JP5959338B2 - 誘導加熱炉および誘導加熱システム - Google Patents
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Description
図1には、実施形態の誘導加熱炉100の側面透視図(A)と正面透視図(B)が示されている。誘導加熱炉100は、コンクリートベース111の上に設置された炉殻101を有している。炉殻101は、誘導加熱炉100の骨格構造を構成する部材であり、SiC等の耐火物により構成され、中空部を有する筒構造を有している。炉殻101の中空部は、図1(B)の視点(正面方向)から見て、上側が円形で両側面が垂直で底面が平坦な断面形状を有している。以下、筒状の炉殻101の延在方向(図1(A)の左右の方向)を軸方向と称する。炉殻101の軸方向の前後は、蓋部材112,113によって蓋がされている。この蓋部材112,113は、例えば金属により構成され、取り外しが可能なようにボルトで炉殻101に取り付けられている。
まず、蓋部材112、蓋部材112とサセプター103の蓋部103aとの間の断熱材102、および蓋部103aを取り外した状態とする。この状態で、サセプター103の内部が露出する。次に、サセプター103の内側にワークを搬入し、蓋部103aをサセプター103に取り付け、更にその手前に断熱材102を充填し、最後に蓋部材112を炉殻101に取り付け、図1に示す状態とする。この状態で、サセプター103の内部にワーク(図示省略)が納まった状態を得る。なおこの際、ガス導入管105を図示する状態で取り付ける。
誘導加熱炉100を組み立てる作業において、炉殻101およびその内部構造を完成させた段階で、上方から逆U字型形状の誘導加熱コイル104を炉殻101に被せるようにして配置できる。このため、大型化したワークに対応するために、全体の構造が大きくなった場合であっても、炉の組み立て作業が行い易い。また、炉内へのワークの搬入、炉内からのワークの排出を行なう作業において、一部の断熱材102の除去や再配置、炉殻101の一部の取り外しや再取り付けといった作業が必要となる場合があるが、これらの作業時に炉殻101から誘導加熱コイル104を離間させ、退避させることができるので、これらの作業に誘導加熱コイル104が邪魔になることがない。
本実施形態では、第1の実施形態における誘導加熱コイル104の代わりに上下に2分割できるソレノイド型の誘導加熱コイルを用いる場合の形態を説明する。図4には、誘導加熱コイルの部分だけの構造が示されている。図4(A)には、誘導加熱コイル401の側面図が示され、図4(B)には、軸方向から見た正面図が示されている。誘導加熱コイル401は、軸方向から見た状態において、上部が半円形で、下部の左右が角の丸い略コの字形状を有している。この誘導加熱コイル401は、ソレノイド構造のコイルとして機能する。
図4に示す誘導加熱コイル401は、軸方向から見てサセプター(図1の符合103)の周囲全てを覆う(つまり、サセプターの下方にもコイルがある)ので、サセプターの加熱を均一に行う点で図1の構造に比較して有利となる。すなわち、サセプターの下方にもコイルがあることで、サセプターの底部に作用する磁束が効率よく生成され、サセプター全体の発熱の均一性を高くできる。また、図5に図示するコイルの結合構造を採用することで、上下方向における分離結合が自在にできる。このため、誘導加熱炉の組み立てやメンテナンス時に誘導加熱コイル401の上側を取り外した状態で作業が行え、高い作業性が得られる。
図7には、本発明を利用した誘導加熱炉を複数用いたシステムのブロック図が示されている。図7には、誘導加熱炉を2台用いる例が示されている。図7には、誘導加熱炉701と702が示されている。誘導加熱炉701と702は、同じ構造であり、第1または第2の実施形態に示す構造を有している。誘導加熱炉701と702には、高周波電源704から高周波電力が供給される。切り替え回路703は、高周波電源704から供給される高周波電力の供給先を切り替える。切り替え回路703が第1の誘導加熱炉701を選択している状況では、高周波電源704から第1の誘導加熱炉701に高周波電力が供給され、第2の誘導加熱炉702への高周波電力の供給は行われない。また、切り替え回路703が第2の誘導加熱炉702を選択している状況では、高周波電源704から第2の誘導加熱炉702に高周波電力が供給され、第1の誘導加熱炉701への高周波電力の供給は行われない。高周波電源704は、誘導加熱炉701および702が必要とする高周波電力を出力する。使用する周波数や電力値は、任意であり、用途によって適宜選択される。
一方の誘導加熱炉における熱処理および冷却処理の間に、他方の誘導加熱炉におけるワークの搬入・排出に係る処理を行えるので、高い作業効率が得られる。また、高周波電源は一つでよいので設備コストを抑えることができる。また、ワークの搬入作業、排出作業、およびそれらの作業時における炉の一部の解体や組み立てに要する作業において、誘導加熱コイルを退避(第1の実施形態の場合)あるいは誘導加熱コイルの上半分を分離し退避(第2の実施形態の場合)させ、作業空間を確保することができる。このため、誘導加熱炉に対するワークの搬入作業、排出作業、およびそれらの作業時における炉の一部の解体や組み立てにおいて、高い作業性が得られる。
利用する誘導加熱炉を3台以上とすることもできる。例えば、誘導加熱炉を3台用いる場合、1台が誘導加熱および冷却工程である期間に、他の2台において誘導加熱および冷却以外の作業が行われる。また、1台目が加熱後の冷却工程、2台目がワークの搬入・排出工程、3台目が加熱工程という組み合わせにし、それを順次ずらしてゆくことで、3台の誘導加熱炉を用いた連続処理も可能である。
Claims (4)
- 面状のコイルを略逆U字形状に湾曲させた形状の誘導加熱コイルと、
前記略逆U字形状に湾曲した前記誘導加熱コイルによって、両側面方向と上方向とが囲まれた状態の炉殻と、
前記炉殻の内側に配置された発熱体として機能するサセプターと
を備えることを特徴とする誘導加熱炉。 - 前記サセプターの底面は平坦であり、前記誘導加熱コイルの下端部は前記サセプターの前記底面よりも下方に延在していることを特徴とする請求項1に記載の誘導加熱炉。
- 筒状の炉殻と、
前記炉殻の内側に配置された発熱体として機能するサセプターと
前記炉殻の両側面方向、上方向および底部方向を螺旋状に囲んで配設されたソレノイドコイルからなる誘導加熱コイルと、を備えた誘導加熱炉において、
前記誘導加熱コイルの各ターンを、該ターンを軸方向から見た状態で上側のコイル部材と下側のコイル部材とに左右の結合部を介して分割可能に構成するとともに、
前記左右の結合部の近傍に、前記上側のコイル部材と前記下側のコイル部材とに冷却水をそれぞれ独立して供給し排水するパイプがそれぞれ接続されていることを特徴とする誘導加熱炉。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載の誘導加熱炉の複数と、
前記複数の誘導加熱炉のいずれか一つに高周波電力を供給する高周波電源と、
前記高周波電源と前記複数の誘導加熱炉の間に配置され、前記高周波電源からの高周波電力を前記複数の誘導加熱炉の中の何れか一つに選択的に供給するための切り替え回路と
を備えることを特徴とする誘導加熱システム。
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