JP6006850B1

JP6006850B1 - 加速度計測装置、検査方法

Info

Publication number: JP6006850B1
Application number: JP2015173645A
Authority: JP
Inventors: 竜之介関; 大奥津; 孝之友安
Original assignee: エヌ・ティ・ティ・インフラネット株式会社
Priority date: 2015-09-03
Filing date: 2015-09-03
Publication date: 2016-10-12
Anticipated expiration: 2035-09-03
Also published as: JP2017049161A

Abstract

【課題】計測対象物に取り付けた後でも定量的な検査ができる加速度計測装置を提供する。【解決手段】本発明の加速度計測装置は、少なくとも台、スライダ、スライダに取り付けられた加速度センサ、加速度センサが移動可能な状態である移動可能状態と移動不可能な状態である移動不可能状態を切り換える移動切換手段を備える。加速度センサが加速度を検出する方向の少なくとも１つと、スライダによって加速度センサが移動可能な方向とは一致する。加速度センサの性能を検査するときには、移動切換手段を移動可能状態にし、加速度センサに所定の加速度を与える駆動手段によって加速度センサに加速度を与え、加速度センサの出力を測定することで性能を検査する。【選択図】図４

Description

本発明は、計測対象物に取り付けた後に性能を検査可能な加速度計測装置と、当該加速度計測装置の検査方法に関する。

図１は加速度センサ５００を構造物９００に取り付けた様子を示す図である。加速度センサ５００にはケーブル５２０が接続されている。加速度センサ５００は、例えば、Ａ方向の１軸の加速度を検出し、ケーブル５２０を介して検出結果を送信する。加速度計測装置は、図１のような加速度センサを備えている。そして、自己診断機能を有する加速度計測装置を開示した文献としては、特許文献１などがある。また、ビルや橋梁などの構造物に取り付けた自己診断機能のない加速度計測装置（例えば、加速度センサのみで構成された装置）の点検では、ハンマーなどで構造物を叩き、その振動を計測できることを確認していた。

特開平５−２６８９６号公報

しかしながら、特許文献１に示した加速度計測装置は、加速度計測装置の出力結果を確認するのではなく内部の状態を確認するだけなので、加速度計測装置全体の自己診断はできなかった。また、ハンマーなどで叩く場合、加速度計測装置で測定できるのはハンマーで叩いたときの構造物の局所的な振動なので、加速度計測装置の本来の計測対象の振動（例えば地震による構造物の震動）の周波数よりも高い周波数の振動を検査することになる。また、ハンマーでの叩き方によっても加わる加速度が異なるので、定量的な検査ができない。図１に示すように加速度センサ５００を構造物９００に取り付け、ハンマーで構造物９００を叩いたときの検出結果を図２と図３に示す。図２は加速度センサ５００のサンプリング速度が２５６Ｈｚの場合、図３は加速度センサ５００のサンプリング速度が１００Ｈｚの場合である。なお、図２，３は、同じ構造物にサンプリング速度の異なる加速度センサを取り付けたときの検出結果を示している。サンプリング速度１００Ｈｚ（図３）では振動の詳細は検出できていない。また、サンプリング速度２５６Ｈｚ（図２）でも、減衰した振動が再び大きくなっている部分があるので、振動に追従できていないと思われる。

本発明は、このような状況に鑑み、計測対象物に取り付けた後でも定量的な検査ができる加速度計測装置を提供することを目的とする。

本発明の加速度計測装置は、少なくとも台、台に取り付けられたスライダ、スライダに取り付けられた加速度センサ、加速度センサがスライダによって移動可能な状態である移動可能状態と、移動不可能な状態である移動不可能状態を切り換える移動切換手段を備える。加速度センサが加速度を検出する方向の少なくとも１つと、スライダによって加速度センサが移動可能な方向とは一致する。そして、加速度センサの性能を検査するときには、移動切換手段を移動可能状態にし、加速度センサに所定の加速度を与える駆動手段によって加速度センサに加速度を与え、加速度センサの出力を測定することで性能を検査する。

本発明の加速度計測装置は、計測対象物に加速度計測装置を取り付けた状態で移動切換手段を移動不可能状態にすれば、計測対象物に加わっている加速度を計測できる。また、加速度計測装置の検査をする場合は、移動切換手段を移動可能状態にし、駆動手段によって加速度センサに所定の加速度を与えるので、計測対象物に取り付けた後でも定量的な検査が可能である。

従来の加速度センサを構造物に取り付けた様子を示す図。図１の加速度センサを取り付けた構造物をハンマーで叩いたときの１つ目の検出結果を示す図。図１の加速度センサを取り付けた構造物をハンマーで叩いたときの２つ目の検出結果を示す図。実施例１の加速度計測装置の構成例を示す図。移動切換手段を移動可能状態にし、バネ固定手段にバネを取り付け、加速度計測装置の検査を行う様子を示した図。実施例１の加速度センサで計測された加速度を示す図。実施例１変形例２の加速度計測装置の構成例を示す図。実施例２の加速度計測装置の構成例を示す図。実施例２での検査のときの状態を示す図。実施例２変形例２での検査のときの構成を示す図。実施例２変形例３での検査のときの構成を示す図。本発明の検査方法のフローを示す図。

以下、本発明の実施の形態について、詳細に説明する。なお、同じ機能を有する構成部には同じ番号を付し、重複説明を省略する。

図４に実施例１の加速度計測装置の構成例を示す。図４（Ａ）は加速度計測装置を横方向から見た図（図１と同じ方向から見た図）、図４（Ｂ）は加速度計測装置の平面図である。加速度計測装置１００は、台１１０、台１１０に取り付けられたスライダ１２０、スライダ１２０に取り付けられた加速度センサ５００、移動切換手段１３０、台１１０に固定された支持部１５０、支持部１５０に傾きを変更できるように取り付けられたレバー１４０、加速度センサ５００にレバー１４０と対向する位置に取り付けられたフック１６０、支持部１５０と加速度センサ５００との間にバネ１８０を取り付けるためのバネ固定手段１７０を備える。図４の構成の例では、バネ１８０は、加速度計測装置１００の構成部ではなく、加速度計測装置１００の検査をするときに取り付ける部品である。このように検査のときに取り付ければ、バネ１８０がさびなどによって劣化し、バネ定数が変化することを考慮する必要がない。しかし、バネ１８０の劣化を考慮する必要がない場合は、バネ１８０を加速度計測装置１００の中に常時備えてもよい。

図１と同じように加速度センサ５００にはケーブル５２０が接続されている。スライダ１２０は、ベアリングなどによって所定の方向への移動を滑らかにできる構成物である。ただし、加速度計測装置１００に求められる計測精度を考慮して、十分に摩擦抵抗の小さい材質であれば、必ずしもベアリングを使う必要はない。加速度センサ５００が加速度を検出する方向の少なくとも１つと、スライダ１２０によって加速度センサ５００が移動可能な方向とは一致する。図４の場合はＡ方向である。支持部１５０と加速度センサ５００との間隔は、スライダ１２０による加速度センサ５００の移動によって変化する。

移動切換手段１３０は、加速度センサ５００がスライダ１２０によって台１１０に対して移動可能な状態である移動可能状態と、移動不可能な状態である移動不可能状態を切り換えるための手段である。図４の例では、移動切換手段１３０は、加速度センサ５００に固定された穴を有する板１３１、台１１０に設けられたネジ穴１１１、ネジ１３２で構成されている。図４の例の場合、移動不可能状態とは、ネジ１３２を板１３１の穴を貫通させ、ネジ穴１１１で止めることで加速度センサ５００を固定した状態である。また、ネジ１３２を外した状態が移動可能状態である。なお、図４の例ではネジを用いたが、バックルを利用した手段、単なる棒と穴を利用した手段など他の手段で移動切換手段を実現してもよい。

レバー１４０は、例えば爪部１４１とアーム部１４２を有している。アーム部１４２の一部が軸１５１で支持部１５０に固定されており。レバー１４０は、軸１５１を中心に傾きを変更できる。バネ固定手段１７０は、あらかじめ定めた自然長とバネ定数を有するバネ１８０を取り付ける手段である。バネ固定手段１７０は、バネ１８０が縮んでいるときだけでなく、伸びているときもバネ１８０が外れないように取り付けることができる手段である。また、バネ１８０の自然長とバネ定数は、加速度センサ５００の質量と加えたい加速度を考慮して決めればよい。さらに、台１１０を取り付ける場所が水平か垂直か斜めかによってバネ１８０の自然長を変更してもよい。

図５は、移動切換手段１３０を移動可能状態にし、バネ固定手段１７０にバネ１８０を取り付け、加速度計測装置１００の検査を行う様子を示した図である。図５（Ａ）はバネ固定手段１７０にバネ１８０を取り付けた様子を示す図、図５（Ｂ）はバネ１８０を縮めてレバー１４０の爪部１４１とフック１６０とを引っ掛けた状態にした図、図５（Ｃ）はレバー１４０の傾きを変更して加速度センサ５００がスライダ１２０によって移動できる状態にした図である。

移動切換手段１３０が移動可能状態、かつ、バネ１８０がバネ固定手段１７０に取り付けられた状態の場合（図５（Ａ）の状態）を考える。この場合に、レバー１４０とフック１６０は、支持部１５０と加速度センサ５００との間隔が所定長のときにレバー１４０を所定角度にすることで加速度センサ５００を静止した状態にできる（図５（Ｂ）の状態）。図５（Ｂ）では、バネ１８０を縮め、爪部１４１とフック１６０を引っ掛けることで、加速度センサ５００を静止した状態にしている。そして、レバー１４０の傾きを変更することで加速度センサ５００を静止した状態を解除できる。図５の場合、図５（Ｃ）に示したように、加速度センサ５００がＡ方向に自由に移動できる状態になる。この後、加速度センサ５００は、バネ１８０によって振動する。図６は、加速度センサ５００で計測された加速度の例である。振動の周期が図２の例よりも長くなり、加速度センサ５００での計測が振動に追従できていることが分かる。

なお、図５の場合は所定長のときにはバネ１８０は縮んでいるが、所定長のときにバネ１８０が伸びるように所定長を決めてもよい。ただし、その場合は、レバー１４０を、バネ１８０が縮んだときに加速度センサ５００と接触しない位置に配置する必要がある。

また、同じ加速度計測装置１００とバネ１８０を常に用いる場合、前記の「所定長」を固定にしてしまうと、台１１０を取り付ける場所が水平か垂直か斜めかによって所定長のときに加速度センサ５００に加わる加速度が異なる。そこで、レバー１４０は、所定長を調整できる構造とすればよい。例えば、レバー１４０に軸１５１を貫通させるための穴を複数設けておけばよい。そして、図４の例の場合であれば、支持部１５０が加速度センサ５００よりも下側になるように取り付けられるときは、レバー１４０の爪部１４１と軸１５１との距離が短くなるように調整すればよい。また、支持部１５０が加速度センサ５００よりも上側になるように取り付けられるときは、レバー１４０の爪部１４１と軸１５１との距離が長くなるように調整すればよい。

加速度計測装置１００は、計測対象物に加速度計測装置１００を取り付けた状態で移動切換手段１３０を移動不可能状態にすれば、計測対象物に加わっている加速度を計測できる。また、加速度計測装置１００の検査をする場合は、移動切換手段１３０を移動可能状態にし、あらかじめ定めたバネ１８０を取り付け、バネ１８０に力が生じた状態でレバー１４０とフック１６０によって加速度センサ５００を静止させる。その後、レバー１４０の傾きを変更することで加速度センサ５００が静止した状態を解除する。バネ定数はあらかじめ定められているので、加速度センサ５００に対して適切な加速度を適切な周期の振動で付加できる。したがって、加速度計測装置１００によれば、計測対象物に取り付けた後でも定量的な検査が可能である。

さらに、加速度センサ５００がＡ方向だけでなくＡ方向と垂直な方向の加速度も検出する場合、加速度計測装置１００全体を１つの加速度センサ５００と考えて、台１１０の下部にさらにスライダや台を追加することで、Ａ方向と垂直な方向の検査もできるようにすればよい。

［変形例１］
上記の説明では、レバー１４０とフック１６０は、支持部１５０と加速度センサ５００の対向する位置に取り付けられ、係止状態と解除状態を変更できる係止手段として機能している。つまり、係止手段として必要な機能の１つ目は、支持部１５０と加速度センサ５００との間隔が所定長のときに、バネ１８０によって力が加わっているにもかかわらず、加速度センサ５００を静止した状態（係止状態）にできることである。また、必要な機能の２つ目は、係止手段を解除した状態（解除状態）にすることで加速度センサ５００を静止した状態を解除（バネ１８０の力によって加速度センサ５００が移動）できることである。係止手段は、このような機能を果たせばレバー１４０とフック１６０に限定する必要はない。

例えば、支持部１５０と加速度センサ５００の対向する位置の両方に穴の開いた棒を取り付け、支持部１５０と加速度センサ５００との間隔が所定長のときに、前記の２つの穴が重なるようにしておき、２つの穴に棒を差し込むことで加速度センサ５００を静止した状態にしてもよい。あるいは、支持部１５０と加速度センサ５００との間隔が所定長のときに、はめることができる凸部と凹部を作り、凸部と凹部をはめることで係止状態とし、外すことで解除状態としてもよい。このように、レバー１４０とフック１６０に限定する必要はない。また、上記の穴や凹部を複数個用意しておけば、所定長を調整することも可能である。

［変形例２］
図７に本変形例の加速度計測装置の構成例を示す。図７（Ａ）は加速度計測装置を横方向から見た図（図４（Ａ）と同じ方向から見た図）、図７（Ｂ）は加速度計測装置の平面図である。加速度計測装置１０１は、加速度計測装置１００に加えて参照用加速度センサ固定手段１９０も備えている。参照用加速度センサ６００はケーブル６２０と接続され、ケーブル６２０を介して検出結果を送信する。図７では、参照用加速度センサ固定手段１９０として単純な突起状の形状を示しているが、具体的には、雄ネジにしてもよいし雌ネジにしてもよい。参照用加速度センサ固定手段１９０は、何らかの方法で参照用加速度センサ６００を、スライダ１２０によって加速度センサ５００と一緒に移動するように取り付けることができればよい。また、バネ１８０のバネ定数は、加速度センサ５００の質量だけでなく、参照用加速度センサ６００の質量も考慮して決めればよい。

参照用加速度センサ６００は、あらかじめ事務所などの検査環境が整った場所で性能の確認をしたセンサである。そして、図５を用いて説明したように加速度センサ５００と参照用加速度センサ６００に加速度を与え、加速度センサ５００の出力と参照用加速度センサ６００の出力を比較すれば、加速度センサ５００の性能を精度よく検査できる。したがって、実施例１と同様の効果が得られ、さらに実施例１よりも精度のよい検査ができる。

図８に実施例２の加速度計測装置の構成例を示す。図８（Ａ）は加速度計測装置を横方向から見た図（図４（Ａ）と同じ方向から見た図）、図８（Ｂ）は加速度計測装置の平面図である。加速度計測装置２００は、台１１０、台１１０に取り付けられたスライダ１２０、スライダ１２０に取り付けられた加速度センサ５００、移動切換手段１３０を備える。図１と同じように加速度センサ５００にはケーブル５２０が接続されている。スライダ１２０は、実施例１と同じであり、加速度センサ５００が加速度を検出する方向の少なくとも１つと、スライダ１２０によって加速度センサ５００が移動可能な方向とは一致する。図８の場合もＡ方向である。移動切換手段１３０も実施例１と同じである。加速度計測装置２００には、支持部１５０、レバー１４０、フック１６０、バネ固定手段１７０がない点が加速度計測装置１００と異なる。

図９に、移動切換手段１３０を移動可能状態にし、支持部１５０、レバー１４０、フック１６０、バネ固定手段１７０、バネ１８０を取り付け、加速度計測装置２００の検査を行う様子を示す。図９（Ａ）は支持部１５０、レバー１４０、フック１６０、バネ固定手段１７０、バネ１８０を取り付けた様子を示す図、図９（Ｂ）はバネ１８０を縮めてレバー１４０の爪部１４１とフック１６０とを引っ掛けた状態にした図、図９（Ｃ）はレバー１４０の傾きを変更して加速度センサ５００がスライダ１２０によって移動できる状態にした図である。図９では、フック１６０とバネ固定手段１７０の加速度センサ５００側の機構はアダプタ２１０に備えられている。そして、アダプタ２１０を加速度センサ５００に取り付けることで加速度センサ５００との位置関係を固定している。また、支持部１５０はネジなどによって台１１０に固定させればよい。支持部１５０は、バネ１８０の力で傾かない程度に固定されればよく、固定方法は適宜決めればよい。図９（Ｂ），図９（Ｃ）に関する説明は、実施例１の図５（Ｂ），図５（Ｃ）に関する説明と同じである。また、支持部１５０、レバー１４０、フック１６０、バネ固定手段１７０は、検査のときに取り付ける点が実施例１と異なるだけで、構成や機能は実施例１と同じである。実施例２の加速度計測装置２００でも、上記のように実施例１と同様の検査ができるので、同様の効果が得られる。

［変形例１］
実施例１と同じように、レバー１４０とフック１６０は、支持部１５０と加速度センサ５００の対向する位置に取り付けられ、係止状態と解除状態を変更できる係止手段として機能している。つまり、係止手段として必要な機能の１つ目は、支持部１５０と加速度センサ５００との間隔が所定長のときに、バネ１８０によって力が加わっているにもかかわらず、加速度センサ５００を静止した状態（係止状態）にできることである。また、必要な機能の２つ目は、係止手段を解除した状態（解除状態）にすることで加速度センサ５００を静止した状態を解除（バネ１８０の力によって加速度センサ５００が移動）できることである。係止手段は、このような機能を果たせばレバー１４０とフック１６０に限定する必要はない。

［変形例２］
本変形例は、実施例２とは検査のときに取り付ける部品が異なる。図１０に本変形例の検査のときの構成例を示す。図１０（Ａ）は加速度計測装置を横方向から見た図（図８（Ａ）と同じ方向から見た図）、図１０（Ｂ）は加速度計測装置の平面図である。本変形例では、アダプタ２１０は参照用加速度センサ固定手段１９０も備えている。そして、検査のときには参照用加速度センサ６００も取り付けられる。参照用加速度センサ固定手段１９０は、何らかの方法で参照用加速度センサ６００を、スライダ１２０によって加速度センサ５００と一緒に移動するように取り付けることができればよい。参照用加速度センサ６００は、あらかじめ事務所などの検査環境が整った場所で性能の確認をしたセンサである。本変形例では、加速度センサ５００と参照用加速度センサ６００に同じ加速度を与え、加速度センサ５００の出力と参照用加速度センサ６００の出力を比較するので、実施例２と同様の効果が得られ、さらに実施例２よりも精度のよい検査ができる。

［変形例３］
実施例１でのバネ１８０、実施例２での支持部１５０、レバー１４０、フック１６０、バネ固定手段１７０、バネ１８０は、検査のときにのみ取り付けられ、加速度センサ５００に所定の加速度を与える駆動手段ととらえることができる。駆動手段は、検査のときのみ取り付けるので、多少高価になっても全体的なコストの上昇は小さい。そこで、支持部１５０、レバー１４０、フック１６０、バネ固定手段１７０、バネ１８０の代わりに、モータなどを用いた駆動源２８０とピストン２８１を駆動手段としてもよい。図１１は、駆動源２８０、ピストン２８１、アダプタ２１１、参照用加速度センサ６００を加速度計測装置２００に取り付けた様子を示している。図１１（Ａ）は加速度計測装置を横方向から見た図（図８（Ａ）と同じ方向から見た図）、図１１（Ｂ）は加速度計測装置の平面図である。ピストン２８１は駆動源２８０によって図中のＡ方向に往復運動し、加速度センサ５００と参照用加速度センサ６００に所定の加速度（計測対象物に加わることが想定される振動に近い周波数の加速度）を与える。アダプタ２１１には、ピストン２８１が取り付けられている。また、アダプタ２１１は参照用加速度センサ６００を取り付けるための参照用加速度センサ固定手段１９０も備えている。本変形例は上述の構成であり、かつ参照用加速度センサ６００も備えているので、実施例２と同様の効果が得られ、さらに実施例２よりも精度のよい検査ができる。

＜本発明の検査方法＞
実施例１、実施例２、それらの変形例を検査方法の視点からまとめると以下のようになる。図１２は、本発明の検査方法のフローを示す図である。いずれの検査方法でも、移動切換手段１３０を移動可能状態にする解放ステップ（Ｓ１３０）、加速度センサ５００に所定の加速度を与える駆動手段を取り付ける駆動手段取付けステップ（Ｓ１８０）、駆動手段によって加速度センサ５００に加速度を与え、加速度センサ５００の出力を測定することで性能を検査する検査ステップ（Ｓ１００）は実行する。そして、加速度センサ５００が正常であることが確認できると、移動切換手段１３０を移動不可能状態にし（Ｓ１３２）、駆動手段を取り外す（Ｓ１８２）ことで計測対象物に加わった加速度を計測する状態に戻す。なお、実施例１の場合であればバネ１８０、実施例２の場合であれは支持部１５０、レバー１４０、フック１６０、バネ固定手段１７０、バネ１８０、実施例２の変形例３の場合であれば駆動源２８０とピストン２８１が駆動手段に該当する。

実施例１の変形例２、実施例２の変形例２，３のように参照用加速度センサ６００を取り付ける場合は、検査前に参照用加速度センサ６００を取り付ける参照用加速度センサ固定ステップ（Ｓ６００）が追加され、検査後に参照用加速度センサを取り外すステップ（Ｓ６０２）が追加される。また、検査（Ｓ１００）では、駆動手段によって加速度センサ５００と参照用加速度センサ６００に加速度を与え、加速度センサ５００の出力と参照用加速度センサ６００の出力を比較することで性能を検査することになる。

１００，１０１，２００加速度計測装置１１０台
１１１ネジ穴１２０スライダ
１３０移動切換手段１３１板
１３２ネジ１４０レバー
１４１爪部１４２アーム部
１５０支持部１５１軸
１６０フック１７０バネ固定手段
１８０バネ１９０参照用加速度センサ固定手段
２１０，２１１アダプタ２８０駆動源
２８１ピストン５００加速度センサ
５２０，６２０ケーブル６００参照用加速度センサ
９００構造物

Claims

台と、
前記台に取り付けられたスライダと、
前記スライダに取り付けられた加速度センサと、
前記加速度センサが前記スライダによって移動可能な状態である移動可能状態と、移動不可能な状態である移動不可能状態を切り換える移動切換手段と、
を備え
前記加速度センサが加速度を検出する方向の少なくとも１つと、前記スライダによって前記加速度センサが移動可能な方向とは一致する
ことを特徴とする加速度計測装置。
請求項１記載の加速度計測装置であって、
前記スライダによって前記加速度センサと一緒に移動するように参照用加速度センサを取り付けるための参照用加速度センサ固定手段も備える
ことを特徴とする加速度計測装置。
請求項１または２記載の加速度計測装置であって、さらに、
前記台に固定された支持部と、
前記支持部と前記加速度センサの対向する位置に取り付けられ、係止状態と解除状態を変更できる係止手段と、
前記支持部と前記加速度センサとの間にバネを取り付けるためのバネ固定手段
を備え、
前記支持部と前記加速度センサとの間隔は、前記スライダによる前記加速度センサの移動によって変化し、
前記バネ固定手段は、あらかじめ定めた自然長とバネ定数を有するバネを取り付ける手段であり、
前記移動切換手段が移動可能状態かつ前記バネが前記バネ固定手段に取り付けられた状態の場合に、前記係止手段は、前記支持部と前記加速度センサとの間隔が所定長のときに前記加速度センサを静止した状態（係止状態）にでき、係止手段を解除した状態（解除状態）にすることで前記加速度センサを静止した状態を解除できる
ことを特徴とする加速度計測装置。
請求項３記載の加速度計測装置であって、
前記係止手段は、
前記支持部に傾きを変更できるように取り付けられたレバーと、
前記加速度センサの前記レバーと対向する位置に取り付けられたフックと、
であり、
前記レバーと前記フックは、前記支持部と前記加速度センサとの間隔が所定長のときに前記レバーを所定角度にすることで前記係止状態にでき、前記レバーの傾きを変更することで前記解除状態にできる
ことを特徴とする加速度計測装置。
請求項３または４記載の加速度計測装置であって、
前記係止手段は、前記所定長を調整できる
ことを特徴とする加速度計測装置。
計測対象物に取り付けられた請求項１記載の加速度計測装置の性能を検査する検査方法であって、
前記移動切換手段を移動可能状態にする解放ステップと、
前記加速度センサに所定の加速度を与える駆動手段を取り付ける駆動手段取付けステップと、
前記駆動手段によって前記加速度センサに加速度を与え、前記加速度センサの出力を測定することで性能を検査する検査ステップと、
を有する検査方法。
計測対象物に取り付けられた請求項２記載の加速度計測装置の性能を検査する検査方法であって、
前記参照用加速度センサを前記加速度センサと一緒に移動するように取り付ける参照用加速度センサ固定ステップと、
前記移動切換手段を移動可能状態にする解放ステップと、
前記加速度センサに所定の加速度を与える駆動手段を取り付ける駆動手段取付けステップと、
前記駆動手段によって前記加速度センサと前記参照用加速度センサに加速度を与え、前記加速度センサの出力と前記参照用加速度センサの出力を比較することで性能を検査する検査ステップと、
を有する検査方法。