JP5956094B1 - 製造プロセスの解析方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】製品性能のばらつきを生じさせる阻害要因を特定し、製品性能を安定化させる製造プロセスの解析方法を提供する。【解決手段】製品の品質を示すプロダクトデータと製品の製造条件を示すプロセスデータを収集する工程S1、プロセスデータを標準化して中間変数に変換する工程S2、中間変数に対して主成分分析を行い、プロセスデータの主成分負荷量及び主成分得点を導出する工程S3、主成分得点にクラスター分析を適用し、製造プロセスのロットを複数のグループに区分する工程S4、グループに属する主成分得点に対応するプロダクトデータの良否に基づいて、グループ毎の優劣を判定する工程S5、グループの優劣に寄与する阻害要因を特定する工程S6、を含む製造プロセスの解析方法。【選択図】図10

Description

本発明は、製品の製造プロセスの解析方法に関し、特に、製品性能及び製造性能のばらつきの要因を特定する製造プロセスの解析方法に関する。
製造プラント等では、同一の製造プロセスに基づいて製品を製造している。製品の性能は、同一ロット内ではほぼ均一に仕上がるが、ロット間では、製品の性能にばらつきが生じることが知られている。すなわち、同一の製造プロセスに基づいて製品を製造しているにも関わらず、製品の性能にばらつきが生じ得る。
このような製品性能のばらつきを抑制するために、多変量解析を用いて異常を診断するものが知られている(例えば、特許文献1参照)。特許文献1記載の製造プロセスの制御方法は、多変量解析法に基づいて製造条件及び製品性能を処理し、製造条件と製品性能とが所定の限界内に収まっているか否かを判定し、限界から外れるような場合に、限界内に戻すように製造条件を修正する。
特開平07−200040号公報
しかしながら、上述したような従来技術は、多変量解析法で処理する代替変数に製造条件と製品性能とが混在した状態で異常診断を行うため、製品性能を事前に取得する必要があり、リアルタイムに異常診断を行うことが難しいという問題があった。
さらに、上述した従来技術は、不良品を除外するように異常診断を行うものであり、良と判断された製品の品質の高低を考慮するものではないため、より高品位の製品を安定して供給することに寄与しないという問題があった。
そこで、製品性能のばらつきを生じさせる阻害要因を特定し、製品性能及び製造性能を安定化させるために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明は、この課題を解決することを目的とする。
本発明は上記目的を達成するために提案されたものであり、請求項1記載の発明は、製品の製造プロセスの解析方法であって、前記製造プロセスによって製造された製品毎の品質を示すプロダクトデータ及び前記製品の製造条件を示すプロセスデータを前記製造プロセスのロット毎に収集する工程と、前記プロセスデータを標準化して中間変数に変換する工程と、前記中間変数に対して主成分分析を行い、前記プロセスデータの主成分負荷量及び主成分得点を導出する工程と、前記主成分得点にクラスター分析を適用し、前記製造プロセスのロットを複数のグループに区分する工程と、前記グループに属する主成分得点に対応する前記プロダクトデータに基づいて、前記グループ毎の優劣を判定する工程と、前記グループの優劣に寄与するプロセスデータである阻害要因を特定する工程と、を含む製造プロセスの解析方法を提供する。
この構成によれば、製造プロセスのロットをプロセスデータに基づいて生成された主成分得点から複数のグループに区分し、プロダクトデータに基づいて複数のグループの優劣を判定し、グループの優劣に寄与する阻害要因を特定することにより、製造プロセスを効率良く改善することができる。
請求項2記載の発明は、請求項1記載の製造プロセスの解析方法の構成に加えて、前記阻害要因を特定する工程において、前記阻害要因は、前記劣と判定されたグループを構成する前記主成分負荷量に応じて特定される製造プロセスの解析方法を提供する。
この構成によれば、劣と判定されたグループの阻害要因を特定することにより、製造プロセスの改善精度を向上させることができる。
請求項3記載の発明は、請求項1又は2記載の製造プロセスの解析方法の構成に加えて、前記グループの良否は、前記グループ内のプロダクトデータの平均値に応じて判定される製造プロセスの解析方法。
この構成によれば、良品判定基準を設定する際に、グループの良否をグループ内のプロダクトデータの平均値に基づいて判定することにより、グループ内のプロダクトデータのばらつきが平準化されるため、グループ間のプロダクトデータの良否の傾向を大局的に把握することができる。
請求項4記載の発明は、請求項1乃至3の何れか1項記載の製造プロセスの解析方法の構成に加えて、前記プロセスデータは、前記製造プロセスの製造条件を示すマニュファクチャデータを含む製造プロセスの解析方法を提供する。
この構成によれば、マニュファクチャデータに基づいて生成された主成分得点からロットが複数のグループに区分され、これらのグループがプロダクトデータに基づいて優劣を判定されることにより、グループの優劣に寄与するマニュファクチャデータが特定されるため、製造プロセスを効率良く改善することができる。
請求項5記載の発明は、請求項4記載の製造プロセスの解析方法の構成に加えて、前記プロセスデータは、前記製品の原料の条件を示すマテリアルデータを含む製造プロセスの解析方法を提供する。
この構成によれば、グループの優劣に寄与するマニュファクチャデータ及びマテリアルデータが特定されるため、製造プロセスを更に効率良く改善することができる。
請求項6記載の発明は、請求項1記載の製造プロセスの解析方法の構成に加えて、前記グループ毎の優劣を判定する工程において、前記グループ毎の優劣が判定できない場合に、前記プロセスデータに含まれていない追加プロセスデータを新たに収集し、前記プロセスデータ及び前記追加プロダクトデータに基づいて前記製造プロセスのロットを複数のグループに区分し直して、該グループに属する主成分得点に対応する前記プロダクトデータに基づいて前記グループ毎の優劣を再判定する製造プロセスの解析方法を提供する。
この構成によれば、製造プロセスのロットをプロセスデータに基づいて生成された主成分得点から複数のグループに区分し、プロダクトデータに基づいて複数のグループの優劣を判定したところ、複数のグループの優劣が判定できない場合には、それまでに考慮されていないプロセスデータを新たに追加して、グループを再度区分すると共にグループの優劣を再判定し、再判定後のグループの優劣に寄与する阻害要因を特定することにより、製造プロセスを効率良く改善することができる。
本発明は、製造プロセスのロットをプロセスデータに基づいて生成された主成分得点から複数のグループに区分し、プロダクトデータに基づいて複数のグループの優劣を判定し、グループの優劣に寄与する阻害要因を特定することにより、製造プロセスが効率良く改善されるため、良好な製品性能及び製造性能を安定して示す製造プロセスを得ることがで
きる。
本発明の第1実施例に係る製造プロセスの解析方法を適用する製造ラインの構成を示す模式図。 本発明の第1実施例に係る製造プロセスの解析方法を示すフローチャート。 ロット毎のプロセスデータを示す図。 プロセスデータ毎の主成分の情報量を示す図。 ロット毎の主成分の情報量を示す図。 第1主成分を横軸、第2主成分を縦軸とする座標系に図4に示す情報量をプロットしたグラフ。 第1主成分を横軸、第2主成分を縦軸とする座標系に図5に示す情報量をプロットしたグラフ。 図5に示す主成分得点にクラスター分析を適用して得られたデンドログラムを示す図。 図8の分析結果を図7に適用した結果を示すグラフ。 グループの優劣に寄与する阻害要因を示すグラフ。 本発明の第2実施例に係る製造プロセスの解析方法を示すフローチャート。 主成分得点においてグループ間の優劣が確認できない場合を示すグラフ。 マテリアルデータが追加され、主成分得点においてグループ間の優劣が確認できた場合を示すグラフ。
本発明は、製品性能のばらつきを生じさせる阻害要因を特定し、製品性能を安定化させるという目的を達成するために、製品の製造プロセスの解析方法であって、製造プロセスによって製造された製品毎の品質を示すプロダクトデータ及び製品の製造条件を示すプロセスデータを製造プロセスのロット毎に収集する工程と、プロセスデータを標準化して中間変数に変換する工程と、中間変数に対して主成分分析を行い、プロセスデータの主成分負荷量及び主成分得点を導出する工程と、主成分得点にクラスター分析を適用し、製造プロセスのロットを複数のグループに区分する工程と、グループに属する主成分得点に対応するプロダクトデータに基づいて、グループ毎の優劣を判定する工程と、グループの優劣に寄与するプロセスデータである阻害要因を特定する工程と、を含むことにより実現する。
以下、本発明の第1実施例に係る製造プロセスの解析方法について説明する。なお、以下の実施例において、構成要素の数、数値、量、範囲等に言及する場合、特に明示した場合及び原理的に明らかに特定の数に限定される場合を除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でも構わない。
図1は、本発明を適用する製造プロセスの一例であるフィルムシートの製造ラインを示す模式図である。なお、本発明を適用する製造プロセスが製造する製品は、フィルムシートに限定されるものではなく、如何なるものであっても構わない。
フィルムシートの製造ラインでは、原料配合工程、造粒工程、成形工程、仕上げ工程を経て、原料からフィルムシートを製造する。フィルムシートの製造ラインは、計量・混合機2と、押出機3と、ホッパー4と、成形機5と、乾燥機6と、巻取り機7と、で構成される製造装置1である。
計量・混合機2には、樹脂等の原料1〜Nが投入される。計量・混合機2内の原料は、均一に混合された後に押出機3に送られる。
押出機3は、混合された原料を粒状のペレットに成形する。
ホッパー4に投入されたペレットは、成形機5で長手方向及び幅方向に引き伸ばされて所望の厚みのフィルムシートに成形される。
シート状に引き伸ばされたフィルムシートは、乾燥機6内で昇温されて乾燥される。
乾燥したフィルムシートは、図示しない厚み測定手段で厚みを計測された後に、巻取り機7でロール状に巻き取られる。
上述した各機器には、種々の値を測定するセンサ10が設けられている。センサ10の測定対象は、原料の投入量、成形機5内の温度、成形速度、及びフィルムシートの厚み等である。センサ10は、測定値を制御装置20に送る。
各機器の動作は、制御装置20によって制御される。制御装置20は、例えばCPUやメモリ等を有する装置制御部21と、データの入出力を制御する入出力部22と、データを表示する表示部23と、データを記憶する記憶部24と、を備えている。なお、制御装置20の機能は、ソフトウェアを用いて制御することにより実現されても良く、ハードウェアを用いて動作することにより実現されても良い。制御装置20は、センサ10が測定した製品の製造条件を示すプロセスデータ、製品の品質(製品の強度、厚み及び付着異物の量等の品質情報、又は歩留まり及び不良品発生率等の製造性能等を含む)を示すプロダクトデータに基づいて、後述する処理を行う。プロセスデータは、製造プロセスの製造条件(製造装置1を構成する各種機器の運転条件等)を示すマニュファクチャデータと、原料1〜Nの条件(原料の物性、組成等)を示すマテリアルデータと、を含む。
装置制御部21は、各機器を制御する制御部21aと、センサ10のプロセスデータについて後述する処理を行う解析部21bと、後述する阻害要因を特定する判定部21cとに機能分割される。
入出部22は、例えば、キーボードやマウス、通信制御装置、印刷装置等がある。表示部23は、例えば、ディスプレイがある。記憶部23には、製造ラインの各処理で用いる加工条件や、解析部21bでデータ処理する際に用いるデータ等が記憶されている。
次に、本実施例に係る製造プロセスの解析方法について、図面に基づいて説明する。図2は、本発明の第1実施例に係る製造プロセスの解析方法を示すフローチャートである。図3は、製造ラインのロット毎に測定したプロセスデータ及びプロダクトデータを示す図である。図4は、プロセスデータ毎の主成分の情報量を示す図である。図5は、製造ラインのロット毎の主成分の情報量を示す図である。図6は、第1主成分を横軸、第2主成分を縦軸とする座標系に図4に示す情報量をプロットした主成分負荷量を示すグラフである。図7は、第1主成分を横軸、第2主成分を縦軸とする座標系に図5に示す情報量をプロットした主成分得点を示すグラフである。図8は、図5に示す情報量にクラスター分析を適用して得られたデンドログラムの図である。図9は、図8の分析結果を図7に適用した結果を示すグラフである。
まず、動作済みの製造プロセスについて、制御装置20が、センサ10が測定したプロセスデータとプロダクトデータとを収集する(S1)。この工程S1では、異なる日時に同一製品同一銘柄を製造する複数のロットから成るロット群について、センサ10が測定したロット毎のプロセスデータとプロダクトデータとを記憶部24に記憶する。ロット毎のプロセスデータを図3に示す。図3では、24回分のロットLOT001〜024について、各ロットで収集したプロセスデータpara01〜28を示している。プロセスデータpara01〜28は、原料の受入検査値、投入量、成形機5内の温度、成形速度等である。また、プロダクトデータpara29〜31は、乾燥機6を経たフィルムシートの厚みであって、para29は、分散値であり、para30は、平均値であり、para31は、標準偏差である。なお、図3では、一部のプロセスデータpara06〜27を省略している。
次に、図3に示す表中のプロセスデータpara01〜28を標準化して中間関数に変換する(S2)。この工程S2では、解析部21bが、プロセスデータの標準化処理は、公知のものであり、数式1に基づいて行う。
次に、工程2で求めた中間変数に主成分分析法を適用して、主成分負荷量及び主成分得点を求める(S3)。具体的には、中間変数における相関係数行列を作成し、相関係数行列の固有値と固有ベクトルを導出する。相関係数行列は、中間変数がx1、x2、x3・・のときに、第1主成分PC1は、数式2で示すように表される。また、第N主成分PCnは、数式3で示すように表される。そして、係数a11、a12、a13・・を1行目の要素、係数an1、an2、an3・・をn行目の要素に用いることにより、相関係数行列が形成される。

次に、相関係数行列の固有ベクトルから主成分得点を求める。また、相関係数行列の固有値から各主成分の寄与率を求める。主成分の寄与率は、固有値を固有値の総和で割ることで得られる。ここで、固有値の大きい方から、第1主成分、第2主成分・・第N主成分を決定する。
図4に各プロセスデータpara01〜28の第1主成分PC1、第2主成分PC2、第3主成分3の情報量を示す。なお、本実施例では、3つの主成分のみを示しているが、各主成分の寄与率に応じて主成分の数を増減しても構わない。
また、解析部21bが、各ロットLOT001〜024の中間変数x1、x2、x3と相関係数行列の各係数とに基づいて、第1主成分PC1、第2主成分PC2・・の値、即ち、主成分得点を算出とする。図5に各ロットLOT001〜024の主成分得点を示す。
次に、図5に示す主成分得点にクラスター分析を適用して、ロットLOT001〜024を複数のグループに区分する(S4)。この工程S4では、解析部21bが、工程3で導出した主成分得点についてクラスター分析を行う。「クラスター分析」とは、解析対象データ(クラスター)を類似性に着目して複数のグループに分類する方法であり、階層的クラスタリングや分類最適化クラスタリング等が知られている。本実施例におけるクラスター分析が着目する「類似性」とは、各ロットの主成分得点同士の距離をいう。本実施例では、階層的クラスタリングの一つである凝集型階層的クラスタリングを用いた。また、クラスター間の距離算出方法として、安定して解を得られるウォード法を用いた。「ウォード法」とは、2つのクラスターを併合した際の偏差平方和の増加量が最小になるクラスターを選択するものである。例えば、クラスターA、Bを併合してクラスターCを生成する場合、クラスターA、B、C内の偏差平方和Sa、Sb、Scは、それぞれ数式4〜6のように表される。


数式4〜6により、クラスターC内の偏差平方和Scは、以下のようになる。
数式7のΔSabは、クラスターA、Bを併合してクラスターCを生成した際の偏差平方和の増分であることを意味する。したがって、各併合段階でΔSabが最小になるようにクラスターを選択して併合することにより、クラスタリングを進めていく。
本実施例では、図8に示すよう、クラスター分析の結果、ロットLOT001〜024を3つのグループG1、G2、G3に区分することができた。また、この結果を図7に反映させたものを図9に示す。なお、グループの数は、3つに限定されるものではなく、ハンドリングし易い数であれば2つ以下でも4つ以上であっても構わない。
次に、グループ毎に優劣を判定する(S5)。この工程S5では、制御装置20は、記憶部24に記憶されたフィルムシートの厚み寸法を示すプロダクトデータpara29〜31から得られる中間変数をグループG1〜3に属するロットLOT001〜024毎に呼び出し、これらプロダクトデータの良否を判定する。プロダクトデータの良否は、グループ内の平均値に基づいて行うのが好ましい。これにより、グループ内のプロダクトデータのばらつきが平準化され、グループ間のプロダクトデータの良否の傾向を大局的に把握することができる。また、プロダクトデータの良否は、グループ内におけるプロダクトデータの偏差の大小や最大値及び最小値の差(範囲)の大小に基づいて判定しても構わないし、平均値、偏差又はR値等を2つ以上組み合わせて判定しても構わない。平均値と偏差とを組み合わせてプロダクトデータの良否を判定するものとして、例えば、グループ内の平均値が同一の場合には、グループ内の偏差が小さいものを良と判断することが考えられる。これにより、グループ内でのプロダクトデータのばらつきを考慮したグループ間のプロダクトデータの良否の傾向を大局的に把握することができる。そして、解析部21bは、グループG1〜3毎にプロダクトデータを比較し、グループG1〜3間の優劣を決定し、その結果を記憶部24に記憶する。本実施例では、グループG1が最も良好なプロダクトデータを示し、以下、G3、G2の順にプロダクトデータが悪化していることから、グループ間の優劣は、グループG1、G3、G2の順に決定した。
次に、グループG1〜3の優劣に寄与した阻害要因を特定する(S6)。この工程S6では、第1主成分PC1、第2主成分PC2の座標系(以下、「PC1、2座標系」という)上のグループG1〜3の特徴的な配置関係に着目し、主成分負荷量上でこの位置に対応するプロセスデータpara01〜28をグループG1〜3の優劣に寄与するプロセスデータである阻害要因として特定する。具体的には、判定部21cは、劣と判定されたグループG2のPC1、2座標系上での特徴的な配置、即ち、PC1、2座標系上において第1主成分PC1座標がマイナスであり、且つ第2主成分PC2座標がマイナスであることを読み取る。次に、判定部21cは、グループG2のPC1、2座標系上での特徴的な配置に対応するプロセスデータを図10に示す主成分負荷量上から読み取る。判定部21cは、主成分負荷量のPC1、2座標系上における第3象限に存在するプロセスデータ(para12、13等)を第1の阻害要因P1として判定する。
また、グループG2に次いで劣と判定されたグループG3についても同様の解析を行うことにより、PC1、2座標系上におけるグループG3の特徴的な配置(第2象限)に基づいて、図6に示す主成分負荷量のPC1、2座標系上における第2象限に存在するプロセスデータ(para01、07、18、19等)が第2の阻害要因P2として判定される。このように、複数のグループに基づいて複数の阻害要因を特定することにより、製造プロセスの改善精度が向上する。
なお、本実施例では、マニュファクチャデータとマテリアルデータとを同様に処理しているが、マニュファクチャデータのみでプロダクトデータの予測が可能である場合には、マテリアルデータを処理対象から適宜除外しても構わない。
上述したように、製造プロセスのロットをプロセスデータに基づいて生成された主成分得点から複数のグループに区分し、プロダクトデータに基づいて複数のグループの優劣を判定し、グループの優劣に寄与する阻害要因を特定することにより、製造プロセスを効率良く改善することができる。
また、劣と判定されたグループの阻害要因を特定することにより、製造プロセスの改善精度を向上させることができる。
このようにして、製造プロセスが効率良く改善されることにより、良好な製品性能及び製造性能を安定して示す製造プロセスを得ることができる。
次に、本発明の第2実施例に係る製造プロセスの解析方法について、図面に基づいて説明する。図11は、本発明の第2実施例に係る製造プロセスの解析方法を示すフローチャートである。なお、以下の本実施例に関する説明において、上述した第1実施例に関する説明と重複する説明は省略する。
まず、上述した第1実施例に係る工程S1〜4と同様の手順で、製造プロセスのロットを複数のグループに区分する(S10〜13)。
次に、複数のグループ間の優劣を判定する(S14)。ここで、複数のグループ間の優劣が判定不能な場合、すなわち、各グループに含まれる複数のプロダクトデータを比較して、グループ間のプロダクトデータの良否が確認できない場合には(工程S14のNo)、上述したプロセスデータに含まれていないプロセスデータ(以下、「追加プロセスデータ」と称す)を新たに収集する(S15)。ここで、グループ間のプロダクトデータの良否が確認できるか否かの判定は、例えば、各グループのプロダクトデータの平均値の全てが製造プロセスの品質上問題ないものであれば、グループ間のプロダクトデータの良否が確認できないと判定し、各グループのプロダクトデータの平均値の少なくとも1つが製造プロセスの品質上問題があるものであれば、グループ間のプロダクトデータの良否が確認できると判定することが考えられるが、これに限定されるものではない。
次に、解析部21bが、数式1に基づいて、工程S10で収集したプロセスデータ及び工程S15で収集した追加プロセスデータを標準化して中間関数に変換する(S16)。
次に、解析部21bが、工程16で求めた中間変数における相関係数行列を作成し、この相関係数行列の固有値と固有ベクトルとを導出し、この固有ベクトルから主成分負荷量及び主成分得点を求める(S17)。主成分負荷量及び主成分得点の具体的な算出方法は、工程S3と同様である。
次に、工程S17で求めた主成分得点にクラスター分析を適用して、ロットを複数のグループに再区分する(S18)。ロットを複数のグループを区分する具体的な方法は、工程S4と同様である。
そして、工程S14に戻り、グループ間の優劣を再び判定する。複数のグループ間の優劣が判定可能な場合、すなわち、各グループに含まれる複数のプロダクトデータの平均値を比較して、グループ間のプロダクトデータに良否が確認できる場合には(工程S14のYes)、工程S6と同様に、グループの特徴的な配置関係に着目し、主成分負荷量上でこの位置に対応するプロセスデータをグループの優劣に寄与するプロセスデータである阻害要因として特定する(S19)。なお、グループの優劣が判定不能な場合には、工程S15〜18を再び繰り返す。
次に、複数のグループ間の優劣を判定する工程S14について、図12及び図13に基づいて更に詳しく説明する。
図12は、17のロットについて、製造装置の諸条件のみのプロセスデータに主成分分析を適用し、第1主成分を横軸、第3主成分を縦軸とする座標系にその情報量をプロットしたものである。図12では、17のロットを4つのグループG4〜7に区分しており、各グループを構成するロットは、図12中の○、△、×及び+の符号で示されている。グループG4〜7の粘度の平均値は、グループG4が1028cp、グループG5が1027cp、グループG6が1052cp、グループG7が1023cpであり、グループG4〜7間の粘度の良否は確認できない。
次に、図12と同じロットについて、追加プロセスデータとしてのマテリアルデータを収集し、プロセスデータ及びマテリアルデータについて工程S13〜18を行い、第2主成分を横軸、第3主成分を縦軸とする座標系にそれらの情報量をプロットしたものが図13である。図13では、17のロットを4つのグループG8〜11に区分しており、各グループを構成するロットは、図13中の○、△、×及び+の符号で示されている。グループG8〜11の粘度の平均値は、グループG8が980cp、グループG9が1077cp、グループG10が1023cp、グループG11が1054cpであり、グループG8の粘度が他のグループの粘度よりも良好であるから、グループG8は、グループG9〜11よりも優れていると判断できる。
このようにして、製造プロセスのロットをプロセスデータに基づいて生成された主成分得点から複数のグループに区分し、プロダクトデータに基づいて複数のグループの優劣を判定したところ、複数のグループ間の優劣が確認できない場合には、それまでに考慮されていないプロセスデータを新たに追加して、グループを再度区分し、グループの優劣を再判定し、再判定後のグループの優劣に寄与する阻害要因を特定することにより、製造プロセスを効率良く改善することができる。
なお、本実施例では、追加プロセスデータとしてマテリアルデータを採用しているが、追加プロセスデータがこれに限定されないことは云うまでもなく、追加プロセスデータは、製造プロセスに応じて選択可能なものである。
なお、本発明は、本発明の精神を逸脱しない限り種々の改変をなすことができ、そして、本発明が該改変されたものにも及ぶことは当然である。
1 ・・・ 製造装置
2 ・・・ 計量・混合機
3 ・・・ 押出機
4 ・・・ ホッパー
5 ・・・ 成形機
6 ・・・ 乾燥機
7 ・・・ 巻取り機
10・・・ センサ
20・・・ 制御装置
21・・・ 装置制御部
21a・・・制御部
21b・・・解析部
21c・・・判定部
22・・・ 入出力部
23・・・ 表示部
24・・・ 記憶部

Claims (6)

  1. 製品の製造プロセスの解析方法であって、
    前記製造プロセスによって製造された製品毎の品質を示すプロダクトデータ及び前記製品の製造条件を示すプロセスデータを前記製造プロセスのロット毎に収集する工程と、
    前記プロセスデータを標準化して中間変数に変換する工程と、
    前記中間変数に対して主成分分析を行い、前記プロセスデータの主成分負荷量及び主成分得点を導出する工程と、
    前記主成分得点にクラスター分析を適用し、前記製造プロセスのロットを複数のグループに区分する工程と、
    前記グループに属する主成分得点に対応する前記プロダクトデータに基づいて、前記グループ毎の優劣を判定する工程と、
    前記グループの優劣に寄与するプロセスデータである阻害要因を特定する工程と、
    を含むことを特徴とする製造プロセスの解析方法。
  2. 前記阻害要因を特定する工程において、前記阻害要因は、前記劣と判定されたグループを構成する前記主成分負荷量に応じて特定されることを特徴とする請求項1記載の製造プロセスの解析方法。
  3. 前記グループの良否は、前記グループ内のプロダクトデータの平均値に応じて判定されることを特徴とする請求項1又は2記載の製造プロセスの解析方法。
  4. 前記プロセスデータは、前記製造プロセスの製造条件を示すマニュファクチャデータを含むことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載の製造プロセスの解析方法。
  5. 前記プロセスデータは、前記製品の原料の条件を示すマテリアルデータを含むことを特徴とする請求項4記載の製造プロセスの解析方法。
  6. 前記グループ毎の優劣を判定する工程において、前記グループ毎の優劣が判定できない場合に、前記プロセスデータに含まれていない追加プロセスデータを新たに収集し、前記プロセスデータ及び前記追加プロダクトデータに基づいて前記製造プロセスのロットを複数のグループに区分し直して、該グループに属する主成分得点に対応する前記プロダクトデータに基づいて前記グループ毎の優劣を再判定することを特徴とする請求項1記載の製造プロセスの解析方法。
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