JP2005274156A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. 光源からの光を略平行光束にして被検体を照明する照明手段と、
   前記照明手段により照明された前記被検体からの反射光を集光し、前記被検体の像を結像する結像手段と、
   前記結像手段により結像された像を撮像する撮像手段と、
   前記撮像手段により撮像された画像から前記被検体の欠陥を検出する欠陥検出部と、
   前記光源からの光の中心波長を設定する波長選択手段と、
   少なくとも前記照明手段の照明光の入射角度を設定する角度設定手段と、
   前記波長選択手段と前記角度設定手段を用いて複数の中心波長と複数の入射角度で前記被検体の反射率データを取得し、前記反射率データに基づいて、前記欠陥の検出に用いる画像の撮像時の中心波長と入射角度とを設定する検査条件設定部と、を具備することを特徴とする欠陥検査装置。
2. 前記反射率データから予め設定された処理手順に基づいて前記欠陥の検出に用いる画像の中心波長と入射角度を自動設定することを特徴とする請求項１に記載の欠陥検査装置。
3. 前記反射率データは、前記被検体上の一部の領域を測定したものであることを特徴とする請求項２に記載の欠陥検査装置。
4. 前記撮像手段は、ラインイメージセンサであり、前記ラインイメージセンサによる線状の撮像領域の長さ方向と略直交する方向に前記被検体と前記撮像領域とを相対的に移動させる移動手段を備えたこと特徴とする請求項1から３のいずれか１項に記載の欠陥検査装置。
5. 前記反射率データに基づく波長と反射率の関数の極値を前記欠陥の検出に用いる画像の撮像時の中心波長と入射角度に設定することを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の欠陥検査装置。
6. 前記反射率データに基づく波長と反射率の関数を微分処理した極値を前記欠陥の検出に用いる画像の撮像時の中心波長と入射角度に設定することを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の欠陥検査装置。
7. 前記光源に含まれる波長帯の光を分光して分光強度を一括測定する分光強度測定手段を備え、その分光強度測定手段により前記反射率データを測定することを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の欠陥検査装置。
8. 前記波長選択手段は、前記光源からの光の波長幅を任意に設定可能であり、予め取得した波長幅を変更した被検体の画像に基づいて撮像時の波長幅を設定することを特徴とする請求項1から７のいずれか１項に記載の欠陥検査装置。
9. 前記波長幅を変更した被検体の画像から予め設定された処理手順に基づいて前記欠陥の検出に用いる画像の撮像時の波長幅を自動設定することを特徴とする請求項８に記載の欠陥検査装置。