JP6060502B2 - エンコーダ、駆動装置、及び移動体の移動の検出方法 - Google Patents
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Description
[第1の実施形態]
本実施形態では、一例として、2次元スケールを備えるエンコーダについて説明する。
図1は、本実施形態によるエンコーダ1の一例を示す外観図である。
図1において、エンコーダ1は、センサ部2と、スケール3と、コントローラ部4とを備えている。
ステージ6(移動体)は、X方向とY方向との2次元に移動可能であり、水平に配置された下段ステージ63と、下段ステージ63上をX方向に移動する中段ステージ62と、中段ステージ62上をY方向に移動する上段ステージ61とを備えている。
本実施形態では、一例として、図2に示すように、センサ部2が、反射式によりスケール3のパターンを検出する場合について説明する。
エンコーダ1は、スケール3の表示部30に表示されているパターンと対向して配置される光源部20を有している。光源部20は、例えば、LED(Light Emitting Diode:発光ダイオード)であり、表示部30に表示されているパターンに光を照射する。
また、スケール3は、表示部30に表示しているパターンにより、光源部20から照射された光をセンサ部2に反射し、センサ部2は、表示部30に表示されているパターンを反射した光を受光する。
図3において、エンコーダ1は、センサ部2、スケール3、コントローラ部4、及び光源部20を備えている。この図において、図1及び図2と同じ構成には、同じ符号を付し、その説明を省略する。
なお、スケール3の表示部30は、例えば、2次元の平面状に形成されており、平面上に2次元のマトリックス状に配置された複数の画素300(表示素子)を有している。表示部30は、この複数の画素300の光の透過率(又は反射率)を変えることにより、パターン(例えば、白色と黒色とのパターン)を表示する。したがって、本実施形態のスケール3は、位置情報に応じた可変なパターンを有する。なお、本実施形態では、パターンは、位置情報を絶対位置として示すアブソリュートパターンであって、ステージ6の少なくとも2つの移動方向(例えば、X方向及びY方向)に応じた少なくとも2つのアブソリュートパターンを有している。すなわち、パターンには、X方向(第1の検出方向)の位置情報を示す第1のパターンと、X方向と直交するY方向(第2の検出方向)の位置情報を示す第2のパターンとが含まれる。
また、センサ部2は、第1のパターンに対応する第1の検出信号と、第2のパターンに対応する第2の検出信号とを位置検出部52に出力する。
光源駆動部41は、信号処理部5から出力される制御信号に基づいて、光源部20を発光(点灯)させるための駆動信号を生成し、生成した駆動信号を光源部20に供給する。
また、信号処理部5は、パターン制御部51及び位置検出部52を備えている。
なお、パターン制御部51によるパターンの切り替え制御については、詳細に後述する。
図4は、本実施形態におけるエンコーダ1の動作を示すフローチャートである。
また、図5から図8は、本実施形態におけるスケール3のパターン切り替えの一例を示す図である。
次に、ステップS102からステップS105において、エンコーダ1は、ステージ6の初期位置(絶対位置、原点位置)を検出する。ここでまず、エンコーダ1は、X方向に対応するパターンを、Y方向に表示範囲を変更して表示部30全面に表示させて、X方向の絶対位置を検出する。
エンコーダ1は、このステップS103とステップS104の処理を、パターンPX0が検出されるまで繰り返す。すなわち、エンコーダ1は、図5の表示画面G1〜G4に示すように、Y方向に表示範囲を変更してパターンPX0を表示させる。図5の表示画面G4に示すように、パターンPX0の表示範囲がセンサ部2によって検出できる位置になった場合に、位置検出部52は、センサ部2から出力された検出信号に基づいて、上述の第1の位置情報(X方向の絶対位置情報)を検出する。
また、位置検出部52は、パターンPY0が検出できないと判定した場合に、処理をステップS102に戻す。なお、この場合に、パターン制御部51は、パターンPY0の表示範囲(表示位置)を変更して表示させてもよい。また、位置検出部52は、パターンPY0が検出できないと判定した場合に、処理をステップS105に戻してもよい。
次に、エンコーダ1は、X方向の位置情報を検出する(ステップS110)。すなわち、位置検出部52は、センサ部2から出力されたパターンPX1に対応する検出信号に基づいて、X方向の絶対位置情報を検出する。
次に、エンコーダ1は、Y方向の位置情報を検出する(ステップS112)。すなわち、位置検出部52は、センサ部2から出力されたパターンPY1に対応する検出信号に基づいて、Y方向の絶対位置情報を検出する。エンコーダ1は、Y方向の絶対位置情報を検出した後、処理をステップS107に戻し、ステップS107からステップS112の処理を繰り返し実行する。これにより、エンコーダ1は、所定の期間ごとに、ステージ6の2次元位置情報を検出する。
図6は、初期位置を検出後に、ステージ6の位置が、例えば、座標[X1=10,Y1=10]である場合を示している。この場合、パターン制御部51は、表示部30の座標[X1,Y1]に対応した表示範囲R1に、パターンPY1とパターンPX1とを交互に表示させる。
これにより、本実施形態におけるエンコーダ1は、1つのスケール3に、異なるパターンを1次元又は2次元に表示させて、異なる位置情報(移動情報)を検出することができる。例えば、本実施形態におけるエンコーダ1は、X方向とY方向との2種類の位置情報を検出する場合に、スケール3を1つにすることができるとともに、検出方向に応じて高精度に位置情報を検出するパターンを切り替えて表示部30に表示させることができる。つまり、本実施形態におけるエンコーダ1は、例えば、X方向とY方向との2種類の位置情報を検出する場合に、それぞれのスケールを備える必要がない。そのため、本実施形態におけるエンコーダ1は、構成を簡略化しつつ、高精度に位置情報(移動情報)を検出することができる。
これにより、パターン制御部51は、ステージ6の位置情報に応じて適切な位置に適切なパターン(例、部分的なパターン)を表示させるので、本実施形態におけるエンコーダ1は、適切に位置情報(移動情報)を検出することができる。
これにより、パターン制御部51は、例えば、センサ部2の位置に応じて、適切な表示位置にパターンを表示させるので、本実施形態におけるエンコーダ1は、高精度、且つ適切に位置情報(移動情報)を検出することができる。
これにより、本実施形態におけるエンコーダ1は、例えば、センサ部2の周辺にパターンを部分的に表示させるので、パターンの切り替え間隔を低減することができる。よって、本実施形態におけるエンコーダ1は、位置情報の検出間隔を低減することができるので、高精度に位置情報(移動情報)を検出することができる。
これにより、本実施形態におけるエンコーダ1は、2次元の絶対位置情報を検出することができる。また、本実施形態におけるエンコーダ1は、1つのスケール3に、異なるパターンを表示させて、異なる位置情報(移動情報)を検出することができる。
これにより、本実施形態におけるエンコーダ1は、2次元の位置情報(移動情報)を適切に検出することができる。
これにより、本実施形態におけるエンコーダ1は、構成を簡略化しつつ、2次元の位置情報(移動情報)を高精度に検出することができる。
これにより、本実施形態におけるエンコーダ1は、位置情報の初期位置を高精度に検出することができる。
これにより、パターン制御部51は、センサ部2が検出不可能にならないように、適切にパターンの表示範囲を変更することができる。よって、本実施形態におけるエンコーダ1は、適切に位置情報(移動情報)を検出することができる。
次に、第2の実施形態におけるエンコーダ1について、図面を参照して説明する。
本実施形態では、エンコーダ1は、絶対位置情報を検出した後に、2方向のインクリメンタルパターンを切り替えて表示部30に表示させて、インクリメンタルパターンに対応した検出信号に基づいて、位置の変位量を検出する場合の一例を説明する。
本実施形態におけるエンコーダ1の構成は、上述した図1から図3に示す構成と同様である。
なお、本実施形態では、パターンには、位置情報を絶対位置として示すアブソリュートパターンと、位置情報を変位量として示すインクリメンタルパターンとが含まれる。
また、本実施形態におけるパターン制御部51は、アブソリュートパターンとインクリメンタルパターンとを切り替えて表示部30に表示させる。また、パターン制御部51は、位置情報の検出を開始する際にアブソリュートパターンを表示させた後に、インクリメンタルパターンに切り替えて表示部30に表示させる。
本実施形態におけるエンコーダ1の基本的な動作は、図4に示す処理と同様である。
本実施形態では、初期位置を検出した後のパターンの切り替え、及び位置情報の検出方法が第1の実施形態と異なる。以下、本実施形態におけるエンコーダの動作のうち、この第1の実施形態と異なる点を説明する。
図9において、電源が投入された際のステージ6の初期位置は、座標[10,10]である場合の一例である。なお、この図において、座標([10,10],[30,30])及び表示範囲(R1,R3)は、図6及び図8と同様の位置及び表示範囲である。
なお、図9(b)では、図9(a)に示される初期位置からステージ6が移動していないため、初期位置からの変位量は、X方向及びY方向の両方とも“0”である。
したがって、本実施形態におけるエンコーダ1は、1つのスケール3に、異なるパターンを表示させて、絶対位置情報と変位量という異なる位置情報(移動情報)を検出することができる。よって、本実施形態におけるエンコーダ1は、構成を簡略化しつつ、高精度に位置情報(移動情報)を検出することができる。
これにより、初期位置の絶対位置情報を取得した後には、インクリメンタルパターンによる変位量のみ検出するため、本実施形態におけるエンコーダ1は、位置検出の処理を簡略化することができる。
次に、第3の実施形態におけるエンコーダ1について、図面を参照して説明する。
本実施形態では、エンコーダ1は、絶対位置情報を検出した後に、2方向のインクリメンタルパターンを切り替えて表示部30に表示させて、インクリメンタルパターンに対応した検出信号に基づいて、位置の変位量を検出する場合の別の一例を説明する。本実施形態におけるエンコーダ1は、インクリメンタルパターンが1つのパターンによってX方向とY方向との両方の変位量を検出可能なパターンを表示部30に表示させる点が、第2の実施形態と異なる。
本実施形態におけるエンコーダ1の構成は、上述した図1から図3に示す構成と同様である。
なお、本実施形態では、パターンには、位置情報を絶対位置として示すアブソリュートパターンと、位置情報を変位量として示すインクリメンタルパターンとが含まれる。
また、本実施形態におけるパターン制御部51は、アブソリュートパターンとインクリメンタルパターンとを切り替えて表示部30に表示させる。また、パターン制御部51は、位置情報の検出を開始する際にアブソリュートパターンを表示させた後に、インクリメンタルパターンに切り替えて表示部30に表示させる。なお、インクリメンタルパターンは、X方向とY方向との両方の変位量を検出可能なパターンであり、例えば、図10(b)に示すような升目状のパターンである。パターン制御部51は、位置情報の検出を開始する際にアブソリュートパターンを表示させた後に、升目状のインクリメンタルパターンを表示部30に表示させる。
本実施形態におけるエンコーダ1の基本的な動作は、図4に示す処理と同様であるが、X方向とY方向との両方の変位量を検出可能なインクリメンタルパターンを表示するため、ステップS111の処理を省略する。
また、本実施形態では、第2の実施形態と同様に、初期位置を検出した後のパターンの切り替え、及び位置情報の検出方法が第1の実施形態と異なる。以下、本実施形態におけるエンコーダの動作のうち、第1及び第2の実施形態と異なる点を説明する。
図10において、電源が投入された際のステージ6の初期位置は、座標[10,10]である場合の一例である。なお、この図において、座標([10,10],[30,30])及び表示範囲(R1,R3)は、図6及び図8と同様の位置及び表示範囲である。
なお、図10(a)に示す絶対位置情報を検出する処理は、第2の実施形態における図9(a)に示す処理と同様であり、ここでは説明を省略する。
パターン制御部51が、X方向のパターンPX1と、Y方向のパターンPY1とを切り替えて表示部30に表示させるとともに、位置検出部52が、パターンPX1及びパターンPY1に基づいて、絶対位置情報を高精度に検出する。
なお、図10(b)では、図10(a)に示される初期位置からステージ6が移動していないため、初期位置からの変位量は、X方向及びY方向の両方とも“0”である。
これにより、本実施形態におけるエンコーダ1は、第2の実施形態と同様に、1つのスケール3に、異なるパターンを表示させて、絶対位置情報と変位量という異なる位置情報を検出することができる。よって、本実施形態におけるエンコーダ1は、構成を簡略化しつつ、高精度に位置情報(移動情報)を検出することができる。
これにより、位置検出部52は、X方向及びY方向の変位量を並列処理により検出することができる。また、パターン制御部51は、検出方向によりパターンを切り替えて表示する必要がなくなる。そのため、本実施形態におけるエンコーダ1は、位置検出の処理に必要な期間を短縮することができる。
次に、第4の実施形態におけるエンコーダ1について、図面を参照して説明する。
本実施形態におけるエンコーダ1は、インクリメンタルパターンが1つのパターンによってX方向とY方向との両方の変位量を検出可能なパターンを表示部30に表示させる点では、第3の実施形態と同様であるが、インクリメンタルパターンを表示部30の全面に表示させる点が第3の実施形態と異なる。
本実施形態におけるエンコーダ1の構成は、上述した図1から図3に示す構成と同様である。
なお、本実施形態では、パターンには、位置情報を絶対位置として示すアブソリュートパターンと、位置情報を変位量として示すインクリメンタルパターンとが含まれる。
また、本実施形態におけるパターン制御部51は、アブソリュートパターンとインクリメンタルパターンとを切り替えて表示部30に表示させる。また、パターン制御部51は、位置情報の検出を開始する際にアブソリュートパターンを表示させた後に、インクリメンタルパターンに切り替えて表示部30に表示させる。なお、インクリメンタルパターンは、X方向とY方向との両方の変位量を検出可能なパターンであり、例えば、図11(b)に示すような升目状のパターンである。パターン制御部51は、位置情報の検出を開始する際にアブソリュートパターンを表示させた後に、升目状のインクリメンタルパターンを表示部30の全面(全表示範囲)に表示させる。
本実施形態におけるエンコーダ1の基本的な動作は、図4に示す処理と同様であるが、X方向とY方向との両方の変位量を検出可能なインクリメンタルパターンを表示するため、第3の実施形態と同様にステップS111の処理を省略する。また、インクリメンタルパターンを表示させる場合に、表示部30の全面(全表示範囲)に表示させるため、ステップS108の処理が省略されてもよい。
ここでは、本実施形態におけるエンコーダの動作のうち、第3の実施形態と異なる点について説明する。
図11及び図12において、電源が投入された際のステージ6の初期位置は、座標[10,10]である場合の一例である。なお、図11及び図12において、座標([10,10],[15,10],[30,30])及び表示範囲R1は、図6から図8と同様の位置及び表示範囲である。
なお、図11(a)に示す絶対位置情報を検出する処理は、第2の実施形態における図9(a)に示す処理と同様であり、ここでは説明を省略する。
パターン制御部51が、X方向のパターンPX1と、Y方向のパターンPY1とを切り替えて表示部30に表示させるとともに、位置検出部52が、パターンPX1及びパターンPY1に基づいて、絶対位置情報を高精度に検出する。
なお、図11(b)では、図11(a)に示される初期位置からステージ6が移動していないため、初期位置からの変位量は、X方向及びY方向の両方とも“0”である。
図12(a)は、座標[15,10]に移動した場合を示し、図12(b)は、座標[30,30]に移動した場合を示している。
上述した図11(b)の場合と同様に、図12(a)及び図12(b)の2つの場合においても位置検出部52は、インクリメンタルパターンPXY3における升目状のパターンを移動した回数分カウントすることにより、X方向及びY方向の変位量を検出する。位置検出部52は、上述したパターンPX1及びPY1によって検出された絶対位置情報と、インクリメンタルパターンPXY3によって検出された変位量とに基づいて、X方向及びY方向の位置情報(2次元情報)を検出する。
これにより、本実施形態におけるエンコーダ1は、第3の実施形態と同様に、1つのスケール3に、異なるパターンを表示させて、絶対位置情報と変位量という異なる位置情報(移動情報)を検出することができる。よって、本実施形態におけるエンコーダ1は、構成を簡略化しつつ、高精度に位置情報(移動情報)を検出することができる。
これにより、位置検出部52は、X方向及びY方向の変位量を並列処理により検出することができる。また、パターン制御部51は、検出方向によりパターンを切り替えて表示する必要がなくなる。そのため、本実施形態におけるエンコーダ1は、位置検出の処理に必要な期間を短縮することができる。また、検出可能な範囲全面にインクリメンタルパターンを表示させるので、本実施形態におけるエンコーダ1は、ステージ6の位置を見失うことなく、ステージ6の位置情報を正確に検出することができる。
次に、第5の実施形態におけるエンコーダ1について、図面を参照して説明する。
まず、本実施形態におけるエンコーダ1の構成について説明する。
本実施形態におけるエンコーダ1aの外観図及びセンサ部2a及びスケール3の断面図は、上述した図1及び図2に示す構成と同様である。
図13は、本実施形態におけるエンコーダ1aの一例を示すブロック図である。
図13において、エンコーダ1aは、センサ部2a、スケール3、コントローラ部4、及び光源部20を備えている。この図において、図3と同じ構成には、同じ符号を付し、その説明を省略する。
なお、本実施形態において、アブソリュートパターン及びインクリメンタルパターンのそれぞれは、X方向(第1の検出方向)の位置情報を示すX方向のパターン(第1のパターン)と、X方向と直交するY方向(第2の検出方向)の位置情報を示すY方向のパターン(第2のパターン)とを有している。
本実施形態におけるエンコーダ1aの基本的な動作は、図4に示す処理と同様であるが、ステップS109の処理の代わりにX方向とY方向との両方のパターンを表示部30に表示するため、第3及び第4の実施形態と同様にステップS111の処理を省略する。
図14において、電源が投入された際のステージ6の初期位置は、座標[10,10]である場合の一例である。なお、この図において、座標([10,10],[30,30])及び表示範囲(R1,R3)は、図6及び図8と同様の位置及び表示範囲である。
次に、上記の各実施形態のエンコーダ1(1a)をステージ装置などの駆動装置に適用した場合について説明する。ここでは、駆動装置の一例として上述のエンコーダ1(a)を備えるステージ装置100について説明する。
図15は、本実施形態におけるステージ装置100の構成を示す概略ブロック図である。この図において、図3及び図13と同一の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
図15において、ステージ装置100は、エンコーダ1(1a)、制御装置8、ステージ6、及びステージ駆動部7を備えている。
エンコーダ1(1a)は、センサ部2(2a)、スケール3、コントローラ部4、及び光源部20を備えている。
ステージ駆動部7(駆動部)は、ステージ6をスケール3における位置検出方向(X方向及びY方向)に相対的に駆動する。
また、制御装置8は、制御信号線を介してステージ駆動部7と接続されている。制御装置8は、この制御信号線C2を介してステージ駆動部7を制御する。
制御装置8は、エンコーダ1(1a)によって検出されたステージ6の位置情報に基づいてステージ駆動部7を制御する。
例えば、上記の各実施形態において、エンコーダ1(1a)が2次元スケールを備える2次元エンコーダである形態を説明したが、1次元のスケール(図16のスケール3a参照)に適用する形態でもよい。この場合、図16に示すように、パターン制御部51は、アブソリュートパターンPX61とインクリメンタルパターンPX62とを交互に切り替えて表示部30aに表示させてもよい。これにより、アブソリュートパターンPX61とインクリメンタルパターンPX62とを1つのトラックにすることができるので、スケール3aを軽量化することができる。なお、図16において、スケール3aの検出方向は、X方向の1次元であり、センサ部2bは、アブソリュートパターンPX61とインクリメンタルパターンPX62とのそれぞれに対応する検出信号を出力する。
図17は、本実施形態によるセンサ部2及びスケール3の別の一例を示す断面図である。この実施形態では、光源部20は、例えば、コリメータレンズなどのレンズ23を介してスケール3のパターンに光を照射し、パターンを透過した光をセンサ部2が検出する。
また、液晶表示パネルは、STN(Super Twisted Nematic)のようなパッシブ駆動方式であってもよいし、TFT(Thin Film Transistor)のようなアクティブ駆動方式であってもよい。また、液晶表示パネルは、バックライトを備える形態でもよい。この場合、光源部20の代わりにバックライトを利用してもよい。また、液晶表示パネルは、カラー表示可能な液晶表示パネルであってもよい。また、例えば、上記の各本実施形態において、表示部30は、シャッタアレイのような固定パターンを用いてパターンを可変にしてもよい。
また、上記の第6の実施形態において、ステージ6を駆動するステージ装置100にエンコーダ1(1a)を適用する形態を説明したが、この形態に限定されるものではない。例えば、工作機械、精密機械、半導体のチップマウンタ、ステッパ装置などの駆動装置に適用してもよい。
Claims (18)
- 移動体の移動を検出するエンコーダであって、
移動体の位置情報を示すパターンを表示する表示部を有する、当該移動体に接続されるスケールと、
前記表示部に表示させる前記パターンを切り替える制御部と、
前記表示部に表示された前記パターンを検出し、検出された前記パターンに応じた検出信号を出力するセンサ部と、
前記センサ部から出力される前記検出信号に基づいて、前記位置情報を検出する位置情報検出部と、
を備え、
前記制御部は、前記移動体の移動に合わせて前記センサ部が検出できる位置に前記パターンを表示させるエンコーダ。 - 前記制御部は、前記移動体の最大移動速度に応じて、前記移動体の移動に合わせて前記センサ部が検出できる位置に前記パターンを表示させる請求項1に記載のエンコーダ。
- 前記表示部は、複数の表示素子を有し、
前記制御部は、前記複数の表示素子のうちの前記パターンを表示させる前記表示素子を前記移動体の位置情報に応じて切り替える
請求項1又は請求項2に記載のエンコーダ。 - 前記制御部は、前記パターンを表示可能な前記表示部の表示範囲内における前記パターンの表示位置を変える
請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のエンコーダ。 - 前記パターンは、前記移動体の少なくとも2つの移動方向に応じた少なくとも2つのアブソリュートパターンを有し、
前記制御部は、前記少なくとも2つのアブソリュートパターンを切り替えて前記表示部に表示させる
請求項1から請求項4のいずれか一項に記載のエンコーダ。 - 前記パターンには、前記位置情報を絶対位置として示すアブソリュートパターンと、前記位置情報を変位量として示すインクリメンタルパターンとが含まれ、
前記制御部は、
前記アブソリュートパターンと前記インクリメンタルパターンとを切り替えて前記表示部に表示させる
請求項1から請求項5のいずれか一項に記載のエンコーダ。 - 前記制御部は、
前記位置情報の検出を開始する際に前記アブソリュートパターンを表示させた後に、前記インクリメンタルパターンに切り替えて前記表示部に表示させ、
前記位置情報検出部は、
前記アブソリュートパターンに対応する前記検出信号に基づいて前記絶対位置を検出した後に、前記インクリメンタルパターンに対応する前記検出信号に基づいて前記変位量を検出し、検出した前記絶対位置及び前記変位量に基づいて前記位置情報を検出する
請求項6に記載のエンコーダ。 - 前記制御部は、
前記表示部における前記位置情報の検出可能な範囲全面に、前記インクリメンタルパターンを表示させる
請求項6又は請求項7に記載のエンコーダ。 - 前記インクリメンタルパターンは、升目状のパターンである請求項6から請求項8のいずれか一項に記載のエンコーダ。
- 前記制御部は、前記パターンを表示可能な前記表示部の表示範囲内において前記パターンを部分的に表示させる
請求項1から請求項7のいずれか一項に記載のエンコーダ。 - 前記制御部は、
互いに異なる検出方向に応じて、前記検出方向に対応する前記パターンを切り替えて前記表示部に表示させる
請求項1から請求項10のいずれか一項に記載のエンコーダ。 - 前記表示部は、2次元の平面状に形成されており、
前記パターンには、第1の検出方向の位置情報を示す第1のパターンと、前記第1の検出方向と直交する第2の検出方向の位置情報を示す第2のパターンとが含まれ、
前記制御部は、
前記第1のパターンと前記第2のパターンとを切り替えて、交互に前記表示部に表示させ、
前記センサ部は、
前記第1のパターンに対応する第1の検出信号と、前記第2のパターンに対応する第2の検出信号とを出力し、
前記位置情報検出部は、
前記センサ部から出力される前記第1の検出信号に基づいて、前記第1の検出方向に対応する第1の位置情報を検出し、前記センサ部から出力される前記第2の検出信号に基づいて、前記第2の検出方向に対応する第2の位置情報を検出する
請求項1から請求項11のいずれか一項に記載のエンコーダ。 - 前記表示部は、2次元の平面状に形成されており、
前記アブソリュートパターン及び前記インクリメンタルパターンのそれぞれは、第1の検出方向の位置情報を示す第1のパターンと、前記第1の検出方向と直交する第2の検出方向の位置情報を示す第2のパターンとを有しており、
前記制御部は、
前記アブソリュートパターンと前記インクリメンタルパターンとを切り替えて前記表示部に表示させるとともに、前記アブソリュートパターン及び前記インクリメンタルパターンのそれぞれが有する前記第1のパターンと前記第2のパターンとの両方を前記表示部に表示させ、
前記センサ部は、
前記第1のパターンを検出する第1の検出素子と、
前記第2のパターンを検出する第2の検出素子と、を備え、
前記位置情報検出部は、
前記第1の検出素子が検出した第1の検出信号に基づいて、前記第1の検出方向に対応する第1の位置情報を検出し、前記第2の検出素子が検出した第2の検出信号に基づいて、前記第2の検出方向に対応する第2の位置情報を検出する
請求項6から請求項9のいずれか一項に記載のエンコーダ。 - 前記制御部は、
前記位置情報の初期位置を検出する場合に、前記第1のパターンを表示させる第1の表示範囲を前記第2の検出方向に変更して前記表示部に表示させた後に、前記第1の表示範囲を変更した前記第1のパターンによって前記位置情報検出部が検出した前記第1の位置情報に応じた第2の表示範囲に、前記第2のパターンを表示させる
請求項12又は請求項13に記載のエンコーダ。 - 前記制御部は、
前記位置情報検出部によって検出された前記位置情報に応じて、前記パターンの表示範囲を変更する
請求項1から請求項14のいずれか一項に記載のエンコーダ。 - 請求項1から請求項15のいずれか一項に記載のエンコーダと、
前記スケール又は前記センサ部に接続された前記移動体と、
を備える駆動装置。 - 移動体の位置情報を示すパターンを表示する表示部を有するスケールと、前記表示部に表示された前記パターンを検出し、検出された前記パターンに応じた検出信号を出力するセンサ部と、を備えるエンコーダにおける移動体の移動の検出方法であって、
前記表示部に表示させる前記パターンを切り替える制御ステップと、
前記センサ部から出力される前記検出信号に基づいて、前記位置情報を検出する位置情報検出ステップと、
を含み、
前記制御ステップは、前記パターンを、前記移動体の移動に合わせて前記センサ部が検出できる位置に表示させるステップを含む
移動体の移動の検出方法。 - 前記制御ステップは、前記パターンを、前記移動体の最大移動速度に応じて、前記移動体の移動に合わせて前記センサ部が検出できる位置に表示させるステップを含む請求項17に記載の移動体の移動の検出方法。
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