JP5967108B2 - X線装置、方法、構造物の製造方法、プログラム及びプログラムを記録した記録媒体 - Google Patents
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Description
本発明は、物体の形状およびその物体の内部の形状の検出不良を抑制するX線装置、方法、及び構造物の製造方法を提供することを目的とする。
前記透過X線を検出した結果から再構成した画像を用いて、前記測定物の少なくとも一部を含む所定空間を複数に分割した分割区画に吸収係数に応じた値が割り当てられた第1情報を生成する第1情報生成部と、
前記第1情報の割り当てられた値の大きさに応じた分割区画の数を示す、前記割り当てられた値の頻度情報を生成する頻度生成部と、
前記測定物を構成する第1、第2物質の比率を示す、比率情報を取得する比率取得部と、
前記比率情報の第1.第2物質の比率と、前記頻度情報での前記第1情報の割り当てられた値の大きさに応じた分割区画の数とを用いて、前記第1情報の分割区画に割り当てられた値の大きさを変えて、前記第1情報の前記分割区画に割り当てられる値の種類が少なくされた第2情報を生成する第2情報生成部とを備えるX線装置が提供される。
測定物にX線を照射し、前記測定物に対して複数方向で透過した透過X線を検出することと、
前記透過X線を検出した結果から再構成した画像を用いて、前記測定物の少なくとも一部を含む所定空間を複数に分割した分割区画に吸収係数に応じた値が割り当てられた第1情報を生成することと、
前記第1情報の割り当てられた値の大きさに応じた分割区画の数を示す、前記割り当てられた値の頻度情報を生成することと、
前記測定物を構成する第1、第2物質の比率を示す、比率情報を取得することと、
前記比率情報の第1.第2物質の比率と、前記頻度情報での前記第1情報の割り当てらえた値の大きさに応じた分割区画の数とを用いて、前記第1情報の分割区画に割り当てられた値の大きさを変えて、前記第1情報の前記分割区画に割り当てられる値の種類が少なくされた第2情報を生成することとを含む、方法が提供される。
測定物にX線を照射し、前記測定物に対して複数方向で透過した透過X線を検出することと、
前記透過X線を検出した結果から再構成した画像を用いて、前記測定物の少なくとも一部を含む所定空間を複数に分割した分割区画に吸収係数に応じた値が割り当てられた第1情報を生成することと、
前記第1情報の割り当てられた値の大きさに応じた分割区画の数を示す、前記割り当てられた値の頻度情報を生成することと、
前記測定物を構成する第1、第2物質の比率を示す、比率情報を取得することと、
前記比率情報の第1.第2物質の比率と、前記頻度情報での前記第1情報の割り当てらえた値の大きさに応じた分割区画の数とを用いて、前記第1情報の分割区画に割り当てられた値の大きさを変えて、前記第1情報の前記分割区画に割り当てられる値の種類が少なくされた第2情報を生成することとを実行させるプログラムが提供される。
第1実施形態について説明する。
図1は、第1実施形態に係るX線装置1の一例を示す図である。
図2A及び図2Bは、検出器41及び検出部42の配置の一例を示す図であり、図1に示すX線装置1をY軸方向から見た図である。このうち、図2Aは、検出部42が測定物Sを透過した透過X線のスペクトルを検出する場合のX線源2と検出器41と検出部42の配置例を示す。図2Bは、検出器41が測定物Sを透過した透過X線を検出する場合のX線源2と検出器41と検出部42の配置例を示す。また、図3A及び図3Bは、検出器41及び検出部42の他の配置例を示す図であり、X軸方向からX線を照射して透過X線のスペクトルを検出する場合の配置例を示す。このうち、図3Aは、X軸方向にX線を照射するために、Z軸上のX線源2とは別にX軸上にX線源21を配置した例を示す。図3Bは、X軸方向にX線を照射するために、Z軸上のX線源2をX軸上に移動させる例を示す。
なお、本実施形態において、X線装置1は、内部空間SPの温度を調節するための機構を備えてもよい。
この場合には、複数のX線装置1のそれぞれに情報処理部100はなく、複数のX線装置1からの情報が情報処理部100に送られる。
情報処理部100は、第1の情報生成部110、比率取得部120、第2の情報生成部130を備える。第1の情報生成部110は、測定物Sに対してX線の照射方向が異なる複数の透過X線の検出結果に基づいて、上記第1の物質を第1の吸収係数として表し、上記第2の物質を第1の吸収係数とは異なる第2の吸収係数として表した情報を、第1の検出情報D1として生成するように構成される。換言すると、第1の情報生成部110は、検出器41の検出結果であるX線吸収データDXに基づいて、各物質に関するX線の吸収係数μの分布を第1の検出情報D1として生成するように構成される。このX線の吸収係数μの分布は、吸収係数μの値に応じた信号強度の分布として表される測定物Sの断層画像に対応する。本実施形態において、第1の情報生成部110は、逆投影法を用いてX線吸収データDXからX線吸収係数μの分布によって表される断層画像を第1の検出情報D1として生成するが、この例に限定されない。
なお、上述の「測定物Sに対してX線の照射方向が異なる複数の透過X線」とは、測定物Sを回転させながら測定物Sに異なる複数の方向からX線を照射した場合に得られる、上記複数の方向に対応した複数の透過X線を意味する。
本実施形態において、比率取得部120は、上記第1の物質および第2の物質の、X線エネルギーに応じて照射されるX線が透過する割合の参照データRMを有する。比率取得部120は、検出部42での測定物Sの検出結果と、上記参照データRMとを比較することにより、第1の物質と第2物質との比率RTを算出する。本実施形態では、第1の物質と第2の物質に基づくX線スペクトルデータDSと、参照データRMとを対応づけることが可能である。また、X線スペクトルデータDSに含まれる、第1の物質および第2の物質の割合(比率)RTを、参照データRMを用いて算出することが可能である。比率取得部120は、後述するように、検出部42から得られるX線スペクトルデータDSのスペクトルと、参照データDSが備える第1の物質のスペクトルおよび第2の物質のスペクトルを加算することにより合成されるスペクトルとを比較することで、第1の物質と第2の物質との比率RTを特定するように構成される。もちろん、上記加算とは異なる手法で、第1の物質のスペクトルと第2の物質のスペクトルとから合成されるスペクトルを生成しても構わない。
詳細には、比率取得部120は、参照データ記憶部121と比率特定部122を備える。参照データ記憶部121は、X線スペクトルデータDSに対応する参照データRMを記憶する。比率取得部122は、参照データ記憶部121に記憶された参照データRMのうち、第1の物質及び第2の物質に関する情報と一致又は近似する参照データRMから、第1の物質と第2の物質との比率RTを特定するように構成される。
図7は、本実施形態に係るX線装置1の動作の流れを示すフローチャートである。図7に示すように、X線装置1は、キャリブレーション(ステップS10)と、検出器41による透過X線の検出(ステップS11)と、検出部42による透過X線のスペクトルの検出(ステップS12)と、検出器41及び検出部42の各検出結果から測定物Sの内部に関する情報を取得する処理(ステップS13〜17,S20)を実行する。
また、領域RA2に割り当てられる信号強度の大きさは、領域RA1に対応する信号強度の大きさと領域RA3に対応する信号強度の大きさとの間にある。したがって、物質Aの中心から物質の外延部に沿って、分割区画に割り当てられる信号強度が境界部を介して、RA1、RA2、RA3となるに伴い、変化している。
本実施形態では、X線スペクトルデータDSから得られる測定物Sに含まれる物質の種類に関する情報(即ち吸収係数)に基づいて変更後の頻度分布の中心(頻度分布の横軸上の位置)を特定する。また、測定物Sに含まれる物質の比率RTに応じて上記中心を起点とした頻度分布の範囲を特定する。さらに、前記変更前の分布において前記範囲に含まれる頻度を、前記中心に位置する頻度に統合することにより、頻度分布を変更する。
なお、本実施形態においては、測定物SのX線スペクトルデータRDXと、X線吸収データDXとを同一の装置内にて算出したが、別々の装置でそれぞれを求めても構わない。
次に、第2実施形態について説明する。
図15は、第2実施形態に係る情報処理装置100Aの一例を示す。本実施形態に係るX線装置は、上述の第1実施形態に係るX線装置1の構成において、情報処理部100に代えて、図15に示す情報処理部100Aを備える。情報処理部100Aは、上述の第1実施形態に係る情報処理装置100が備える比率取得部120に代えて、物質の比率を第1の検出情報D1から取得する比率取得部120Aを備える。本実施形態において、比率取得部120Aは、測定物Sに含まれた物質の比率を、第1の検出情報D1により示される信号強度の分布から取得する。その他の構成は、上述の第1実施形態と同様である。
次に、第3実施形態について説明する。
第3実施形態では、上述の第1及び第2実施形態により得られた第2の検出情報D2を、測定物Sの内部状態を反映した画像に修正する。
次に、第4実施形態について、上述の第3実施形態の図17及び図18を援用して説明する。4実施形態では、図17に示す第3の情報生成部140が、逐次近似法に代えて、逆投影法を用いて第2の検出情報D2から第3の検出情報D3を生成する。その他の構成は、第3実施形態と同様である。
次に、第5実施形態について説明する。
以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
Claims (19)
- 測定物にX線を照射し、前記測定物に対して複数方向で透過した透過X線を検出するX線装置であって、
前記透過X線を検出した結果から再構成した画像を用いて、前記測定物の少なくとも一部を含む所定空間を複数に分割した分割区画に吸収係数に応じた値が割り当てられた第1情報を生成する第1情報生成部と、
前記第1情報の割り当てられた値の大きさに応じた分割区画の数を示す、前記割り当てられた値の頻度情報を生成する頻度生成部と、
前記測定物を構成する第1、第2物質の比率を示す、比率情報を取得する比率取得部と、
前記比率情報の第1、第2物質の比率と、前記頻度情報での前記第1情報の割り当てられた値の大きさに応じた分割区画の数とを用いて、前記第1情報の分割区画に割り当てられた値の大きさを変えて、前記第1情報の前記分割区画に割り当てられる値の種類が少なくされた第2情報を生成する第2情報生成部とを備えるX線装置。 - 前記第2情報生成部は、
前記第1情報で隣接した分割区画の値が異なる部分に対して、前記異なる部分の一方の値を他方の値にし、前記隣接する分割区画の値が等しくされた第2情報を生成する、請求項1に記載のX線装置。 - 前記第2情報生成部は、
前記第1情報の前記分割区画の数の分布は最頻値を有し、前記第1情報の前記最頻値に対する半値幅が小さくされた第2情報を生成する、請求項1又は2に記載のX線装置。 - 前記第2情報生成部は、
前記第1情報の前記最頻値の分割区画に割り当てられる値を中心とした所定範囲には、前記第1物質の吸収係数に応じた値が含まれており、前記所定範囲に含まれる値が前記第1物質の吸収係数に応じた値に変更された第2情報を生成する、請求項3に記載のX線装置。 - 前記第2情報生成部は、
前記第1情報で前記第1物質の吸収係数に応じた値が割り当てられた分割区画の周囲に配置される分割区画を抽出し、前記抽出された分割区画の値が、前記第1物質の吸収係数に応じた値に変更された第2情報を生成する、請求項1〜4のいずれか一項に記載のX線装置。 - 前記第1情報の前記分割区画の数の分布は複数の所定範囲を有し、前記複数の所定範囲のそれぞれで最頻値を有する、請求項1〜5のいずれか一項に記載のX線装置。
- 前記測定物を透過したX線強度をX線の波長に応じて検出する検出部をさらに備え、
前記比率取得部は、前記検出部の信号を用いて、前記測定物の比率情報を生成する請求項1〜6のいずれか一項に記載のX線装置。 - 前記検出部は、前記測定物に照射されるX線強度と前記測定物を透過したX線強度との比をX線の波長に応じて検出する請求項7に記載のX線装置。
- 前記第1、第2物質のそれぞれを前記検出部で検出した場合の、前記検出部の信号を示す、参照データを記憶する記憶部と、
前記参照データと、前記測定物を前記検出部で検出した場合の、前記検出部の信号とを用いて、前記測定物の比率情報を生成する請求項7又は8に記載のX線装置。 - 前記比率取得部は、前記比率情報を前記測定物の設計情報から取得する請求項1〜9のいずれか一項に記載のX線装置。
- 前記比率取得部は、前記測定物での前記第1、第2物質の体積比率を示す比率情報を取得する、請求項1〜10のいずれか一項に記載のX線装置。
- 前記第2情報を初期値として逐次近似法により第3情報を生成する第3情報生成部を更に備える、請求項1〜11のいずれか一項に記載のX線装置。
- 前記第2情報を初期値として逆投影により第3情報を生成する第3情報生成部を更に備える、請求項1〜11のいずれか一項に記載のX線装置。
- 測定物にX線を照射し、前記測定物の構造物に関する情報を取得する方法であって、
測定物にX線を照射し、前記測定物に対して複数方向で透過した透過X線を検出することと、
前記透過X線を検出した結果から再構成した画像を用いて、前記測定物の少なくとも一部を含む所定空間を複数に分割した分割区画に吸収係数に応じた値が割り当てられた第1情報を生成することと、
前記第1情報の割り当てられた値の大きさに応じた分割区画の数を示す、前記割り当てられた値の頻度情報を生成することと、
前記測定物を構成する第1、第2物質の比率を示す、比率情報を取得することと、
前記比率情報の第1.第2物質の比率と、前記頻度情報での前記第1情報の割り当てらえた値の大きさに応じた分割区画の数とを用いて、前記第1情報の分割区画に割り当てられた値の大きさを変えて、前記第1情報の前記分割区画に割り当てられる値の種類が少なくされた第2情報を生成することとを含む、方法。 - 構造物の形状に関する設計情報を作製する設計工程と、
前記設計情報に基づいて前記構造物を作成する成形工程と、
作製された前記構造物の形状を請求項1から13の何れか一項に記載のX線装置または請求項14に記載の方法の何れかを用いて計測する工程と、
前記測定工程で得られた形状情報と、前記設計情報とを比較する検査工程と、
を有する、構造物の製造方法。 - 前記検査工程の比較結果に基づいて実行され、前記構造物の再加工を実施するリペア工程を有する、請求項15に記載の構造物の製造方法。
- 前記リペア工程は、前記成形工程を再実行する工程である、請求項16に記載の構造物の製造方法。
- X線装置に接続されたコンピュータに、前記X線装置の制御を実行させるプログラムであって、前記X線装置を制御して、
測定物にX線を照射し、前記測定物に対して複数方向で透過した透過X線を検出することと、
前記透過X線を検出した結果から再構成した画像を用いて、前記測定物の少なくとも一部を含む所定空間を複数に分割した分割区画に吸収係数に応じた値が割り当てられた第1情報を生成することと、
前記第1情報の割り当てられた値の大きさに応じた分割区画の数を示す、前記割り当てられた値の頻度情報を生成することと、
前記測定物を構成する第1、第2物質の比率を示す、比率情報を取得することと、
前記比率情報の第1.第2物質の比率と、前記頻度情報での前記第1情報の割り当てらえた値の大きさに応じた分割区画の数とを用いて、前記第1情報の分割区画に割り当てられた値の大きさを変えて、前記第1情報の前記分割区画に割り当てられる値の種類が少なくされた第2情報を生成することとを実行させるプログラム。 - 請求項18に記載のプログラムを記録した、コンピュータ読み取り可能な記録媒体。
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