JP6062491B2 - 上部誘電石英板及びスロットアンテナの基本概念 - Google Patents
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Description
102 プラズマチャンバ
104 気体供給システム
108 マイクロ波電源
109 真空システム
110 高周波(RF)電源
112 断面図
114 電源集合体
116 基板ホルダ
118 気体の通路
120 アンテナ板
122 マイクロ波導波管
124 誘電部材
126 環状溝
200 誘電部材の実施例の底面図
202 溝
204 上側表面
210 第1表面
212 第2表面
214 深さ線
300 誘電板の他の実施例の断面図
302 誘電板の他の実施例の斜視図
304 第2領域
306 第3領域
400 周期的環状パターンの底面図
406 周期的な溝
408 最小半径
410 最大半径
500 溝の可変深さの実施例の底面図
502 溝の可変深さの実施例の斜視図
504 溝
506 最小深さ部分
508 最大深さ部分
510 内側の溝
Claims (19)
- マイクロエレクトロニクス基板用プラズマ処理装置であって:
前記マイクロエレクトロニクス基板を受け取り可能な基板ホルダ;
前記基板ホルダの反対に設けられるアンテナ;及び、
前記基板ホルダと前記アンテナとの間に設けられる誘電部材、を有し、
前記誘電部材は:
第1表面;
前記第1表面に対向し、かつ、前記第1表面よりも前記アンテナから離れている第2表面;
30mm未満の厚さ;
前記誘電部材の中心点の周りに設けられる2つ以上の同心円状の溝、を有し、
前記溝は:
非線形の断面;
前記誘電部材の第2表面で10mm乃至60mmの幅;及び、
前記第2表面から5mm乃至25mmの深さ、を有し、
2つ以上の前記溝の間での距離が、前記溝に沿った位置で変化する、
マイクロエレクトロニクス基板用プラズマ処理装置。 - 前記同心円状の溝の各々が、前記中心点の周りでリングを形成する、請求項1に記載の装置。
- 前記溝の少なくとも1つの深さが、前記溝に沿った位置で1%以上変化する、請求項1に記載の装置。
- 前記溝が、前記中心点の周りで前記溝の深さを変化させる周期的パターンを有する、請求項1に記載の装置。
- 前記溝の各々の深さが互いに異なる、請求項1に記載の装置。
- 前記溝が:
10mm未満の第1深さを有する第1溝;及び、
25mm未満の第2深さを有する第2溝、
を含む、請求項1に記載の装置。 - 前記溝がさらに、前記第2深さよりも深い第3深さ、及び、前記第1溝又は前記第2溝の周囲よりも長い周囲を有する、第3溝を含む、請求項6に記載の装置。
- 第1表面;
前記第1表面に対向して、環状に配置された2つ以上の溝を有する第2表面、を有する装置であって、
前記溝は:
曲率を有する断面形状;及び、
25mm未満であって、前記第2表面からの距離で変化する溝の深さ;
前記第1表面から前記第2表面へ電磁エネルギーを送ることを可能にする誘電部材;及び、
30mm未満の距離を有する前記第1表面と前記第2表面との間の距離、を有し、
前記2つ以上の溝の間での距離が、前記溝に沿った位置で変化する、
装置。 - 前記溝の深さが、前記溝の環状の位置に沿った前記誘電部材の中心点からの距離で相違する、請求項8に記載の装置。
- 前記溝が60mmの最大幅を有する、請求項8に記載の装置。
- 前記溝が10mmの最小幅を有する、請求項10に記載の装置。
- 前記溝の深さが5mm以上である、請求項8に記載の装置。
- 前記誘電部材の材料が石英を含む、請求項8に記載の装置。
- 少なくとも2つの前記溝が:
第1溝;及び、
前記溝の深さ、前記溝の幅、又は環状パターンのうちの少なくとも1つ以上によって前記第1溝とは異なる第2溝、を有する、
請求項8に記載の装置。 - 第1表面;
前記第1表面に対向して、環状に配置された2つ以上のトレンチを有する第2表面、を有する装置であって、
前記トレンチは:
非線形部分と線形部分を有する断面;
前記第2表面に沿った周期的パターン;
10mm乃至60mmの幅を有する、前記第2表面でのトレンチ開口部の幅;
前記第1表面から前記第2表面へ電磁エネルギーを送ることを可能にする誘電材料;
30mm未満の厚さ、を有し、
前記2つ以上のトレンチの間での距離が、前記トレンチに沿った位置で変化する、
装置。 - 前記トレンチが、前記第2表面からの距離で変化するトレンチ深さを有し、
前記トレンチ深さは25mm未満である、
請求項15に記載の装置。 - 前記トレンチが:
10mm未満の第1深さを有する第1トレンチ;及び、
25mm未満の第2深さを有する第2トレンチ、を有する、
請求項15に記載の装置。 - 前記トレンチがさらに、前記第2深さよりも深い第3深さ、及び、前記第1トレンチ又は前記第2トレンチの周囲よりも長い周囲を有する第3トレンチを含む、請求項17に記載の装置。
- 前記2つ以上のトレンチの周期的パターンが位置合わせされている、請求項15に記載の装置。
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