JP2011250169A - 音響トランスデューサ、および該音響トランスデューサを利用したマイクロフォン - Google Patents
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Abstract
【解決手段】音響センサ11は、半導体基板の上面に振動膜22および固定膜23が形成され、振動膜22における振動電極22aと固定膜23における固定電極23aとの間の静電容量の変化により音波を検出する。固定膜23には、音波を外部から振動膜22に到達させるために複数の音孔部32が形成されており、固定電極23aは、縁部40の境界が音孔部32と交わらないように形成されている。
【選択図】図1
Description
(1)固定膜123に到達した音波が音孔部32を通過していくので、固定膜123に印加される音圧が軽減される。
(2)振動膜22および固定膜123の間の空気が、音孔部32を介して出入りするので、熱雑音(空気の揺らぎ)が軽減される。また、上記空気による振動膜22のダンピングが軽減されるので、該ダンピングによる高周波特性の劣化が軽減される。
(3)表面マイクロマシニング技術を利用して振動電極22aおよび固定電極123aの間に空隙を形成する場合に、エッチングホールとして利用することができる。
本発明の一実施形態について図1〜図3を参照して説明する。図2は、本実施形態のMEMSマイクロフォンの概略構成を示す断面図である。
次に、本発明の別の実施形態について図4を参照して説明する。図4は、本実施形態に係る音響センサ11の概略構成を示す平面図である。図4に示す音響センサ11は、図1に示す音響センサ11に比べて、固定電極の形状が異なるのみであり、その他の構成は同様である。
次に、本発明のさらに別の実施形態について図5を参照して説明する。図5の(a)・(b)は、それぞれ、本実施形態に係る音響センサ11の概略構成と、該音響センサ11の比較例である従来の音響センサ111の概略構成とを示す平面図である。図5に示す音響センサ11・111は、図1・図8に示す音響センサ11・111に比べて、音孔部32・132の配列方向が異なっており、このため、本実施形態の固定電極の形状が異なっている。なお、その他の構成は同様である。
次に、本発明の他の実施形態について図6・図7を参照して説明する。図6は、本実施形態に係る音響センサ11の概略構成を示す平面図である。なお、同図では、固定膜23の保護膜23bを省略している。
11 音響センサ(音響トランスデューサ)
12 出力IC
13 プリント基板
14 カバー
15 貫通孔
21 半導体基板
22 振動膜
22a・b 振動電極
23 固定膜
23a・c〜e 固定電極
23b 保護膜
30 絶縁層
31 開口部
32 音孔部
40 縁部
50 隅部
51 延在部
Claims (9)
- 基板の上面に振動膜および固定膜が形成され、該振動膜における振動電極と上記固定膜における固定電極との間の静電容量の変化により、音波を電気信号に変換する音響トランスデューサにおいて、
上記固定膜には、上記音波を外部から上記振動膜に到達させるために複数の音孔部が形成されており、
上記固定電極は、縁部の境界が上記音孔部と交わらないように形成されていることを特徴とする音響トランスデューサ。 - 上記音孔部は、規則的に配列されており、
上記固定電極は、上記音孔部の配列方向と、隣り合う2つの該配列方向を二等分する方向とに沿う形状に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の音響トランスデューサ。 - 上記固定電極は、上記振動電極の振動部分に近い形状とするために、段状に形成されていることを特徴とする請求項2に記載の音響トランスデューサ。
- 隣り合う上記配列方向のなす角度が60度であることを特徴とする請求項2または3に記載の音響トランスデューサ。
- 隣り合う上記配列方向のなす角度が90度であることを特徴とする請求項2または3に記載の音響トランスデューサ。
- 上記音孔部は、隣り合う音孔部の中心同士の間隔が、上記隣り合う音孔部の寸法の和よりも短くなるように配置されていることを特徴とする請求項1から5までの何れか1項に記載の音響トランスデューサ。
- 上記音孔部の寸法は6μm以上であることを特徴とする請求項1から6までの何れか1項に記載の音響トランスデューサ。
- 上記固定膜は、上記固定電極と、該固定電極よりも広い保護膜とを備えており、
該保護膜は、上記固定電極の縁部の境界で段状となっていることを特徴とする請求項1から7までの何れか1項に記載の音響トランスデューサ。 - 請求項1から8までの何れか1項に記載の音響トランスデューサと、該音響トランスデューサからの電気信号を増幅して外部に出力する出力ICとを備えるマイクロフォン。
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