JP5960006B2 - 試料解析装置、試料解析方法、試料解析プログラムおよび粒子飛跡解析装置 - Google Patents
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Description
可視光を出射する出射部と、
前記出射部によって出射された可視光の光軸上に配置され、可視光が透過する試料を支持する支持部と、
光学系を有し、前記支持部に支持された試料の画像を撮像する撮像部と、
前記光学系の焦点位置を、可視光の光軸に沿って、試料の前記撮像部側の表面である撮像表面の基準位置よりも前記出射部に近い接近位置と、前記基準位置よりも前記出射部から離れた離隔位置と、の間で移動させる焦点移動部と、
前記焦点移動部が前記焦点位置を前記接近位置に移動させて前記撮像部が前記接近位置で撮像した前記試料の画像である接近画像の輝度値が予め設定された周辺部分の輝度値よりも大きく、且つ、前記焦点移動部が前記焦点位置を前記離隔位置に移動させて前記撮像部が前記離隔位置で撮像した前記試料の画像である離隔画像の輝度値が前記周辺部分の輝度値よりも小さい部分を、前記撮像表面から凹んだ凹部として検出する凹検出手段と、
前記離隔画像の輝度値が前記周辺部分の輝度値よりも大きく、且つ、前記接近画像の輝度値が前記周辺部分の輝度値よりも小さい部分を、前記撮像表面から突出した凸部として検出する凸検出手段と、
を備えることを特徴とする。
前記接近画像の各画素の輝度値から前記離隔画像の対応する各画素の輝度値を減算した接近離隔差分画像と、前記離隔画像の各画素の輝度値から前記接近画像の対応する各画素の輝度値を減算した離隔接近差分画像と、を取得する差分取得手段と、
画像から輝度値が前記周辺部分とは異なる部分である閉領域を抽出する閉領域抽出手段と、
をさらに備え、
前記閉領域抽出手段は、前記焦点移動部が前記焦点位置を前記光軸に沿って前記基準位置から予め設定された測定距離だけ移動した測定位置に移動させて前記撮像部が前記測定位置で撮像した前記試料の画像としての測定画像内の閉領域と、前記接近離隔差分画像内の輝度値が正の値となる閉領域と、前記離隔接近差分画像内の輝度値が正の値となる閉領域と、を抽出し、
前記凹検出手段は、前記測定画像内の閉領域のうち、前記接近離隔差分画像内の輝度値が正の値となる閉領域の位置に配置されたものを、前記凹部として検出し、
前記凸検出手段は、前記測定画像内の閉領域のうち、前記離隔接近差分画像内の輝度値が正の値となる閉領域の位置に配置されたものを、前記凸部として検出する
ようにしてもよい。
前記閉領域抽出手段は、前記測定画像から輝度値が他の部分とは異なる部分を囲む境界として、内側境界と、前記内側境界を囲む外側境界と、を抽出した場合に、各境界の領域内の平均輝度値が最も低い領域の境界を前記測定画像内の閉領域の境界とする
ようにしてもよい。
可視光が光軸上に配置された試料を透過する場合に、光学系を有する撮像部によって試料の画像を撮像する撮像工程と、
前記光学系の焦点位置を、可視光の光軸に沿って、試料の前記撮像部側の表面である撮像表面の基準位置よりも光源に近い接近位置と、前記基準位置よりも光源から離れた離隔位置と、の間で焦点移動部を介して移動させる焦点移動工程と、
前記焦点移動部が前記焦点位置を前記接近位置に移動させて前記撮像部が前記接近位置で撮像した前記試料の画像である接近画像の輝度値が予め設定された周辺部分の輝度値よりも大きく、且つ、前記焦点移動部が前記焦点位置を前記離隔位置に移動させて前記撮像部が前記離隔位置で撮像した前記試料の画像である離隔画像の輝度値が前記周辺部分の輝度値よりも小さい部分を、前記撮像表面から凹んだ凹部として検出する凹検出工程と、
前記離隔画像の輝度値が前記周辺部分の輝度値よりも大きく、且つ、前記接近画像の輝度値が前記周辺部分の輝度値よりも小さい部分を、前記撮像表面から突出した凸部として検出する凸検出工程と、
を備えることを特徴とする。
コンピュータを、
可視光が光軸上に配置された試料を透過する場合に、光学系を有する撮像部によって試料の画像を撮像する撮像手段、
前記光学系の焦点位置を、可視光の光軸に沿って、試料の前記撮像部側の表面である撮像表面の基準位置よりも光源に近い接近位置と、前記基準位置よりも光源から離れた離隔位置と、の間で移動させる焦点移動手段、
前記焦点移動手段が前記焦点位置を前記接近位置に移動させて前記撮像部が前記接近位置で撮像した前記試料の画像である接近画像の輝度値が予め設定された周辺部分の輝度値よりも大きく、且つ、前記焦点移動手段が前記焦点位置を前記離隔位置に移動させて前記撮像部が前記離隔位置で撮像した前記試料の画像である離隔画像の輝度値が前記周辺部分の輝度値よりも小さい部分を、前記撮像表面から凹んだ凹部として検出する凹検出手段、
前記離隔画像の輝度値が前記周辺部分の輝度値よりも大きく、且つ、前記接近画像の輝度値が前記周辺部分の輝度値よりも小さい部分を、前記撮像表面から突出した凸部として検出する凸検出手段、
として機能させることを特徴とする。
可視光を出射する出射部と、
前記出射部によって出射された可視光の光軸上に配置され、可視光が透過する飛跡検出用固体を支持する支持部と、
光学系を有し、前記支持部に支持された試料としての飛跡検出用固体の画像を撮像する撮像部と、
前記光学系の焦点位置を、可視光の光軸に沿って、飛跡検出用固体の前記撮像部側の表面である撮像表面の基準位置よりも前記出射部に近い接近位置と、前記基準位置よりも前記出射部から離れた離隔位置と、の間で移動させる焦点移動部と、
前記焦点移動部が前記焦点位置を前記離隔位置に移動させて前記撮像部が前記離隔位置で撮像した前記飛跡検出用固体の画像である離隔画像の輝度値が予め設定された周辺部分の輝度値よりも大きく、且つ、前記焦点移動部が前記焦点位置を前記接近位置に移動させて前記撮像部が前記接近位置で撮像した前記飛跡検出用固体の画像である接近画像の輝度値が前記周辺部分の輝度値よりも小さい部分を、前記撮像表面に付着して前記撮像表面から突出した異物として前記飛跡検出用固体の画像から除去する異物除去手段と、
前記接近画像の輝度値が前記周辺部分の輝度値よりも大きく、且つ、前記離隔画像の輝度値が前記周辺部分の輝度値よりも小さい部分を、前記撮像表面から凹んで形成された粒子の飛跡として前記飛跡検出用固体の画像から抽出する飛跡抽出手段と、
を備えることを特徴とする。
また、イメージセンサ4によって取得したエリア画像のX軸方向やY軸方向の位置補正(ずれ補正)は、Xエンコーダ24XやYエンコーダ24Yの出力に基づいて行われる。
落射照明部32aは、内蔵する光源からの光を、顕微鏡3の光軸に沿うよう屈曲させて試料1に照射し、試料1からの反射光が対物レンズ31を通過する。
透過照明部32bは、架台7の水平部の内部、かつ、試料台22の下方側に設けられ、内蔵する光源の光や、光ファイバ8から導入された外部光源からの光を、試料1の下方から照射する。
なお、本実施形態では、透過照明部32bから照射された光は、コンデンサレンズ23によって集光されて平行光(集平行光)として試料1に照射(出射)されるため、試料1からの平行光の透過光が対物レンズ31を通過する。
透過照明部32bおよびコンデンサレンズ23により出射部41が構成されている(図2及び後述する図9参照)。
鏡筒34の側部は、Z軸制御部36を介して、L字型の架台7の直立部分に取り付けられている。
イメージセンサ4は、CCD素子をXY平面上に並べて構成されている。
制御コンピュータ150は、図1に示すように、演算処理部51、表示部52、画像記録装置53、を備える。
演算処理部51は、例えば、試料1の撮像領域の設定、移動部2のX軸方向及びY軸方向への移動と位置制御、オートフォーカスのためのZ軸方向の調整、イメージセンサ4への撮像実行指示、イメージセンサ4からのエリア画像データの取り込み、エリア画像データから撮像領域の全体画像を作成する処理などを行う。
図5に示すように、演算処理部51には、移動部2、Z軸制御部36、撮像部123、画像RAM124、画像記録装置53、データ通信部125などが接続されている。
X軸駆動部121は、演算処理部51の制御に従ってX軸モータ131を駆動して、X−Yステージ21をX軸方向に移動する。
Y軸駆動部122は、演算処理部51の制御下に、Y軸モータ132を駆動して、X−Yステージ21をX軸方向に直交するY軸方向に移動する。
データ通信部125は、外部装置との間で様々な通信を行う。
なお、図6(G)及び図6(H)に示す各差分画像204、205は、理解を容易にするため、輝度値が正の値(正情報)を有する部分のみを黒色とは異なる色で表示している。
なお、仮に、中間の境界202cのエッジ強度と、内側の境界202dのエッジ強度とが同じ値であった場合でも、外側にある中間の境界202cのエッジ強度が目標物202aの境界となり、内側の境界202dは除去される。
また、本実施形態では、抽出された各差分画像204、205内の正情報の目標物の重心座標を取得して、各差分画像204、205内の正情報の目標物の抽出処理を終了する。
このため、対物レンズ31の焦点位置が離隔位置に移動した場合、図9(A)の破線に示すように、対物レンズ31の焦点位置と異物1aに対応する部分の透過光の焦点位置とが近く光量が多くなるため、撮像される図9(B)に示す離隔画像201aは、異物1aに対応する部分201bの輝度値が周辺部分の輝度値よりも大きくなる(白色に近くなる)。
また、対物レンズ31の焦点位置が接近位置に移動した場合、図9(E)の破線に示すように、対物レンズ31の焦点位置と異物1aに対応する部分の透過光の焦点位置とが遠く光量が少なくなるため、撮像される図9(F)に示す接近画像203aは、異物1aに対応する部分203bの輝度値が周辺部分の輝度値よりも小さくなる(黒色に近くなる)。
例えば、図6(H)及び図8(B)に示す離隔接近差分画像205、205aであれば、離隔接近差分画像205、205a内で正情報が得られた目標物(除去Obj)は、全て凸部として検出される。
このため、対物レンズ31の焦点位置が離隔位置に移動した場合、図9(C)の破線に示すように、対物レンズ31の焦点位置と粒子の飛跡1bに対応する部分の透過光の焦点位置とが遠く光量が少ないため、撮像される図9(D)に示す離隔画像201cは、粒子の飛跡1bに対応する部分201dの輝度値が周辺部分の輝度値よりも小さくなる。また、対物レンズ31の焦点位置が接近位置に移動した場合、図9(G)の破線に示すように、対物レンズ31の焦点位置と粒子の飛跡1bに対応する部分の透過光の焦点位置とが近く光量が多いため、撮像される図9(H)に示す接近画像203cは、粒子の飛跡1bに対応する部分203dの輝度値が周辺部分の輝度値よりも大きくなる。よって、撮像表面に粒子の飛跡1bが形成されている場合は、撮像表面に異物1aが付着している場合とは対応する部分の明暗が逆転した画像が得られる(白黒反転した画像が得られる)。
例えば、図6(G)及び図8(A)に示す接近離隔差分画像204、204aであれば、接近離隔差分画像204、204a内で正情報が得られた目標物(抽出Obj)は、全て凹部として検出される。
さらに、非抽出対象除去部514bは、測定画像202内の目標物のうち、求めた楕円の短径を長径で除算した値が予め設定された楕円用閾値Dより小さいものを除外する。
図10に示すように、試料解析処理は、試料1が試料台22上面に支持され、試料1の測定領域が設定されることにより開始する。まず、演算処理部51は、移動部2を介して試料1における最初に測定を始めるエリアにX−Yステージ21を移動する(ステップS101)。次に、演算処理部51は、オートフォーカス処理によって撮像表面を検出し、Z軸制御部36を介して対物レンズ31の焦点位置を基準位置に移動させる(ステップS102)。次に、演算処理部51は、Z軸制御部36を介して対物レンズ31の焦点位置を離隔位置に移動させ、撮像部123によって離隔画像201を撮像する(ステップS103)。次に、演算処理部51は、Z軸制御部36を介して対物レンズ31の焦点位置を測定位置に移動させ、撮像部123によって測定画像202を撮像する(ステップS104)。次に、演算処理部51は、Z軸制御部36を介して対物レンズ31の焦点位置を接近位置に移動させ、撮像部123によって接近画像203を撮像する(ステップS105)。
楕円の面積が面積用閾値SEより大きい場合(ステップS407;Yes)、飛跡抽出部514は、選択された目標物を粒子の飛跡として抽出する(ステップS411)。また、楕円の面積が面積用閾値SE以下の場合(ステップS407;No)、飛跡抽出部514は、測定画像202内の目標物の重心座標とラベリングされた接近離隔差分画像204の正情報の目標物の重心座標との飛跡用の距離を求め、異物除去部513は、測定画像202内の目標物の重心座標とラベリングされた離隔接近差分画像205の正情報の目標物の重心座標との異物用の距離を求める(ステップS408)。
また、本実施形態の試料解析装置100では、離隔位置及び接近位置を調整して、凸部や凹部と、他の部分と、のコントラスト(例えば、輝度値の差分値)が大きくなるように設定でき、凸部(例えば、異物1a)や凹部(例えば、粒子の飛跡1b)を精度良く検出できる。
さらに、本実施形態の試料解析装置100では、所謂ジャストフォーカスの測定画像202の目標物を抽出して、各差分画像204、205の正情報の目的物の位置に配置されたものを凸部や凹部として検出しており、凸部や凹部をさらに精度良く検出できる。
1a…異物
1b…粒子の飛跡
22…試料台
36…Z軸制御部
41…出射部
100…試料解析装置
123…撮像部
201、201a、201c…離隔画像
202、202a、202e、202g…測定画像
202b〜202d…境界
203、203a、203c…接近画像
204、204a…接近離隔差分画像
205、205a…離隔接近差分画像
511…差分取得部
512…目標物抽出部
513…異物除去部
513a…凸検出部
514…飛跡抽出部
514a…凹検出部
Claims (6)
- 可視光を出射する出射部と、
前記出射部によって出射された可視光の光軸上に配置され、可視光が透過する試料を支持する支持部と、
光学系を有し、前記支持部に支持された試料の画像を撮像する撮像部と、
前記光学系の焦点位置を、可視光の光軸に沿って、試料の前記撮像部側の表面である撮像表面の基準位置よりも前記出射部に近い接近位置と、前記基準位置よりも前記出射部から離れた離隔位置と、の間で移動させる焦点移動部と、
前記焦点移動部が前記焦点位置を前記接近位置に移動させて前記撮像部が前記接近位置で撮像した前記試料の画像である接近画像の輝度値が予め設定された周辺部分の輝度値よりも大きく、且つ、前記焦点移動部が前記焦点位置を前記離隔位置に移動させて前記撮像部が前記離隔位置で撮像した前記試料の画像である離隔画像の輝度値が前記周辺部分の輝度値よりも小さい部分を、前記撮像表面から凹んだ凹部として検出する凹検出手段と、
前記離隔画像の輝度値が前記周辺部分の輝度値よりも大きく、且つ、前記接近画像の輝度値が前記周辺部分の輝度値よりも小さい部分を、前記撮像表面から突出した凸部として検出する凸検出手段と、
を備えることを特徴とする試料解析装置。 - 前記接近画像の各画素の輝度値から前記離隔画像の対応する各画素の輝度値を減算した接近離隔差分画像と、前記離隔画像の各画素の輝度値から前記接近画像の対応する各画素の輝度値を減算した離隔接近差分画像と、を取得する差分取得手段と、
画像から輝度値が前記周辺部分とは異なる部分である閉領域を抽出する閉領域抽出手段と、
をさらに備え、
前記閉領域抽出手段は、前記焦点移動部が前記焦点位置を前記光軸に沿って前記基準位置から予め設定された測定距離だけ移動した測定位置に移動させて前記撮像部が前記測定位置で撮像した前記試料の画像としての測定画像内の閉領域と、前記接近離隔差分画像内の輝度値が正の値となる閉領域と、前記離隔接近差分画像内の輝度値が正の値となる閉領域と、を抽出し、
前記凹検出手段は、前記測定画像内の閉領域のうち、前記接近離隔差分画像内の輝度値が正の値となる閉領域の位置に配置されたものを、前記凹部として検出し、
前記凸検出手段は、前記測定画像内の閉領域のうち、前記離隔接近差分画像内の輝度値が正の値となる閉領域の位置に配置されたものを、前記凸部として検出する
ことを特徴とする請求項1に記載の試料解析装置。 - 前記閉領域抽出手段は、前記測定画像から輝度値が他の部分とは異なる部分を囲む境界として、内側境界と、前記内側境界を囲む外側境界と、を抽出した場合に、各境界の領域内の平均輝度値が最も低い領域の境界を前記測定画像内の閉領域の境界とする
ことを特徴とする請求項2に記載の試料解析装置。 - 可視光が光軸上に配置された試料を透過する場合に、光学系を有する撮像部によって試料の画像を撮像する撮像工程と、
前記光学系の焦点位置を、可視光の光軸に沿って、試料の前記撮像部側の表面である撮像表面の基準位置よりも光源に近い接近位置と、前記基準位置よりも光源から離れた離隔位置と、の間で焦点移動部を介して移動させる焦点移動工程と、
前記焦点移動部が前記焦点位置を前記接近位置に移動させて前記撮像部が前記接近位置で撮像した前記試料の画像である接近画像の輝度値が予め設定された周辺部分の輝度値よりも大きく、且つ、前記焦点移動部が前記焦点位置を前記離隔位置に移動させて前記撮像部が前記離隔位置で撮像した前記試料の画像である離隔画像の輝度値が前記周辺部分の輝度値よりも小さい部分を、前記撮像表面から凹んだ凹部として検出する凹検出工程と、
前記離隔画像の輝度値が前記周辺部分の輝度値よりも大きく、且つ、前記接近画像の輝度値が前記周辺部分の輝度値よりも小さい部分を、前記撮像表面から突出した凸部として検出する凸検出工程と、
を備えることを特徴とする試料解析方法。 - コンピュータを、
可視光が光軸上に配置された試料を透過する場合に、光学系を有する撮像部によって試料の画像を撮像する撮像手段、
前記光学系の焦点位置を、可視光の光軸に沿って、試料の前記撮像部側の表面である撮像表面の基準位置よりも光源に近い接近位置と、前記基準位置よりも光源から離れた離隔位置と、の間で移動させる焦点移動手段、
前記焦点移動手段が前記焦点位置を前記接近位置に移動させて前記撮像部が前記接近位置で撮像した前記試料の画像である接近画像の輝度値が予め設定された周辺部分の輝度値よりも大きく、且つ、前記焦点移動手段が前記焦点位置を前記離隔位置に移動させて前記撮像部が前記離隔位置で撮像した前記試料の画像である離隔画像の輝度値が前記周辺部分の輝度値よりも小さい部分を、前記撮像表面から凹んだ凹部として検出する凹検出手段、
前記離隔画像の輝度値が前記周辺部分の輝度値よりも大きく、且つ、前記接近画像の輝度値が前記周辺部分の輝度値よりも小さい部分を、前記撮像表面から突出した凸部として検出する凸検出手段、
として機能させることを特徴とする試料解析プログラム。 - 可視光を出射する出射部と、
前記出射部によって出射された可視光の光軸上に配置され、可視光が透過する飛跡検出用固体を支持する支持部と、
光学系を有し、前記支持部に支持された試料としての飛跡検出用固体の画像を撮像する撮像部と、
前記光学系の焦点位置を、可視光の光軸に沿って、飛跡検出用固体の前記撮像部側の表面である撮像表面の基準位置よりも前記出射部に近い接近位置と、前記基準位置よりも前記出射部から離れた離隔位置と、の間で移動させる焦点移動部と、
前記焦点移動部が前記焦点位置を前記離隔位置に移動させて前記撮像部が前記離隔位置で撮像した前記飛跡検出用固体の画像である離隔画像の輝度値が予め設定された周辺部分の輝度値よりも大きく、且つ、前記焦点移動部が前記焦点位置を前記接近位置に移動させて前記撮像部が前記接近位置で撮像した前記飛跡検出用固体の画像である接近画像の輝度値が前記周辺部分の輝度値よりも小さい部分を、前記撮像表面に付着して前記撮像表面から突出した異物として前記飛跡検出用固体の画像から除去する異物除去手段と、
前記接近画像の輝度値が前記周辺部分の輝度値よりも大きく、且つ、前記離隔画像の輝度値が前記周辺部分の輝度値よりも小さい部分を、前記撮像表面から凹んで形成された粒子の飛跡として前記飛跡検出用固体の画像から抽出する飛跡抽出手段と、
を備えることを特徴とする粒子飛跡解析装置。
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