JP6033243B2 - 回転子の磁石軸受の磁石リングをコーティング及び/又は塗布するための方法並びに回転子の磁石軸受及び真空ポンプ - Google Patents
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Description
回転子に配置されているこの回転子の磁石軸受の磁石リングをコーティング及び/又は塗布するための方法において、
前記磁石軸受の前記磁石リング(4)が、これらの磁石リング(4)のために設けられている地点(3)で前記回転子(1)に配置され、引き続き、これらの磁石リング(4)の露出表面(10)がコーティング及び/又は塗布され、
少なくとも一種類の前記コーティング剤及び/又は少なくとも一種類の前記塗布剤は、前記これらの磁石リング(4)の内面に延在している表面(10)上に配置され且つ前記これらの磁石リング(4)間の空隙(12)内及び面取り部内に配置されることによって解決される。
さらに、当該課題は、請求項12に記載の:
コーティング及び/又は塗布されている、回転子に対して又は回転子内に配置されている複数の磁石リングを有する当該回転子において、
少なくとも一種類の前記コーティング剤及び/又は少なくとも一種類の前記塗布剤は、複数の磁石リング(4)の内面に延在している表面(10)上に配置されていて且つ前記複数の磁石リング(4)間の空隙(12)内及び面取り部内に配置されていることによって解決される。
2 回転翼円板
3 凹部
4 磁石リング
5 尖端部材
6 尖端部材
7 長手軸
8 真空室
9 空間
10 表面
11 噴射ノズル
12 空隙
13 磁石リング4によって包囲された空間
Claims (15)
- 回転子に配置されているこの回転子の磁石軸受の磁石リングをコーティング及び/又は塗布するための方法において、
前記磁石軸受の前記磁石リング(4)が、これらの磁石リング(4)のために設けられている地点(3)で前記回転子(1)に配置され、引き続き、これらの磁石リング(4)の露出表面(10)がコーティング及び/又は塗布され、
少なくとも一種類の前記コーティング剤及び/又は少なくとも一種類の前記塗布剤は、前記これらの磁石リング(4)の内面に延在している表面(10)上に配置され且つ前記これらの磁石リング(4)間の空隙(12)内及び面取り部内に配置されることを特徴とする方法。 - 前記磁石リング(4)の前記内面に延在している露出表面(10)が、前記少なくとも一種類のコーティング剤及び/又は前記少なくとも一種類の塗布剤を注入し、前記回転子(1)を回転させることによってコーティング及び/又は塗布されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 内面に延在している前記露出表面(10)は、少なくとも一種類のコーティング剤及び/又は少なくとも一種類の塗布剤を注入し、前記磁石リング(4)を有する前記回転子(1)を振動させることによってコーティング及び/又は塗布されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 当該コーティング及び/又は当該塗布は、真空下で実施されることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の方法。
- 前記少なくとも一種類のコーティング剤及び/又は前記少なくとも一種類の塗布剤は、噴射されることを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 噴射装置(11)が、使用されることを特徴とする請求項5に記載の方法。
- 前記噴射装置(11)は、その噴射工程中に前記回転子の磁石リング(4)内で1回又は複数回にわたって遠ざかるように移動される若しくは近づくように移動される又は往復運動されることを特徴とする請求項6に記載の方法。
- 前記回転子の磁石リング(4)は、合成樹脂及び/又は紫外線硬化性塗布剤でコーティング及び/又は塗布されることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の方法。
- 前記回転子(1)は、回転装置(5,6)内に配置され、この回転子(1)は回転され、引き続き、少なくとも一種類の前記コーティング剤及び/又は少なくとも一種類の前記塗布剤は、前記回転子の磁石リング(4)によって包囲された空間(13)内に注入されることを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 前記回転子の磁石リング(4)は、1つのブロックに予め組み立てられ、このブロックは、前記回転子(1)の凹部(3)内に配置され、引き続きこの回転子(1)は回転され、当該回転と同時に又は引き続き、少なくとも一種類の前記コーティング剤及び/又は少なくとも一種類の前記塗布剤が、前記回転子の磁石リング(4)によって包囲された空間(13)内に挿入されることを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の方法。
- 余分な材料が、前記回転子の磁石軸受(4)によって包囲された空間から除去されることを特徴とする請求項1〜10のいずれか1項に記載の方法。
- コーティング及び/又は塗布されている、回転子に対して又は回転子内に配置されている複数の磁石リングを有する当該回転子において、
少なくとも一種類の前記コーティング剤及び/又は少なくとも一種類の前記塗布剤は、複数の磁石リング(4)の内面に延在している表面(10)上に配置されていて且つ前記複数の磁石リング(4)間の空隙(12)内及び面取り部内に配置されていることを特徴とする回転子。 - 前記回転子(1)は、真空ポンプの回転子(1)として構成されていることを特徴とする請求項12に記載の回転子。
- 前記回転子(1)は、ターボ分子ポンプの回転子(1)として構成されていることを特徴とする請求項13に記載の回転子。
- 請求項12〜14のいずれか1項に記載の少なくとも1つの回転子を有する真空ポンプ。
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