JP6036740B2 - 光照射装置 - Google Patents
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Description
これらの処理においては、エキシマランプを備えた光照射装置が用いられている。そして、例えば配線基板材料のデスミア処理においては、処理時間の短縮化の要請から、出力の大きい光照射装置が求められている。
冷却媒体として純水を用いる場合には、エキシマランプの高圧側電極やその他の冷却媒体に接触する金属部品の劣化等によって、冷却媒体中に金属イオン等の不純物が混入すると、冷却媒体の電気伝導率が上昇する。このため、高圧側電極から冷却媒体に高圧電流が漏洩することにより、冷却媒体を冷却する熱交換器に高圧電流が流れる。その結果、熱交換器や熱交換器に接続されたその他の機器等に故障が生じたり、熱交換器を操作する操作者が感電したりする虞がある。
このような問題を解決するため、熱交換器に対して、エキシマランプの高圧側電極から高圧電流が流れたときの安全対策を施すことが考えられる。しかし、熱交換器に安全対策を施す場合には、熱交換器の熱交換部に絶縁構造が必要となるため、熱交換の精度が低下し、また、特別な仕様であるため、熱交換器のコストが増大し、実用上問題がある。
前記冷却媒体流通路内の冷却媒体に接触する導電体が設けられており、
前記導電体が漏れ電流放流用回路に電気的に接続されており、
当該漏れ電流放流用回路が、前記エキシマランプの低圧側電極に電気的に接続された配線により構成されていることを特徴とする。
また、前記漏れ電流放流用回路を流れる電流を検出する電流検出手段を有することが好ましい。
図1は、本発明の光照射装置の一例における構成を示す説明図である。この光照射装置は、低圧側電極20および高圧側電極25を有するエキシマランプ10と、エキシマランプ10を点灯させるランプ点灯機構30と、エキシマランプ10の高圧側電極25を冷却する冷却機構40とを備えてなる。
外周壁部12の一端(図2において左端)には、その開口を気密に塞ぐよう円板状の光取出し窓15が設けられている。内周壁部13の一端(図2において左端)には、その開口を気密に塞ぐよう封止壁部14が形成されている。外周壁部12および内周壁部13の各々の他端部は封止壁部16によって気密に接合されている。
外周壁部12と内周壁部13との間には、円筒状の放電空間Sが形成されている。放電空間Sの厚み(外周壁部12の内周面と内周壁部13の外周面との距離)は、例えば3〜20mmである。
放電容器11を構成する誘電体材料としては、例えば合成石英ガラスを用いることができる。
低圧側電極20および高圧側電極25を構成する材料としては、アルミニウムなどの金属材料を用いることができる。
熱交換器41における供給口41aと高圧側電極25に設けられた流入管26とは、冷却媒体供給管45によって接続されている。この冷却媒体供給管45内には、熱交換器41から高圧側電極25に供給される冷却媒体の流通路が形成されている。熱交換器41における導入口41bと高圧側電極25に設けられた流出管27とは、冷却媒体回収管46によって接続されている。この冷却媒体回収管46内には、高圧側電極25から熱交換器41に回収される冷却媒体の流通路が形成されている。
また、冷却媒体としては、純水を用いることができる。
冷却媒体供給管45および冷却媒体回収管46における絶縁性管部46aを構成する絶縁体としては、塩化ビニル樹脂、ウレタン樹脂、フッ素樹脂などの樹脂材料、セラミックス材料などを用いることができる。
冷却媒体回収管46における導電性管部46bを構成する導電体としては、ニッケルメッキが施された鉄、ニッケルメッキが施された銅、ニッケルメッキが施された真鍮などを用いることができる。
冷却媒体供給管45並びに冷却媒体回収管46における導電性管部46bおよび絶縁性管部46aの内径は、例えば6〜10mmである。
導電性管部46bの寸法の一例を挙げると、内径が6mm、全長が20mmであり、内周面の面積(冷却媒体に接する面積)は、376.8mm2 である。また、導電性管部46bの寸法の他の例を挙げると、内径が10mm、全長が20mmであり、内周面の面積(冷却媒体に接する面積)は、628mm2 である。
一方、冷却機構40が作動されると、冷却媒体が熱交換器41における熱交換部42から冷却媒体供給管45を介して高圧側電極25に供給される。これにより、高圧側電極25が冷却媒体によって冷却される。その後、冷却媒体は、冷却媒体回収管46を介して熱交換器41における熱交換部42に導入され、当該熱交換部42において冷却される。
また、漏れ電流放流用回路を流れる電流を検出する電流検出手段55が、所定の電流値以上の電流を検出したときには、開閉器制御部36によって、ランプ点灯機構30と交流電源33との間に設けられた開閉器35の接点が開放される。これにより、ランプ点灯機構30と交流電源33との電気的接続が遮断され、その結果、エキシマランプ10の点灯が停止する。
また、高圧側電極25に供給される冷却媒体の流量は、例えばエキシマランプ1台あたり1L/minである。
また、開閉器35の接点を開放するための所定の電流値は、例えば10〜50mAの範囲から選択して設定することができる。
また、冷却媒体に過大な電流が漏洩したときには、ランプ点灯機構30と交流電源33との間に設けられた開閉器35の接点が開放されるので、エキシマランプ10の点灯を停止することができる。
(1)図5に示すように、冷却媒体供給管45が、それぞれ絶縁体よりなる2つの絶縁性管部45aと、絶縁性管部45aの間に配置された、導電体よりなる導電性管部45bとによって構成され、当該導電性管部45bが漏れ電流放流用回路(接地またはランプ点灯機構30における低圧側端子31に電気的に接続された配線51)に電気的に接続されていてもよい。
(2)図6に示すように、冷却媒体供給管45が、それぞれ絶縁体よりなる2つの絶縁性管部45aと、絶縁性管部45aの間に配置された、導電体よりなる導電性管部45bとによって構成され、導電性管部45bが冷却媒体回収管46における導電性管部46bに電気的に接続されていてもよい。
図7は、本発明の光照射装置において、複数のエキシマランプが設けられたときの冷却媒体供給管および冷却媒体回収管の構成を示す説明図である。この光照射装置においては、複数のエキシマランプ10を備えたランプユニット10aが複数設けられている。各ランプユニット10aにおいては、エキシマランプ10の各々が、冷却媒体供給管45および冷却媒体回収管46によって互いに直列に接続されている。また、ランプユニット10aの各々は、冷却媒体供給管45および冷却媒体回収管46によって、熱交換器41に対して並列に接続されている。
そして、ランプユニット10aの各々において、冷却媒体供給管45および冷却媒体回収管46には、導電性管部45b,46bが設けられている。導電性管部45b,46bの各々は、接地された配線50,51よりなる漏れ電流放流用回路に電気的に接続されている。また、漏れ電流放流用回路の各々には、当該漏れ電流放流用回路を流れる電流を検出する電流検出手段55が設けられている。電流検出手段55は、開閉器制御部(図示省略)に電気的に接続されている。
(4)複数のエキシマランプ10を有する光照射装置を構成する場合には、冷却媒体供給管および冷却媒体回収管の構成は、図7に示すものに限定されない。例えば全てのエキシマランプ10が、冷却媒体供給管45および冷却媒体回収管46によって互いに直列に接続されていてもよく、冷却媒体供給管45および冷却媒体回収管46によって熱交換器41に対して並列に接続されていてもよい。
10a ランプユニット
11 放電容器
12 外周壁部
13 内周壁部
14 封止壁部
15 光取り出し窓
16 封止壁部
20 低圧側電極
21,22 配線
25 高圧側電極
26 流入管
27 流出管
28 接続端子
30 ランプ点灯機構
31 低圧側端子
32 高圧側端子
33 交流電源
35 開閉器
36 開閉器制御部
40 冷却機構
41 熱交換器
41a 供給口
41b 導入口
42 熱交換部
43 制御部
44 導電率計
45 冷却媒体供給管
45a 絶縁性管部
45b 導電性管部
46 冷却媒体回収管
46a 絶縁性管部
46b 導電性管部
50,51 配線
55 電流検出手段
S 放電空間
Claims (3)
- 冷却媒体流通路を流れる冷却媒体により冷却される高圧側電極を有するエキシマランプを備えた光照射装置であって、
前記冷却媒体流通路内の冷却媒体に接触する導電体が設けられており、
前記導電体が漏れ電流放流用回路に電気的に接続されており、
当該漏れ電流放流用回路が、前記エキシマランプの低圧側電極に電気的に接続された配線により構成されていることを特徴とする光照射装置。 - 前記冷却媒体流通路の一部が前記導電体によって形成されていることを特徴とする請求項1に記載の光照射装置。
- 前記漏れ電流放流用回路を流れる電流を検出する電流検出手段を有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の光照射装置。
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