JP6043389B2 - 光学系 - Google Patents
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Description
110、180、180a、180b 第1の光源
110’ 第3の光源
112、182、182a、182b 第1のビーム
112’ 第3のビーム
120、180’ 第2の光源
122、182’ 第2のビーム
120’ 第4の光源
122’ 第4のビーム
130 動的スイッチ
132 リフレクター
134 基板
140 第1の反射素子
145 第2の反射素子
150 プリズム群
152 第1のプリズム
154 第2のプリズム
155 側辺
160、190、190a、190b 第1の画像感知装置
160’ 第3の画像感知装置
162、192 第1の画像
162’ 第3の画像
170、190’ 第2の画像感知装置
170’ 第4の画像感知装置
172、192’ 第2の画像
172’ 第4の画像
210 光学モジュール
212、216、222、226 反射素子
214、224 プリズム
300 画像取込装置
900 平面
D 目標位置
N、N1、N2、N2’ 法線
P1、P1’、P2、P2’、P3、P3’、P4、P4’、P5、P5’、P6、
P6’ 光路
S 三次元被測定物
θ1 第1の傾斜角
θ2 第2の傾斜角
Claims (18)
- 少なくとも1つの光学装置を具備する光学系において、
前記光学装置は、
第1のビームを提供するための第1の光源と、第2のビームを提供するための第2の光源と、アレイ配列された、第1の傾斜角と第2の傾斜角を有する複数のリフレクターを含む動的スイッチと、を備え、
前記第1のビームと前記第2のビームが、異なる方向から前記動的スイッチに入射し、前記リフレクターが第1の傾斜角にある場合、前記動的スイッチは、前記第1のビームを目標位置に反射し、前記リフレクターが第2の傾斜角にある場合、前記動的スイッチは、前記第2のビームを目標位置に反射し、
前記光学装置は、
前記動的スイッチにより反射された前記第1のビームと前記第2のビームを異なる光路に沿ってそれぞれ前記目標位置までガイドするための光学モジュールを更に備える光学系。 - 前記第1のビームの前記動的スイッチから前記目標位置までの光路と、前記第2のビームの前記動的スイッチから前記目標位置まで光路とは、同じである請求項1に記載の光学系。
- 前記光学装置は、
前記第1の光源からの前記第1のビームを前記動的スイッチに反射するための第1の反射素子と、
前記第2の光源からの前記第2のビームを前記動的スイッチに反射するための第2の反射素子と、
を更に備える請求項2に記載の光学系。 - 前記光学装置は、
前記第1の光源からの前記第1のビームを前記動的スイッチまでガイドし、前記第2の光源からの前記第2のビームを前記動的スイッチまでガイドし、前記動的スイッチにより反射された前記第1のビームと前記第2のビームを前記目標位置までガイドするためのプリズム群を更に備える請求項2に記載の光学系。 - 前記光学装置は、
第3のビームを提供するための第3の光源と、
第4のビームを提供するための第4の光源と、
を更に備え、
前記第3のビームと前記第4のビームが異なる方向から動的スイッチに入射し、前記光学モジュールが、前記動的スイッチにより反射された前記第3のビームと前記第4のビームを異なる光路に沿ってそれぞれ前記目標位置までガイドする請求項1に記載の光学系。 - 前記光学装置は複数であり、前記光学装置の前記第1のビームが異なる方向から前記目標位置に入射する請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の光学系。
- 少なくとも1つの光学装置を具備する光学系において、
前記光学装置は、
第1の画像感知装置と、第2の画像感知装置と、アレイ配列された、第1の傾斜角と第2の傾斜角を有する複数のリフレクターを含む動的スイッチと、を備え、
前記リフレクターが前記第1の傾斜角にある場合、前記動的スイッチは、目標位置における第1の画像を前記第1の画像感知装置に反射し、前記リフレクターが前記第2の傾斜角にある場合、前記動的スイッチは、前記目標位置における第2の画像を前記第2の画像感知装置に反射し、
前記光学装置は、
前記目標位置における前記第1の画像と前記第2の画像を異なる光路に沿ってそれぞれ前記動的スイッチまでガイドするための光学モジュールを更に備える光学系。 - 前記第1の画像の前記目標位置から前記動的スイッチまでの光路と、前記第2の画像の前記目標位置から前記動的スイッチまでの光路とは、同じである請求項7に記載の光学系。
- 前記光学装置は、
前記動的スイッチからの前記第1の画像を前記第1の画像感知装置に反射するための第1の反射素子と、
前記動的スイッチからの前記第2の画像を前記第2の画像感知装置に反射するための第2の反射素子と、
を更に備える請求項8に記載の光学系。 - 前記光学装置は、
前記目標位置からの前記第1の画像と前記第2の画像を前記動的スイッチまでガイドし、前記動的スイッチからの前記第1の画像を前記第1の画像感知装置までガイドし、また前記動的スイッチからの前記第2の画像を前記第2の画像感知装置までガイドするためのプリズム群を更に備える請求項8に記載の光学系。 - 前記光学装置は、
第3の画像感知装置と、
第4の画像感知装置と、
を更に備え、
前記光学モジュールは、更に前記目標位置における第3の画像と第4の画像を異なる光路に沿ってそれぞれ前記動的スイッチまでガイドし、前記動的スイッチは、更に前記第3の画像及び前記第4の画像をそれぞれ前記第3の画像感知装置と前記第4の画像感知装置に反射する請求項7に記載の光学系。 - 前記光学装置は複数であり、前記光学装置の前記動的スイッチが異なる角度からそれぞれ前記目標位置における前記第1の画像を反射する請求項7から請求項10のいずれか一項に記載の光学系。
- 少なくとも1つの光学装置を具備する光学系において、
第1のビームを提供するための第1の光源と、
第1の画像感知装置と、
アレイ配列された、第1の傾斜角及び第2の傾斜角を有する複数のリフレクターを含む動的スイッチと、
を備え、
前記第1のビームが前記動的スイッチに入射し、前記リフレクターが前記第1の傾斜角にある場合、前記動的スイッチは、前記第1のビームを目標位置に反射し、前記リフレクターが前記第2の傾斜角にある場合、前記動的スイッチは、前記目標位置における第1の画像を前記第1の画像感知装置に反射し、
前記光学装置は、
前記動的スイッチにより反射された前記第1のビームを前記目標位置までガイドし、前記目標位置における前記第1の画像を異なる光路に沿って前記動的スイッチまでガイドするための光学モジュールを更に備える光学系。 - 前記第1のビームの前記動的スイッチから前記目標位置までの光路と、前記第1の画像の前記目標位置から前記動的スイッチまでの光路とは、同じである請求項13に記載の光学系。
- 前記光学装置は、
前記第1の光源からの前記第1のビームを前記動的スイッチに反射するための第1の反射素子と、
前記動的スイッチからの前記第1の画像を前記第1の画像感知装置に反射するための第2の反射素子と、
を更に備える請求項14に記載の光学系。 - 前記光学装置は、
前記第1の光源からの前記第1のビームを前記動的スイッチまでガイドし、前記動的スイッチからの前記第1のビームを前記目標位置までガイドし、前記目標位置からの前記第1の画像を前記動的スイッチまでガイドし、また前記動的スイッチからの前記第1の画像を前記第1の画像感知装置までガイドするためのプリズム群を更に備える請求項14に記載の光学系。 - 前記光学装置は、
第2のビームを提供するための第2の光源と、
第2の画像感知装置と、
を更に備え、
前記光学モジュールは、更に前記動的スイッチにより反射された前記第2のビームを前記目標位置までガイドし、前記目標位置における第2の画像を別の光路に沿って前記動的スイッチまでガイドする請求項13に記載の光学系。 - 前記光学装置は複数であり、前記光学装置の前記第1のビームが、異なる方向から前記目標位置に入射する請求項13から請求項16のいずれか一項に記載の光学系。
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