JP5975030B2 - インクジェットヘッドの製造方法、及び、インクジェット描画装置の製造方法 - Google Patents
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Description
複数の前記アクチュエータにそれぞれ設けられた個別電極及び複数の前記アクチュエータに共通に設けられた共通電極に対してそれぞれ電気的に接続するための配線端子を有する配線基板とを準備し、
準備した前記配線基板と前記ヘッド基板とを接着樹脂層を介して接合することによって、前記ヘッド基板の前記配線基板側の面に配置された前記アクチュエータの前記個別電極及び前記共通電極と前記配線基板の前記配線端子とが電気的に接続されるインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記配線基板と前記ヘッド基板との接合方向において、前記個別電極は、前記共通電極よりも前記配線基板に近い位置に配置され、前記個別電極と前記共通電極のうちの前記共通電極のみに、前記配線端子と電気的に接続するための接続部品が設けられており、
前記配線端子に接続される前記接続部品の先端部の前記接合方向の位置と、前記配線端子に接続される前記個別電極の接続面の前記接合方向の位置とが、ほぼ同一とされており、
前記配線端子ははんだバンプであり、前記接続部品はスタッドバンプであることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
2. インクを吐出させる複数のノズルにそれぞれ対応して配設され、該ノズルから吐出させるためのインクを収容する複数の圧力室と、前記圧力室にそれぞれ対応して配置され、該圧力室内のインクを前記ノズルから吐出させるための力を付与する複数のアクチュエータとを有するヘッド基板と、
複数の前記アクチュエータにそれぞれ設けられた個別電極及び複数の前記アクチュエータに共通に設けられた共通電極に対してそれぞれ電気的に接続するための配線端子を有する配線基板とを準備し、
準備した前記配線基板と前記ヘッド基板とを接着樹脂層を介して接合することによって、前記ヘッド基板の前記配線基板側の面に配置された前記アクチュエータの前記個別電極及び前記共通電極と前記配線基板の前記配線端子とが電気的に接続されるインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記配線基板と前記ヘッド基板との接合方向において、前記個別電極は、前記共通電極よりも前記配線基板に近い位置に配置され、前記個別電極と前記共通電極の双方に、前記配線端子と電気的に接続するための接続部品がそれぞれ設けられており、
前記個別電極の前記接続部品と前記共通電極の前記接続部品の前記接合方向の高さをそれぞれ異ならせることにより、前記配線端子に接続される前記個別電極の前記接続部品の先端部の前記接合方向の位置と、前記配線端子に接続される前記共通電極の前記接続部品の先端部の前記接合方向の位置とが、ほぼ同一とされており、
前記配線端子ははんだバンプであり、前記接続部品はスタッドバンプであることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
3. 前記スタッドバンプは、側面が階段状の円錐形状であり、先端部が突起形状であることを特徴とする前記1又は2記載のインクジェットヘッドの製造方法。
4. 前記スタッドバンプの先端部側が塑性変形した状態で前記配線端子と電気的接続されていることを特徴とする前記1〜3のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
5. 前記スタッドバンプは、金スタッドバンプであることを特徴とする前記4記載のインクジェットヘッドの製造方法。
6. 前記1〜5のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法によりインクジェットヘッドを製造する工程と、
製造した前記インクジェットヘッドをインクジェット描画装置に搭載する工程と、
を有することを特徴とするインクジェット描画装置の製造方法。
10:ヘッド基板
11:ノズルプレート
11a:ノズル
12:中間プレート
12a:連通路
13:圧力室プレート
13a:圧力室
14:振動板
14a:開口部
15:アクチュエータ
15a:アクチュエータ本体
15b:個別電極
15c:共通電極
16、17:金スタッドバンプ
16a、17a:肩部
16b、17b:突起部
20:配線基板
21:基板本体
21a、21b:貫通孔
22:配線保護層
23a、23b:上部配線
24:配線保護層
25a、25b:下部配線
26a、26b:はんだバンプ
27:駆動IC
28:FPC
29:インク供給路
29a:開口部
30:接着樹脂層
31:収容空間
40:マニホールド
41:共通インク室
100:インクジェット描画装置
101:装置基台
102:ステージ
103:θ回転機構
104:Y移動機構
105:X移動機構
106:ガントリ
107:スライダ
108:θ回転機構
109:Z移動機構
W:被記録材
Claims (6)
- インクを吐出させる複数のノズルにそれぞれ対応して配設され、該ノズルから吐出させるためのインクを収容する複数の圧力室と、前記圧力室にそれぞれ対応して配置され、該圧力室内のインクを前記ノズルから吐出させるための力を付与する複数のアクチュエータとを有するヘッド基板と、
複数の前記アクチュエータにそれぞれ設けられた個別電極及び複数の前記アクチュエータに共通に設けられた共通電極に対してそれぞれ電気的に接続するための配線端子を有する配線基板とを準備し、
準備した前記配線基板と前記ヘッド基板とを接着樹脂層を介して接合することによって、前記ヘッド基板の前記配線基板側の面に配置された前記アクチュエータの前記個別電極及び前記共通電極と前記配線基板の前記配線端子とが電気的に接続されるインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記配線基板と前記ヘッド基板との接合方向において、前記個別電極は、前記共通電極よりも前記配線基板に近い位置に配置され、前記個別電極と前記共通電極のうちの前記共通電極のみに、前記配線端子と電気的に接続するための接続部品が設けられており、
前記配線端子に接続される前記接続部品の先端部の前記接合方向の位置と、前記配線端子に接続される前記個別電極の接続面の前記接合方向の位置とが、ほぼ同一とされており、
前記配線端子ははんだバンプであり、前記接続部品はスタッドバンプであることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 - インクを吐出させる複数のノズルにそれぞれ対応して配設され、該ノズルから吐出させるためのインクを収容する複数の圧力室と、前記圧力室にそれぞれ対応して配置され、該圧力室内のインクを前記ノズルから吐出させるための力を付与する複数のアクチュエータとを有するヘッド基板と、
複数の前記アクチュエータにそれぞれ設けられた個別電極及び複数の前記アクチュエータに共通に設けられた共通電極に対してそれぞれ電気的に接続するための配線端子を有する配線基板とを準備し、
準備した前記配線基板と前記ヘッド基板とを接着樹脂層を介して接合することによって、前記ヘッド基板の前記配線基板側の面に配置された前記アクチュエータの前記個別電極及び前記共通電極と前記配線基板の前記配線端子とが電気的に接続されるインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記配線基板と前記ヘッド基板との接合方向において、前記個別電極は、前記共通電極よりも前記配線基板に近い位置に配置され、前記個別電極と前記共通電極の双方に、前記配線端子と電気的に接続するための接続部品がそれぞれ設けられており、
前記個別電極の前記接続部品と前記共通電極の前記接続部品の前記接合方向の高さをそれぞれ異ならせることにより、前記配線端子に接続される前記個別電極の前記接続部品の先端部の前記接合方向の位置と、前記配線端子に接続される前記共通電極の前記接続部品の先端部の前記接合方向の位置とが、ほぼ同一とされており、
前記配線端子ははんだバンプであり、前記接続部品はスタッドバンプであることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記スタッドバンプは、側面が階段状の円錐形状であり、先端部が突起形状であることを特徴とする請求項1又は2記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記スタッドバンプの先端部側が塑性変形した状態で前記配線端子と電気的接続されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記スタッドバンプは、金スタッドバンプであることを特徴とする請求項4記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 請求項1〜5のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法によりインクジェットヘッドを製造する工程と、
製造した前記インクジェットヘッドをインクジェット描画装置に搭載する工程と、
を有することを特徴とするインクジェット描画装置の製造方法。
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