JP5962705B2

JP5962705B2 - 半導体装置の製造方法

Info

Publication number: JP5962705B2
Application number: JP2014104018A
Authority: JP
Inventors: 正明岡田; 智和尾込; 俊明庄司; 松井　秀樹; 秀樹松井
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 2014-05-20
Filing date: 2014-05-20
Publication date: 2016-08-03
Anticipated expiration: 2034-05-20
Also published as: JP2015220386A

Description

この発明は、特にラインセンサなどの複数の半導体を近接で実装する半導体装置の製造方法に関する。

特開２０１１−０７７４３６号公報（特許文献１参照）には、ダイアタッチフィルム（ＤＡＦ）１０４に対して剥離性を有する支持テープ１２２の一面上に、前記半導体チップ１０２の前記配線基板１０３に対する貼着面に対応する大きさを有する複数のＤＡＦ１０４を仮貼着する第一工程と、前記配線基板１０３に前記支持テープ１２２の一面側を重ね合わせることにより、前記ＤＡＦ１０４を前記配線基板１０３に一括して転写する第二工程と、前記支持テープ１２２を剥離した後に、前記各ＤＡＦ１０４上に前記半導体チップ１０２を貼着する第三工程と、を具備してなることを特徴とする半導体装置の製造方法が記載されている。

特許文献１に記載の発明は、切断したダイアタッチフィルム（ＤＡＦ）を支持テープ上に配置し、その支持テープを配線基板上に重ね合わせ、ＤＡＦを配線基板の各チップ搭載部に一括搭載することでＤＡＦの無駄な利用を抑え、支持テープを介して配線基板に押圧することでＤＡＦと配線基板との間に隙間を発生させることなく仮貼着することを目的としている。

特開２０１１−０７７４３６号公報

特許文献１に記載の発明は、半導体チップの配線基板に対する貼着面に対応する大きさに切断しＤＡＦを、配線基板に貼着した後に、半導体チップをＤＡＦ上に貼着しているので、ＤＡＦの配線基板への貼着精度と半導体チップのＤＡＦへの貼着精度の違いにより、半導体チップの未貼着箇所が発生する課題がある。

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、シート状接着剤を用いた半導体チップのキャリア又は配線基板への接着において、半導体チップの未貼着箇所が発生しない半導体装置の製造方法を得る。

この発明に係る半導体装置の製造方法は、シート状接着剤を介して、半導体チップ及び基板をキャリアに接着する工程を有する半導体装置の製造方法であって、前記キャリア上の、複数の前記半導体チップ実装エリアと基板実装エリアとを、一括して前記シート状接着剤を前記キャリア上に貼付するシート状接着剤貼付工程と、前記キャリアにおける、前記基板実装エリアの前記シート状接着剤上に前記基板を貼付する基板貼付工程と、前記キャリアにおける、それぞれの前記半導体チップに対応する前記半導体チップ実装エリアの前記シート状接着剤上に前記半導体チップを貼付する半導体チップ貼付工程と、前記シート状接着剤を加熱硬化して、複数の前記半導体チップと前記基板とを前記キャリアに接着する加熱工程と、を備えたものである。

この発明によれば、複数の半導体チップ２を一括したシート接着剤３で、半導体チップ２をキャリア１に接着するので、半導体チップ２の未接着箇所が発生しない効果がある。

この発明の実施の形態１における半導体装置である。この発明の実施の形態１における半導体装置の製造工程図である。この発明の実施の形態２における半導体装置である。この発明の実施の形態２における半導体装置の製造工程図である。

実施の形態１．
この発明の実施の形態１について、図を用いて説明する。図１は、この発明の実施の形態１における半導体装置である。図２は、この発明の実施の形態１における半導体装置の製造工程図である。図１及び図２において、２は半導体チップ、１は半導体チップ２を実装するキャリア、３はシート状接着剤、４は半導体チップ間の間隙を示す。半導体チップ２は、シート状接着剤３によって、キャリア１に接着されている。

キャリア１にはシート状接着剤３が搭載されており、その上に半導体チップ２がシート状接着剤３によって接着されており、２つ以上の複数の半導体チップ２は半導体チップ間の間隙４によって近接で接着されている。なお、所定の接着エリア内の半導体チップ２は、一括して、１枚のシート状接着剤３にて、キャリア１に接着されている。

つぎにこの発明の実施の形態１の製造方法について、図２を用いて説明する。キャリア１にシート状接着剤３を仮付けする（図２（ａ））。このとき、シート状接着剤３は、キャリア１上の所定の接着エリア内に含まれる複数の半導体チップ２を、一括して接着できる広さの、１枚のシート状接着剤３となっている。

キャリア１上における、それぞれの半導体チップ２に対応する半導体チップ実装エリアのシート状接着剤３上に、各半導体チップ２が位置決め搭載される（図２（ｂ））。なお、半導体チップ２は、間隙４（４ａ、４ｂ）有して配置される。

シート状接着剤３を加熱などにより硬化させることで、半導体チップ２のキャリア１への接着を完了させる（図２（ｃ））。

以上のように、この発明の実施の形態１の半導体装置の製造方法によれば、複数の半導体チップ２を一括したシート接着剤３で、半導体チップ２をキャリア１に接着するので、半導体チップ２の未接着箇所が発生しない効果がある。

また、ＤＡＦ又はペースト状接着剤を用いていないので、接着面に気泡が残らない効果がある。

また、ペースト状接着剤を用いていないので、間隙４（４ａ、４ｂ）から接着剤が半導体チップ２の能動面２ａに這い上がり、半導体チップ２の能動面２ａの電気回路とキャリア１とが、短絡することによる、特性の変化も無い。

実施の形態２．
この発明の実施の形態２について、図を用いて説明する。図３は、この発明の実施の形態２における半導体装置である。図４は、この発明の実施の形態２における半導体装置の製造工程図である。図３及び図４において、２は半導体チップ、１は半導体チップ２を実装するキャリア、３はシート状接着剤、６は半導体チップ２を電気的に接続する配線基板を示す。半導体チップ２と半導体チップ２を電気的に接続する配線基板６は同じシート状接着剤３でキャリア１に接着されている。

キャリア１にはシート状接着剤３が搭載されており、その上に半導体チップ２と半導体チップ２と電気的に接続する配線基板６がシート状接着剤３によって接着されている。なお、所定の接着エリア内の半導体チップ２と配線基板６は、一括して、１枚のシート状接着剤３にて、キャリア１に接着されている。

つぎにこの発明の実施の形態２の実装手順について、図４を用いて説明する。たとえば、キャリア１にシート状接着剤３を仮付けする（図４（ａ））。このとき、シート状接着剤３は、キャリア１上の所定の接着エリア内に含まれる複数の半導体チップ２と配線基板６を、一括して接着できる広さの、１枚のシート状接着剤３となっている。

キャリア１上における、配線基板６に対応する配線基板実装エリアのシート状接着剤３上に、配線基板６を位置決めした後、接着固定する（図４（ｂ））。

キャリア１上における、それぞれの半導体チップ２に対応する半導体チップ実装エリアのシート状接着剤３上に、各半導体チップ２を位置決めし搭載する（図４（ｃ））。

加熱硬化などによりシート状接着剤３を硬化させることで、配線基板６と半導体チップ２のキャリア１への接着を完了させる（図４（ｄ））。

以上のように、この発明における実施の形態２の半導体装置によれば、配線基板６と複数の半導体チップ２とを一括したシート接着剤３で、配線基板６と半導体チップ２をキャリア１に接着するので、配線基板６及び半導体チップ２の未接着箇所が発生しない効果がある。

１：キャリア、２：半導体チップ、２ａ：半導体チップの能動面、３：シート状接着剤、
４：半導体チップ間の間隙、４ａ、４ｂ：半導体チップ間の間隙、６：配線基板。

Claims

シート状接着剤を介して、半導体チップ及び基板をキャリアに接着する工程を有する半導体装置の製造方法であって、
前記キャリア上の、複数の前記半導体チップ実装エリアと基板実装エリアとを、一括して前記シート状接着剤を前記キャリア上に貼付するシート状接着剤貼付工程と、
前記キャリアにおける、前記基板実装エリアの前記シート状接着剤上に前記基板を貼付する基板貼付工程と、
前記キャリアにおける、それぞれの前記半導体チップに対応する前記半導体チップ実装エリアの前記シート状接着剤上に前記半導体チップを貼付する半導体チップ貼付工程と、
前記シート状接着剤を加熱硬化して、複数の前記半導体チップと前記基板とを前記キャリアに接着する加熱工程と、を備えた半導体装置の製造方法。