JP6049475B2 - 検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、検査装置に関する。

従来、検査面に光を照射し、検査面からの反射光を受光し、受光した反射光に基づいて当該検査面の形状異常を検出する検査装置が知られている。

特許第４５４４２７２号公報 特開平５−３２２５４３号公報

この種の検査装置では、比較的簡素な処理で検査面の全域にわたって形状異常を検出できることが望まれている。

そこで、本発明の目的は、比較的簡素な処理で不感帯を無くし検査面の全域にわたって形状異常を検出可能な検査装置を得ることにある。

本発明の実施形態にかかる検査装置は、第１方向に延在する線分状の検査光を出射し、検査光の波長が光学的に分離可能で互いに異なる複数種類の光源が、第１方向と交差する第２方向に沿って順番に繰り返し配置された照明装置と、光源から出射され、検査対象物の検査面により反射された検査光を受光して撮像する撮像部と、検査時に検査対象物を前記第１方向に沿って移動させる第１駆動部と、照明装置及び前記撮像部のうち、少なくとも照明装置を前記第２方向に沿って所定の複数箇所の検査位置のいずれかに移動可能な第２駆動部と、撮像部の撮像画像に基づいて検査面の凹状の形状異常を検出する検出部と、を備えている。

本発明によれば、比較的簡素な処理で検査面の全域にわたって形状異常を検出することができる。

図１は、実施形態の検査装置の概要構成説明図である。 図２は、検査面における検査光の照射状態説明図(部分)である。 図３は、検査装置における検査光Ｌの照射状態の説明図（全体）である。 図４は、実施形態の検査装置の処理フローチャートである。 図５は、撮像合成処理の処理フローチャートである。 図６は、合成撮像画像の説明図である。 図７は、暗領域（凹状形状異常部）の抽出処理の説明図である。 図８は、凸状形状異常判定処理の原理説明図である。 図９は、明領域重ね合わせ処理の説明図である。

次に実施形態について、図面を参照して説明する。
図１は、実施形態の検査装置の概要構成説明図である。
本実施形態の検査装置１０は、図１に示すように、検査物１１に対し、検査光Ｌを照射し、検査物１１の検査面１１Ａにより反射された検査光Ｌを受光して撮像を行う検査ユニット１２と、検査ユニット１２に対し検査物１１を相対的に矢印Ａ方向（第１方向；図１中、左右方向）に移動させる検査物駆動部１３と、検査ユニット１２を、図１中、紙面垂直方向（第２方向）に移動させる検査ユニット駆動部１４と、検査装置１０全体の制御を行うともに、検査ユニット１２から出力された撮像画像データＧに基づいて、検査物１１の検査面１１Ａにおける凹状形状異常（例えば、傷など）及び凸状形状異常（例えば、突起あるいは付着物）を検出する制御演算部１５と、を備えている。

検査ユニット１２は、検査光Ｌを出射する照明装置１２Ａと、検査物１１の検査面１１Ａにより反射された検査光Ｌを受光して撮像を行う撮像装置１２Ｂと、を備えている。

ここで、本実施形態においては、検査光Ｌは、赤色（Ｒ）の検査光ＬＲと、緑色（Ｇ）の検査光ＬＧと、青色（Ｂ）の検査光ＬＢと、を含んでおり、照明装置１２Ａは、検査物１１の検査面１１Ａ側から見ると、矢印Ａ方向（第１方向）に延在する線分状の検査光ＬＲ、ＬＧ、ＬＢをそれぞれ出射する、光源（赤色ダイオード）ＬＴ−Ｒ、光源（緑色ダイオード）ＬＴ−Ｇ及び光源（青色ダイオード）ＬＴ−Ｂが矢印Ａ方向（第１方向）と交差する矢印Ｂ方向（第２方向）に沿って順番に繰り返し配置されている（図３参照）。

撮像装置１２Ｂは、例えば、ラインＣＣＤカメラとして構成されており、矢印Ａ方向に検査物駆動部１３により移動されている検査物１１の検査面１１Ａを、検査物１１の移動に同期して１ライン（あるいは複数ライン）ずつ撮像して撮像データＧを出力する。

図２は、検査面における検査光の照射状態説明図(部分)である。
図２（ａ）は、検査物１１の検査面１１における検査光の照射状態であり、矢印Ａ方向に延在する線分状であって、検査光ＬＲ、ＬＧ、ＬＢがそれぞれ照射され、当該領域における検査光ＬＲ、ＬＧ、ＬＢのそれぞれの光量が所定のしきい値ＴＨ１以上となる照射領域ＡＲ、ＡＧ、ＡＢが存在する。
したがって、中間領域ＡＩにおいても、図２（ａ）に示すように、光量は少ないものの検査光ＬＲ、ＬＧ、ＬＢのうち、少なくとも２種類の検査光が照射されている。

図３は、検査装置における検査光Ｌの照射状態の説明図（全体）である。
図３に示すように、照明装置１２Ａから出射される検査光Ｌは、検査物１１の幅方向（図３では、矢印Ｂ方向）の全域にわたって照射されており、撮像装置１２Ｂにより、検査物１１の幅方向が一度に撮像されることとなる。

次に実施形態の検査装置の動作について説明する。
図４は、実施形態の検査装置の処理フローチャートである。
まず、検査装置１０は、検査物１１が所定の位置にセットされ、検査の開始が指示されると、撮像合成処理を行う（ステップＳ１１）。

図５は、撮像合成処理の処理フローチャートである。
まず、制御演算部５は、検査ユニット駆動部１４を制御し、検査ユニット１２を初期撮像位置である第１照射位置（位置制御パラメータｎ＝１に相当）へ移動させるべく駆動する（ステップＳ２１）。

この場合において、位置制御パラメータｎの最大値、すなわち、撮像回数は、次のようにして定める。
本実施形態においては、光源の種類は、赤色（Ｒ）の検査光ＬＲ、緑色（Ｇ）の検査光ＬＧ及び青色（Ｂ）の検査光ＬＢに対応する３種類となっている。

ここで、検査光ＬＲ、ＬＧ、ＬＢの光量がしきい値ＴＨ１（＝所定の基準光量）未満となる領域である中間領域ＡＩの幅Ｗ２が、検査光ＬＲ、ＬＧ、ＬＢの光量がしきい値ＴＨ１以上となる領域の矢印Ｂ方向（第２方向）に沿った幅Ｗ１のＭ倍（Ｍ：自然数）となるように３種類の光源ＬＴ−Ｒ、ＬＴ−Ｇ、ＬＴ−Ｂが配置されている（図３参照）。

この場合に、複数回の撮像で、検査面１１Ａの矢印Ｂ方向の全領域において、検査光Ｌ（検査光ＬＲ、ＬＧ、ＬＢのいずれか）の光量が一度はしきい値ＴＨ１以上となるようにするためには、中間領域ＡＩにおける撮像回数は、Ｗ２／Ｗ１で表されるので、本実施形態においては、最初に検査光Ｌが照射される領域の撮像回数１回を加えて、撮像回数＝ｎ＝１＋１＝２となる。
続いて、制御演算部１５は、検査物駆動部１３を制御して、検査物１１を所定方向である矢印Ａ方向に駆動する（ステップＳ２２）。

この検査物１１の矢印Ａ方向への駆動と並行して、制御演算部１５は、照明装置１２Ａを制御して、検査光Ｌを出射させて、照射する（ステップＳ２３）。
続いて、制御演算部１５は、撮像装置１２Ｂを制御して、検査物駆動部１３の検査物１１の駆動に同期して、撮像を行い、撮像画像データＧを出力させる。

そして、制御演算部１５は、所定量検査物１１を移動させることにより、検査物１１の検査面１１Ａの全域にわたって撮像が完了したか否かを判別する（ステップＳ２５）。
ステップＳ２５の判別において、未だ検査物１１の検査面１１Ａの全域にわたって撮像が完了していない場合には（ステップＳ２５；Ｎｏ）、処理を再びステップＳ２２、Ｓ２３に移行して、以下同様の処理を繰り返す。

ステップＳ２５の判別において、所定量検査物１１を移動させることにより、検査物１１の検査面１１Ａの全域にわたって撮像が完了した場合には（ステップＳ２５；Ｙｅｓ）、制御演算部１５は、所定回数（本実施形態では、２回）の撮像が完了したか否かを判別する（ステップＳ２６）。

ステップＳ２６の判別において、所定回数の撮像が完了していない場合には（ステップＳ２６；Ｎｏ）、すなわち、位置制御パラメータｎがいまだ最大値となっていない場合には、再度撮像処理を行うために、位置制御パラメータｎに１を加えてカウントアップし（ステップＳ２７）、処理を再びステップＳ２１に移行する。

これにより、制御演算部５は、検査ユニット駆動部１４を制御し、検査ユニット１２を初期撮像位置である第２照射位置（位置制御パラメータｎ＝２に相当）へ移動させるべく駆動する（ステップＳ２１）。

続いて、制御演算部１５は、検査物駆動部１３を制御して、検査物１１を所定方向である矢印Ａ方向に駆動する（ステップＳ２２）。この場合において、検査物駆動部１３は、２回目の撮像を行うにさきだって、検査物１１を毎回同一のホームポジションに戻すようにして、撮像時の検査物１１の移動方向を一定にしたり、１回目の撮像完了後の位置から、矢印Ａ方向に沿って１回目の撮像時の検査物１１の移動方向とは逆方向に移動方向を切り替えたりするようにすることも可能である。

この検査物１１の矢印Ａ方向への駆動と並行して、制御演算部１５は、照明装置１２Ａを制御して、検査光Ｌを出射させて、照射し（ステップＳ２３）、撮像装置１２Ｂを制御して、検査物駆動部１３の検査物１１の駆動に同期して、撮像を行い、撮像画像データＧを出力させる。

そして、制御演算部１５は、所定量検査物１１を移動させることにより、検査物１１の検査面１１Ａの全域にわたって撮像が完了したか否かを再び判別する（ステップＳ２５）。

ステップＳ２５の判別においては、所定量検査物１１を移動させることにより、検査物１１の検査面１１Ａの全域にわたって撮像が完了したこととなると（ステップＳ２５；Ｙｅｓ）、制御演算部１５は、所定回数（本実施形態では、２回）の撮像が完了したか否かを判別し（ステップＳ２６）、所定回数の撮像が完了したので（ステップＳ２６；Ｙｅｓ）、撮像合成処理を終了する。

続いて制御演算部１５は、検査物１１の検査面１１Ａにおける凹状形状異常及び凸状形状異常の判定処理を並行して行う（ステップＳ１２〜ステップＳ１９）。
まず、検査物１１の検査面１１Ａにおける凹状形状異常の判定処理について説明する。
制御演算部１５は、まず、撮像合成処理において得られた２枚の撮像画像を重ね合わせて検査物１１の検査面１１Ａの全域で検査光ＬＲ、ＬＧ、ＬＢの光量がしきい値ＴＨ１を超えている状態の合成撮像画像を得る（ステップＳ１２）。

図６は、合成撮像画像の説明図である。
なお、図６においては、図示の簡略化のため、形状異常部分については記載していない。
図６（ａ）が１回目の撮像合成処理で得られる画像の一例の説明図である。
１回目の撮像合成処理で得られる画像ＦＧ１には、照射領域ＡＲ１、ＡＧ１、ＡＢ１が互いに中間領域ＡＩを挟んで順番に配置されていることが分かる。

また、図６（ｂ）が検査ユニットを矢印Ｂ方向に移動した後に行われる２回目の撮像合成処理で得られる画像の一例の説明図である。
２回目の撮像合成処理で得られる画像ＦＧ２には、１回目の撮像合成処理で得られる画像ＦＧ１と同様に、照射領域ＡＲ２、ＡＧ２、ＡＢ２が互いに中間領域ＡＩを挟んで順番に配置されていることが分かる。

そして、これらの画像を中間領域ＡＩが無くなるように重ね合わせることにより、合成画像ＦＧ０が得られる。
この合成画像ＦＧ０においては、画像ＦＧ１の照射量域ＡＲ１と、画像ＦＧ２の照射領域ＡＲ２が一体となって検査光ＬＲに対応する照射領域ＡＲ０を構成している。

また、画像ＦＧ１の照射量域ＡＧ１と、画像ＦＧ２の照射領域ＡＧ２が一体となって検査光ＬＧに対応する照射領域ＡＧ０を構成している。
また、画像ＦＧ１の照射量域ＡＢ１と、画像ＦＧ２の照射領域ＡＢ２が一体となって検査光ＬＢに対応する照射領域ＡＢ０を構成している。

このように合成画像ＦＧ０においては、検査物１１の検査面１１Ａの全域において、検査光ＬＲ、ＬＧ、ＬＢのそれぞれの反射光量が所定のしきい値ＴＨ１以上となる照射領域ＡＲ０、ＡＧ０、ＡＢ０となる。

すなわち、検査物１１の検査面１１Ａに、凹状形状異常が存在していない場合を想定すると、検査面１１の１１Ａ全域で検査光ＬＲ、ＬＧ、ＬＢのそれぞれの反射光量が所定のしきい値ＴＨ１以上となる合成画像ＦＧ０が得られることとなる。換言すれば、検査物１１の検査面１１Ａに、凹状形状異常が存在するならば、当該凹状形状異常部分は、検査光ＬＲ、ＬＧ、ＬＢのいずれかの反射光量が所定のしきい値ＴＨ１未満となる暗領域として検出ができるということである。

そこで、制御演算部１５は、合成画像ＦＧ０を用いて、凹状形状異常部に対応する暗領域を抽出する暗領域抽出処理を行う（ステップＳ１３）。
図７は、暗領域（凹状形状異常部）の抽出処理の説明図である。
図７（ａ）及び図７（ｂ）に示すように、撮像画像が撮像画像ＦＧ１、撮像画像ＦＧ２のみであった場合には、例えば、一部しか検出できなかった凹状形状異常部ＤＦ１〜ＤＦ５であっても、図７（ｃ）に示すように、凹状形状異常部ＤＦ１〜ＤＦ５を一体に把握することができ、製品管理、製造工程管理等に有効に利用できる。

続いて制御演算部１５は、ステップＳ１３で抽出した暗領域に基づいて、所定の検査基準にしたがった判定基準に基づいて凹状形状異常部の判定を行い（ステップＳ１４）、凹状形状異常部の発生箇所、形状、寸法、検査物１１における総形状異常数等を図示しないハードディスク装置や、不揮発性メモリなどに記録し、必要に応じてオペレータに表示あるいは音声等による通知を行うこととなる。

次に、検査物１１の検査面１１Ａにおける凸状形状異常の判定処理について説明する。
図８は、凸状形状異常判定処理の原理説明図である。
図８においては、理解の容易のため、凸状形状異常の周辺のみを示している。
制御演算部１５は、まず、撮像合成処理において得られた２枚の撮像画像ＦＧ１、ＦＧ２のそれぞれについて、ＲＧＢ分解処理を行う（ステップＳ１５）。

図８においては、説明の簡略化のため、Ｒ分解画像を例として説明する。
図８（ａ）は、検査物１１の検査面１１Ａにおける凸状形状異常が存在している領域を説明する図であり、破線丸印で示す領域ＣＡ内に凸状形状異常ＤＦＸ（図８（ｅ）参照）があるものとする。

図８（ａ）の状態において、検査光ＬＲを照射すると、図８（ｂ）に示すような状態となり、検査物１１の検査面１１Ａ上には、検査光ＬＲの照射領域ＡＲが位置することとなる。この状態において、領域ＣＡにおいては、図８（ｃ）に示すように、凸状形状異常ＤＦＸによる反射光量は、高くはなっているものの、所定のしきい値ＴＨ１未満となっているため、画像上では検出されない。

そこで、本実施形態では、周辺比較を行って、凸状形状異常ＤＦＸに起因して、反射光量が高くなっている周辺比較明領域抽出処理を行っている（ステップＳ１６）。

ここで、周辺比較明領域抽出処理について説明する。
本実施形態の周辺比較明領域抽出処理においては、反射光量ではなく、Ｒ、ＧあるいはＢの各色毎に、ある注目画素あるいは注目画素量域における反射光量の当該注目画素の周辺画素あるいは当該注目画素領域の周辺画素領域の平均反射光量との差（の絶対値）と、平均反射光量と、の比が所定の値以上となっている画素領域を抽出し、検査物１１の検査面１１Ａの凸状の形状異常の検出及び位置を特定している。
より具体的には、図８（ｃ）は、図８（ｂ）における検出位置ＤＰ上の注目画素における反射光量Ｌ１と、当該注目画素の周辺画素の平均反射光量ＡＶＲと、を示す図である。

ここで、図８（ｃ）に示すように、注目画素における反射光量Ｌ１と、当該注目画素の周辺画素の平均反射光量ＡＶＲと、の差を求めた場合、絶対的な反射光量が多い照射領域ＡＲが大きくなる可能性があるが、ある注目画素あるいは注目画素量域における反射光量の当該注目画素の周辺画素あるいは当該注目画素領域の周辺画素領域の平均反射光量との差（の絶対値）と、平均反射光量と、の比を見れば、図８（ｄ）に示すように、凸状形状異常ＤＦＸの方が大きな値を示すこととなる。

そこで、ある注目画素あるいは注目画素量域における反射光量の当該注目画素の周辺画素あるいは当該注目画素領域の周辺画素領域の平均反射光量との差（の絶対値）と、平均反射光量と、の比を所定のしきい値ＴＨ２と比較することにより、本来的に反射光量の少ない部分（例えば、中間領域ＡＩ）、あるいは、本来的に反射光量の多い部分（例えば、照射量域ＡＲ、ＡＧ、ＡＢ）であっても、凸状形状異常ＤＦＸの存在を検出することができる。

この結果、得られる検出結果画像は、例えば図８（ｅ）に示すようなものとなる。
続いて、制御演算部１５は、対応全撮像画像（本実施形態では、撮像画像ＦＧ１、ＦＧ２）について、ＲＧＢ分解処理及び周辺比較明領域抽出処理が完了したか否かを判別する（ステップＳ１７）。

ステップＳ１７の判別において、対応全撮像画像についてＲＧＢ分解処理及び周辺比較明領域抽出処理が完了していない場合には（ステップＳ１７；Ｎｏ）、制御演算部１５は、再び処理をステップＳ１５に移行し、以下、同様の処理を繰り返す。

ステップＳ１７の判別において、対応全撮像画像についてＲＧＢ分解処理及び周辺比較明領域抽出処理が完了した場合には（ステップＳ１７；Ｙｅｓ）、ＲＧＢ分解処理で得られた各画像毎の周辺比較明領域抽出処理の結果得られる画像に基づいて、明領域加算処理を行う（ステップＳ１８）。

ここで、明領域重ね合わせ処理の具体例を説明する。
図９は、明領域重ね合わせ処理の説明図である。
図９においても、理解の容易のため、凸状形状異常の周辺のみを示している。
図９において、画像ＳＲ１、ＳＧ１、ＳＢ１は、撮像画像ＦＧ１に対応する画像であり、画像ＳＲ１はＲ分解画像に対応する周辺比較明領域抽出処理の結果画像であり、画像ＳＧ１はＧ分解画像に対応する周辺比較明領域抽出処理の結果画像であり、ＳＢ１はＢ分解画像に対応する周辺比較明領域抽出処理の結果画像である。

同様に、画像ＳＲ２、ＳＧ２、ＳＢ２は、撮像画像ＦＧ１に対応する画像であり、画像ＳＲ１はＲ分解画像に対応するに周辺比較明領域抽出処理の結果画像であり、ＳＧ１はＧ分解画像に対応する周辺比較明領域抽出処理の結果画像であり、ＳＢ１はＢ分解画像に対応する周辺比較明領域抽出処理の結果画像である。

そして、制御演算部１５は、画像ＳＲ１、ＳＧ１、ＳＢ１を重ね合わせて第１明領域重ね合わせ画像ＳＲＧＢ１を得る。同様に、制御演算部１５は、画像ＳＲ２、ＳＧ２、ＳＢ２を重ね合わせて第２明領域重ね合わせ画像ＳＲＧＢ２を得る。

さらに、制御演算部１５は、得られた第１明領域重ね合わせ画像ＳＲＧＢ１及び第２明領域重ね合わせ画像ＳＲＧＢ２を重ね合わせて明領域重ね合わせ結果画像ＳＲＧＢ０を得て、図９中、破線で示す領域を凸状形状異常ＤＦＸの存在可能性が高い明領域（位置）を特定する。

そして、制御演算部１５は、ステップＳ１８で特定した凸状形状異常ＤＦＸの存在可能性が高い明領域に基づいて、所定の検査基準にしたがった判定基準に基づいて凸状形状異常部の判定を行い（ステップＳ１９）、凸状形状異常部の発生箇所、形状、寸法、検査物１１における総凸状形状異常数等を図示しないハードディスク装置や、不揮発性メモリなどに記録し、必要に応じてオペレータに表示あるいは音声等による通知を行うこととなる。
そして、凹状形状異常及び凸状形状異常の検出が完了すると、制御演算部１５は、処理を終了する。

以上の説明のように、本実施形態によれば、比較的簡素な処理で検査面の全域にわたって形状異常（凹状形状異常及び凸状形状異常）を検出できる。
したがって、検査物の検査面における凹状形状異常及び凸状形状異常を一体に把握することができ、製品管理、製造工程管理等に有効に利用できる。

以上の説明においては、凹状形状異常及び凸状形状異常を並行して検出するために、光源として、光源ＬＴ−Ｒ、ＬＴ−Ｇ、ＬＴ−Ｂの３種類の光源を用いていたが、複数種類の光源を用いるのであれば、同様に適用が可能である。

以上、本発明の実施形態を例示したが、上記実施形態はあくまで一例である。実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、組み合わせ、変更を行うことができる。また、実施形態の構成や形状は、部分的に他の構成や形状と入れ替えて実施することも可能である。また、各構成や形状等のスペック（構造や、種類、方向、角度、形状、大きさ、長さ、幅、厚さ、高さ、数、配置、位置、材質等）は、適宜に変更して実施することができる。

１０…検査装置
１１…検査物
１１Ａ…検査面
１２…検査ユニット
１２Ａ…照明装置
１２Ｂ…撮像装置
１３…検査物駆動部（第１駆動部）
１４…検査ユニット駆動部（第２駆動部）
１５…制御演算部（抽出部、検出部）
Ｌ…検査光
ＬＴ−Ｒ、ＬＴ−Ｇ、ＬＴ−Ｂ…光源

Claims (7)

1. 第１方向に延在する線分状の検査光を出射し、前記検査光の波長が光学的に分離可能で互いに異なる複数種類の光源が、前記第１方向と交差する第２方向に沿って順番に繰り返し配置された照明装置と、
   前記光源から出射され、検査対象物の検査面により反射された検査光を受光して撮像する撮像装置と、
   検査時に前記検査対象物を前記第１方向に沿って移動させる第１駆動部と、
   前記照明装置及び前記撮像部のうち、少なくとも前記照明装置を前記第２方向に沿って所定の複数箇所の検査位置のいずれかに移動可能な第２駆動部と、
   前記撮像部の撮像画像に基づいて前記検査面の凹状の形状異常を検出する検出部と、
   を備えた検査装置。
2. 前記検査位置は、他の検査位置において、前記検査光の光量が所定の基準光量未満となる位置に設定されている、
   請求項１記載の検査装置。
3. 前記検査光の光量が所定の基準光量未満となる領域が、前記検査光の光量が所定の基準光量以上となる領域の前記第２方向に沿った幅のＭ倍（Ｍ：自然数）となるように前記複数種類の光源が配置されている、
   請求項２記載の検査装置。
4. 前記検出部は、前記検査位置毎に撮像した複数の撮像画像を合成した合成画像に基づいて、前記検査面の凹状の形状異常を検出する、
   請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の検査装置。
5. 前記検出部は、前記合成画像に含まれ、かつ、前記検査光の光量が所定の基準光量未満となる領域を凹状の形状異常が生じている領域であるとして前記凹状の形状異常を検出する、
   請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の検査装置。
6. 前記複数種類の光源は、Ｒ光源、Ｇ光源及びＢ光源であり、
   前記撮像画像のＲＧＢ分解処理を行い、Ｒ、ＧあるいはＢの各色毎に、ある注目画素あるいは注目画素量域における反射光量の当該注目画素の周辺画素あるいは当該注目画素領域の周辺画素領域の平均反射光量との差と、前記平均反射光量と、の比が所定の値以上となっている画素領域を抽出する抽出部を備え、
   前記検出部は、前記抽出部により抽出されたＲ、Ｇ及びＢの各色毎に前記差と、前記平均反射光量と、の比が所定の値以上となっている画素あるいは画素領域に基づいて前記検査面の凸状の形状異常を検出する、
   請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の検査装置。
7. 前記検出部は、前記差と、前記平均反射光量と、の比が所定の値以上となっている画素あるいは画素領域をＲ、ＧあるいはＢの各色毎に抽出する抽出部を備え、
   前記検出部は、前記抽出部により抽出された画素あるいは画素領域を重ね合わせた画像に基づいて前記凸状の形状異常の存在位置を検出する、
   請求項６記載の検査装置。

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