the chip 3 is in an upright posture. When the chip 3 in this posture is peeled off from the adhesive film 121 using the suction nozzle 61, the chip 3 and the suction nozzle 61 come into contact with each other, and the chip 3 (and the suction nozzle 61 in some cases) is damaged. There was a risk.

金属片141が磁石151に引き寄せられる順序は不規則であるため、磁石151をチップキャリア101に近づけた際におけるチップ3の姿勢を制御することは難しい。言い換えると、チップ3の損傷を抑制することが難しいという問題があった。   Since the order in which the metal pieces 141 are attracted to the magnet 151 is irregular, it is difficult to control the posture of the chip 3 when the magnet 151 is brought close to the chip carrier 101. In other words, there is a problem that it is difficult to suppress damage to the chip 3.

本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであって、チップの損傷発生を抑制することができるチップキャリアを提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object thereof is to provide a chip carrier that can suppress the occurrence of chip damage.

上記目的を達成するために、本発明は、以下の手段を提供する。
本発明のチップキャリアは、搬送対象物であるチップが配置される粘着面を有する膜状に形成された粘着部と、前記チップとの間に前記粘着部を挟む位置に配置されるとともに、前記粘着部に配置された前記チップを前記粘着部が延びる方向に離散的に支持する支持部と、前記粘着部および前記支持部を保持する枠部と、印加される磁場により発生する引力または斥力により移動するものであって、前記粘着部における前記支持部により支持されている箇所の間に配置される複数の移動部と、が設けられ、前記複数の移動部は、前記磁場により発生する引力または斥力が相対的に大きな第1移動部と、相対的に小さな第2移動部とを、少なくとも含み、前記第1移動部および前記第2移動部が交互に並んで配置されている。
In order to achieve the above object, the present invention provides the following means.
The chip carrier of the present invention is disposed at a position where the adhesive portion is sandwiched between the adhesive portion formed in a film shape having an adhesive surface on which a chip as a conveyance object is disposed, and the chip, By means of a support part that discretely supports the chip arranged in the adhesive part in the direction in which the adhesive part extends, a frame part that holds the adhesive part and the support part, and an attractive force or a repulsive force generated by an applied magnetic field A plurality of moving parts arranged between the portions of the adhesive part supported by the support part, wherein the plurality of moving parts are attractive forces generated by the magnetic field or It includes at least a first moving part having a relatively large repulsive force and a second moving part having a relatively small repulsive force, and the first moving part and the second moving part are alternately arranged.

本発明のチップキャリアは、印加される磁場により発生する引力または斥力が異なる第1移動部および第2移動部が交互に並んで設けられている。この第1移動部および第2移動部に対してチップから離れる方向に磁場を作用させると、段階的にチップと粘着部との粘着が引きはがされる。そのため、チップをチップキャリアから取出す際に、チップの姿勢の乱れが起きにくくなる。   The chip carrier of the present invention is provided with first moving parts and second moving parts that are different in attractive force or repulsive force generated by an applied magnetic field and arranged alternately. When a magnetic field is applied to the first moving part and the second moving part in a direction away from the chip, the adhesion between the chip and the adhesive part is peeled off step by step. For this reason, when taking out the chip from the chip carrier, the posture of the chip is hardly disturbed.

本発明のチップキャリアによれば、印加される磁場により発生する引力または斥力が異なる第1移動部および第2移動部が設けられているため、チップの損傷発生を抑制することができるという効果を奏する。   According to the chip carrier of the present invention, since the first moving unit and the second moving unit that are different in attractive force or repulsive force generated by the applied magnetic field are provided, it is possible to suppress the occurrence of chip damage. Play.

図1(a)は、本発明のチップキャリアの構成を説明する上面視図であり、図1(b)は、図1(a)のA−A’線断面視図である。FIG. 1A is a top view for explaining the configuration of the chip carrier of the present invention, and FIG. 1B is a cross-sectional view taken along the line A-A ′ of FIG. 図2(a)は、チップキャリアにチップが固定された状態を説明する断面視図であり、図2(b)は、チップキャリアに磁石を近づけた状態を説明する断面視図である。FIG. 2A is a cross-sectional view for explaining a state in which the chip is fixed to the chip carrier, and FIG. 2B is a cross-sectional view for explaining a state in which the magnet is brought close to the chip carrier. 図3(a)は、チップキャリアに磁石を更に近づけた状態を説明する断面視図であり、図3(b)は、チップキャリアからチップが取出される状態を説明する断面視図である。FIG. 3A is a cross-sectional view for explaining a state in which the magnet is further brought closer to the chip carrier, and FIG. 3B is a cross-sectional view for explaining a state in which the chip is taken out from the chip carrier. 本発明のチップキャリアの他の構成を説明する断面視図である。It is a sectional view explaining other composition of the chip carrier of the present invention. 図5(a)は従来のチップキャリアの構成を説明する上面視図であり、図5(b)はケースに収納されたチップキャリアの構成を説明する上面視図である。FIG. 5A is a top view for explaining the configuration of the conventional chip carrier, and FIG. 5B is a top view for explaining the configuration of the chip carrier housed in the case. 図6(a)は他の従来のチップキャリアの構成を説明する上面視図であり、図6(b)は、図6(a)のA−A’線断面視図である。FIG. 6A is a top view for explaining the configuration of another conventional chip carrier, and FIG. 6B is a cross-sectional view taken along line A-A ′ of FIG. 図7(a)は、従来のチップキャリアにチップが固定された状態を説明する断面視図であり、図7(b)は、従来のチップキャリアに磁石を近づけた状態を説明する断面視図である。FIG. 7A is a cross-sectional view for explaining a state in which the chip is fixed to the conventional chip carrier, and FIG. 7B is a cross-sectional view for explaining a state in which the magnet is brought close to the conventional chip carrier. It is. 図8(a)は、従来のチップキャリアに吸引ノズルを近づけた状態を説明する断面視図であり、図8(b)は、従来のチップキャリアからチップが取出される状態を説明する断面視図である。FIG. 8A is a sectional view for explaining a state in which the suction nozzle is brought close to the conventional chip carrier, and FIG. 8B is a sectional view for explaining a state in which the chip is taken out from the conventional chip carrier. FIG. 図9(a)は、従来のチップキャリアにチップが固定された状態を説明する断面視図であり、図9(b)は、一部の金属片が磁石に引き寄せられた状態を説明する断面視図であり、図9(c)は、チップの姿勢が乱れた状態を説明する断面視図である。FIG. 9A is a cross-sectional view illustrating a state in which the chip is fixed to a conventional chip carrier, and FIG. 9B is a cross-section illustrating a state in which some metal pieces are attracted to the magnet. FIG. 9C is a cross-sectional view illustrating a state in which the posture of the chip is disturbed.

この発明の一実施形態に係るチップキャリア1について、図1から図4を参照しながら説明する。本実施形態では、本願発明を光学部品、電子部品であるチップ3の搬送に用いられるケースであるチップキャリア1である例に適用して説明する。   A chip carrier 1 according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In the present embodiment, the present invention will be described by applying the present invention to an example of a chip carrier 1 which is a case used for transporting a chip 3 which is an optical component or an electronic component.

チップキャリア1には、図1(a)および図1(b)に示すように、枠部11、粘着性フィルム(粘着部)21、および、支持体(支持部)31、第1金属片(第1移動部)41A、および、第2金属片(第2移動部)41Bが主に設けられている。なお、図1(a)および図1(b)には示されていないが、チップキャリア1には図5(b)に示すケース171が含まれていてもよい。   As shown in FIGS. 1A and 1B, the chip carrier 1 includes a frame portion 11, an adhesive film (adhesive portion) 21, a support body (support portion) 31, a first metal piece ( A first moving part) 41A and a second metal piece (second moving part) 41B are mainly provided. Although not shown in FIGS. 1A and 1B, the chip carrier 1 may include a case 171 shown in FIG. 5B.

枠部11は板状に形成された部材であり、粘着性フィルム21および支持体31を下方から支持するものである。本実施形態では、チップキャリア1を上側から見て、粘着性フィルム21および支持体31の周囲に枠部11が突出して延びている矩形状に形成されている例に適用して説明する。なお、枠部11を形成する材料としては磁場を透過させる材料であることが好ましい。   The frame part 11 is a member formed in a plate shape, and supports the adhesive film 21 and the support 31 from below. In this embodiment, the chip carrier 1 is described as applied to an example in which the frame portion 11 is formed to protrude and extend around the adhesive film 21 and the support 31 when viewed from the upper side. The material for forming the frame 11 is preferably a material that transmits a magnetic field.

粘着性フィルム21は、搬送対象物であるチップ3を保持するものである。粘着性フィルム21は、チップ3を保持する粘着性を有する粘着面22を有する変形可能な膜状またはシート状に形成されたものである。なお、粘着性フィルム21を形成する材料としては、変形可能であるとともに磁場を透過させる材料であることが好ましい。   The adhesive film 21 holds the chip 3 that is a conveyance object. The adhesive film 21 is formed in a deformable film shape or sheet shape having an adhesive surface 22 having adhesiveness for holding the chip 3. In addition, as a material which forms the adhesive film 21, it is preferable that it is a material which can deform | transform and permeate | transmit a magnetic field.

支持体31は、粘着性フィルム21および枠部11との間に配置され、粘着性フィルム21を下方から支持するものである。支持体31は、線状に形成された部材32を格子状に配置して形成された部材である。線状に形成された部材32が並べられる配置間隔としては、配置されるチップ3における間隔方向の寸法よりも小さい例を挙げることができる。なお、支持体31を形成する材料としては、第1金属片41A、および、第2金属片41Bとの間で引力や斥力を発生させない材料であることが好ましい。   The support body 31 is arrange | positioned between the adhesive film 21 and the frame part 11, and supports the adhesive film 21 from the downward direction. The support 31 is a member formed by arranging linearly formed members 32 in a lattice shape. An example of the arrangement interval in which the linearly formed members 32 are arranged can be smaller than the dimension in the interval direction of the arranged chips 3. In addition, as a material which forms the support body 31, it is preferable that it is a material which does not generate attraction or repulsion between the 1st metal piece 41A and the 2nd metal piece 41B.

また、本実施形態では、支持体31が複数の部材32が等間隔に並行に配置されるとともに、直交して配置された格子状のものである例に適用して説明したが、粘着性フィルム21を下方から支持するとともに、第1金属片41Aおよび第2金属片41Bが上下方向に移動可能な空間を有するものであればよく、具体的な形状を限定するものではない。   In the present embodiment, the support 31 is described as applied to an example in which a plurality of members 32 are arranged in parallel at equal intervals and are orthogonally arranged. As long as the first metal piece 41A and the second metal piece 41B have a space that can move in the vertical direction, the specific shape is not limited.

第1金属片41Aおよび第2金属片41Bは、印加される磁場により発生する引力または斥力により移動するものである。第1金属片41Aおよび第2金属片41Bは、粘着性フィルム21の内部であって、支持体31の格子状に配置された複数の部材32の間に対応する位置に配置されている。   The first metal piece 41A and the second metal piece 41B move by attractive force or repulsive force generated by the applied magnetic field. The first metal piece 41 </ b> A and the second metal piece 41 </ b> B are arranged inside the adhesive film 21 and at positions corresponding to the plurality of members 32 arranged in a lattice shape of the support 31.

本実施形態では、第1金属片41Aおよび第2金属片41Bが、磁性体である金属材料から形成されたものである例に適用して説明するが、磁場を加えることにより引力または斥力が発生する他の材料で形成されたものであってもよい。   In the present embodiment, the first metal piece 41A and the second metal piece 41B will be described as applied to an example in which the first metal piece 41A and the second metal piece 41B are formed of a metal material that is a magnetic body. However, attraction or repulsion is generated by applying a magnetic field. It may be formed of other materials.

第1金属片41Aは、磁場により発生する引力または斥力が相対的に大きなものであり、第2金属片41Bは、磁場により発生する引力または斥力が相対的に小さなものである。本実施形態では、第1金属片41Aおよび第2金属片41Bが、第1金属片41Aおよび第2金属片41Bが並ぶ方向にそって、交互に配置されている例に適用して説明する。言い換えると、チップ3が配置される領域内に、第1金属片41Aおよび第2金属片41Bの両者が配置されている例に適用して説明する。   The first metal piece 41A has a relatively large attractive force or repulsive force generated by the magnetic field, and the second metal piece 41B has a relatively small attractive force or repulsive force generated by the magnetic field. In the present embodiment, the first metal piece 41A and the second metal piece 41B will be described by applying to an example in which the first metal piece 41A and the second metal piece 41B are alternately arranged along the direction in which the first metal piece 41A and the second metal piece 41B are arranged. In other words, the description is applied to an example in which both the first metal piece 41A and the second metal piece 41B are arranged in the region where the chip 3 is arranged.

また、第1金属片41Aおよび第2金属片41Bは、配置されたチップ3に対してそれぞれ対称に配置されていてもよい。さらに、第1金属片41Aおよび第2金属片41Bの一方が、チップ3が配置される領域の中央に配置され、他方が一方を中心とした対称な位置に配置されていてもよい。   Further, the first metal piece 41A and the second metal piece 41B may be arranged symmetrically with respect to the arranged chip 3, respectively. Furthermore, one of the first metal piece 41A and the second metal piece 41B may be arranged at the center of the region where the chip 3 is arranged, and the other may be arranged at a symmetrical position with the other as the center.

第1金属片41Aおよび第2金属片41Bは、支持体31の複数の部材32の間に形成される空間に出入り可能な大きさを有するものである。本実施形態では、第1金属片41Aは金属材料から形成された矩形板状の部材であって、第2金属片41Bよりも面積が大きなものであり、第2金属片41B金属材料から形成された矩形板状の部材であって、第1金属片41Aよりも面積が大きなものである例に適用して説明する。   The first metal piece 41 </ b> A and the second metal piece 41 </ b> B have a size capable of entering and exiting a space formed between the plurality of members 32 of the support 31. In the present embodiment, the first metal piece 41A is a rectangular plate-like member formed from a metal material, and has a larger area than the second metal piece 41B, and is formed from the second metal piece 41B metal material. A rectangular plate-like member having an area larger than that of the first metal piece 41A will be described.

なお、第1金属片41Aおよび第2金属片41Bの形状は、磁場により発生する引力または斥力に相対的な大小の差が生じる形状であればよく、その形状を特に限定するものではない。   Note that the shapes of the first metal piece 41A and the second metal piece 41B are not particularly limited as long as the relative magnitude of the attractive force or repulsive force generated by the magnetic field is generated.

また、第1金属片41Aおよび第2金属片41Bを形成する材料を異ならせることにより、磁場により発生する引力または斥力に相対的な大小の差を生じさせてもよい。この場合、第1金属片41Aおよび第2金属片41Bが同じ形状に形成されたものであってもよい。   Moreover, you may produce the difference of a relative magnitude in the attractive force or repulsive force which generate | occur | produces with a magnetic field by making the material which forms 41 A of 1st metal pieces, and the 2nd metal piece 41B different. In this case, the first metal piece 41A and the second metal piece 41B may be formed in the same shape.

次に、上記の構成からなるチップキャリア1におけるチップ3の取出し方法について図2および図3を参照しながら説明する。図2(a)は、チップキャリア1の粘着性フィルム21にチップ3が保持、固定された状態を示すものである。チップ3は粘着性フィルム21の粘着面22に貼り付けられることにより、保持され固定される。この状態において、チップ3は搬送される。   Next, a method for taking out the chip 3 in the chip carrier 1 having the above-described configuration will be described with reference to FIGS. FIG. 2A shows a state in which the chip 3 is held and fixed to the adhesive film 21 of the chip carrier 1. The chip 3 is held and fixed by being attached to the adhesive surface 22 of the adhesive film 21. In this state, the chip 3 is transported.

チップ3をチップキャリア1から取出す際には、まず図2(b)に示すように磁石51が下側から枠部11に近づけられる。すると、磁石51により形成される磁場が第1金属片41Aに印加され、第1金属片41Aに引力が働く。この時、第2金属片41Bにも同様に引力が働く。第1金属片41Aに働く引力と、第2金属片41Bに働く引力とを比較すると、第1金属片41Aに働く引力が大きい。   When the chip 3 is taken out from the chip carrier 1, first, as shown in FIG. Then, the magnetic field formed by the magnet 51 is applied to the first metal piece 41A, and an attractive force acts on the first metal piece 41A. At this time, the attractive force also acts on the second metal piece 41B. When the attractive force acting on the first metal piece 41A is compared with the attractive force acting on the second metal piece 41B, the attractive force acting on the first metal piece 41A is large.

そのため、第1金属片41Aは、チップ3と粘着性フィルム21との粘着力に打ち勝ち、その周囲の粘着性フィルム21を下方へ引き下げる。これに対して、第2金属片41Bは、自身に働く引力が小さいため、チップ3と粘着性フィルム21との粘着力に打ち勝つことができない。第2金属片41Bの周囲の粘着性フィルム21は、チップ3と粘着したままとなる。   Therefore, the first metal piece 41A overcomes the adhesive force between the chip 3 and the adhesive film 21, and pulls down the adhesive film 21 around the first metal piece 41A. On the other hand, the second metal piece 41B cannot overcome the adhesive force between the chip 3 and the adhesive film 21 because the attractive force acting on itself is small. The adhesive film 21 around the second metal piece 41B remains adhered to the chip 3.

その後、図3(a)に示すように磁石51が更にチップキャリア1に近づけられる。すると第2金属片41Bに印加される磁場が強くなり、第2金属片41Bに働く引力が大きくなる。これにより、第2金属片41Bは、チップ3と粘着性フィルム21との粘着力に打ち勝ち、その周囲の粘着性フィルム21を下方へ引き下げる。   Thereafter, the magnet 51 is further brought closer to the chip carrier 1 as shown in FIG. Then, the magnetic field applied to the 2nd metal piece 41B becomes strong, and the attractive force which acts on the 2nd metal piece 41B becomes large. Thereby, the 2nd metal piece 41B overcomes the adhesive force of the chip | tip 3 and the adhesive film 21, and pulls down the adhesive film 21 of the circumference | surroundings downward.

この状態において、チップ3と粘着性フィルム21とは、支持体31の部材32が配置される周辺においてのみ粘着されている。言い換えると、磁場が印加される前と比較してチップ3と粘着性フィルム21とが粘着する面積が小さくなる。   In this state, the chip 3 and the adhesive film 21 are adhered only at the periphery where the member 32 of the support 31 is disposed. In other words, the area where the chip 3 and the adhesive film 21 adhere is smaller than before the magnetic field is applied.

図3(a)および図3(b)に示すように、チップキャリア1からチップ3を取出す吸引ノズル61は、上方からチップ3に接近する。吸引ノズル61は、吸引力によってチップ3の上面を保持して上方へ持ち上げることにより、チップ3を取り出す。   As shown in FIGS. 3A and 3B, the suction nozzle 61 for taking out the chip 3 from the chip carrier 1 approaches the chip 3 from above. The suction nozzle 61 takes out the chip 3 by holding the upper surface of the chip 3 by a suction force and lifting it upward.

なお、本実施形態では第1金属片41Aおよび第2金属片41Bに磁場を印加するものが磁石51である例に適用して説明しているが、この磁石51は永久磁石であってもよいし、電磁石であってもよい。磁石51が電磁石である場合には、磁石をチップキャリア1に接近離間させる代わりに、電磁石に供給する電流を増やしたり減らしたりしてもよい。   In the present embodiment, the magnet 51 is applied to the first metal piece 41A and the second metal piece 41B. However, the magnet 51 may be a permanent magnet. In addition, an electromagnet may be used. When the magnet 51 is an electromagnet, the current supplied to the electromagnet may be increased or decreased instead of moving the magnet closer to or away from the chip carrier 1.

上記の構成のチップキャリア1によれば、印加される磁場により発生する引力が異なる第1金属片41Aおよび第2金属片41Bが設けられていることにより、段階的にチップ3と粘着性フィルム21との粘着を引きはがすことができる。そのため、チップ3をチップキャリア1から取出す際のチップ3姿勢の乱れが起きにくくなり、チップ3の損傷発生を抑制することができる。   According to the chip carrier 1 having the above configuration, the first metal piece 41A and the second metal piece 41B having different attractive forces generated by the applied magnetic field are provided, so that the chip 3 and the adhesive film 21 are stepwise. Can be peeled off. Therefore, the disorder of the posture of the chip 3 when taking out the chip 3 from the chip carrier 1 is less likely to occur, and the occurrence of damage to the chip 3 can be suppressed.

配置されたチップ3と対向する領域内に第1金属片41Aおよび第2金属片41Bが配置されるため、段階的にチップ3と粘着性フィルム21との粘着が引きはがされやすくなる。そのため、チップ3をチップキャリア1から取出す際に、チップ3の姿勢の乱れが更に起きにくくなり、チップ3の損傷発生を抑制しやすくなる。   Since the first metal piece 41A and the second metal piece 41B are arranged in a region facing the arranged chip 3, the adhesion between the chip 3 and the adhesive film 21 is easily peeled off step by step. Therefore, when the chip 3 is taken out from the chip carrier 1, the posture of the chip 3 is more difficult to be disturbed, and the occurrence of damage to the chip 3 is easily suppressed.

配置されたチップ3に対して第1金属片41Aおよび第2金属片41Bが、それぞれ対称に配置されるため、段階的にチップ3と粘着性フィルム21との粘着が引きはがされやすくなる。そのため、チップ3をチップキャリア1から取出す際に、チップ3の姿勢の乱れが更に起きにくくなり、チップ3の損傷発生を抑制しやすくなる。   Since the first metal piece 41A and the second metal piece 41B are arranged symmetrically with respect to the arranged chip 3, the adhesion between the chip 3 and the adhesive film 21 is easily peeled off step by step. Therefore, when the chip 3 is taken out from the chip carrier 1, the posture of the chip 3 is more difficult to be disturbed, and the occurrence of damage to the chip 3 is easily suppressed.

第1金属片41Aを相対的に大きな寸法で形成することにより、磁場により働く引力を相対的に大きくし易くなる。また、第2金属片41Bを相対的に小さな寸法で形成することにより、磁場により働く引力を相対的に小さくし易くなる。   By forming the first metal piece 41A with a relatively large size, it becomes easier to relatively increase the attractive force acting by the magnetic field. In addition, by forming the second metal piece 41B with a relatively small size, it becomes easier to relatively reduce the attractive force acting by the magnetic field.

第1金属片41Aおよび第2金属片41Bを粘着性フィルム21の内部に配置することにより、第1金属片41Aおよび第2金属片41Bの周囲の粘着性フィルム21は、第1金属片41Aおよび第2金属片41Bの動きに追従して動きやすくなる。そのため、チップ3を粘着性フィルム21から剥離しやすくなる。   By disposing the first metal piece 41A and the second metal piece 41B inside the adhesive film 21, the adhesive film 21 around the first metal piece 41A and the second metal piece 41B becomes the first metal piece 41A and It becomes easy to move following the movement of the second metal piece 41B. Therefore, it becomes easy to peel off the chip 3 from the adhesive film 21.

なお、上述の実施形態のように第1金属片41Aおよび第2金属片41Bが、粘着性フィルム21の中に配置されていてもよいし、図4に示すように、第1金属片41Aおよび第2金属片41Bが、粘着性フィルム21の下側の面に配置されていてもよい。言い換えると支持体31側の面に配置されていてもよい。   Note that the first metal piece 41A and the second metal piece 41B may be arranged in the adhesive film 21 as in the above-described embodiment, or as shown in FIG. The second metal piece 41 </ b> B may be disposed on the lower surface of the adhesive film 21. In other words, it may be arranged on the surface on the support 31 side.

このように第1金属片41Aおよび第2金属片41Bを、粘着性フィルム21における支持体31と対向する面に配置することにより、粘着性フィルム21の内部に配置する場合と比較して、第1金属片41Aおよび第2金属片41Bを配置しやすくなる。   Thus, by arranging the first metal piece 41A and the second metal piece 41B on the surface of the adhesive film 21 facing the support 31, the first metal piece 41A and the second metal piece 41B are compared with the case where the first metal piece 41A and the second metal piece 41B are arranged inside the adhesive film 21. It becomes easy to arrange the first metal piece 41A and the second metal piece 41B.

なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。例えば、上記の実施の形態においては、この発明に係るチップキャリアが光学部品、電子部品であるチップの搬送に用いられるケースである例に適用して説明したが、搬送する対象であるチップは微小な部品であればよく、光学部品や電子部品に限定するものではない。   The technical scope of the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention. For example, in the above-described embodiment, the chip carrier according to the present invention is applied to an example in which the chip carrier is used for transporting a chip that is an optical component or an electronic component. However, the present invention is not limited to optical parts and electronic parts.

1…チップキャリア、3…チップ、11…枠部、21…粘着性フィルム(粘着部)、22…粘着面、31…支持体(支持部)、32…部材、41A…第1金属片(第1移動部)、41B…第2金属片(第2移動部)   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Chip carrier, 3 ... Chip, 11 ... Frame part, 21 ... Adhesive film (adhesive part), 22 ... Adhesive surface, 31 ... Support body (support part), 32 ... Member, 41A ... 1st metal piece (1st) 1 moving part), 41B ... 2nd metal piece (2nd moving part)

Claims (6)

搬送対象物であるチップが配置される粘着面を有する膜状に形成された粘着部と、
前記チップとの間に前記粘着部を挟む位置に配置されるとともに、前記粘着部に配置された前記チップを前記粘着部が延びる方向に離散的に支持する支持部と、
前記粘着部および前記支持部を保持する枠部と、
印加される磁場により発生する引力または斥力により移動するものであって、前記粘着部における前記支持部により支持されている箇所の間に配置される複数の移動部と、が設けられ、
前記複数の移動部は、前記磁場により発生する引力または斥力が相対的に大きな第1移動部と、相対的に小さな第2移動部とを、少なくとも含み、前記第1移動部および前記第2移動部が交互に並んで配置されているチップキャリア。
An adhesive part formed in a film shape having an adhesive surface on which chips to be conveyed are placed;
A support portion that is disposed at a position between which the adhesive portion is sandwiched between the tip and the tip that is discretely supported in the direction in which the adhesive portion extends;
A frame portion for holding the adhesive portion and the support portion;
A plurality of moving parts that are moved by an attractive force or a repulsive force generated by an applied magnetic field and are arranged between the portions of the adhesive part supported by the support part; and
The plurality of moving units include at least a first moving unit that generates a relatively large attractive force or repulsive force generated by the magnetic field and a relatively small second moving unit, and the first moving unit and the second moving unit. Chip carrier in which parts are arranged alternately.
配置された前記チップと対向する領域内には、前記第1移動部および前記第2移動部が配置されている請求項1記載のチップキャリア。   The chip carrier according to claim 1, wherein the first moving unit and the second moving unit are arranged in a region facing the arranged chip. 前記第1移動部および前記第2移動部は、配置された前記チップに対してそれぞれ対称に配置されている請求項1記載のチップキャリア。   The chip carrier according to claim 1, wherein the first moving unit and the second moving unit are arranged symmetrically with respect to the arranged chip. 前記第1移動部は相対的に大きな寸法で形成され、前記第2移動部は相対的に小さな寸法で形成されている請求項1から3のいずれか1項に記載のチップキャリア。   4. The chip carrier according to claim 1, wherein the first moving part is formed with a relatively large size, and the second moving part is formed with a relatively small size. 5. 前記第1移動部および前記第2移動部は、膜状に形成された前記粘着部の内部に配置されている請求項1から4のいずれか1項に記載のチップキャリア。   The chip carrier according to any one of claims 1 to 4, wherein the first moving part and the second moving part are arranged inside the adhesive part formed in a film shape. 前記第1移動部および前記第2移動部は、前記粘着部における前記支持部と対向する面に配置されている請求項1から4のいずれか1項に記載のチップキャリア。   5. The chip carrier according to claim 1, wherein the first moving part and the second moving part are arranged on a surface of the adhesive part that faces the support part. 6.
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