JP6031372B2 - 粒子検出システム及び粒子検出方法 - Google Patents
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Description
第1の実施の形態に係る粒子検出システムは、図1に示すように、気体に含まれる粒子に光を照射して発生する散乱光及び蛍光の少なくとも一方を検出する気中粒子検出装置100と、検査対象気体に含まれる粒子を気中粒子検出装置100に導入するための気体検査用流路300aと、検査対象液体510からエアロゾルを生成するエアロゾル生成部200と、エアロゾルに含まれる粒子を気中粒子検出装置100に導入するための液体検査用流路300cと、を備える。
検査対象固体511の表面から粒子をウエスで拭き取り、気体検査用流路300aの導入口付近でウエスに振動を加えることにより、ウエスから粒子を飛散させ、気中粒子検出装置100で検査対象固体511表面由来の粒子を検出してもよい。あるいは、スワブ等で検査対象固体511の表面から粒子を拭き取り、スワブを純水に沈めて純水中に粒子を分散させ、検査対象液体510としてもよい。これによっても、検査対象固体511の表面に粒子が付着していたか否かを検査することが可能となる。
第1の実施の形態では、検査対象気体に含まれる粒子を図1に示す気体検査用流路300aで気中粒子検出装置100に導入し、エアロゾルに含まれる粒子を液体検査用流路300cで気中粒子検出装置100に導入し、捕集機構199で捕集された粒子を固体検査用流路300bで気中粒子検出装置100に導入する例を示した。これに対し、図9に示すように、共通流路300dの導入口を生産環境500に配置し、共通流路300dの導入口に、検査対象気体に含まれる粒子、エアロゾルに含まれる粒子、及び捕集機構199で捕集された粒子を直接導入してもよい。
上記のように本発明を実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす記述及び図面はこの発明を限定するものであると理解するべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかになるはずである。例えば、実施の形態では、エアロゾル生成部200としてコリジョン・ネブライザが使用可能であると説明したが、ジェットネブライザ、超音波ネブライザ、ピエゾ素子ネブライザ、遠心分離ネブライザ、二流体ノズル、及びミニアトマイズノズル等も使用可能である。
11 集光レンズ
12a、12c 試料流路
13 集光レンズ
14 散乱光検出器
15 集光ミラー
16 フィルタ
17 蛍光検出器
100 気中粒子検出装置
110 制御部
112 検出部
120 処理部
130 排風機
199 捕集機構
200 エアロゾル生成部
230 送風機
232 フィルタ
300a 気体検査用流路
300b 固体検査用流路
300c 液体検査用流路
300d 共通流路
300e バイパス流路
301 分岐継手
310 パイプ
320 乾燥気体
500 生産環境
510 検査対象液体
511 検査対象固体
700 エアサンプラー
V バルブ
Claims (7)
- 気体に含まれる粒子に光を照射して発生する散乱光及び蛍光の少なくとも一方を検出する気中粒子検出装置と、
検査対象気体に含まれる粒子を前記気中粒子検出装置に導入するための気体検査用流路と、
検査対象液体からエアロゾルを生成するエアロゾル生成部と、
前記エアロゾルに含まれる粒子を前記気中粒子検出装置に導入するための液体検査用流路と、
検査対象固体に付着している粒子を気体中に分散させ、捕集するための捕集機構と、
前記捕集機構で捕集された粒子を前記気中粒子検出装置に導入するための固体検査用流路と、
を備える、粒子検出システム。 - 気体に含まれる粒子に光を照射して発生する散乱光及び蛍光の少なくとも一方を検出する気中粒子検出装置と、
検査対象気体に含まれる粒子を前記気中粒子検出装置に導入するための気体検査用流路と、
検査対象固体に付着している粒子を気体中に分散させ、捕集するための捕集機構と、
前記捕集機構で捕集された粒子を前記気中粒子検出装置に導入するための固体検査用流路と、
を備える、粒子検出システム。 - 前記捕集機構が、前記粒子を吸引するための吸引ノズルを備える、請求項1又は2に記載の粒子検出システム。
- 前記捕集機構が、前記検査対象固体に付着している粒子を吹き上げるためのジェットノズルを備える、請求項1又は2に記載の粒子検出システム。
- 気中粒子検出装置に検査対象気体を導入することと、
検査対象液体からエアロゾルを生成し、前記気中粒子検出装置に前記エアロゾルを導入すること、
検査対象固体に付着している粒子を気体中に分散させ、捕集することと、
前記気中粒子検出装置に前記捕集した粒子を導入することと、
前記気中粒子検出装置で、前記検査対象気体に含まれていた粒子、前記エアロゾルに含まれていた粒子、及び前記固体から捕集した粒子に光を照射し、前記粒子で発生する散乱光及び蛍光の少なくとも一方を検出することと、
を含む、粒子検出方法。 - 前記捕集することにおいて、吸引ノズルで前記粒子を吸引する、請求項5に記載の粒子検出方法。
- 前記捕集することにおいて、前記検査対象固体に付着している粒子をジェットノズルで吹き上げる、請求項5に記載の粒子検出方法。
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