JP5994807B2 - レーザ加工装置、制御方法、及びプログラム - Google Patents
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Description
先ず、本実施形態であるレーザ加工システム1の概略構成について図1〜図3に基づいて説明する。本実施形態に係るレーザ加工システム1は、パーソナルコンピュータ等から構成される印字情報作成装置2とレーザ加工装置3とから構成されている。
次に、レーザ光Qと可視レーザ光Rの照射位置のずれについて図3に基づいて説明する。
加工対象物7上のレーザ光Qの照射位置PQを表す座標データ(x、y)と対応関係にある加工対象物7上の可視レーザ光Rの照射位置PRを表す座標データ(X、Y)について、以下の各関係式(1)(2)が成立するものとする。
X=α(x)×x+β(x) …(1)
Y=α(y)×y+β(y) …(2)
ここで、「β(x)」と「β(y)」は、ガルバノスキャナ18の中心軸に入射する加工対象物7上のレーザ光の照射位置を表す座標データを原点Oとした場合、fθレンズ19の光軸Cに入射する加工対象物7上のレーザ光の照射位置を表光軸座標を表す定数であり、「α(x)」と「α(y)」は、光軸座標β(x)、β(y)から加工対象物7上のレーザ光の照射位置を表す座標データまでの距離に対する、光軸座標β(x)、β(y)から加工対象物7上の可視レーザ光の照射位置を表す座標データまでの距離の倍率を表す定数である。
補正の際に使用する上記の各関係式(1)(2)である一次関数の係数(「α(x)」と「α(y)」)及び光軸座標(「β(x)」と「β(y)」)は、図6に示す組合せ決定処理に従って、決定される。
L(n)={(X(n)−x(n))2 +(Y(n)−y(n))2 }1/2 …(3)
n=1〜N
MAX(L(1),L(2),…,L(n−1),L(n)) …(4)
n=N
補正の際に使用する上記の各関係式(1)(2)である一次関数の係数(「α(x)」と「α(y)」)及び光軸座標(「β(x)」と「β(y)」)は、図7に示す組合せ決定処理に従って、決定されてもよい。
L(n)={(X(n)−x(n))2 +(Y(n)−y(n))2 }1/2 …(3)
n=1〜N
L(1)+L(2)+…+L(n−1)+L(n) …(5)
n=N
次に、本実施形態に係るレーザ加工システム1のレーザ加工装置3のCPU41が実行する補正処理について図5に基づいて説明する。
x=x′+A(x′)×y′2×x′+B(x′)×y′ …(6)
y=y′+A(y′)×x′2×y′+B(y′)×x′ …(7)
ここで、上記の各関係式(6)(7)で使用される係数(「A(x′)」と「A(y′)」と光軸座標(「B(x′)」と「B(y′)」)は、レーザ光Qの波長毎に既に求められており、ROM43内の補正データテーブルに記憶されている。
X=α(x)×x+β(x) …(1)
Y=α(y)×y+β(y) …(2)
すなわち、本実施形態に係るレーザ加工システム1では、加工対象物7上のレーザ光Qの照射位置PQを表す座標データ(x、y)と加工対象物7上の可視レーザ光Rの照射位置PRを表す座標データ(X、Y)との間のfθレンズ19の色収差による位置ずれZを補正する。その位置ずれZの補正は、加工対象物7上の可視レーザ光Rの照射位置PRと対応関係にある加工対象物7上のレーザ光Qの照射位置PQを表す座標データ(x、y)に対する倍率(「α(x)」と「α(y)」)と光軸座標(「β(x)」と「β(y)」)とに基づいて行われる(S13)。よって、マーキング(印字)加工用のレーザ光Qとガイド用の可視レーザ光Rとの間のfθレンズ19の色収差による位置ずれLを精度良く補正することができる。
X=α(x)×x+β(x) …(1)
Y=α(y)×y+β(y) …(2)
よって、その歪補正では、倍率を表す定数である「α(x)」と「α(y)」、光軸座標を表す定数である「β(x)」と「β(y)」のみをROM43に記憶するだけであり、座標がどの位置であっても、XとYの各計算は同じ計算量であるので、その補正のための時間、補正のために記憶すべきデータを削減することができる。
尚、本発明は上記実施形態に限定されるものでなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
S13において、上記の各関係式(1)(2)で使用される係数(「α(x)」と「α(y)」)及び光軸座標(「β(x)」と「β(y)」)の各値は、上述した[4.倍率と光軸座標の決定(その1)]及び[5.倍率と光軸座標の決定(その2)]を評価し、それらの分布状態から選択されていてもよい。このようなケースでは、α(x)=1.021、α(y)=1.013、β(x)=0.094[mm]、β(y)=0.070[mm]となる。
2 印字情報作成装置
3 レーザ加工装置
5 レーザ加工装置本体部
6 レーザコントローラ
7 加工対象物
41、61 CPU
42、62 RAM
43、63 ROM
52 マウス
53 キーボード
55 入力操作部
56 液晶ディスプレイ(LCD)
66 HDD
101 ハーフミラー
Q レーザ光
R 可視レーザ光
Claims (6)
- レーザ光を出射するレーザ発振器と、
前記レーザ光とは異なる波長を有する可視レーザ光を出射する可視レーザ光源と、
同軸上に出射された前記レーザ光、又は前記可視レーザ光を走査する走査部と、
前記走査部によって走査された前記レーザ光、又は前記可視レーザ光とを集光しながら加工対象物に向けて出射する集光部と、
前記加工対象物上の前記レーザ光の照射位置と前記加工対象物上の前記可視レーザ光の照射位置との間の位置ずれを補正する補正手段と、
前記走査部の中心軸に入射する前記加工対象物上の前記レーザ光の照射位置を表す座標データを原点とした場合、前記集光部の光軸に入射する前記加工対象物上の前記レーザ光の照射位置を表す光軸座標と、前記光軸座標から前記加工対象物上の前記レーザ光の照射位置を表す座標データまでの距離に対する、前記光軸座標から前記加工対象物上の前記可視レーザ光の照射位置を表す座標データまでの距離の倍率とを記憶する記憶部と、
前記走査部を制御して、前記レーザ光を前記レーザ光の照射位置を表す座標データに基づいて、走査する第1走査制御手段と、
前記走査部を制御して、前記可視レーザ光を前記補正手段が補正した前記可視レーザ光の照射位置を表す座標データに基づいて、走査する第2走査制御手段と、を備え、
前記補正手段は、前記加工対象物上の前記可視レーザ光の照射位置を表す座標データを、前記加工対象物上の前記レーザ光の照射位置を表す座標データと、前記記憶部に記憶された前記倍率と前記光軸座標とに基づいて補正し、
前記加工対象物上の前記レーザ光の照射位置を表す座標データを(x,y)とし、
前記補正手段で補正された後の前記加工対象物上の前記可視レーザ光の照射位置を表す座標データを(X,Y)とし、
前記倍率を表す定数を「α(x)」と「α(y)」とし、
前記光軸座標を表す定数を「β(x)」と「β(y)」とすると、
X = α(x)×x+β(x)、
Y = α(y)×y+β(y)
の各関係式が成立すること、を特徴とするレーザ加工装置。 - 請求項1に記載するレーザ加工装置であって、
前記各関係式で算出された後の前記加工対象物上の前記可視レーザ光の照射位置と前記加工対象物上の前記レーザ光の照射位置との距離が複数の照射位置について算出され、
前記算出された各距離の中で最大値が算出され、
前記最大値が前記各定数の複数の組合せについて算出され、
前記算出された各最大値の中で最も小さい値が算出される際の前記各定数の組合せを前記補正手段で用いること、を特徴とするレーザ加工装置。 - 請求項1に記載するレーザ加工装置であって、
前記各関係式で算出された後の前記加工対象物上の前記可視レーザ光の照射位置と前記加工対象物上の前記レーザ光の照射位置との距離が複数の照射位置について算出され、
前記算出された各距離の総和が算出され、
前記総和が前記各定数の複数の組合せについて算出され、
前記算出された各総和の中で最も小さい値が算出される際の前記各定数の組合せを前記補正手段で用いること、を特徴とするレーザ加工装置。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか一つに記載するレーザ加工装置であって、
前記各定数の変更を受け付ける受付手段を備えたこと、を特徴とするレーザ加工装置。 - レーザ加工装置を制御するコンピュータに実行される制御方法であって、
前記レーザ加工装置は、
レーザ光を出射するレーザ発振器と、
可視レーザ光を出射する可視レーザ光源と、
同軸上に出射された前記レーザ光、又は前記可視レーザ光を走査する走査部と、
前記走査部によって走査された前記レーザ光、又は前記可視レーザ光を集光しながら加工対象物に向けて出射する集光部と、
前記加工対象物上の前記レーザ光の照射位置を表す座標データと対応関係にある前記加工対象物上の前記可視レーザ光の照射位置を表す座標データの倍率と光軸座標とを記憶する記憶部と、
前記走査部の中心軸に入射する前記加工対象物上の前記レーザ光の照射位置を表す座標データを原点とした場合、前記集光部の光軸に入射する前記加工対象物上の前記レーザ光の照射位置を表す光軸座標と、前記光軸座標から前記加工対象物上の前記レーザ光の照射位置を表す座標データまでの距離に対する、前記光軸座標から前記加工対象物上の前記可視レーザ光の照射位置を表す座標データまでの距離の倍率と光軸座標とを記憶する記憶部と、を備え、
当該制御方法は、
前記加工対象物上の前記可視レーザ光の照射位置を表す座標データを、前記加工対象物上の前記レーザ光の照射位置を表す座標データと、前記記憶部に記憶された前記倍率と前記光軸座標とに基づいて補正する補正工程と、
前記走査部を制御して、前記レーザ光を前記レーザ光の照射位置を表す座標データに基づいて、走査する第1走査制御工程と、
前記走査部を制御して、前記可視レーザ光を前記可視レーザ光の照射位置を表す座標データに基づいて、走査する第2走査制御工程と、
を備え、
前記加工対象物上の前記レーザ光の照射位置を表す座標データを(x,y)とし、
前記補正工程で補正された後の前記加工対象物上の前記可視レーザ光の照射位置を表す座標データを(X,Y)とし、
前記倍率を表す定数を「α(x)」と「α(y)」とし、
前記光軸座標を表す定数を「β(x)」と「β(y)」とすると、
X = α(x)×x+β(x)、
Y = α(y)×y+β(y)
の各関係式が成立すること、を特徴とする制御方法。 - レーザ加工装置を制御するコンピュータによって実行されるプログラムであって、
前記レーザ加工装置は、
レーザ光を出射するレーザ発振器と、
可視レーザ光を出射する可視レーザ光源と、
同軸上に出射された前記レーザ光、又は前記可視レーザ光を走査する走査部と、
前記走査部によって走査された前記レーザ光、又は前記可視レーザ光を集光しながら加工対象物に向けて出射する集光部と、
前記加工対象物上の前記レーザ光の照射位置を表す座標データと対応関係にある前記加工対象物上の前記可視レーザ光の照射位置を表す座標データの倍率と光軸座標とを記憶する記憶部と、
前記走査部の中心軸に入射する前記加工対象物上の前記レーザ光の照射位置を表す座標データを原点とした場合、前記集光部の光軸に入射する前記加工対象物上の前記レーザ光の照射位置を表す光軸座標と、前記光軸座標から前記加工対象物上の前記レーザ光の照射位置を表す座標データまでの距離に対する、前記光軸座標から前記加工対象物上の前記可視レーザ光の照射位置を表す座標データまでの距離の倍率と光軸座標とを記憶する記憶部と、を備え、
当該プログラムは、
前記加工対象物上の前記可視レーザ光の照射位置を表す座標データを、前記加工対象物上の前記レーザ光の照射位置を表す座標データと、前記記憶部に記憶された前記倍率と前記光軸座標とに基づいて補正する補正処理と、
前記走査部を制御して、前記レーザ光を前記レーザ光の照射位置を表す座標データに基づいて、走査する第1走査制御処理と、
前記走査部を制御して、前記可視レーザ光を前記可視レーザ光の照射位置を表す座標データに基づいて、走査する第2走査制御処理と、
を備え、
前記加工対象物上の前記レーザ光の照射位置を表す座標データを(x,y)とし、
前記補正処理で補正された後の前記加工対象物上の前記可視レーザ光の照射位置を表す座標データを(X,Y)とし、
前記倍率を表す定数を「α(x)」と「α(y)」とし、
前記光軸座標を表す定数を「β(x)」と「β(y)」とすると、
X = α(x)×x+β(x)、
Y = α(y)×y+β(y)
の各関係式が成立すること、を特徴とするプログラム。
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