JPS6211126A - 微粒子検出装置用の多点入力切換機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、クリーンルーム等の内部の複数測定点の塵埃
測定を一台の微粒子検出装置で行うための多点入力切換
機構に関し、特に内部構造からの発塵の影響を受けずに
検出精度を向上できる微粒子検出装置用の多点入力切換
機構に関する。

従来の技術 複数の測定点の塵埃測定を一台の微粒子検出装置で行う
には、第４図に示すように、各測定点■。

■、・・・［相］にサンプリングチューブｌａ、ｌｂ、
・・・１ｎを配置しておき、上記各サンプリングチュー
ブ１ａ等を多点入力切換機構２の対応する吸入口に接続
し、その排出口から延びる供給管３を微粒子検出装置４
の検出セルに接続して、上記多点入力切換機構２で複数
の測定点からそれぞれ吸入した被測定ガスを上記検出セ
ル内に切り換えて供給することにより行う。

ここで、上記多点入力切換機構２としては、従来、第５
図に示すようなものが提案されていた。

その構造は、本体５の一側部に列状に設けられた吸入口
６ａ、・・・６ｎにそれぞれサンプリングチューブｌａ
、・・・１ｎを接続し、上記本体５の内部には接続パイ
プ７とベローズ８とからなり矢印Ａ。

Ｂ方向に移動可能な切換接続部９を設け、この切換接続
部９の排出口１０に供給管３を接続していた。そして、
各測定点からの被測定ガスを切り換えるには、上記切換
接続部９を矢印Ａ、Ｂ方向に移動して所望の測定点に対
応する吸入口たとえば６ａのところに停止させ、その位
置で接続パイプ７を矢印Ｃ方向に前進させてその先端部
を上記吸入口６ａのテーパ状の受口に押圧していた。し
か・　しこの場合は、上記本体５内で切換接続部９を矢
印Ａ、Ｂ方向及びＣ，Ｄ方向に移動させる機構部から塵
埃が発生することがあり、この塵埃が本体５内で浮遊し
て供給管３内に混入することがあった。また、上記接続
パイプ７を吸入口６ａ、・・・６ｎの受口に抑圧したと
きに、Ｏリング１１の部分からのニアリークがあって吸
引量が一定せず不安定となるものであった。これらのこ
とから、第５図に示すようなものでは検出精度を向上す
ることはできなかった。

これを改善するため、第６図に示すような電磁弁１２を
それぞれのサンプリングチューブｌａ。

・・・１ｎの途中に設け、これをオン、オフすることに
より被測定ガスを切り換えることが提案されている。こ
の電磁弁１２は１個別吸入口１３に各サンプリングチュ
ーブ１ａ等を接続すると共に、個別排出口１４からの配
管を供給管３に接続し、コイル１５への通電をオン、オ
フしてコイルハウジング１６内のプランジャ１７を矢印
Ｅ、Ｆ方向に摺動させ、上記プランジャ１７の先端の接
液部１８を弁座１９に当接または踵皮させることにより
、上記個別吸入口１３から個別排出口１４へ向かう被測
定ガスの流れを遮断または開放するものである。

発明が解決しようとする問題点 しかし、このような電磁弁１２を使用した場合は、上記
プランジャ１７が矢印Ｅ、Ｆ方向に摺動して、その上端
部がコイルハウジング１６の天井部へ衝突したり或いは
その側面がコイルハウジング１６の内側面に摺接するこ
とにより、上記コイルハウジング１６内部に塵埃が発生
することがある。ここで、上記プランジャ１７の先端の
接液部１８は、弁座１９の上面に当接するだけの直径と
されているので、上記コイルハウジング１６内で発生し
た塵埃は、上記接液部１８の周囲を矢印Ｇのようにまわ
り込んで弁座１９側に流れ、個別吸入口１３から個別排
出口１４へ向かう被測定ガスの流れに混入することがあ
る。また、一つの電磁弁１２ごとに個別吸入口１３と個
別排出口１４とがあり、それぞれ配管チューブが接続さ
れるので、配管系が複雑となると共に、各測定点からの
サンプリングチューブｌａ、・・・１ｎにおける圧損の
バラツキにより吸引量が一定しないことがある。従って
、第６図に示すような電磁弁１２を使用しても、塵埃測
定の検出精度を向上することは期待できなかった。そこ
で１本発明はこのような問題点を解決することを目的と
する。

問題点を解決するための手段 上記の問題点を解決する本発明の手段は、被測定ガスの
塵埃測定をする微粒子検出装置の検出セルに接続され、
複数の測定点からそれぞれ吸入した被測定ガスを上記検
出セル内に切り換えて供給する微粒子検出装置用の多点
入力切換機構において、上記被測定ガスの個々の吸入切
換部を電磁弁とし、この電磁弁の弁座と当接する接液部
を発塵の少ない材質で形成すると共にその上方の駆動部
分との間を隔離しうるように大径とし、かつ上記各々の
電磁弁の排出口をマニホールドの接続口に連結して内部
の連絡通路で結び、この連絡通路の一部から配管系で上
記検出セルに接続したことによってなされる。

実施例 以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて詳細に説明
する。

第１図は本発明による微粒子検出装置用の多点入力切換
機構２′を示す斜視図である。この多点入力切換機構２
′は、第４図に示すと同様に、複数の測定点■、■、・
・・［相］から各サンプリングチューブｌａ、ｌｂ、・
・・１ｎを介して吸入した被測定ガスを微粒子検出装置
４の検出セル内に切り換えて供給するもので、電磁弁２
０ａ、・・・２Ｏｎと、マニホールド２１と、配管系２
２ａ、２２ｂ、２２ｃとからなる。

上記電磁弁２０ａ、・・・２Ｏｎは、どのサンプリング
チューブｌａ、・・・Ｉｎから被測定ガスを吸入するか
切り換えるもので、第２図に示すように。

テーパネジ状に形成された個別吸入口２３に各サンプリ
ングチューブ１８等を接続し、コイル２４への通電をオ
ン、オフしてコイルハウジング２５内のプランジャ２６
を上下方向に摺動させ、上記プランジャ２６の先端に設
けられた接液部２７を弁座２８に当接または離反させる
ようになって、いる。ここで、上記接液部２７は、非粘
着性で発塵の少ない材質たとえばテフロンで形成される
と共にダイヤフラム状の第一部材２７ａと第二部材２７
ｂとを一体に組み合わせて二重ダイヤフラム状とし、か
つ上記第一、第二部材２７ａ、２７ｂはプランジャ２６
の駆動部分であるコイルハウジング２５と弁７ｍ２８と
の間を隔離しろるように大径に形成されている。すなわ
ち、上記接液部２７の周縁は、プランジャ２６と共に上
下方向に移動する空間部の内側壁に接するところまで延
長されており、該接液部２７の周囲を気体や塵埃がまわ
り込めないようになっている。従って、個別吸入口２３
から弁座２８の開口部を介して個別排出口２９へ破線矢
印Ｈのように向かう被測定ガスの流れに、上記プランジ
ャ２６の駆動部分からの塵埃が混入するのを防止できる
。なお、上記接液部２７の第二部材２７ｂはその周縁部
３０が厚手に形成されており、また、第一部材２７ａの
中央突起部３１はプランジャ２６の下端面にねじ込まれ
て接液部２７全体が着脱可能とされている。

上記電磁弁２Ｑａ、・・・２Ｏｎは、マニホールド２１
の上面にたとえば１０個実装される。このマニホールド
２１は、上記電磁弁２０ａ等で切り換えて吸入した被測
定ガスを配管２２ａ、２２ｂに導くもので、第１図に示
すようにステンレス製で角柱ブロック状に形成されると
共に、第３図に示すように長手方向の中心部に連絡通路
３２が形成され、この連絡通路３２と連通して上面に向
けて個別接続口３３ａ、３３ｂ、・・・３３ｎが穿設さ
れ。

さらに上記連絡通路３２の一部には一側面に向けて集中
排気ポート３４ａ、３４ｂが形成されている。なお、上
記連絡通路３２の両側端には排気穴３５が設けられてお
り、この排気穴３５にはメクラ栓３６が装着されるよう
になっている。そして、このように形成されたマニホー
ルド２１には、その上面に開口した個別接続口３３ａ、
３３ｂ、・・・３３ｎにそれぞれの電磁弁２２ａ等の個
別排出口２９（第２図参照）を連通して該電磁弁２２ａ
等が実装されている。また、上記集中排気ポート３４ａ
、３４ｂには、それぞれ配管２２ａ、２２ｂが連結され
ると共に、これらの配管２２ａ、２２ｂが合流継手３７
で結合されて一本の配管２２ｃにまとめられ、この配管
２２ｃが微粒子検出装置４の検出セルに接続されている
。

次に、このように構成された多点入力切換機構２′の動
作について説明する。いま、第４図における測定点■の
塵埃測定をするとして、第１図において第一のサンプリ
ングチューブ１ａが接続された第一の電磁弁２０ａを図
示外の制御装置によってオンとする。すると、第２図に
示すコイル２４に通電されて、コイルハウジング２５内
のプランジャ２６が上方に移動し、その先端の接液部２
７が弁座２８から離反して該弁座２８の開口部を開放す
る。これにより、上記電磁弁２０ａの個別吸入口２３か
ら個別排出口２９へ向かう流路が開かれ、サンプリング
チューブ１ａからの被測定ガスが破線矢印Ｈのように流
れ、マニホールド２１の個別接続口３３ａ及び連絡通路
３２を介して集中排気ポート３４ａに至り、その後配管
系２２ａ。

３７．２２ｃを経て微粒子検出装置４の検出セル内に測
定点■からの被測定ガスが供給される。このとき、上記
接液部２７は前述のように大径とされているので、プラ
ンジャ２６の駆動部分からの塵埃が被測定ガスの流れに
混入することはない。

なお、上記第一の電磁弁２０ａをオンとして測定点■の
塵埃測定をしているときは、他の電磁弁２０ｂ、・・・
２０ｎはオフとされている。そして、他の測定点につい
て測定するには、当該測定点に対応する電磁弁２０ａ、
・・・２０ｎをそれぞれ切り換えてオンとすればよい。

また、マニホールド２１内の連絡通路３２を清掃するに
は、第３図に示すメクラ栓３６を外して超音波洗浄等を
すればよい。

なお、第１図及び第３図においては、マニホールド２１
の集中排気ボート３４ａ、３４ｂは連絡通路３２の両端
部にそれぞれ一箇所だけ設けたものとして示したが、本
発明はこれに限らず、上記連絡通路３２の他の箇所に一
個または複数個の集中排気ポート（第１図の符号３８参
照）を設けてもよい。このようにすることにより、マニ
ホールド２１を介して集中排気する際の最適吸入排気を
達成することができ、該マニホールド２１内の流体通路
における残留ダスト（被測定ガス内に含まれていた塵埃
が滞留すること）を除去することができる。

発明の効果 本発明は以上のように構成されたので、電磁弁の弁座２
８と当接する接液部２７を発塵の少ない材質で形成する
と共にプランジャ２６の駆動部分との間を隔離しうるよ
うに大径とすることにより、上記プランジャ２６がコイ
ルハウジング２５の天井部へ衝突したり或いはその内側
面に摺接して塵埃が発生しても、その塵埃が上記接液部
２７の周囲をまわり込んで弁座２８側に流入するのを阻
止することができる。従って、電磁弁２０ａ等の個別吸
入口２３から個別排出口２９へ向かう被測定ガスの流れ
に上記塵埃が混入するのを防止することができる。また
、複数の測定点に対応して設けられた電磁弁２０ａ、・
・・２Ｏｎの個別排出口２９は、マニホールド２１の連
絡通路３２に連結されて集中排気ポート３４ａ、３４ｂ
で集中排気されるので、例えば二本の配管２２ａ、２２
ｂで排気でき、配管系を簡単かつ短くして各測定点から
のサンプリングチューブｌａ、・・・１ｎにおける圧損
のバラツキを少なくして吸引量を略一定とすることがで
きる。これらのことから、本発明によれば、塵埃測定の
検出精度を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による微粒子検出装置用の多点入力切換
機構の実施例を示す斜視図、第２図はその電磁弁を示す
縦断面図、第３図は第１図の■−■線断面図、第４図は
複数の測定点の塵埃測定を一台の微粒子検出装置で行う
状態を示す説明図、第５図及び第６図はそれぞれ従来の
多点入力切換機構の構造を示す断面図である。 ２′　・・多点入力切換機構 ４・・・微粒子検出装置 ２０ａ、・・・２０ｎ・・・電磁弁 ２１・・・マニホールド ２２　ａ　、　２２　ｂ　、　２２　ｃ　−配管系２３
・・・個別吸入口 ２４・・・コイル ２６・・・プランジャ ２７・・・接液部 ２８・・・弁　座 ２９・・・個別排出口 ３２・・・連絡通路 ３３ａ、３３ｂ、・・・３３ｎ・・・個別接続口３４ａ
、３４ｂ・・・集中排気ポート ３７・・・合流継手 第４図 第５図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 被測定ガスの塵埃測定をする微粒子検出装置の検出セル
   に接続され、複数の測定点からそれぞれ吸入した被測定
   ガスを上記検出セル内に切り換えて供給する微粒子検出
   装置用の多点入力切換機構において、上記被測定ガスの
   個々の吸入切換部を電磁弁とし、この電磁弁の弁座と当
   接する接液部を発塵の少ない材質で形成すると共にその
   上方の駆動部分との間を隔離しうるように大径とし、か
   つ上記各々の電磁弁の排出口をマニホールドの接続口に
   連結して内部の連絡通路で結び、この連絡通路の一部か
   ら配管系で上記検出セルに接続したことを特徴とする微
   粒子検出装置用の多点入力切換機構。