JP5999856B2 - 弾性波素子 - Google Patents
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Description
以下、本発明の実施の形態1における弾性波素子について図面を参照しながら説明する。図1は、実施の形態1における弾性波素子10の断面模式図である。
11 圧電基板
12 圧電基板の主表面
13 圧電基板の裏面
14 入力インターディジタル電極
15 出力インターディジタル電極
16 入力インターディジタル電極より放射されるバルク波
Claims (15)
- 圧電基板と、
前記圧電基板の主表面上に設けられた入力インターディジタル電極と、
前記圧電基板の主表面上に設けられた出力インターディジタル電極と
を備えた弾性波素子であって、
前記入力インターディジタル電極及び前記出力インターディジタル電極の少なくとも一方には、交差幅重み付けが施され、
前記入力インターディジタル電極から放射されたバルク波が前記圧電基板の裏面で反射されて前記出力インターディジタル電極で受信され、
前記交差幅重み付けは、前記入力インターディジタル電極が前記バルク波を送信する送信強度又は前記出力インターディジタル電極が前記バルク波を受信する受信強度が、電極指の配列方向において前記少なくとも一方のインターディジタル電極の中央部から両端に向けて弱まる傾向に対応して、前記両端から前記中央部に向けて重み付け係数が小さくなるように設定され、
前記重み付け係数は、前記中央部に前記バルク波の位相が反転する負の値を有する弾性波素子。 - 前記交差幅重み付けは、前記出力インターディジタル電極に対して施される請求項1に記載の弾性波素子。
- 前記圧電基板はLiNbO3基板又はLiTaO3基板である請求項1に記載の弾性波素子。
- 前記圧電基板の主表面及び裏面は鏡面研磨されている請求項1に記載の弾性波素子。
- 前記圧電基板の主表面上において、前記入力インターディジタル電極と前記出力インターディジタル電極との間には吸音材が配置される請求項1に記載の弾性波素子。
- 前記圧電基板の主表面上において、前記入力インターディジタル電極と前記出力インターディジタル電極との間には溝が形成される請求項1に記載の弾性波素子。
- 前記圧電基板の主表面において、前記入力インターディジタル電極と前記出力インターディジタル電極との間の部分は他の部分と比較して粗面である請求項1に記載の弾性波素子。
- 前記入力インターディジタル電極から放射されるバルク波の周波数が、前記圧電基板の厚みによって決定される請求項1に記載の弾性波素子。
- 前記入力インターディジタル電極から放射されるバルク波の周波数が、前記入力インターディジタル電極の前記中央部及び前記出力インターディジタル電極の前記中央部間の距離によって決定される請求項1に記載の弾性波素子。
- 前記入力インターディジタル電極から放射されるバルク波の周波数が、前記圧電基板の厚みと、前記入力インターディジタル電極の前記中央部及び前記出力インターディジタル電極の前記中央部間の距離との双方によって決定される請求項1に記載の弾性波素子。
- 前記裏面における前記バルク波の入射角と反射角とが異なる請求項1に記載の弾性波素子。
- 前記入射角と前記反射角との差異は前記圧電基板の異方性に基づく請求項11に記載の弾性波素子。
- 前記交差幅重み付けは、前記少なくとも一方のインターディジタル電極の、前記電極指の配列方向における両端から中央部に向けて交差幅が段階的に小さくなるように施される請求項1の弾性波素子。
- 前記交差幅重み付けの結果、前記弾性波素子の通過帯域における振幅特性が、前記バルク波の周波数の変化に対して平坦となる請求項1の弾性波素子。
- 前記圧電基板の裏面でバルク波が反射されるときにモード変換が生じない請求項1の弾性波素子。
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