JP6025680B2 - 集積型光モジュールの製造装置および製造方法 - Google Patents
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Description
各光素子が出力する光をそれぞれ集光する複数のレンズと、
各レンズによって集光された光を合波する光合波器と、
各レンズをそれぞれ保持する複数のレンズホルダと、
各レンズホルダをそれぞれ支持する複数のホルダベースと、
前記複数の光素子、前記光合波器および前記複数のホルダベースを支持するキャリア基板とを備えた集積型光モジュールの製造装置であって、
前記レンズホルダを保持する第1保持機構と、
該第1保持機構を変位可能に支持する第1ステージと、
前記ホルダベースを保持する第2保持機構と、
該第2保持機構を変位可能に支持する第2ステージと、
前記キャリア基板を保持する第3保持機構と、
該第3保持機構を変位可能に支持する第3ステージと、
前記光合波器を保持する第4保持機構と、
該第4保持機構を変位可能に支持する第4ステージと、
前記レンズホルダと前記ホルダベースとの接合部、および前記ホルダベースと前記キャリア基板との接合部を溶接するレーザ溶接機構と、
前記光素子と前記レンズとの間の調芯を監視するためのモニタ機構とを備え、
光素子とレンズとの間の調芯を実施する際、前記ホルダベースを基準として前記レーザ溶接機構の溶接位置および前記モニタ機構の設置位置がそれぞれ一定に維持されることを特徴とする。
各光素子が出力する光をそれぞれ集光する複数のレンズと、
各レンズによって集光された光を合波する光合波器と、
各レンズをそれぞれ保持する複数のレンズホルダと、
各レンズホルダをそれぞれ支持する複数のホルダベースと、
前記複数の光素子、前記光合波器および前記複数のホルダベースを支持するキャリア基板とを備えた集積型光モジュールの製造方法であって、
前記複数の光素子が実装されたキャリア基板を用意するステップと、
前記キャリア基板、前記レンズホルダおよび前記ホルダベースを個別に保持するステップと、
前記複数の光素子のうち、調芯対象となる光素子を発光させるステップと、
前記ホルダベースの位置を固定した状態で、前記レンズホルダおよび前記キャリア基板を変位させながら、調芯対象となるレンズを通過した光を監視することにより前記光素子と前記レンズとの間の調芯を実施するステップと、
調芯の終了後、前記ホルダベースの位置を固定した状態で、前記レンズホルダと前記ホルダベースとの接合部および前記ホルダベースと前記キャリア基板との接合部を溶接するステップと、
前記光合波器を前記キャリア基板に実装するステップとを含むことを特徴とする。
図1は、本発明が適用可能な集積型光モジュールの一例を示す構成図である。集積型光モジュールは、波長分割多重方式など、光信号を複数の通信チャネルで同時に送信できる機能を備える。ここでは、4本の通信チャネルについて例示するが、2〜3本または5本以上の通信チャネルについても同様に構成できる。
図6(a)に示すように、複数の光素子1が予め実装されたキャリア基板6を用意し、カセット13に収納し固定する。
次に図6(b)に示すように、吸着コレット9a,9bを用いて、レンズホルダ4およびホルダベース7をそれぞれ吸着保持し、調芯対象となるレンズユニット8をキャリア基板6の上に戴置する。
次に、レーザヘッド15a,15bから溶接レーザ光を発生して、レンズホルダ4、ホルダベース7およびキャリア基板6を溶接して固定する。
次に図6(c)に示すように、残りの光軸についても上述した工程1〜3を繰り返すことによって、光素子1とレンズ2との間の調芯およびレンズユニット8の固定を行う。
こうして4つのレンズユニット8をキャリア基板6の上に固定した後、図6(d)に示すように、把持具22を用いて光合波器5を保持してキャリア基板6の上に戴置する。
さらに必要であれば、レンズユニット8の固定後に、レンズ2の位置を補正することも可能である。
図9は、本発明が適用可能な集積型光モジュールの他の例を示す構成図である。集積型光モジュールは、実施の形態1と同様に、4つの光素子1と、4つのレンズユニット8と、光合波器5aと、キャリア基板6などで構成される。
図10(a)に示すように、複数の光素子1および光合波器5aが予め実装されたキャリア基板6を用意し、カセット13に収納し固定する。なお、実施の形態1と同様に、各光軸について調芯および固定を行った後に光合波器5aを実装する手順でも可能である。
次に図10(b)に示すように、吸着コレット9a,9bを用いて、レンズホルダ4およびホルダベース7をそれぞれ吸着保持し、調芯対象となるレンズユニット8をキャリア基板6の上に戴置する。
次に、レーザヘッド15a,15bから溶接レーザ光を発生して、レンズホルダ4、ホルダベース7およびキャリア基板6を溶接して固定する。図7と同様に、最初にレンズホルダ4とホルダベース7との接合部に向けて溶接レーザ光21aを照射して2点溶接により固定し、レンズユニット8を完成し、引き続き、ホルダベース7とキャリア基板6との接合部に向けて溶接レーザ光21bを照射して2点溶接により固定する。2度目の固定の前に、再度、レンズユニット8をキャリア基板6に対して変位させてXZ方向の調芯を行うことも可能である。
次に図10(c)に示すように、残りの光軸についても上述した工程1〜3を繰り返すことによって、光素子1とレンズ2との間の調芯およびレンズユニット8の固定を行う。
さらに必要であれば、図8と同様に、レンズユニット8の固定後に、レンズ2の位置を補正することも可能である。
図11は、本発明が適用可能な集積型光モジュールのさらに他の例を示す構成図である。集積型光モジュールは、実施の形態1と同様に、4つの光素子1と、4つのレンズユニット8と、光合波器5bと、キャリア基板6などで構成される。
図12(a)に示すように、複数の光素子1が予め実装されたキャリア基板6を用意し、カセット13に収納し固定する。
次に図12(b)に示すように、吸着コレット9a,9bを用いて、レンズホルダ4およびホルダベース7をそれぞれ吸着保持し、調芯対象となるレンズユニット8をキャリア基板6の上に戴置する。さらに、把持具22を用いて1つのバンドパスフィルタ54を保持し、キャリア基板6の上に戴置する。
次に、レーザヘッド15a,15bから溶接レーザ光を発生して、レンズホルダ4、ホルダベース7およびキャリア基板6を溶接して固定する。図7と同様に、最初にレンズホルダ4とホルダベース7との接合部に向けて溶接レーザ光21aを照射して2点溶接により固定し、レンズユニット8を完成し、引き続き、ホルダベース7とキャリア基板6との接合部に向けて溶接レーザ光21bを照射して2点溶接により固定する。2度目の固定の前に、再度、レンズユニット8をキャリア基板6に対して変位させてXZ方向の調芯を行うことも可能である。
次に図12(c)に示すように、残りの光軸についても上述した工程1〜3を繰り返すことによって、光素子1とレンズ2との間の調芯、レンズユニット8の固定およびバンドパスフィルタ54の固定を行う。
さらに必要であれば、図8と同様に、レンズユニット8の固定後に、レンズ2の位置を補正することも可能である。
5,5a,5b 光合波器、 6 キャリア基板、 7 ホルダベース、
8 レンズユニット、 9a,9b 吸着コレット、 10a,10b ステージ、
11 スライドガイド、 12 引っ張りバネ、 13 カセット、
14 ステージ、 15a,15b レーザヘッド、 16a,16b ステージ、
17 撮像カメラ、 18 対物レンズ、 19 ステージ、 20,21 光軸、
21a,21b 溶接レーザ光、 21c 補正レーザ光、 22 把持具、
23 ステージ、 41 水平部材、 42a,42b 垂直部材、
51 取り付け台、 52 ミラー、 53,54 バンドパスフィルタ、
100 製造装置。
Claims (5)
- 複数の光素子と、
各光素子が出力する光をそれぞれ集光する複数のレンズと、
各レンズによって集光された光を合波する光合波器と、
各レンズをそれぞれ保持する複数のレンズホルダと、
各レンズホルダをそれぞれ支持する複数のホルダベースと、
前記複数の光素子、前記光合波器および前記複数のホルダベースを支持するキャリア基板とを備えた集積型光モジュールの製造装置であって、
前記レンズホルダを保持する第1保持機構と、
該第1保持機構を変位可能に支持する第1ステージと、
前記ホルダベースを保持する第2保持機構と、
該第2保持機構を変位可能に支持する第2ステージと、
前記キャリア基板を保持する第3保持機構と、
該第3保持機構を変位可能に支持する第3ステージと、
前記光合波器を保持する第4保持機構と、
該第4保持機構を変位可能に支持する第4ステージと、
前記レンズホルダと前記ホルダベースとの接合部、および前記ホルダベースと前記キャリア基板との接合部を溶接するレーザ溶接機構と、
前記光素子と前記レンズとの間の調芯を監視するためのモニタ機構とを備え、
光素子とレンズとの間の調芯を実施する際、前記ホルダベースを基準として前記レーザ溶接機構の溶接位置および前記モニタ機構の設置位置がそれぞれ一定に維持されることを特徴とする集積型光モジュールの製造装置。 - 前記第2ステージと前記第2保持機構との間に介在し、前記第2保持機構の重力方向の変位を許容するスライド機構と、
前記ホルダベースに印加される前記第2保持機構の荷重を調整するための荷重調整機構とをさらに備えることを特徴とする請求項1記載の集積型光モジュールの製造装置。 - 複数の光素子と、
各光素子が出力する光をそれぞれ集光する複数のレンズと、
各レンズによって集光された光を合波する光合波器と、
各レンズをそれぞれ保持する複数のレンズホルダと、
各レンズホルダをそれぞれ支持する複数のホルダベースと、
前記複数の光素子、前記光合波器および前記複数のホルダベースを支持するキャリア基板とを備えた集積型光モジュールの製造方法であって、
前記複数の光素子が実装されたキャリア基板を用意するステップと、
前記キャリア基板、前記レンズホルダおよび前記ホルダベースを個別に保持するステップと、
前記複数の光素子のうち、調芯対象となる光素子を発光させるステップと、
前記ホルダベースの位置を固定した状態で、前記レンズホルダおよび前記キャリア基板を変位させながら、調芯対象となるレンズを通過した光を監視することにより前記光素子と前記レンズとの間の調芯を実施するステップと、
調芯の終了後、前記ホルダベースの位置を固定した状態で、前記レンズホルダと前記ホルダベースとの接合部および前記ホルダベースと前記キャリア基板との接合部を溶接するステップと、
前記光合波器を前記キャリア基板に実装するステップとを含むことを特徴とする集積型光モジュールの製造方法。 - 各接合部を溶接するステップにおいて、前記ホルダベースに垂直荷重を印加した状態で溶接を行うことを特徴とする請求項3記載の集積型光モジュールの製造方法。
- 前記光合波器を実装するステップの後、前記レンズホルダの一部または前記ホルダベースの一部にレーザ光を照射して熱塑性変形を生じさせることによって、前記レンズの位置を補正するステップをさらに含むことを特徴とする請求項3記載の集積型光モジュールの製造方法。
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