JP6062192B2 - マイエナイト複合材および電子放出用陰極 - Google Patents
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Description
[A24T28O64](4+δ)+・(2+δ/2)X2−・・・・(1)
((1)式中、AはCa2+またはSr2+であり、TはAl3+のみ、またはAl3+を基本とし、Si4+、Ga3+、Zn2+、またはP5+によってAl3+が部分的に置換され、X2−はO2−、S2ー、O2 2ー、2OH−、2F−、2Cl−、2O−、2O2 −、2H−、2e−(電子)からなる群より選ばれ、こららのうち複数の任意の比率の組み合わせが許容される。また、δは8以下の値である。)
Ti、Ni、Fe、Cr、Co、W、Moからなる群より選ばれる元素で構成される金属結合材と、を備えることを特徴とする。
(A)酸化物は、電子伝導性およびマイエナイト構造を有し、下記一般式(1)で表される。
[A24T28O64](4+δ)+・(2+δ/2)X2−・・・・(1)
(1)式中、AはCa2+またはSr2+である。Aの一部はMg2+で置換されてもよい。TはAl3+のみ、またはAl3+を基本としSi4+、Ga3+、Zn2+、またはP5+によって部分的にAl3+が置換された組成である。陰イオンX2−はO2−、S2ー、O2 2ー、2OH−、2F−、2Cl−、2O−、2O2 −、2H−、2e−(電子)からなる群より選ばれる。陰イオンX2−は、単一のイオン種に限られず、複数のイオン種からなっていてもよい。
(B)金属結合材は、Ti、Ni、Fe、Cr、Co、W、Moからなる群より選ばれる元素で構成される。(B)金属結合材は、上記元素によってネットワーク構造を形成している。本実施の形態のマイエナイト複合材において、上述した(A)酸化物と(B)金属結合材との体積比は、10:90〜95:5の範囲であることが好ましい。(A)酸化物と(B)金属結合材の合計体積を基準として、(A)酸化物の体積比率が10%より小さいと、電子放出能などのマイエナイト本来の特性が十分に得られなくなる。一方、(A)酸化物と(B)金属結合材の合計体積を基準として、(A)酸化物の体積比率が95より大きいと、(B)金属結合材の結合性が著しく損なわれ、マイエナイト複合材の強度が低下する。また、マイエナイト複合材内部で(B)金属結合材同士のネットワークが繋がりにくくなり、マイエナイト複合材のバルク電気伝導度が著しく低下する。
上述したマイエナイト複合材に隙間を設けて引き出し電極を設置し、真空中で室温から1000℃程度の温度域でマイエナイト複合材と引き出し電極間に強電場を印加すると電子が放出される。なお、実施の形態に係るマイエナイト複合材を用いた電子放出用陰極は、熱電子放出用に限られず、冷電子放出用にも適用されうる。
焼結法によって作製した、相純度99%以上、相対密度99%以上のマイエナイト(上述した一般式(1)において、A=Ca2+、T=Al3+、X2−=O2−としたマイエナイト)を、粒状Tiと共に石英ガラス管に真空封止後1100℃で2週間の熱処理を行った。得られたマイエナイト・エレクトライドの電子濃度をヨードメトリー法で測定したところ、2×1021cm−3であった。マイエナイト・エレクトライド表面に生成した主に酸化チタンからからなる反応相を機械研磨によって除去することで、原料となるマイエナイト・エレクトライドを得た。このマイエナイト・エレクトライドを乳鉢粉砕によって、平均粒径約3μmに粉砕した。このマイエナイト・エレクトライド粉末と市販の純度99%,平均粒径約10μmの金属Ti粉末を90:10(vol%)の体積比率となるように秤量し、再度乳鉢混合した。混合粉末を、硬質グラファイトからなる内径15mmφの一軸金型に充填して、SPSシンテックス製プラズマ焼結装置を用いて焼結した。本プラズマ焼結法の条件は以下の通りであり、雰囲気は油回転ポンプで得られた約10Paの低真空、金型への一軸加圧は112MPa、焼結条件は800℃で6分であった。得られたマイエナイト複合材の表面を研磨した後、X線回折法で複合体を構成する相を調べたところ、マイエナイト・エレクトライドと金属Tiのみであり、その他の相は存在しても2wt%以下程度と見積もられた。
実施例2のマイエナイト複合材は、マイエナイト・エレクトライド粉末と金属Ti粉末との体積比率を80:20(vol%)としたことを除き、実施例1と同様に作製された。実施例2のマイエナイト複合材の焼結密度を測定したところ、92%であった。
実施例3のマイエナイト複合材は、マイエナイト・エレクトライド粉末と金属Ti粉末との体積比率を70:30(vol%)としたことを除き、実施例1と同様に作製された。実施例3のマイエナイト複合材の焼結密度を測定したところ、90%であった。
実施例4のマイエナイト複合材は、マイエナイト・エレクトライド粉末と金属Ti粉末との体積比率を10:90(vol%)としたことを除き、実施例1と同様に作製された。実施例4のマイエナイト複合材の焼結密度を測定したところ、99%であった。
比較例1のマイエナイト複合材は、マイエナイト・エレクトライド粉末と金属Ti粉末との体積比率を99:1(vol%)としたことを除き、実施例1と同様に作製された。比較例1のマイエナイト複合材の焼結密度を測定したところ、63%であった。
実施例1〜4、比較例1のマイエナイト複合材について、重量と外寸から算出した体積から焼結密度を算出した。焼結密度について得られた結果を表1に示す。表1に示すように、比較例1に比べて実施例1〜4は焼結密度が顕著に増加することが確かめられた。比較例1のマイエナイト複合材は強度に乏しく、バルクとしての形態をかろうじて保っていたのに対して、実施例1〜4のマイエナイト複合材はバルクとしての形態を好適に保つことが確認された。
実施例1〜3のマイエナイト複合材については、電気的接触の良好性を評価するために二端子法を用いた。この場合には、試料の両端に銀ペーストを塗布して電極とした。一方Tiの配合比が勝る実施例4のマイエナイト複合材については、電気的接触が良好であることは明らかであり、かつ2端子法で測定するには伝導率が高すぎるため、4端子法によりバルク本体の抵抗率を評価した。なお、比較例1のマイエナイト複合材は接触抵抗が極めて高く、電気伝導率の測定ができなかった。電気伝導率について得られた結果を表1に示す。
実施例1〜4のマイエナイト複合材各試料について、以下の溶接条件にてスポット溶接の可否を評価した。
<溶接条件>
溶接材料:K熱電対用アルメル・クロメルφ0.1mm線
溶接装置:Avio Super Welder,NRW−100A
印加圧力:8N
溶接出力:4〜15J
上記条件にて溶接できた場合を「可」とし、溶接できなかった場合を「不可」とし、得られた結果を表1に示す。なお、「不可」の場合には、溶接出力を25Jまで出力を上げても溶接ができなかった。
図1は熱電子放出特性の計測のための装置の概要を示す図である。実施例3で得られたマイエナイト複合材を、幅、奥行き0.6mm、長さ2mm、先端径0.14mmφの鉛筆型のチップ状に切削加工し、エミッタ陰極10とした。このエミッタ陰極10をLaB6チップを放出源とした市販の電子放出源カートリッジに、LaB6チップと置き換える形で設置した。電子放出源カートリッジは一片0.5mmのグラファイト20をエミッタ陰極10の両側に設置した形態になっている。これをさらに、熱電子放出評価用の真空槽に設置した。一対のグラファイト20はそれぞれ陰極用電極30と電気的に接続されており、さらに真空槽内の電線、フィードスルーを通して外部電源40に接続される。一対の陰極用電極30間に最大3A、−10Vまでの電流−電圧を印加することで、グラファイト20とエミッタ陰極10を通過するように電流が印加され、主にグラファイト20の自己発熱とそれと接触すエミッタ陰極10への熱拡散によってエミッタ陰極10が加熱される。エミッタ陰極10の温度は放射温度計で計測した。エミッタ陰極10の先端と同一の面上に直径0.5mmの孔をもつウェーネルト電極50が設置され、エミッタ陰極10の電位とほぼ同等かそれよりも低い電位に調節される。またエミッタ陰極10の先端と1mm程のギャップを介して直径0.8mmの孔を持つ引き出し電極60を設置した。また、エミッタ陰極10の先端の電位が、接地電位に対して最大−4kVになるように電位が印加されることで、エミッタ陰極10の先端から電子が真空中へ引き出される。エミッタ陰極10から放出された電子は、接地電位にある陽極70で捕集し、その電流値を外部の電流計で計測した。陽極70からの二次電子による影響を抑えるため、引き出し電極60には−9Vの電位を与え、二次電子を陽極70に導いた。
Claims (4)
- 電子伝導性およびマイエナイト構造を有し、下記一般式(1)で表される酸化物と、
[A24T28O64](4+δ)+・(2+δ/2)X2−・・・・(1)
((1)式中、AはSr2+またはCa2+であり、TはAl3+のみ、またはAl3+を基本とし、Si4+、Ga3+、Zn2+、またはP5+によってAl3+が部分的に置換され、X2−はO2−、S2ー、O2 2ー、2OH−、2F−、2Cl−、2O−、2O2 −、2H−、2e−(電子)からなる群より選ばれる。また、δは8以下の値である。)
Ti、Ni、Fe、Cr、Co、W、Moからなる群より選ばれる元素で構成される金属結合材と、を備え、
前記酸化物と前記金属結合材との体積比が10:90〜95:5の範囲であることを特徴とするマイエナイト複合材。 - 前記酸化物と前記金属結合材との体積比が10:90〜80:20の範囲である請求項1に記載のマイエナイト複合材。
- 前記金属結合材は、Ti、Ni、Fe、Crからなる群より選ばれる請求項1に記載のマイエナイト複合材。
- X2− が2e−である前記酸化物を含む請求項1乃至3のいずれか1項に記載のマイエナイト複合材を用いた電子放出用陰極。
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