JP5950400B2 - 炭素材料及びその製造方法 - Google Patents
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Description
例えば、特許文献1には、タールピッチ類を熱処理して得られた平均粒径10μm以上のメソカーボン小球体を粉砕して平均粒径5μm以下の微粉末とし、これを成形し、焼成することにより自己焼結させる高密度炭素材料の製造方法が開示されている。
このような焼結体による炭素材料は、かさ密度が高く、ショア硬度も高く、しかも、プラズマ照射等の活性化学種の攻撃に対しても、発塵が少なく、耐久性が高いという優れた特性を有している。
また、本発明に係る製造方法によれば、上記のような本発明に係る炭素材料を簡便に得ることができる。
本発明に係る炭素材料は、粒径20μm以上の粒子の含有量が30〜60重量%であるメソフェーズカーボン粒子の焼結体からなるものである。
このように、比較的粒径の大きい粒子を微粒子中に所定割合で含有させたメソフェーズカーボン粒子を原料として用いることにより、メソフェーズ粒子を高密度で充填させることができ、かさ密度が高く、かつ、ショア硬度が高い焼結体とすることができる。
粒径20μm以上のメソフェーズカーボン粒子の含有量が30重量%未満の場合、焼結体のショア硬度の向上が図られず、また、高温環境下での酸化消耗等、化学的な劣化が促進されやすくなる。一方、前記含有量が60重量%を超える場合は、焼結体のかさ密度が低くなり、曲げ強さが十分とは言えず、また、この場合も化学的な劣化が促進されやすくなる。
粒径20μm未満のカーボン粒子もメソフェーズカーボン粒子を用いることにより、炭素材料の特性が均一化し、加熱サイクルにおける耐久性が向上し、また、局所的な侵食によるピット等の形成が抑制される。
このように、本発明に係る炭素材料は、かさ密度が高く、ショア硬度も高いものであり、しかも、プラズマ照射等の活性化学種の攻撃に対しても発塵が少なく、耐久性が高いという利点を備えている。
また、プラズマスパッタのターゲット材や高温真空雰囲気下での構造材として適用するためには、ショア硬度は100以上であることが求められる。前記ショア硬度が100未満では、炭素材料から発塵を生じやすくなるため好ましくない。
このように、比較的粒径の大きい粒子を微粒子中に所定割合で含有させたメソフェーズカーボン粒子を原料として用い、成形した後、高温焼成することにより、上記のような優れた特性を有する炭素材料を容易に得ることができる。
[実施例1]
粒径20μm以上のメソフェーズカーボン粒子40重量%、粒径5μm以上20μm未満のメソフェーズカーボン粒子45重量%及び粒径5μm未満のメソフェーズカーボン粒子15重量%をカーボン粒子原料とし、これを静水圧プレスにより成形した。
得られた成形体を、窒素雰囲気下、900℃以上に昇温した後、室温まで冷却した。さらに、10torr以下の減圧下、2100℃で4時間焼成し、120mm×120mm×380mmの焼結体からなる炭素材料を作製した。
カーボン粒子原料の配合割合を下記表1に示す所定量とし、それ以外は実施例1と同様にして炭素材料を作製した。
カーボン粒子原料の材質をメソフェーズカーボン粒子からコークス粒子に変更し、配合割合を下記表1に示す所定量とし、それ以外は実施例1と同様にして炭素材料を作製した。
評価項目のうち、かさ密度、曲げ強さ、固有抵抗は、JIS R 7222−1997に準拠した方法で、また、ショア硬度は、JISZ 2246−1992に準拠した方法で測定した。
酸化消耗率は、各炭素材料を20mm×20mm×19mmに加工し、大気雰囲気下、800℃で120分間加熱し、デシケータ内で20分間徐冷した後の重量減少量を、熱処理前の重量で除した値である。
発塵量は、各炭素材料を直径25mm、厚さ5mmに加工し、クラス1000相当のクリーンルーム内で、純水で流水洗浄し、乾燥後、AEROTRAKポータブルパーティクルカウンター(9110;TSI社製)にて、粒径0.5μm以上の粒子について複数回繰り返し測定し、概ね一定となった際の測定値とした。
Claims (1)
- カーボン粒子原料がすべてメソフェーズカーボン粒子であり、
粒径20μm以上の粒子の含有量が30〜60重量%であるメソフェーズカーボン粒子の焼結体からなり、かさ密度が1.95〜2.10g/cm3、ショア硬度が100以上であることを特徴とする炭素材料。
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