JP6007046B2 - 表示装置 - Google Patents

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Description

この発明は、発光ダイオードによる表示装置に関する。
従来、発光ダイオードによる表示装置としては、特許文献1(特開2004−273596号公報)に示されるように、微小な複数の発光ダイオードを配列した仮保持基板から転写基板の粘着層に上記複数の発光ダイオードを移し替えることを繰り返して、最終的に表示装置の画素を形成する多数の発光ダイオードをマトリクス状に配列したものがある。
しかし、上記表示装置では、次の(i),(ii)のような問題がある。
(i) 表示装置において必要となる発光ダイオードの個数は、例えば、フルスペックハイビジョンTV受像機を実現しようとする場合、1920×1080×3(RGB)=6220800個であり、画面の大型化も進んでいるので、発光ダイオードの移し替えを繰り返すことは、工程数が多くなり、TAT(Turn Around Time)が長くなるという問題がある。
(ii) 仮保持基板からの発光ダイオードの剥離と、転写基板への発光ダイオードの移し替えを繰り返すことによって、最終的にディスプレイ表示に必要な画素数の発光ダイオードを配列するプロセスでは、高い歩留りを得ることが困難であるという問題がある。
特開2004−273596号公報
そこで、この発明の課題は、少ない工程数で作製できて高い歩留りを向上できる表示装置を提供することにある。
上記課題を解決するため、この発明の表示装置は、
基板と、
上記基板上に形成された第1の電極と、
上記基板上に形成された第2の電極と、
上記第1の電極と第2の電極との間に電気的に接続された板状または棒状の複数の発光ダイオードと
を備え、
上記複数の発光ダイオードは、
上記第1の電極にアノードが電気的に接続されていると共に上記第2の電極にカソードが電気的に接続された第1の発光ダイオードと、
上記第1の電極にカソードが電気的に接続されていると共に上記第2の電極にアノードが電気的に接続された第2の発光ダイオードと
からなり、
上記第1の発光ダイオードと第2の発光ダイオードが上記基板上の上記第1の電極と第2の電極との間に極性を揃えないでランダムに入り交じって配置され、
上記複数の発光ダイオードは、上記基板上にマトリクス状に配置され、
上記第1の電極は、
上記マトリクス状に配置された複数の発光ダイオードのうち、第1の方向に配列された複数の発光ダイオードのアノードもしくはカソードに電気的に接続され、
上記第2の電極は、
上記マトリクス状に配置された複数の発光ダイオードのうち、上記第1の方向と交差する第2の方向に配列された複数の発光ダイオードのアノードもしくはカソードに電気的に接続され、
さらに、上記第1の電極と第2の電極に電気的に接続されていると共に上記第1,第2の発光ダイオードを駆動する駆動制御部を備え、
上記駆動制御部は、
上記第2の方向に配列された複数の発光ダイオードからなる1行の発光ダイオードまたは上記第1の方向に隣り合う複数行の発光ダイオードのうち、上記第1の発光ダイオードだけを発光させるように上記第1,第2の電極に電流を流す第1の駆動制御と、
上記第2の方向に配列された複数の発光ダイオードからなる1行の発光ダイオードまたは上記第1の方向に隣り合う複数行の発光ダイオードのうち、上記第2の発光ダイオードだけを発光させるように上記第1,第2の電極に電流を流す第2の駆動制御と、
上記第1の駆動制御と第2の駆動制御との間で、上記第2の方向に配列された上記1行の発光ダイオードからn(nは1以上の整数)ずれた行の発光ダイオードまたは上記複数行の発光ダイオードから上記n行ずれた複数行の発光ダイオードのうち、上記第1の発光ダイオードだけを発光させるように上記第1,第2の電極に電流を流す第3の駆動制御と
上記第2の駆動制御の後に上記第3の駆動制御で発光させた1行の上記第1の発光ダイオードまたは上記第3の駆動制御で発光させた複数行の上記第1の発光ダイオードに上記第2の方向に隣り合う上記第2の発光ダイオードだけを発光させるように上記第1,第2の電極に電流を流す第4の駆動制御と
繰り返し、
上記nが1である場合、上記第1の駆動制御から上記第4の駆動制御までが行われた後、上記第1の駆動制御で発光させた1行または複数行の上記第1の発光ダイオードから少なくとも2行ずれた発光ダイオードのうち、上記第1の発光ダイオードだけが発光するように、次の上記第1の駆動制御が行われることを特徴としている。
この発明の表示装置では、第1,第2の電極に対する電気的な接続の極性が互いに異なる複数の発光ダイオードが極性を揃えないでランダムに入り交じった状態で基板上にマトリクス状に配置されている。この発明では、上記複数の発光ダイオードを含んだ溶液を基板上に塗布して第1,第2の電極間に電圧を印加すれば、上記第1,第2の電極に対して複数の発光ダイオードを電気的に接続できる。
したがって、この発明では、基板間で複数の発光ダイオードを移し替える工程を繰り返すことが必要な従来例に比べて、発光ダイオードに欠陥が発生するのを抑制しつつ工程数を低減でき、歩留りも向上できる。
また、この発明では、駆動制御部は、第1の駆動制御によって或る行範囲の或る発光ダイオードを発光させ、次に第3の駆動制御によって他の行範囲において上記或る発光ダイオードと同じ配置の発光ダイオードを発光させてから、第2の駆動制御によって上記或る行範囲において上記或る発光ダイオードと異なる配置の発光ダイオードを発光させる。このような発光ダイオードの駆動制御により、或る行範囲において或る発光ダイオードを発光させるのに続いて他の発光ダイオードを発光させる場合に比べて、通電方向を切り替える回数を低減できると共に単位時間当たりの点灯面積の増大を図れ、画像のちらつきを低減できる。
この発明の表示装置の第1実施形態の一部分を示す平面図である。 上記第1実施形態の一部分の等価回路図である。 上記第1実施形態の発光ダイオードの構成の一例を示す斜視図である。 上記発光ダイオードの端面図である。 棒状構造の発光ダイオードの製造方法の工程図である。 図4Aに続く棒状構造の発光ダイオードの製造方法の工程図である。 図4Bに続く発光ダイオードの製造方法の工程図である。 図4Cに続く発光ダイオードの製造方法の工程図である。 図4Dに続く発光ダイオードの製造方法の工程図である。 複数の上記棒状構造発光ダイオードが基板上に形成された電極間に接続された様子を示す平面図である。 上記基板上の電極へ配線が形成され、上記発光ダイオードに蛍光体が塗布された様子を示す平面図である。 上記第1実施形態の部分的な等価回路図である。 上記第1実施形態の動作を説明する部分的な等価回路図である。 上記第1実施形態の動作を説明するもう1つの部分的な等価回路図である。 この発明の表示装置の第2実施形態の一部分の等価回路図である。 上記第2実施形態の動作を説明する部分的な等価回路図である。 上記第2実施形態の動作を説明するもう1つの部分的な等価回路図である。 上記第1,第2実施形態における発光ダイオードの変形例の製造方法の工程図である。 図13Aに続く発光ダイオードの製造方法の工程図である。 図13Bに続く発光ダイオードの製造方法の工程図である。
以下、この発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。
(第1の実施の形態)
図1は、この発明の表示装置の第1実施形態としてのLEDディスプレイの一部分を示す平面図であり、図2は、上記第1実施形態の一部分の等価回路図である。
図1に示すように、この第1実施形態は、絶縁性基板1と、この絶縁性基板1上に形成された第1の電極2と、上記絶縁性基板1上に形成された第2の電極3とを備える。
上記第2の電極3は、第2の方向Xに延在しており、予め定められた間隔を隔てて複数の突起部3Aを有している。この第2の電極3は、上記第2の方向Xとほぼ直交する第1の方向Yに複数配列されている。
上記第1の電極2は、上記第2の電極3の各突起部3Aに対して、予め定められた間隔を隔てて上記第2の方向Xに複数配置されている。
また、この第1実施形態のLEDディスプレイは、上記第1の電極2にアノードAが電気的に接続されていると共に上記第2の電極3の突起部3Aにカソードが電気的に接続された複数の第1の発光ダイオード5と、上記第1の電極2にカソードが電気的に接続されていると共に上記第2の電極3の突起部3Aにアノードが電気的に接続された複数の第2の発光ダイオード6とを備える。上記第1の発光ダイオード5と第2の発光ダイオード6は、互いに同じ構造の発光ダイオードであるが、第1,第2の電極2,3に対する電気的な接続の極性が互いに異なる。
上記複数の第1,第2の発光ダイオード5,6は、上記絶縁性基板1上に上記第1,第2の方向Y,Xにマトリクス状に配置されている。また、上記複数の第1,第2の発光ダイオード5,6は、上記絶縁性基板1上の第1の電極2と第2の電極3との間に極性を揃えないでランダムに入り交じって配置されている。
図1に示すように、第1の方向Yに配列された複数の第1の電極2は、1本の配線7に電気的に接続されている。なお、図1には示していないが、上記基板1と上記配線7との間および第1,第2の電極2,3と上記配線7との間には、絶縁膜が形成され、上記配線7の接続部7Aは上記絶縁膜に形成された図示しないスルーホールを通して第1の電極2に電気的に接続されている。
また、図1に示すように、上記複数の発光ダイオード5,6上には、赤色蛍光体11,緑色蛍光体12,青色蛍光体13のうちのいずれかが塗布されている。上記赤色蛍光体11,緑色蛍光体12,青色蛍光体13は上記第2の方向Xに順番に配列されている。
図2は、図1に対応する等価回路を示す。また、この第1実施形態は、上記第1の電極2に電気的に接続された複数の配線7に接続された列駆動回路22と、上記複数の第2の電極3に電気的に接続された行駆動回路21を備える。この列駆動回路22と上記行駆動回路21が駆動制御部を構成している。
次に、図7〜図9を参照して、上記行駆動回路21と列駆動回路22とが構成する駆動制御部による制御内容を説明する。図7〜図9は、それぞれ、この第1実施形態の部分的な等価回路図である。
図7〜図9では、上記第1の電極2に電気的に接続された複数の上記配線7は、それぞれ、データ線DL1,DL2,DL3,…,DLnとして表されており、複数の上記第2の電極3は、それぞれ、走査線SL1,SL2,SL3,…,SLmとして表されている。ここで、上記DLnのnは、予め定められた自然数であり、n番目のデータ線であることを表している。また、上記SLmのmは、予め定められた自然数であり、m番目のデータ線であることを表している。高画質なLEDディスプレイの場合には、上記n,mは、一例として、それぞれ、1000以上の数である。
まず、上記駆動制御部をなす行駆動回路21と列駆動回路22による時刻t=t1〜t4での第1,第3の駆動制御を説明する。
上記行駆動回路21は、時刻t=t1では、走査線SL1に0Vを印加し、その他の走査線SL2〜SLmはHi-Z(ハイインピーダンス状態)にする一方、上記列駆動回路22は、0Vを印加していた各データ線DL1〜DLnに4Vを印加する。ここで、上記列駆動回路22は、表示するデータに応じて、各データ線DL1〜DLnに4Vを印加する時間を制御するPWM(pulse width modulation)制御を行う。上記列駆動回路22は、上記4V印加時間が終了すると、4Vを印加していた各データ線DL1〜DLnに0Vを印加する。
次に、時刻t=t2では、上記行駆動回路21は、走査線SL2に0Vを印加し、その他の走査線SL1,SL3〜SLmはHi-Z(ハイインピーダンス状態)にすると共に、上記列駆動回路22は、0Vを印加していた各データ線DL1〜DLnに4Vを印加する。ここで、上記列駆動回路22は、各データ線DL1〜DLnに対して、時刻t=t1で述べたのと同様のPWM制御を行う。
次に、時刻t=t3では、上記行駆動回路21は、走査線SL3に0Vを印加し、その他の走査線SL1,SL2,SL4〜SLmはHi-Zにすると共に、上記列駆動回路22は、各データ線DL1〜DLnに対して、前述と同様のPWM制御を行う。
次に、時刻t=t4では、上記行駆動回路21は、走査線SL4に0Vを印加し、その他の走査線SL1,SL2,SL3,SL5〜SLmはHi-Zにすると共に、上記列駆動回路22は、各データ線DL1〜DLnに対して、前述と同様のPWM制御を行う。
上記時刻t=t1での駆動制御を第1の駆動制御とすると、上記時刻t=t2での駆動制御が第3の駆動制御となる。また、上記時刻t=t2での駆動制御を第1の駆動制御とすると、上記時刻t=t3での駆動制御が第3の駆動制御となる。同様に、上記時刻t=t3での駆動制御を第1の駆動制御とすると、上記時刻t=t4での駆動制御が第3の駆動制御となる。
上述の時刻t=t1での制御では、走査線SL1に接続された1行の発光ダイオードD11,D12,…,D1nのうち、走査線SL1にカソードKが接続された発光ダイオードD11,D12,D14,D18…が発光する一方、走査線SL1にアノードAが接続された発光ダイオードD13,D15,D16,D17…が発光しない。ここで、上記1行の発光ダイオードD11,D12,…,D1nは、それぞれ、上記データ線DL1,DL2,…,DLnと走査線SL1との間に接続された発光ダイオードを表している。
また、上述の時刻t=t2での制御では、走査線SL2に接続された1行の発光ダイオードD21,D22,…,D2nのうち、走査線SL2にカソードKが接続された発光ダイオードD22,D23,D25,D26,D27,D29…が発光する一方、走査線SL2にアノードAが接続された発光ダイオードD21,D24,D28…が発光しない。ここで、上記1行の発光ダイオードD21,D22,…,D2nは、それぞれ、上記データ線DL1,DL2,…,DLnと走査線SL2との間に接続された発光ダイオードを表している。上述の時刻t=t2での制御により発光する発光ダイオードを、図8において破線で囲んで示している。
また、上述の時刻t=t3での制御では、走査線SL3に接続された1行の発光ダイオードD31,D32,…,D3nのうち、走査線SL3にカソードKが接続された発光ダイオードD31,D32,D36,D39…が発光する一方、走査線SL3にアノードAが接続された発光ダイオードD33,D34,D35,D37,D38…が発光しない。ここで、上記1行の発光ダイオードD31,D32,…,D3nは、それぞれ、上記データ線DL1,DL2,…,DLnと走査線SL3との間に接続された発光ダイオードを表している。
また、上述の時刻t=t4での制御では、走査線SL4に接続された1行の発光ダイオードD41,D42,…,D4nのうち、走査線SL4にカソードKが接続された発光ダイオードD43,D46,D47…が発光する一方、走査線SL4にアノードAが接続された発光ダイオードD41,D42,D44,D45,D48,D49…が発光しない。ここで、上記1行の発光ダイオードD41,D42,…,D4nは、それぞれ、上記データ線DL1,DL2,…,DLnと走査線SL4との間に接続された発光ダイオードを表している。
このように、上記時刻t=t1,t2,t3,t4における駆動制御では、上記走査線SL1,SL2,SL3,SL4に接続された各1行の発光ダイオードのうちの第1の発光ダイオード5だけが発光させられる。
次に、上記駆動制御部をなす行駆動回路21と列駆動回路22による時刻t=t5〜t8での駆動制御を説明する。
時刻t=t5では、上記行駆動回路21は、走査線SL1に4Vを印加し、その他の走査線SL2〜SLmはHi-Z(ハイインピーダンス状態)にすると共に、上記列駆動回路22は、4Vを印加していた各データ線DL1〜DLnに0Vを印加する。ここで、上記列駆動回路22は、表示するデータに応じて、各データ線DL1〜DLnに0Vを印加する時間を制御する(PWM制御)。上記列駆動回路22は、上記0V印加時間が終了すると、0Vを印加していた各データ線DL1〜DLnに4Vを印加する。この時刻t=t5での駆動制御が、第2の駆動制御をなす。
次に、時刻t=t6では、上記行駆動回路21は、走査線SL2に4Vを印加し、その他の走査線SL1,SL3〜SLmはHi-Z(ハイインピーダンス状態)にすると共に、4Vを印加していた各データ線DL1〜DLnに0Vを印加する。ここで、上記列駆動回路22は、各データ線DL1〜DLnに対して、時刻t=t5で述べたのと同様のPWM制御を行う。
次に、時刻t=t7では、上記行駆動回路21は、走査線SL3に4Vを印加し、その他の走査線SL1,SL2,SL4〜SLmはHi-Zにすると共に、各データ線DL1〜DLnに対して、前述と同様のPWM制御を行う。
次に、時刻t=t8では、走査線SL4に4Vを印加し、その他の走査線SL1,SL2,SL3,SL5〜SLmはHi-Zにすると共に、上記列駆動回路22は、各データ線DL1〜DLnに対して、前述と同様のPWM制御を行う。
上記時刻t=t1での駆動制御を第1の駆動制御とすると、上記時刻t=t5での駆動制御が第2の駆動制御となる。また、上記時刻t=t2での駆動制御を第1の駆動制御とすると、上記時刻t=t6での駆動制御が第2の駆動制御となる。同様に、上記時刻t=t3での駆動制御を第1の駆動制御とすると、上記時刻t=t7での駆動制御が第2の駆動制御となる。
上述の時刻t=t5での制御では、走査線SL1に接続された1行の発光ダイオードD11,D12,…,D1nのうち、走査線SL1にアノードAが接続された発光ダイオードD13,D15,D16,D17…が発光する一方、走査線SL1にカソードKが接続された発光ダイオードD11,D12,D14,D18…が発光しない。
また、上述の時刻t=t6での制御では、走査線SL2に接続された1行の発光ダイオードD21,D22,…,D2nのうち、走査線SL2にアノードAが接続された発光ダイオードD21,D24,D28…が発光する一方、走査線SL2にカソードKが接続された発光ダイオードD22,D23,D25,D26,D27,D29…が発光しない。上述の時刻t=t6での制御により発光する発光ダイオードを、図9において破線で囲んで示している。
また、上述の時刻t=t7での制御では、走査線SL3に接続された1行の発光ダイオードD31,D32,…,D3nのうち、走査線SL3にアノードAが接続された発光ダイオードD33,D34,D35,D37,D38…が発光する一方、走査線SL3にカソードKが接続された発光ダイオードD31,D32,D36,D39…が発光しない。
また、上述の時刻t=t8での制御では、走査線SL4に接続された1行の発光ダイオードD41,D42,…,D4nのうち、走査線SL4にアノードAが接続された発光ダイオードD41,D42,D44,D45,D48,D49…が発光する一方、走査線SL4にカソードKが接続された発光ダイオードD43,D46,D47…が発光しない。
なお、走査線SL5〜SL8に接続された4行の発光ダイオードについても、上述の走査線SL1〜SL4に接続された4行の発光ダイオードについて行った第1〜第3の駆動制御と同様の第1,第2の駆動制御が行われる。以降、4本の走査線に接続された4行の発光ダイオード毎に、上述と同様の第1〜第3の駆動制御が行われる。
このように、上記行駆動回路21と列駆動回路22による時刻t1〜t4での第1,第3の駆動制御と時刻t5〜t8での第2の駆動制御によって、走査線SL1〜SL4に接続された4行の発光ダイオードについて、時刻t1〜t4では1行目から4行目の第1の発光ダイオード5を順次1行ずつ発光させ、続いて、時刻t5〜t8では1行目から4行目の第2の発光ダイオード6を順次1行ずつ発光させる。
このような発光ダイオードの駆動制御により、或る1行の発光ダイオードについて第1のダイオードを発光させるのに続いて第2のダイオードを発光させる駆動制御を行う場合に比べて、通電方向を切り替える回数を低減できると共に単位時間当たりの点灯面積の増大を図れ、画像のちらつきを低減できる。
なお、上記実施形態では、発光させる発光ダイオードを1行ずつシフトさせたが、発光させる発光ダイオードをn行(nは2以上の整数)ずつシフトさせても構わない。
例えば、時刻t1、t2、t3、t4に、それぞれ、1行目、3行目、5行目、7行目の第1の発光ダイオード5を順次1行ずつ発光させ、次に、時刻t5、t6、t7、t8に、それぞれ、1行目、3行目、5行目、7行目の第2の発光ダイオード6を順次1行ずつ発光させ、次に、時刻t9、t10、t11、t12に、それぞれ、2行目、4行目、6行目、8行目の第1の発光ダイオード5を順次1行ずつ発光させ、次に、時刻t9、t10、t11、t12に、それぞれ、2行目、4行目、6行目、8行目の第2の発光ダイオードを順次1行ずつ発光させる制御を行っても構わない。
上記制御を行うことにより、単位時間当たりの点灯面積をさらに増大させることが可能となり、画面のちらつきをより低減することが可能となる。
次に、図3Aの斜視図に上記発光ダイオード5,6の構成の一例を示す。この一例としての発光ダイオードは、N型の半導体で作製された円柱状のコア部31と、この円柱状のコア部31の外周面32を被覆するP型の半導体で作製された円筒状のシェル部33とで構成している。なお、図3Bは、円柱状のコア部31の端面31D側から軸方向に見た様子を示す端面図である。上記円柱状のコア部31の外周面32の一部32Aが上記シェル部33から露出している。また、上記円柱状のコア部31と上記シェル部33との接合面35は上記円柱状のコア部31の周りに同心円状に形成されている。上記シェル部33から露出したコア部31の一部31AがカソードKをなし、上記シェル部33の端部33AがアノードAをなす。図3A,図3Bに示す構成の発光ダイオードは、上記N型の円柱状のコア部31とP型のシェル部33との接合面35をコア部31の外周面32に沿って円筒状に形成でき、発光面の増大を図れる。また、上記コア部31の外周面32の一部32AがP型のシェル部33から露出しているので、上記コア部31の外周面32の一部32Aへの電極2,3の接続が容易になる。
なお、コア部31の一端31Bの端面31Cは上記シェル部33の端部33Aから露出していてもよいが、上記シェル部33の端部33Aがコア部31の一端31Bの端面31Cを被覆する構成とすることで、シェル部33の端部33Aを電極2,3により接続し易くなる。また、上記シェル部33を形成する半導体をN型とし、上記コア部31を形成する半導体をP型としてもよい。また、図3A,3Bに示す構成では、コア部31を円柱状としシェル部33を円筒状としたが、多角柱状のコア部と多角筒状のシェル部としてもよい。例えば、六角柱状のコア部と六角筒状のシェル部としてもよく、四角柱状のコア部と四角筒状のシェル部としてもよく、三角柱状のコア部と三角筒状のシェル部としてもよい。また、楕円柱状のコア部と楕円筒状のシェル部としてもよい。また、断面長方形状の板状のコア部と長方形状の筒状のシェル部とで構成される板状の発光ダイオードとしてもよい。
次に、図4A〜図4Eを参照して、上述のコア部とシェル部とで構成される発光ダイオードの製造工程の一例を説明する。
まず、図4Aに示すように、n型GaNからなる基板71上に、成長穴72aを有するマスク72を形成する。なお、図4Aでは、1つの成長穴72aのみを示しているが、実際には、上記マスク72は、成長穴72aと同様の複数の成長穴(図示せず)を有する。
次に、図4Bに示すように、半導体コア形成工程において、マスク72の成長穴72aにより露出した基板71上に、MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition:有機金属気相成長)装置を用いて、n型GaNを結晶成長させて棒状の半導体コア73を形成する。ここで、n型GaNは、六方晶系の結晶成長となり、基板71表面に対して垂直方向をc軸方向にして成長させることにより、六角柱形状の半導体コアが得られる。なお、図4Bでは、1本の棒状の半導体コア73だけを示しているが、実際には、上記マスク72の複数の成長穴に対応した複数本の棒状の半導体コアを形成する。以下の工程では、1本の棒状の半導体コア73について説明しているが、他の複数本の棒状の半導体コアについても同様の工程を実施する。
次に、図4Cに示すように、半導体層形成工程において、棒状の半導体コア73を覆うように基板71全面にp型GaNからなる半導体層74を形成する。次に、図4Dに示すように、露出工程において、リフトオフにより半導体コア73を覆う半導体層74aの部分を除く領域とマスク72を除去して、棒状の半導体コア73の基板71側に基板側の外周面を露出させて露出部分73aを形成する。この状態で、上記半導体コア73の基板71と反対の側の端面は、半導体層74aにより覆われている。この実施形態の露出工程では、リフトオフを用いたがエッチングにより半導体コアの一部を露出させてもよい。
次に、切り離し工程において、超音波(例えば数10KHz)を用いて基板71を基板平面に沿って振動させることにより、基板71上に立設する半導体コア73の基板71側に近い根元を折り曲げるように、半導体層74aに覆われた半導体コア73に対して応力が働いて、図4Eに示すように、半導体層74aに覆われた半導体コア73が基板71から切り離される。こうして、基板71から切り離なされた微細な棒状構造発光ダイオードを製造することができる。この棒状構造の発光ダイオードの製造方法では、一例として、棒状構造発光ダイオードの直径を1μm、長さを10μmとしている。
上記発光ダイオードの製造工程では、基板71と半導体コア73と半導体層74aに、GaNを母材とする半導体を用いたが、GaAs,AlGaAs,GaAsP,InGaN,AlGaN,GaP,ZnSe,AlGaInPなどを母材とする半導体を用いてもよい。また、上記発光ダイオードを量子井戸構造を有するものとして発光効率を向上させてもよい。
また、基板と半導体コアをn型とし、半導体層をp型としたが、導電型が逆の棒状構造発光ダイオードとしてもよい。また、断面が六角柱の半導体コアを有する棒状構造発光ダイオードの製造方法について説明したが、これに限らず、断面が円形または楕円の棒状であってもよいし、断面が三角形などの他の多角形状の棒状の半導体コアを有する棒状構造発光ダイオードも上述と同様の製造方法で作製できる。また、断面長方形状の板状のコア部と長方形状の筒状のシェル部とで構成される板状構造の発光ダイオードも上述と同様の製造方法で作製できる。
また、上記発光ダイオードの製造方法では、棒状構造発光ダイオードの直径を1μmとし長さを10μmのマイクロオーダーサイズとしたが、直径または長さのうちの少なくとも直径が1μm未満のナノオーダーサイズの素子としてよい。上記棒状構造発光ダイオードの半導体コアの直径は500nm以上かつ100μm以下が好ましく、数10nm〜数100nmの棒状構造発光ダイオードに比べて半導体コアの直径のばらつきを抑えることができ、発光面積すなわち発光特性のばらつきを低減でき、歩留まりを向上できる。
また、上記発光ダイオードの製造方法では、MOCVD装置を用いて半導体コア73を結晶成長させたが、MBE(分子線エピタキシャル)装置などの他の結晶成長装置を用いて半導体コアを形成してもよい。また、成長穴を有するマスクを用いて半導体コアを基板上に結晶成長させたが、基板上に金属種を配置して、金属種から半導体コアを結晶成長させてもよい。また、上記発光ダイオードの製造方法では、半導体層74aに覆われた半導体コア73を、超音波を用いて基板71から切り離したが、これに限らず、切断工具を用いて半導体コアを基板から機械的に切り離してもよい。この場合、簡単な方法で基板上に設けられた微細な複数の棒状構造発光素子を短時間で切り離すことができる。
次に、図5を参照して、絶縁性基板1上に形成された第1の電極2と第2の電極3との間に複数の第1,第2の発光ダイオード5,6を配列する工程を説明する。
まず、表面に第1の電極2となる第1の電極52と第2の電極3が形成された絶縁性基板1を用意する。この絶縁性基板1は、例えば、ガラス基板とするが、表面が絶縁膜で覆われた基板でもよい。また、第1,第2の電極52,3は金属電極とする。一例として、印刷技術を利用して絶縁性基板1の表面に所望の電極形状の第1,第2の電極52,3を形成することができる。また、絶縁性基板1の表面に金属膜及び感光体膜を一様に積層し、この感光体膜を所望の電極パターンに露光・現像し、パターニングされた感光体膜をマスクとして金属膜をエッチングして第1の電極52と第2の電極3を形成することができる。図5では、絶縁性基板1の表面に形成された1対の第1,第2の電極52,3の一部分のみを示している。
なお、上記第1,第2の電極52,3を作製する金属の材料としては、金、銀、銅、鉄、タングステン、タングステンナイトライド、アルミニウム、タンタルやそれらの合金などを用いることができる。また、絶縁性基板1はガラス、セラミック、アルミナ、樹脂のような絶縁体、またはシリコンのような半導体表面にシリコン酸化膜を形成し、表面が絶縁性を有するような基板である。ガラス基板を用いる場合は、表面にシリコン酸化膜、シリコン窒化膜のような下地絶縁膜を形成するのが望ましい。
また、上記第1の電極52の突出部52Aと第2の電極3の突出部3Aとの間の距離は、第1,第2の発光ダイオード5,6の長さよりもやや短いことが好ましい。一例として、上記距離は、発光ダイオード7の長さが10μmである場合は、6〜9μmとすることが望ましい。すなわち、上記距離は、発光ダイオード7の長さの60〜90%程度、より好ましくは上記長さの80〜90%とすることが望ましい。
次に、上記絶縁性基板1上に第1,第2の発光ダイオード5,6を配列する手順を説明する。
まず、上記絶縁性基板1上に複数の発光ダイオード5,6を含んだ溶液としてのイソプロピルアルコール(IPA)を薄く塗布する。なお、この複数の発光ダイオード5,6を含んだ溶液は、前述した発光ダイオードの切り離し工程において、上記IPA溶液中に基板71を浸して、超音波により基板71を基板平面に沿って振動させて、基板71から複数の発光ダイオードを切り離すことで得られる。
上記溶液としては、IPAのほかに、エチレングリコール、プロピレングリコール、メタノール、エタノール、アセトン、またはそれらの混合物でもよく、他の有機物からなる液体、水などを用いることができる。ただし、液体を通じて金属電極である第1,第2の電極52,3間に大きな電流が流れてしまうと、第1,第2の電極52,3間に所望の電圧差を印加できなくなってしまう。そのような場合には、第1,第2の電極52,3を覆うように、絶縁性基板1の表面全体に、10nm〜30nm程度の絶縁膜をコーティングすればよい。
上記複数の発光ダイオード5,6を含むIPAを塗布する厚さは、次に複数の発光ダイオード5,6を配列する工程で、発光ダイオード5,6が配列できるよう、液体中で発光ダイオード5,6が移動できる厚さである。したがって、発光ダイオード5,6の太さ以上であり、例えば、数μm〜数mmである。塗布する厚さは薄すぎると、発光ダイオード5,6が移動し難くなり、厚すぎると、液体を乾燥する時間が長くなる。好ましくは、100μm〜500μmである。また、IPAの量に対して、発光ダイオードの個数は、 1×10個/cm 〜 1×10個/cmが好ましい。
上記複数の発光ダイオード5,6を含むIPAを絶縁性基板1に塗布するために、複数の発光ダイオード5,6を配列させる金属電極である第1,第2の電極52,3の外周囲に枠(図示せず)を形成し、その枠内に上記複数の発光ダイオード5,6を含むIPAを所望の厚さになるよう充填するとよい。しかし、上記発光ダイオード5,6を含むIPAが粘性を有する場合は、枠を必要とせずに、所望の厚さに塗布することが可能である。上記IPAやエチレングリコール、プロピレングリコール、メタノール、エタノール、アセトン、またはそれらの混合物、或いは、他の有機物からなる液体、または水などの液体は、上記発光ダイオード7の配列工程のためには粘性が低いほど望ましく、また加熱により蒸発しやすい方が望ましい。
次に、第1,第2の電極52,3間に電位差を与える。この電位差は、例えば、0.5Vもしくは1Vの電位差とする。なお、この第1の電極52と第2の電極3の電位差は、0.1〜10Vを印加することができるが、0.1V以下では発光ダイオード5,6の配列姿勢が乱れ始め、10V以上では金属電極間の絶縁が問題になり始める。したがって、上記電位差は0.5V〜5Vが好ましく、さらには、0.5V程度とするのが好ましい。第1の電極52に電位VLを与え、第2の電極3に上記電位VLよりも高い電位VH(VL<VH)を与えると、第1の電極52には負電荷が誘起され、第2の電極3には正電荷が誘起される。この第1,第2の電極52,3に上記発光ダイオード5,6が接近すると、発光ダイオード5,6のうち第1の電極52に近い側に正電荷が誘起され、第2の電極3に近い側に負電荷が誘起される。上記発光ダイオード5,6に電荷が誘起されるのは静電誘導による。よって、上記発光ダイオード5,6は、第1,第2の電極52,3間に生じる電気力線に沿った姿勢になると共に、各発光ダイオード5,6に誘起された電荷がほぼ等しいので、電荷による反発力により、ほぼ等間隔に一定方向に規則正しく配列する。このとき、第1,第2の電極52,3の表面に絶縁膜がコーティングされており、かつ、第1,第2の電極52,3間に与える電位差が一定(DC)であると、第1,第2の電極52,3上にコーディングされた絶縁膜表面に、第1,第2の電極52,3の電位と反対極性のイオンが誘起されて溶液中の電界が非常に弱くなってしまう。そのような場合は、第1,第2の電極52,3間に交流電圧を印加することが好ましい。これにより、第1,第2の電極52,3の電位と反対極性のイオンが誘起されるのを防ぎ、第1,第2の発光ダイオード5,6を正常に配列することができる。なお、第1,第2の電極52,3間に印加する交流電圧の周波数は、10Hz〜1MHzとするのが好ましいが、交流電圧の周波数が10Hz未満のときは、第1,第2の発光ダイオード5,6が激しく振動し、配列が乱される可能性がある。一方、第1,第2の電極52,3間に印加する交流電圧の周波数が1MHzを超える場合は、発光ダイオード5,6が第1,第2の電極52,3に吸着される力が弱くなり、外部の擾乱により配列が乱されることがある。このため、発光ダイオード5,6の配列の安定のためには、上記交流電圧の周波数を50Hz〜1kHzとすることがより好ましい。さらに、上記交流電圧の波形は、正弦波に限らず、矩形波、三角波、ノコギリ波など、周期的に変動するものであればよい。なお、上記交流電圧の振幅は一例として0.5V程度とすることが好ましい。
この製造工程では、第1,第2の電極52,3間に発生した外部電場により、各発光ダイオード5,6に電荷を発生させ、電荷の引力により第1,第2の電極52,3に発光ダイオード5,6を吸着させるので、発光ダイオード5,6の大きさは、液体中で移動可能な大きさであることが必要である。したがって、各発光ダイオード5,6の大きさ(最大寸法)の許容値は、液体の塗布量(塗布厚さ)により変化する。上記液体の塗布量が少ない場合は、各発光ダイオード5,6の大きさ(最大寸法)はナノスケールでなければならないが、液体の塗布量が多い場合は、各発光ダイオード5,6の大きさがミクロンオーダーであってもかまわない。
上記発光ダイオード5,6が配列を始めてしばらくすると、図5に示すように、第2の電極3の突出部3Aと第1の電極52の突出部52Aとの間に発光ダイオード5,6が配列する。各発光ダイオード5,6は、第1,第2の電極52,3が延在している方向とは垂直な姿勢に整列して上記延在の方向にほぼ等間隔で配列する。突出部52Aと突出部3Aとの間に電界が集中すると共に各発光ダイオード5,6に誘起された電荷により各発光ダイオード5,6間に反発力が働いて、発光ダイオード5,6がほぼ等間隔に並ぶ。
こうして、第1,第2の電極52,3の突出部52Aと突出部3Aとの間に、第1,第2の発光ダイオード5,6を配列させた後、基板51を加熱または一定時間放置することにより、上記溶液の液体を蒸発させて乾燥させ、発光ダイオード7を金属電極53と12との間の電気力線に沿って、等間隔に配列させて固着させる。
次に、エッチングにより上記電極52を図6,図1に示すような複数の第1の電極2に形成し、赤色蛍光体11,緑色蛍光体12,青色蛍光体13が形成される領域が開口した絶縁膜(図示せず)を形成し、上記第1の電極2上の配線7の接続部7Aが形成される領域に上記絶縁膜のスルーホール(図示せず)を形成する。そして、フォトリソグラフィー技術により、配線7を形成し、この配線7の接続部7Aを上記スルーホールを通して上記第1の電極2に電気的に接続する。
次に、図6,図1に示すように、上記赤色蛍光体11,緑色蛍光体12,青色蛍光体13が上記第2の方向Xに順番に配列されるように、各発光ダイオード5,6上に赤色蛍光体11,緑色蛍光体12,青色蛍光体13のうちのいずれか1つを塗布する。
以上の製造方法によれば、複数の発光ダイオード5,6を、第1の電極2と第2の電極3の突出部3Aとの間に制御性良く高精度に配列させることが可能となる。また、上記製造方法では、複数の発光ダイオード5,6は第1の発光ダイオード5と第2の発光ダイオード6からなり、各発光ダイオードの向き(極性)を一方に決めることが困難であるので、第1,第2の発光ダイオード5,6の向きが図1に示されている状態になるとも限らないが、上述の如く、本実施形態では、第1,第2の発光ダイオード5,6は、図1の配列状態に限られるものではなく、各発光ダイオード5,6がランダムに入り交じって混在していてもよい。よって、上記製造方法は、複数の第1,第2の発光ダイオード5,6からなる複数の発光ダイオードの向き(極性)を揃えないでランダムに入り交じっている本発明のLEDディスプレイを製造するのに好適である。また、上記製造方法では、多数の微細な発光ダイオード5,6を一度に電極2,3間に配列,接続可能になるので、発光ダイオード5,6のサイズが小さく、一例として100μm以下であり、第1の電極2と第2の電極3との間に接続する発光ダイオード5,6の個数が多数個(例えば100個以上)である場合に特に有利である。
したがって、この実施形態のLEDディスプレイによれば、基板間で複数の発光ダイオードを移し替える工程を繰り返すことが必要な従来例に比べて、発光ダイオードに欠陥が発生するのを抑制しつつ工程数を低減でき、歩留りも向上できる。
(第2の実施の形態)
図10は、この発明の表示装置の第2実施形態としてのLEDディスプレイの等価回路図である。
この第2実施形態は、図7に示すn本のデータ線DL1,DL2,…DLnに替えて、図10に示すn個のデータ線群DLG1,DLG2,…DLGnを備える点と、駆動制御部20による駆動制御内容とが、前述の第1実施形態と異なる。したがって、この第2実施形態では、主として、前述の第1実施形態と異なる点を説明する。
図10に示すように、第1のデータ線群DLG1は、4本のデータ線DL11,DL12,DL13,DL14で構成されている。
上記データ線DL11は、第1,第5,第9,…,第(1+4i)番目(iは3以上の自然数)の走査線SL1,SL5,SL9,…,SL(1+4i)に一端が接続された1列目のダイオードD11,D51,D91,…,D(1+4i)1の他端に接続されている。
また、上記データ線DL12は、第2,第6,第10,…,第(2+4i)番目(iは3以上の自然数)の走査線SL2,SL6,SL10,…,SL(2+4i)に一端が接続された1列目のダイオードD21,D61,D101,…,D(2+4i)1の他端に接続されている。
また、上記データ線DL13は、第3,第7,第11,…,第(3+4i)番目(iは3以上の自然数)の走査線SL3,SL7,SL11,…,SL(3+4i)に一端が接続された1列目のダイオードD31,D71,D111,…,D(3+4i)1の他端に接続されている。
また、上記データ線DL14は、第4,第8,第12,…,第(4+4i)番目(iは3以上の自然数)の走査線SL4,SL8,SL12,…,SL(4+4i)に一端が接続された1列目のダイオードD41,D81,D121,…,D(4+4i)1の他端に接続されている。
また、第2のデータ線群DLG2は、4本のデータ線DL21,DL22,DL23,DL24で構成されている。
上記データ線DL21は、第1,第5,第9,…,第(1+4i)番目(iは3以上の自然数)の走査線SL1,SL5,SL9,…,SL(1+4i)に一端が接続された2列目のダイオードD12,D52,D92,…,D(1+4i)2の他端に接続されている。
また、上記データ線DL22は、第2,第6,第10,…,第(2+4i)番目(iは3以上の自然数)の走査線SL2,SL6,SL10,…,SL(2+4i)に一端が接続された2列目のダイオードD22,D62,D102,…,D(2+4i)2の他端に接続されている。
また、上記データ線DL23は、第3,第7,第11,…,第(3+4i)番目(iは3以上の自然数)の走査線SL3,SL7,SL11,…,SL(3+4i)に一端が接続された2列目のダイオードD32,D72,D112,…,D(3+4i)2の他端に接続されている。
また、上記データ線DL24は、第4,第8,第12,…,第(4+4i)番目(iは3以上の自然数)の走査線SL4,SL8,SL12,…,SL(4+4i)に一端が接続された2列目のダイオードD42,D82,D122,…,D(4+4i)2の他端に接続されている。
同様に、第jのデータ線群DLGj(jは3以上の自然数)は、4本のデータ線DLDLj1,DLj2,DLj3,DLj4で構成されている。
上記データ線DLj1は、第1,第5,第9,…,第(1+4i)番目(iは3以上の自然数)の走査線SL1,SL5,SL9,…,SL(1+4i)に一端が接続されたj列目のダイオードD1j,D5j,D9j,…,D(1+4i)jの他端に接続されている。
また、上記データ線DLj2は、第2,第6,第10,…,第(2+4i)番目(iは3以上の自然数)の走査線SL2,SL6,SL10,…,SL(2+4i)に一端が接続されたj列目のダイオードD2j,D6j,D10j,…,D(2+4i)jの他端に接続されている。
また、上記データ線DLj3は、第3,第7,第11,…,第(3+4i)番目(iは3以上の自然数)の走査線SL3,SL7,SL11,…,SL(3+4i)に一端が接続されたj列目のダイオードD3j,D7j,D11j,…,D(3+4i)jの他端に接続されている。
また、上記データ線DLj4は、第4,第8,第12,…,第(4+4i)番目(iは3以上の自然数)の走査線SL4,SL8,SL12,…,SL(4+4i)に一端が接続されたj列目のダイオードD4j,D8j,D12j,…,D(4+4i)jの他端に接続されている。
次に、この第2実施形態における行駆動回路21と列駆動回路22による制御内容を説明する。
まず、上記行駆動回路21と列駆動回路22による時刻t=t1〜t4での第1,第3の駆動制御を説明する。
上記行駆動回路21は、時刻t=t1では、4本の走査線SL1,SL2,SL3,SL4に同時に0Vを印加し、その他の走査線SL5〜SLmはHi-Z(ハイインピーダンス状態)にすると共に、上記列駆動回路22は、0Vを印加していた各データ線群DLG1〜DLGnの各データ線に4Vを印加する。ここで、上記列駆動回路22は、表示するデータに応じて、各データ線群DLG1〜DLGnの各データ線に4Vを印加する時間を制御する(PWM制御)。上記列駆動回路22は、上記4V印加時間が終了すると、4Vを印加していた各データ線群DLG1〜DLGnの各データ線に0Vを印加する。
次に、時刻t=t2では、上記行駆動回路21は、4本の走査線SL2,SL3,SL4,SL5に同時に0Vを印加し、その他の走査線SL1,SL6〜SLmはHi-Z(ハイインピーダンス状態)にすると共に、上記列駆動回路22は、0Vを印加していた各データ線群DLG1〜DLGnの各データ線に4Vを印加する。ここで、上記列駆動回路22は、各データ線群DLG1〜DLGnに対して、時刻t=t1で述べたのと同様のPWM制御を行う。
次に、時刻t=t3では、上記行駆動回路21は、4本の走査線SL3〜SL6に同時に0Vを印加し、その他の走査線SL1,SL2,SL7〜SLmはHi-Zにすると共に、上記列駆動回路22は、0Vを印加していた各データ線群DLG1〜DLGnの各データ線に4Vを印加する。ここで、上記列駆動回路22は、各データ線群DLG1〜DLGnに対して、時刻t=t1で述べたのと同様のPWM制御を行う。
次に、時刻t=t4では、上記行駆動回路21は、4本の走査線SL4〜SL7に同時に0Vを印加し、その他の走査線SL1,SL2,SL3,SL8〜SLmはHi-Zにすると共に、上記列駆動回路22は、0Vを印加していた各データ線群DLG1〜DLGnの各データ線に4Vを印加する。ここで、上記列駆動回路22は、各データ線群DLG1〜DLGnの各データ線に対して、時刻t=t1で述べたのと同様のPWM制御を行う。
上記時刻t=t1での駆動制御を第1の駆動制御とすると、上記時刻t=t2での駆動制御が第3の駆動制御となる。また、上記時刻t=t2での駆動制御を第1の駆動制御とすると、上記時刻t=t3での駆動制御が第3の駆動制御となる。同様に、上記時刻t=t3での駆動制御を第1の駆動制御とすると、上記時刻t=t4での駆動制御が第3の駆動制御となる。
上述の時刻t=t1での制御では、4本の走査線SL1〜SL4に接続された4行の発光ダイオードD11〜D4nのうち、走査線SL1にカソードKが接続された発光ダイオードD11,D12,D14…と、走査線SL2にカソードKが接続された発光ダイオードD22,D23,D25,D26…と、走査線SL3にカソードKが接続された発光ダイオードD31,D32,D36…と、走査線SL4にカソードKが接続された発光ダイオードD43,D46…が発光する。
一方、上述の時刻t=t1での制御では、4本の走査線SL1〜SL4に接続された4行の発光ダイオードD11〜D4nのうち、走査線SL1にアノードAが接続された発光ダイオードD13,D15,D16…と、走査線SL2にアノードAが接続された発光ダイオードD21,D24…と、走査線SL3にアノードAが接続された発光ダイオードD33,D34,D35…と、走査線SL4にアノードAが接続された発光ダイオードD41,D42,D44,D45…が発光しない。
また、上述の時刻t=t2での制御では、4本の走査線SL2〜SL5に接続された4行の発光ダイオードD21〜D5nのうち、走査線SL2にカソードKが接続された発光ダイオードD22,D23,D25,D26…と、走査線SL3にカソードKが接続された発光ダイオードD31,D32,D36…と、走査線SL4にカソードKが接続された発光ダイオードD43,D46…と、走査線SL5にカソードKが接続された発光ダイオードD51,D52,D54,D55…とが発光する。上述の時刻t=t2での制御により発光する発光ダイオードを、図11において破線で囲んで示している。
一方、上述の時刻t=t2での制御では、4本の走査線SL2〜SL5に接続された4行の発光ダイオードD21〜D5nのうち、走査線SL2にアノードAが接続された発光ダイオードD21,D24…と、走査線SL3にアノードAが接続された発光ダイオードD33,D34,D35…と、走査線SL4にアノードAが接続された発光ダイオードD41,D42,D44,D45…と、走査線SL5にアノードAが接続された発光ダイオードD53,D56…が発光しない。
また、上述の時刻t=t3での制御では、4本の走査線SL3〜SL6に接続された4行の発光ダイオードD31〜D6nのうち、走査線SL3にカソードKが接続された発光ダイオードD31,D32,D36…と、走査線SL4にカソードKが接続された発光ダイオードD43,D46…と、走査線SL5にカソードKが接続された発光ダイオードD51,D52,D54,D55…と、走査線SL6にカソードKが接続された発光ダイオードD65…が発光する。
一方、上述の時刻t=t3での制御では、4本の走査線SL3〜SL6に接続された4行の発光ダイオードD31〜D6nのうち、走査線SL3にアノードAが接続された発光ダイオードD33,D34,D35…と、走査線SL4にアノードAが接続された発光ダイオードD41,D42,D44,D45…と、走査線SL5にアノードAが接続された発光ダイオードD53,D56…と、走査線SL6にアノードAが接続された発光ダイオードD61,D62,D63,D64,D66…が発光しない。
また、上述の時刻t=t4での制御では、4本の走査線SL4〜SL7に接続された4行の発光ダイオードD41〜D7nのうち、走査線SL4にカソードKが接続された発光ダイオードD43,D46…と、走査線SL5にカソードKが接続された発光ダイオードD51,D52,D54,D55…と、走査線SL6にカソードKが接続された発光ダイオードD65…と、走査線SL7にカソードKが接続された発光ダイオード(図示せず)とが発光する。
一方、上述の時刻t=t4での制御では、4本の走査線SL4〜SL7に接続された4行の発光ダイオードD31〜D7nのうち、走査線SL4にアノードAが接続された発光ダイオードD41,D42,D44,D45…と、走査線SL5にアノードAが接続された発光ダイオードD53,D56…と、走査線SL6にアノードAが接続された発光ダイオードD61,D62,D63,D64,D66…と、走査線SL7にアノードAが接続された発光ダイオード(図示せず)とが発光しない。
このように、上記時刻t=t1,t2,t3,t4での第1の駆動制御によって、走査線SL1〜SL4に接続された4行の発光ダイオードのうちの第1の発光ダイオード5、走査線SL2〜SL5に接続された4行の発光ダイオードのうちの第1の発光ダイオード5、走査線SL3〜SL6に接続された4行の発光ダイオードのうちの第1の発光ダイオード5、走査線SL4〜SL7に接続された4行の発光ダイオードのうちの第1の発光ダイオード5が順に発光させられる。
次に、上記駆動制御部をなす行駆動回路21と列駆動回路22による時刻t=t5〜t8での第2の駆動制御を説明する。
上記行駆動回路21は、時刻t=t5では、4本の走査線SL1,SL2,SL3,SL4に同時に4Vを印加し、その他の走査線SL5〜SLmはHi-Z(ハイインピーダンス状態)にすると共に、上記列駆動回路22は、4Vを印加していた各データ線群DLG1〜DLGnの各データ線に0Vを印加する。ここで、上記列駆動回路22は、表示するデータに応じて、各データ線群DLG1〜DLGnの各データ線に0Vを印加する時間を制御する(PWM制御)。上記列駆動回路22は、上記0V印加時間が終了すると、0Vを印加していた各データ線群DLG1〜DLGnの各データ線に4Vを印加する。
次に、時刻t=t6では、上記行駆動回路21は、4本の走査線SL2,SL3,SL4,SL5に同時に4Vを印加し、その他の走査線SL1,SL6〜SLmはHi-Z(ハイインピーダンス状態)にすると共に、上記列駆動回路22は、4Vを印加していた各データ線群DLG1〜DLGnの各データ線に0Vを印加する。ここで、上記列駆動回路22は、各データ線群DLG1〜DLGnに対して、時刻t=t5で述べたのと同様のPWM制御を行う。
次に、時刻t=t7では、上記行駆動回路21は、4本の走査線SL3〜SL6に同時に4Vを印加し、その他の走査線SL1,SL2,SL7〜SLmはHi-Zにすると共に、上記列駆動回路22は、4Vを印加していた各データ線群DLG1〜DLGnの各データ線に0Vを印加する。ここで、上記列駆動回路22は、各データ線群DLG1〜DLGnに対して、時刻t=t5で述べたのと同様のPWM制御を行う。
次に、時刻t=t8では、上記行駆動回路21は、4本の走査線SL4〜SL7に同時に4Vを印加し、その他の走査線SL1,SL2,SL3,SL8〜SLmはHi-Zにすると共に、上記列駆動回路22は、4Vを印加していた各データ線群DLG1〜DLGnの各データ線に0Vを印加する。ここで、上記列駆動回路22は、各データ線群DLG1〜DLGnの各データ線に対して、時刻t=t5で述べたのと同様のPWM制御を行う。
上記時刻t=t1での駆動制御を第1の駆動制御とすると、上記時刻t=t5での駆動制御が第2の駆動制御となる。また、上記時刻t=t2での駆動制御を第1の駆動制御とすると、上記時刻t=t6での駆動制御が第2の駆動制御となる。同様に、上記時刻t=t3での駆動制御を第1の駆動制御とすると、上記時刻t=t7での駆動制御が第2の駆動制御となる。
上述の時刻t=t5での制御では、4本の走査線SL1〜SL4に接続された4行の発光ダイオードD11〜D4nのうち、走査線SL1にアノードAが接続された発光ダイオードD13,D15,D16…と、走査線SL2にアノードAが接続された発光ダイオードD21,D24…と、走査線SL3にアノードAが接続された発光ダイオードD33,D34,D35…と、走査線SL4にアノードAが接続された発光ダイオードD41,D42,D44,D45…が発光する。
一方、上述の時刻t=t5での制御では、4本の走査線SL1〜SL4に接続された4行の発光ダイオードD11〜D4nのうち、走査線SL1にカソードKが接続された発光ダイオードD11,D12,D14…と、走査線SL2にカソードKが接続された発光ダイオードD22,D23,D25,D26…と、走査線SL3にカソードKが接続された発光ダイオードD31,D32,D36…と、走査線SL4にカソードKが接続された発光ダイオードD43,D46…が発光しない。
また、上述の時刻t=t6での制御では、4本の走査線SL2〜SL5に接続された4行の発光ダイオードD21〜D5nのうち、走査線SL2にアノードAが接続された発光ダイオードD21,D24…と、走査線SL3にアノードAが接続された発光ダイオードD33,D34,D35…と、走査線SL4にアノードAが接続された発光ダイオードD41,D42,D44,D45…と、走査線SL5にアノードAが接続された発光ダイオードD53,D56…が発光する。上述の時刻t=t6での制御により発光する発光ダイオードを、図12において破線で囲んで示している。
一方、上述の時刻t=t6での制御では、4本の走査線SL2〜SL5に接続された4行の発光ダイオードD21〜D5nのうち、走査線SL2にカソードKが接続された発光ダイオードD22,D23,D25,D26…と、走査線SL3にカソードKが接続された発光ダイオードD31,D32,D36…と、走査線SL4にカソードKが接続された発光ダイオードD43,D46…と、走査線SL5にカソードKが接続された発光ダイオードD51,D52,D54,D55…とが発光しない。
また、上述の時刻t=t7での制御では、4本の走査線SL3〜SL6に接続された4行の発光ダイオードD31〜D6nのうち、走査線SL3にアノードAが接続された発光ダイオードD33,D34,D35…と、走査線SL4にアノードAが接続された発光ダイオードD41,D42,D44,D45…と、走査線SL5にアノードAが接続された発光ダイオードD53,D56…と、走査線SL6にアノードAが接続された発光ダイオードD61,D62,D63,D64,D66…が発光する。
一方、上述の時刻t=t7での制御では、4本の走査線SL3〜SL6に接続された4行の発光ダイオードD31〜D6nのうち、走査線SL3にカソードKが接続された発光ダイオードD31,D32,D36…と、走査線SL4にカソードKが接続された発光ダイオードD43,D46…と、走査線SL5にカソードKが接続された発光ダイオードD51,D52,D54,D55…と、走査線SL6にカソードKが接続された発光ダイオードD65…が発光しない。
また、上述の時刻t=t8での制御では、4本の走査線SL4〜SL7に接続された4行の発光ダイオードD41〜D7nのうち、走査線SL4にアノードAが接続された発光ダイオードD41,D42,D44,D45…と、走査線SL5にアノードAが接続された発光ダイオードD53,D56…と、走査線SL6にアノードAが接続された発光ダイオードD61,D62,D63,D64,D66…と、走査線SL7にアノードAが接続された発光ダイオード(図示せず)とが発光する。
一方、上述の時刻t=t8での制御では、4本の走査線SL4〜SL7に接続された4行の発光ダイオードD41〜D7nのうち、走査線SL4にカソードKが接続された発光ダイオードD43,D46…と、走査線SL5にカソードKが接続された発光ダイオードD51,D52,D54,D55…と、走査線SL6にカソードKが接続された発光ダイオードD65…と、走査線SL7にカソードKが接続された発光ダイオード(図示せず)とが発光しない。
このように、上記時刻t=t5,t6,t7,t8での第2の駆動制御によって、走査線SL1〜SL4に接続された4行の発光ダイオードのうちの第2の発光ダイオード6、走査線SL2〜SL5に接続された4行の発光ダイオードのうちの第2の発光ダイオード6、走査線SL3〜SL6に接続された4行の発光ダイオードのうちの第2の発光ダイオード6、走査線SL4〜SL7に接続された4行の発光ダイオードのうちの第2の発光ダイオード6が順に発光させられる。
したがって、この第2実施形態では、上記駆動制御部をなす行駆動回路21と列駆動回路22による時刻t1〜t4での第1の駆動制御によって、順次、走査線SL1〜SL4に接続された4行の発光ダイオード、走査線SL2〜SL5に接続された4行の発光ダイオード、走査線SL3〜SL6に接続された4行の発光ダイオード、走査線SL4〜SL7に接続された4行の発光ダイオード、の4行ずつの発光ダイオードについて、第1の発光ダイオード5のみを発光させる。
続いて、時刻t5〜t8での第2の駆動制御によって、順次、走査線SL1〜SL4に接続された4行の発光ダイオード、走査線SL2〜SL5に接続された4行の発光ダイオード、走査線SL3〜SL6に接続された4行の発光ダイオード、走査線SL4〜SL7に接続された4行の発光ダイオード、の4行ずつの発光ダイオードについて、第2の発光ダイオード6のみを発光させる。
すなわち、この第2実施形態では、順に或る4行の発光ダイオード,上記或る4行から1行分,2行分,3行分ずれた各4行の発光ダイオードの第1の発光ダイオード5を発光させた後に、順に上記或る4行の発光ダイオード,上記或る4行から1行分,2行分,3行分ずれた各4行の発光ダイオードの第2の発光ダイオード6を発光させる。
このような第2実施形態による発光ダイオードの駆動制御によれば、或る4行の発光ダイオードについて、第1のダイオード5を発光させるのに続いて第2のダイオード6を発光させ、次に、1行分ずれた次の4行の発光ダイオードについて、第1の発光ダイオード5を発光させるのに続いて第2のダイオード6を発光させる制御に比べて、通電方向を切り替える回数を低減できると共に単位時間当たりの点灯面積の増大を図れ、画像のちらつきを低減できる。
また、この第2実施形態によれば、4本の走査線を同時に選択しているので、第1実施形態に比べて、画像のちらつきを低減できる。また、この第2実施形態によれば、単位時間当たりに発光ダイオードが点灯している面積を、第1実施形態よりもさらに増大させることができ、画像のちらつきをさらに低減できる。
なお、上記実施形態では、一行ずつ走査線をずらして発光させていたが、例えば、n行(nは2以上の整数)ずつ走査線をずらして発光させても構わない。
例えば、時刻t1、t2、t3、t4に、それぞれ、1行目〜4行目、3行目〜6行目、5行目〜8行目、7行目〜10行目の第1の発光ダイオード5を発光させ、次に、時刻t5、t6、t7、t8に、それぞれ、1行目〜4行目、3行目〜6行目、5行目〜8行目、7行目〜10行目の第2の発光ダイオード6を発光させる。
次に、時刻t9、t10、t11、t12に、それぞれ、2行目〜5行目、4行目〜7行目、6行目〜9行目、8行目〜11行目の第1の発光ダイオード5を発光させ、次に、時刻t9、t10、t11、t12に2行目〜5行目、4行目〜7行目、6行目〜9行目、8行目〜11行目の第2の発光ダイオード6を発光させる制御を行っても構わない。
上記制御を行うことにより、単位時間当たりの点灯面積をさらに増大させることが可能となり、画面のちらつきをより低減することが可能となる。
尚、上記第1,第2実施形態では、図3A,図3Bに示されるような棒状構造の発光ダイオードを採用したが、図13A〜図13Cに示されるような製造工程で作製される短冊状構造の発光ダイオードを採用してもよい。この発光ダイオード210の製造工程を、図13A〜図13Cを参照して説明する。
まず、図13Aに示すように、サファイア基板200上に、AlNなどからなるバッファ層201、n型GaN層202、多重量子井戸(MQW)層203、p型GaN層205、透明電極206を順に形成する。
次に、図13Bに示すように、フォトリソグラフィーを用い、およびエッチングにより、短冊状パターンの一方の端部の透明電極206,p型GaN層205,多重量子井戸(MQW)層203のみをエッチングして、n型GaN層202を露出させる。この後、SiOなどからなる絶縁膜207を形成し、サファイア基板200およびバッファ層201を、除去する。この除去は、一例として、研磨、ウエットエッチング等によりなされる。次に、エッチングもしくは物理的切断等により、複数の短冊状の発光ダイオード210を形成する。
この複数の短冊状の発光ダイオード210は、例えば、第1実施形態で図5を参照して説明したのと同様にして、絶縁基板の第1,第2の電極間に配列することができる。この場合、上記第1,第2の電極上には、絶縁膜が形成されているものとする。なお、図13B,図13Cでは、上記絶縁基板および第1,第2の電極の図示を省略している。
次に、図13Cに示すように、上記短冊状の発光ダイオード210の配列後、フォトリソグラフィーにより、上記発光ダイオード210の長手方向の一端部のn型GaN層202に引き出し電極212を形成し、上記発光ダイオード210の長手方向の一端部の透明電極206に引き出し電極213を形成する。上記引き出し電極212,213は、上記第1,第2の電極に電気的に接続される。
また、上記実施形態では、図4A〜図4Eを参照して説明したように、基板71から結晶成長させて棒状の半導体コア73を形成したが、基板上に形成した半導体層をエッチングして棒状の半導体コアを形成し、この半導体コアを覆う半導体層を形成してもよい。また、上記実施形態において、上記発光ダイオードの最大寸法が100μm以下であることが好ましい。発光ダイオードの最大寸法が100μm以下の微細な場合は、発光ダイオードの向きがランダムでよい本発明に好適となる。また、発光ダイオードのサイズが小さいので、熱が発光領域に篭らず、熱による出力低下や寿命低下を防ぐことができる。
また、上記第1実施形態では、4本の走査線SL1〜SL4に接続された4行の発光ダイオードについて、第1〜第3の駆動制御を行い、次に、4本の走査線SL5〜SL8に接続された4行の発光ダイオードについて、第1〜第3の駆動制御を行ったが、3本の走査線SL1〜SL3に接続された3行の発光ダイオードについて、第1〜第3の駆動制御を行い、次に、3本の走査線SL4〜SL6に接続された3行の発光ダイオードについて、第1〜第3の駆動制御を行ってもよい。また、2本の走査線SL1,SL2に接続された2行の発光ダイオードについて、第1〜第3の駆動制御を行い、次に、2本の走査線SL3,SL4に接続された2行の発光ダイオードについて、第1〜第3の駆動制御を行ってもよい。さらに、5本以上の走査線に接続された5行以上の発光ダイオードについて、第1〜第3の駆動制御を行い、次に、上記5本以上の走査線の次の5本以上の走査線に接続された5行以上の発光ダイオードについて、第1〜第3の駆動制御を行ってもよい。
また、上記第2実施形態では、第1の方向に隣り合う4行の発光ダイオードを1単位として第1,第2,第3の駆動制御を行ったが、第1の方向に隣り合う2行もしくは3行あるいは5行以上の発光ダイオードを1単位として第1,第2,第3の駆動制御を行ってもよい。
1 絶縁性基板
2,52 第1の電極
3 第2の電極
3A 突起部
5 第1の発光ダイオード
6 第2の発光ダイオード
7 配線
7A 接続部
11 赤色蛍光体
12 緑色蛍光体
13 青色蛍光体
21 行駆動回路
22 列駆動回路
31 コア部
32 外周面
33 シェル部
35 接合面
71 基板
72 マスク
72a 成長穴
73 半導体コア
74 半導体層
200 SOI基板
201 シリコン基板
202 BOX層
203 SOI層
205 n型不純物領域
206 p型不純物領域
207 トレンチ
210 板状の発光ダイオード
A アノード
K カソード
DL1〜DLn データ線
DLG1〜DLGn データ線群
SL1〜SLm 走査線

Claims (6)

  1. 基板と、
    上記基板上に形成された第1の電極と、
    上記基板上に形成された第2の電極と、
    上記第1の電極と第2の電極との間に電気的に接続された板状または棒状の複数の発光ダイオードと
    を備え、
    上記複数の発光ダイオードは、
    上記第1の電極にアノードが電気的に接続されていると共に上記第2の電極にカソードが電気的に接続された第1の発光ダイオードと、
    上記第1の電極にカソードが電気的に接続されていると共に上記第2の電極にアノードが電気的に接続された第2の発光ダイオードと
    からなり、
    上記第1の発光ダイオードと第2の発光ダイオードが上記基板上の上記第1の電極と第2の電極との間に極性を揃えないでランダムに入り交じって配置され、
    上記複数の発光ダイオードは、上記基板上にマトリクス状に配置され、
    上記第1の電極は、
    上記マトリクス状に配置された複数の発光ダイオードのうち、第1の方向に配列された複数の発光ダイオードのアノードもしくはカソードに電気的に接続され、
    上記第2の電極は、
    上記マトリクス状に配置された複数の発光ダイオードのうち、上記第1の方向と交差する第2の方向に配列された複数の発光ダイオードのアノードもしくはカソードに電気的に接続され、
    さらに、上記第1の電極と第2の電極に電気的に接続されていると共に上記第1,第2の発光ダイオードを駆動する駆動制御部を備え、
    上記駆動制御部は、
    上記第2の方向に配列された複数の発光ダイオードからなる1行の発光ダイオードまたは上記第1の方向に隣り合う複数行の発光ダイオードのうち、上記第1の発光ダイオードだけを発光させるように上記第1,第2の電極に電流を流す第1の駆動制御と、
    上記第2の方向に配列された複数の発光ダイオードからなる1行の発光ダイオードまたは上記第1の方向に隣り合う複数行の発光ダイオードのうち、上記第2の発光ダイオードだけを発光させるように上記第1,第2の電極に電流を流す第2の駆動制御と、
    上記第1の駆動制御と第2の駆動制御との間で、上記第2の方向に配列された上記1行の発光ダイオードからn行(nは1以上の整数)ずれた1行の発光ダイオードまたは上記複数行の発光ダイオードから上記n行ずれた複数行の発光ダイオードのうち、上記第1の発光ダイオードだけを発光させるように上記第1,第2の電極に電流を流す第3の駆動制御と、
    上記第2の駆動制御の後に上記第3の駆動制御で発光させた1行の上記第1の発光ダイオードまたは上記第3の駆動制御で発光させた複数行の上記第1の発光ダイオードに上記第2の方向に隣り合う上記第2の発光ダイオードだけを発光させるように上記第1,第2の電極に電流を流す第4の駆動制御と
    を繰り返し、
    上記nが1である場合、上記第1の駆動制御から上記第4の駆動制御までが行われた後、上記第1の駆動制御で発光させた1行または複数行の上記第1の発光ダイオードから少なくとも2行ずれた発光ダイオードのうち、上記第1の発光ダイオードだけが発光するように、次の上記第1の駆動制御が行われることを特徴とする表示装置。
  2. 請求項1に記載の表示装置において、
    上記nが2以上である場合、上記第1の駆動制御から上記第4の駆動制御までが行われた後、上記第1の駆動制御で発光させた1行の上記第1の発光ダイオードの隣の1行の発光ダイオードまたは上記第1の駆動制御で発光させた複数行の上記第1の発光ダイオードから1行ずれた複数行の発光ダイオードのうち、上記第1の発光ダイオードだけを発光させるように上記第1,第2の電極に電流を流すように、上記第1の駆動制御から上記第4の駆動制御までが繰り返されることを特徴とする表示装置。
  3. 請求項1または2に記載の表示装置において、
    上記発光ダイオードは、
    第1導電型のコア部と、
    上記第1導電型のコア部の外周面を被覆する第2導電型のシェル部と
    を有し、
    上記第1導電型のコア部の外周面の一部が上記第2導電型のシェル部から露出していることを特徴とする表示装置。
  4. 請求項1から3のいずれか1つに記載の表示装置において、
    上記発光ダイオードの最大寸法が100μm以下であることを特徴とする表示装置。
  5. 請求項1から4のいずれか1つに記載の表示装置において、
    上記発光ダイオードの最小寸法が500nm以上であることを特徴とする表示装置。
  6. 基板と、
    上記基板上に形成された第1の電極と、
    上記基板上に形成された第2の電極と、
    板状の複数の発光ダイオードと、
    上記複数の発光ダイオードを駆動する駆動制御部と
    を備えた表示装置であって、
    上記複数の発光ダイオードは、上記基板上に第2の方向に延びる複数行および上記第2の方向に交差する第1の方向に延びる複数列のマトリクス状に配置されていると共に、上記第1の電極と上記第2の電極との間に順方向および逆方向を問わずに配置されて、それぞれ、アノードが上記第1の電極と上記第2の電極との一方に電気的に接続され、かつ、カソードが上記第1の電極と上記第2の電極との他方に電気的に接続されており、
    上記駆動制御部は、
    上記複数の発光ダイオードの少なくとも1行の上記第2の方向に配列された発光ダイオードのうち、アノードとカソードとの一方が上記第1の電極に電気的に接続された発光ダイオードだけを発光させるように上記第1,第2の電極に電流を流す第1の駆動制御と、
    上記複数の発光ダイオードの少なくとも1行の上記第2の方向に配列された発光ダイオードのうち、アノードとカソードとの他方が上記第1の電極に電気的に接続された発光ダイオードだけを発光させるように上記第1,第2の電極に電流を流す第2の駆動制御と、
    上記第1の駆動制御と第2の駆動制御との間で、上記少なくとも1行の第2発光ダイオードに対して少なくとも1行ずれた単数行または複数行の上記第2の方向に配列された発光ダイオードのうち、上記アノードとカソードとの上記一方が上記第1の電極に電気的に接続された発光ダイオードだけを発光させるように上記第1,第2の電極に電流を流す第3の駆動制御と
    上記第2の駆動制御の後に上記第3の駆動制御で発光させた1行の発光ダイオードまたは上記第3の駆動制御で発光させた複数行の発光ダイオードに上記第2の方向に隣り合う発光ダイオードだけを発光させるように上記第1,第2の電極に電流を流す第4の駆動制御と
    を繰り返し、
    上記第1の駆動制御で発光させる少なくとも1行の発光ダイオードから1行ずれた発光ダイオードが、上記第3の駆動制御で発光させる発光ダイオードに含まれる場合、上記第1の駆動制御から上記第4の駆動制御までが行われた後、上記第1の駆動制御で発光させた少なくとも1行の発光ダイオードから少なくとも2行ずれた発光ダイオードのうち、アノードとカソードとの一方が上記第1の電極に電気的に接続された発光ダイオードだけが発光するように、次の上記第1の駆動制御が行われ、
    上記発光ダイオードの最大寸法が100μm以下であることを特徴とする表示装置。
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