JP5975444B2 - フローセルの製造方法 - Google Patents
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Description
フローセル本体は石英ガラス製であるが、セルへの流体供給や、装置への取り付けのため、図4に示すようにアルミニウム合金やステンレス等の金属製の枠6が使用され、これらの部品がフローセル本体の石英ガラスに接着されており、接着部61が形成されている。
分析時の金属材料部品の剥がれの発生は、分析液の漏れにつながり、安全性の低下につながっていた。
しかしながら、アルミニウム合金の熱膨張率と石英ガラスの熱膨張率には大きな差があり、温度変化による膨張収縮の繰り返しによって接着部分が剥がれて液漏れ等を起すことがある。
ねじ切り加工前にセル本体には、既に細い試料の流路、及び測定室が形成されており、ねじ切り加工中に研削液が流路や測定室に入り込むので、切削加工後に清掃して清浄な状態とする必要があるが、それらの形状が微細であるため研削液を十分洗浄除去することが困難であり、測定器としてのフローセルにとっては不純物が残留していることになり、好ましくなかった。
また、細い流路や測定室は、ネジの研削加工と完全に分離されているため、流路や測定室の研削液等による汚染がほとんどなく、切削加工後の洗浄工程が簡略化されるため、製造時間を短縮することができ、また、製造コストを低減することができる。
まず、直方体の黒色石英ガラス、もしくは、透明石英ガラスに貫通穴を形成して測定室5とする。この測定室5に通ずる2本の流路21、21を上面から切削加工してフローセル本体20とするものであり、貫通穴を塞ぐように透明石英ガラス板3、3を接着してカバーとして、貫通穴を測定室5とする。石英ガラス板3の測定室5に対応する部分は、測定室を覗く窓4となる。次にフローセル本体20の上面25を研磨して平滑面とする。
熱圧着条件は、温度が800〜1300℃で圧力を0.2〜3kg/cm2で圧着するのが好ましい。
圧着温度が800℃未満であると接合が不十分であり、1300℃を超えると石英ガラスの変形が大きくなる。圧力が0.2kg/cm2未満であると接合が不完全になり易い。
10 ニップル取付部
11 ニップル取付ネジ穴
12 ニップル
15 ニップル取付部底面
20 フローセル本体部
21 流路
25 本体部上面
3 カバー板
4 窓
5 測定室
6 金属製枠
61 接着部
Claims (1)
- 石英ガラス製のフローセルの製造方法であって、直方体の石英ガラス体に測定室となる断面四角の横方向の貫通穴を形成し、この測定室となる貫通穴に通じる2本の流路を上面から形成し、貫通穴の面に石英ガラス板を接着して覆って測定室を形成すると共に石英ガラス体の上面を研磨し、ニップル取付部とする別体の石英ガラス体に切削加工によってニップルを挿入するためのネジ穴を石英ガラス体の上面から中間部まで形成し、このネジ穴の下に底面まで通じると共に流路に合致する穴を形成すると共に底面を研磨し、二つの石英ガラス体の研磨面を密着させ、加熱しながら接合面を加圧して一体化する石英ガラス製フローセルの製造方法。
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