JP5987572B2 - 音響トランスデューサ - Google Patents
音響トランスデューサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP5987572B2 JP5987572B2 JP2012199960A JP2012199960A JP5987572B2 JP 5987572 B2 JP5987572 B2 JP 5987572B2 JP 2012199960 A JP2012199960 A JP 2012199960A JP 2012199960 A JP2012199960 A JP 2012199960A JP 5987572 B2 JP5987572 B2 JP 5987572B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gap
- diaphragm
- electrode film
- edge
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R1/00—Details of transducers, loudspeakers or microphones
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R19/00—Electrostatic transducers
- H04R19/005—Electrostatic transducers using semiconductor materials
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R2201/00—Details of transducers, loudspeakers or microphones covered by H04R1/00 but not provided for in any of its subgroups
- H04R2201/003—Mems transducers or their use
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Electrostatic, Electromagnetic, Magneto- Strictive, And Variable-Resistance Transducers (AREA)
- Details Of Audible-Bandwidth Transducers (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Description
図6及び図7を参照して本発明の実施形態1による音響センサ31の構造を説明する。図6は本発明の実施形態1の音響センサ31を示す平面図である。図7は、図6のX−X線断面図である。図8は、シリコン基板32の上面に形成されたダイアフラム33の形状を表した平面図である。図9は、シリコン基板32の上面に形成されたダイアフラム33の一部を示す斜視図である。
図20Aは本発明の実施形態2による音響センサ51の一部を示す断面図である。また、図20Bはベントホール37の部分を拡大した断面図である。図21は、シリコン基板32の上面に形成されたダイアフラム33のコーナー部分を拡大して示す斜視図である。この音響センサ51では、ダイアフラム33の縁部下面に、ダイアフラム33がシリコン基板32の上面にくっついて固着するのを防ぐための柱状をしたストッパ52を適宜間隔で突出させている。音響センサ51のその他の構成は、実施形態1の音響センサ31とほぼ同一であるので、同一構成部分には実施形態1と同じ符号を付して説明を省略する。
図22は本発明の実施形態3による音響センサ61の一部を示す断面図である。この音響センサ61では、全体が平らな縁部を有するダイアフラム33を用いている。一方、ダイアフラム33の端縁と対向する位置において、シリコン基板32の上面には凸部62が形成されている。この凸部62はベントホール37の長さ方向に沿って、あるいはダイアフラム33の端縁と平行な方向に沿って延びている。この実施形態では、凸部62を設けた位置においてベントホール37の高さが他よりも小さくなっている。すなわち、凸部62の上面とダイアフラム33の下面との間の隙間37eが、シリコン基板32とダイアフラム33の間の隙間のうち、他の部分よりも狭くて線状に延びた一部分となっている。また、シリコン基板32上面の、凸部62が形成されている領域以外の領域とダイアフラム33との間の隙間37fが、隙間の比較的広い前記他の部分となっている。従って、凸部62において音響抵抗を大きくして低音域における感度低下を防ぐと同時に、凸部62の設けられていない箇所でベントホール37の高さを大きくしてノイズを低減している。
図24は、本発明の実施形態4であって、シリコン基板32の上面に設けられたダイアフラム33を示す。この実施形態では、たとえば図19に示したような断面形状の変形部分42が、ダイアフラム33の端縁に対して傾いた方向に延びている。
32 シリコン基板
33 ダイアフラム
35 チャンバ
37 ベントホール
37a 内周部分の隙間(隙間の他の部分)
37b 外周部分の隙間(隙間の一部分)
37c、37e 隙間(隙間の一部分)
37d、37f 隙間(隙間の他の部分)
40 固定電極膜
42 変形部分
52 ストッパ
Claims (9)
- 上面で開口した空洞を有する基板と、
前記空洞を覆うようにして前記基板の上方に配設された振動電極膜と、
空隙を隔てて前記振動電極膜の上方に配設された固定電極膜とを備えた音響トランスデューサにおいて、
前記空洞の周囲において、前記基板の上面と前記振動電極膜の下面との間に隙間が形成され、
前記基板上面と前記振動電極膜下面が向かい合った前記隙間において、前記隙間のうち一部分は、前記隙間の他の部分よりも狭くなっており、前記隙間の狭い一部分が線状に延びていることを特徴とする音響トランスデューサ。 - 前記隙間の間隔が狭くなった前記部分は、前記振動電極膜の端縁と直交する方向以外の方向へ延びていることを特徴とする、請求項1に記載の音響トランスデューサ。
- 前記隙間の間隔が狭くなった前記部分は、前記振動電極膜の端縁と平行な方向へ延びていることを特徴とする、請求項2に記載の音響トランスデューサ。
- 前記空洞の上面開口の縁における前記隙間の間隔よりも、前記振動電極膜の端縁における前記隙間の間隔の方が狭いことを特徴とする、請求項1に記載の音響トランスデューサ。
- 前記振動電極膜の端縁が前記基板の上面に近づくように、前記振動電極膜の前記基板上面と向かい合う部分の断面が湾曲していることを特徴とする、請求項4に記載の音響トランスデューサ。
- 前記振動電極膜の端縁が前記基板の上面に近づくように、前記振動電極膜の前記基板上面と向かい合う部分の断面が屈曲していることを特徴とする、請求項4に記載の音響トランスデューサ。
- 前記空洞の上面開口の縁における前記隙間の間隔および前記振動電極膜の端縁における前記隙間の間隔よりも、前記空洞の上面開口の縁と前記振動電極膜の端縁との中間の位置における前記隙間の間隔の方が狭いことを特徴とする、請求項1に記載の音響トランスデューサ。
- 前記振動電極膜の前記基板上面と向かい合う部分の下面にストッパを突設し、前記ストッパの突出長さを、前記ストッパの基端と前記振動電極膜の最下端との高低差よりも大きくしたことを特徴とする、請求項1に記載の音響トランスデューサ。
- 前記基板上面の前記振動電極膜と向かい合う領域において、前記基板の上面に凸部を設け、前記凸部によって前記基板上面と前記振動電極膜下面の間に形成された隙間の間隔を狭めたことを特徴とする、請求項1に記載の音響トランスデューサ。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012199960A JP5987572B2 (ja) | 2012-09-11 | 2012-09-11 | 音響トランスデューサ |
US14/425,641 US9414139B2 (en) | 2012-09-11 | 2013-08-12 | Acoustic transducer |
PCT/JP2013/071829 WO2014041942A1 (ja) | 2012-09-11 | 2013-08-12 | 音響トランスデューサ |
CN201380047036.9A CN104620604A (zh) | 2012-09-11 | 2013-08-12 | 声响转换器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012199960A JP5987572B2 (ja) | 2012-09-11 | 2012-09-11 | 音響トランスデューサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014057175A JP2014057175A (ja) | 2014-03-27 |
JP5987572B2 true JP5987572B2 (ja) | 2016-09-07 |
Family
ID=50278067
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012199960A Active JP5987572B2 (ja) | 2012-09-11 | 2012-09-11 | 音響トランスデューサ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9414139B2 (ja) |
JP (1) | JP5987572B2 (ja) |
CN (1) | CN104620604A (ja) |
WO (1) | WO2014041942A1 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102014106753B4 (de) * | 2014-05-14 | 2022-08-11 | USound GmbH | MEMS-Lautsprecher mit Aktuatorstruktur und davon beabstandeter Membran |
WO2016040793A1 (en) * | 2014-09-12 | 2016-03-17 | Akustica, Inc. | Mems device with acoustic leak control features |
US10375482B2 (en) * | 2015-03-12 | 2019-08-06 | Omron Corporation | Capacitance type transducer and acoustic sensor |
JP6699854B2 (ja) * | 2016-03-15 | 2020-05-27 | 新日本無線株式会社 | Mems素子 |
US10631098B2 (en) * | 2016-07-13 | 2020-04-21 | Mrspeakers, Llc | Planar magnetic loudspeaker airflow system |
CN108529552A (zh) * | 2017-03-03 | 2018-09-14 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 一种mems器件及其制备方法、电子装置 |
KR102322258B1 (ko) * | 2017-05-19 | 2021-11-04 | 현대자동차 주식회사 | 마이크로폰 및 그 제조 방법 |
US10766763B2 (en) * | 2018-09-28 | 2020-09-08 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Sidewall stopper for MEMS device |
CN114302294A (zh) * | 2020-10-08 | 2022-04-08 | 阿比特电子科技股份有限公司 | 微机电系统声学传感器、微机电系统封装结构及其制造方法 |
CN112584282B (zh) * | 2020-11-30 | 2022-07-08 | 瑞声新能源发展(常州)有限公司科教城分公司 | 硅麦克风及其加工方法 |
CN216960188U (zh) * | 2022-01-27 | 2022-07-12 | 瑞声声学科技(深圳)有限公司 | Mems麦克风 |
WO2024122453A1 (ja) * | 2022-12-06 | 2024-06-13 | 株式会社小糸製作所 | 発音装置および車両用灯具 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5452268A (en) * | 1994-08-12 | 1995-09-19 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Acoustic transducer with improved low frequency response |
ATE392790T1 (de) | 2000-08-11 | 2008-05-15 | Knowles Electronics Llc | Erhobene mikrostrukturen |
JP4909279B2 (ja) * | 2005-10-18 | 2012-04-04 | 株式会社日立製作所 | 超音波探触子 |
JP4737719B2 (ja) * | 2006-02-24 | 2011-08-03 | ヤマハ株式会社 | コンデンサマイクロホン |
US20080019543A1 (en) * | 2006-07-19 | 2008-01-24 | Yamaha Corporation | Silicon microphone and manufacturing method therefor |
JP4244232B2 (ja) * | 2006-07-19 | 2009-03-25 | ヤマハ株式会社 | コンデンサマイクロホン及びその製造方法 |
JP2008172696A (ja) * | 2007-01-15 | 2008-07-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 音響検出機構及びその製造方法 |
US20090060232A1 (en) * | 2007-08-08 | 2009-03-05 | Yamaha Corporation | Condenser microphone |
JP4419103B1 (ja) | 2008-08-27 | 2010-02-24 | オムロン株式会社 | 静電容量型振動センサ |
JP2010081192A (ja) * | 2008-09-25 | 2010-04-08 | Rohm Co Ltd | Memsセンサ |
JP5400708B2 (ja) * | 2010-05-27 | 2014-01-29 | オムロン株式会社 | 音響センサ、音響トランスデューサ、該音響トランスデューサを利用したマイクロフォン、および音響トランスデューサの製造方法 |
-
2012
- 2012-09-11 JP JP2012199960A patent/JP5987572B2/ja active Active
-
2013
- 2013-08-12 US US14/425,641 patent/US9414139B2/en active Active
- 2013-08-12 WO PCT/JP2013/071829 patent/WO2014041942A1/ja active Application Filing
- 2013-08-12 CN CN201380047036.9A patent/CN104620604A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2014041942A1 (ja) | 2014-03-20 |
JP2014057175A (ja) | 2014-03-27 |
US9414139B2 (en) | 2016-08-09 |
CN104620604A (zh) | 2015-05-13 |
US20150230011A1 (en) | 2015-08-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5987572B2 (ja) | 音響トランスデューサ | |
JP5332373B2 (ja) | 静電容量型振動センサ | |
JP6332549B2 (ja) | 静電容量型トランスデューサ及び音響センサ | |
US10343901B2 (en) | MEMS transducer having stress diffusing structures provided in a flexible membrane | |
JP6179297B2 (ja) | 音響トランスデューサ及びマイクロフォン | |
JP5252104B1 (ja) | 静電容量型センサ、音響センサ及びマイクロフォン | |
US10681472B2 (en) | MEMS microphone and method of manufacturing the same | |
WO2014141505A1 (ja) | 静電容量型センサ、音響センサ及びマイクロフォン | |
US9521491B2 (en) | Capacitive sensor, acoustic sensor and microphone | |
TWI651260B (zh) | Mems裝置與製程 | |
JP6028479B2 (ja) | 静電容量型センサ、音響センサ及びマイクロフォン | |
JP5928163B2 (ja) | 静電容量型センサ、音響センサ及びマイクロフォン | |
CN107852558B (zh) | 静电电容式换能器及声音传感器 | |
JP2011250169A (ja) | 音響トランスデューサ、および該音響トランスデューサを利用したマイクロフォン | |
US11496820B2 (en) | MEMS device with quadrilateral trench and insert | |
JP6288410B2 (ja) | 静電容量型トランスデューサ、音響センサ及びマイクロフォン | |
CN210168228U (zh) | Mems麦克风和包括mems麦克风的mems麦克风包装 | |
JP2018098615A (ja) | 音響センサ及び静電容量型トランスデューサ | |
CN105848076B (zh) | 声响传感器 | |
CN112897448B (zh) | Mems传感器及其微机电结构、微机电结构的制造方法 | |
KR20180067400A (ko) | 멤스 음향센서 | |
WO2022007000A1 (zh) | 一种 mems 麦克风 | |
KR20230115058A (ko) | 맴스 마이크로폰 구조 및 제조방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150706 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160712 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160725 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5987572 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |