JP5947722B2 - ジャイロセンサ - Google Patents
ジャイロセンサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP5947722B2 JP5947722B2 JP2012538324A JP2012538324A JP5947722B2 JP 5947722 B2 JP5947722 B2 JP 5947722B2 JP 2012538324 A JP2012538324 A JP 2012538324A JP 2012538324 A JP2012538324 A JP 2012538324A JP 5947722 B2 JP5947722 B2 JP 5947722B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base
- gyro sensor
- electrical
- electrode
- pins
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 11
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N beryllium atom Chemical compound [Be] ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 21
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 17
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 9
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 6
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 4
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 3
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000003491 array Methods 0.000 description 2
- 229910002110 ceramic alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 229910000952 Be alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005094 computer simulation Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 150000001247 metal acetylides Chemical class 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 239000011224 oxide ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910052574 oxide ceramic Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 229920002994 synthetic fiber Polymers 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/567—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using the phase shift of a vibration node or antinode
- G01C19/5691—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using the phase shift of a vibration node or antinode of essentially three-dimensional vibrators, e.g. wine glass-type vibrators
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
Description
振動するように最適な設計がなされた受感部と、
励起電極ならびに受感部の振動を検知する検知電極を保持可能な電極保持器と、
電極保持器を支持するための部材とを備えたジャイロセンサに関する。
振動するように設計されている半球形または鐘形の受感部と、
上記受感部を励起し、なおかつ上記受感部の振動を検知するための励起/検知電極を保持可能な電極保持器と、
上記電極保持器を支持するための部材とを備え、上記支持部材は、密度が5kg/dm3未満であり、なおかつヤング係数を当該密度で割った比率の平方根が9GPa1/2・dm3/2・kg−1/2よりも大きい材料からなる土台を備えているジャイロセンサに関する。
−上記材料は、密度が1.5kg/dm3から5kg/dm3までの間であり、ヤング係数を当該密度で割った比率の平方根が9GPa1/2・dm3/2・kg−1/2から12GPa1/2・dm3/2・kg−1/2までの間であること
−上記材料は、ベリリウムを備えていること
−上記材料は、セラミックを備えていること
−上記セラミックは、アルミナであること
−上記セラミックは、同時焼成されていること
−上記土台が、高温同時焼成されたセラミック層と、集積された複数の電機接続部とによって形成されていること
−上記土台が、低温同時焼成されたセラミック層と、集積された複数の電気接続部とによって形成されていること
−上記土台内に集積された複数の電気接続部と、上記複数の電気接続部に電気的に接続された電子回路とをさらに備えていること
−上記支持部材は、上記土台と上記電極保持器との間に配置された導電性支柱であって、一端が上記複数の電気接続部の複数の電気接触部にハンダ付けされ、他端が上記電極保持器の励起/検知電極に接続されている導電性支柱を備えていること
−上記土台にハンダ付けされた上記電子回路を保護するためのパッケージをさらに備えていること
−上記土台には、上記パッケージの内側に存在する複数のピンのアレイと、上記パッケージの外側に存在する複数の追加のピンのアレイとが内部に組み込まれており、上記土台の上記複数の電気接触部の少なくとも一部は、上記複数のピンのアレイと上記複数の追加のピンのアレイとを相互接続可能であること
−慣性コアに固定されるように設計されており、上記電極保持器上に配置されている保護リングと、上記慣性コアの電気的アースに接続されており、上記保護リングと、上記電子回路および上記パッケージのいずれか一方あるいは双方とを接続するための複数の電気接続手段とをさらに備えていること
−慣性コアに固定されるように設計されており、上記慣性コアの電気的アースに接続され、上記土台に固定されたカバーをさらに備えていること
−上記電極保持器と上記土台との間に配置され、軸方向に沿った少なくとも1つの弾性電気結合器をさらに備えていること
−4つの固定部材を介して、慣性コアに固定されるように設計されていること
本発明は、添付した図面を参照してなされる以下の説明でより理解されるであろう。なお、以下でなされる説明は、一例として挙げたものに過ぎない。
自身を固定するための軸6を持つ受感部(以下、共振器4と称す)と、
共振器4の軸6が固定され、共振器4を動作させるために必要な電極を保持する部分(以下、電極保持器8と称す)と、
慣性コア11と呼ばれる支持体にジャイロセンサを固定するための土台10と、
土台10に固定され、当該土台10と一緒に、電極保持器8および共振器4を含む真空密封チャンバ14を構成するカバー12とを備えている。上記の共振器4は、取り分け半球形をしていてもよい。上記の密封チャンバにおいて、真空の質に害を与えやすい残留粒子またはガスを吸着するために、ゲッタがチャンバ14内に配置されている。
aは、土台10の側面の長さであり、
λ1は、側面の長さaと距離bとに依存するパラメータであり、
Eは、土台10の材料のヤング係数であり、
ρは、土台10の材料の密度であり、
νは、土台10の材料のポアソン比である。
3kHz)、±100Hzの範囲内で正確に制御する必要がある。最新技術のジャイロセンサでは、固化した少量のガラスが配置される位置を正確に制御することができないため、各支柱の振動周波数は異なってしまう。結果、最新技術のジャイロセンサの電子部品を処理するだけでは、振動周波数を簡単に変更することはできない。さらに、最新技術のジャイロセンサの土台にいくつもの支柱が貫通している状態で土台を精度よく密閉するのは難しい。また、完璧なガラスシールを得るのは難しい。
振動するように設計されている半球形または鐘形の受感部4と、
上記受感部4を励起し、なおかつ上記受感部4の振動を検知するための励起/検知電極20を保持可能な電極保持器8と、
上記電極保持器を支持するための部材10,16とを備え、
上記支持部材10,16は、絶縁材料からなる土台10を備えており、
上記支持部材10,16の電極接続部34,36は、上記土台10内に集積されていることを特徴とするジャイロセンサ2に関する。
密度が5kg/dm3未満ではなく、
ヤング係数を当該密度で割った比率の平方根が9GPa1/2・dm3/2・kg−1/2よりも大きくない材料から形成されていてもよい。
Claims (1)
- 振動するように設計されている半球形または鐘形の受感部(4)と、
上記受感部(4)を励起し、なおかつ上記受感部(4)の振動を検知するための励起/検知電極(20)を保持可能な電極保持器(8)と、
上記電極保持器を支持するための部材(10,16)とを備え、
上記支持部材(10,16)は、ベリリウムからなる土台(10)を備えることを特徴とするジャイロセンサ(2)。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR0905428A FR2952428B1 (fr) | 2009-11-12 | 2009-11-12 | Capteur inertiel |
FR0905428 | 2009-11-12 | ||
US32455210P | 2010-04-15 | 2010-04-15 | |
US61/324,552 | 2010-04-15 | ||
PCT/EP2010/067217 WO2011058060A1 (en) | 2009-11-12 | 2010-11-10 | Gyroscopic sensor |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015122378A Division JP6254120B2 (ja) | 2009-11-12 | 2015-06-17 | ジャイロセンサ |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013511029A JP2013511029A (ja) | 2013-03-28 |
JP2013511029A5 JP2013511029A5 (ja) | 2015-08-06 |
JP5947722B2 true JP5947722B2 (ja) | 2016-07-06 |
Family
ID=42562604
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012538324A Active JP5947722B2 (ja) | 2009-11-12 | 2010-11-10 | ジャイロセンサ |
JP2015122378A Active JP6254120B2 (ja) | 2009-11-12 | 2015-06-17 | ジャイロセンサ |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015122378A Active JP6254120B2 (ja) | 2009-11-12 | 2015-06-17 | ジャイロセンサ |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9303995B2 (ja) |
EP (2) | EP2499455B1 (ja) |
JP (2) | JP5947722B2 (ja) |
KR (1) | KR101735579B1 (ja) |
CN (1) | CN102695941B (ja) |
FR (1) | FR2952428B1 (ja) |
RU (1) | RU2540249C2 (ja) |
WO (1) | WO2011058060A1 (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2936049B1 (fr) * | 2008-09-16 | 2010-09-17 | Sagem Defense Securite | Resonateur a metallisation partielle pour detecteur de parametre angulaire. |
CN104215235B (zh) * | 2013-06-05 | 2017-08-22 | 北京信息科技大学 | 一种新型钟形振子式角速率陀螺 |
KR101414391B1 (ko) * | 2013-06-11 | 2014-07-02 | 한국항공우주연구원 | 반구형 공진 자이로 |
US9551513B2 (en) * | 2014-06-12 | 2017-01-24 | Raytheon Company | Frequency-matched cryocooler scaling for low-cost, minimal disturbance space cooling |
US10119820B2 (en) * | 2015-02-10 | 2018-11-06 | Northrop Grumman Systems Corporation | Wide rim vibratory resonant sensors |
CN105509724B (zh) * | 2015-11-30 | 2019-09-24 | 上海新跃仪表厂 | 集成化金属振动陀螺仪 |
CN106441258B (zh) * | 2016-09-09 | 2019-07-26 | 东南大学 | 微壳体谐振器及其谐振子制备方法 |
CN105466405B (zh) * | 2016-01-07 | 2018-02-02 | 东南大学 | 一种混合式半球谐振微陀螺仪及其加工工艺 |
CN105628013B (zh) * | 2016-01-07 | 2018-06-19 | 东南大学 | 一种组装式半球谐振微陀螺仪及其加工工艺 |
JP2020071074A (ja) | 2018-10-29 | 2020-05-07 | セイコーエプソン株式会社 | センサーユニット、電子機器および移動体 |
US11428531B1 (en) * | 2021-03-22 | 2022-08-30 | Northrop Grumman Systems Corporation | Diffusion block for an evacuated instrument system |
CN114396925B (zh) * | 2021-12-01 | 2023-08-04 | 上海航天控制技术研究所 | 一种带有弹簧阻尼结构的半球谐振陀螺 |
CN114396926B (zh) * | 2021-12-01 | 2024-04-23 | 上海航天控制技术研究所 | 一种半球谐振陀螺 |
US11874112B1 (en) | 2022-10-04 | 2024-01-16 | Enertia Microsystems Inc. | Vibratory gyroscopes with resonator attachments |
Family Cites Families (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3680391A (en) * | 1969-10-06 | 1972-08-01 | Gen Motors Corp | Bell gyro and method of making same |
US4019391A (en) * | 1975-07-25 | 1977-04-26 | The Singer Company | Vibratory gyroscope |
US4068533A (en) * | 1976-11-30 | 1978-01-17 | The Singer Company | ESG Reflected impedance pickoff |
CA1250458A (en) * | 1983-10-31 | 1989-02-28 | Edward J. Loper, Jr. | Hemispherical resonator gyro |
US4951508A (en) * | 1983-10-31 | 1990-08-28 | General Motors Corporation | Vibratory rotation sensor |
JPH0290551A (ja) * | 1988-09-27 | 1990-03-30 | Matsushita Electric Works Ltd | セラミックパッケージの製法 |
US5218867A (en) * | 1989-07-29 | 1993-06-15 | British Aerospace Public Limited Company | Single axis attitude sensor |
JPH06260566A (ja) * | 1993-03-04 | 1994-09-16 | Sony Corp | ランドグリッドアレイパッケージ及びその作製方法、並びに半導体パッケージ |
US5712427A (en) * | 1995-08-29 | 1998-01-27 | Litton Systems Inc. | Vibratory rotation sensor with scanning-tunneling-transducer readout |
JP2000074770A (ja) * | 1998-09-03 | 2000-03-14 | Murata Mfg Co Ltd | 減圧パッケージ装置及びその真空度の測定方法 |
FR2805039B1 (fr) * | 2000-02-15 | 2002-04-19 | Sagem | Capteur gyroscopique |
EP2947422B1 (en) * | 2001-11-29 | 2018-07-11 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Angular velocity sensor |
FR2851041B1 (fr) * | 2003-02-06 | 2005-03-18 | Sagem | Procede de mise en oeuvre d'un resonateur sous l'effet de forces electrostatiques |
CN2636198Y (zh) * | 2003-07-14 | 2004-08-25 | 财团法人工业技术研究院 | 膜式微型陀螺仪及具有该陀螺仪的测量装置 |
FR2859017B1 (fr) * | 2003-08-19 | 2005-09-30 | Sagem | Capteur de rotation inertiel a element sensible monte directement sur le corps |
JP2005083779A (ja) * | 2003-09-05 | 2005-03-31 | Tdk Corp | 角速度センサ |
JP2005106584A (ja) | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Mitsubishi Electric Corp | 加速度センサユニット |
US20050238803A1 (en) * | 2003-11-12 | 2005-10-27 | Tremel James D | Method for adhering getter material to a surface for use in electronic devices |
FI20031796A (fi) * | 2003-12-09 | 2005-06-10 | Asperation Oy | Menetelmä EMI-suojan rakentamiseksi piirilevylle upotettavan komponentin ympärille |
US7555949B2 (en) * | 2004-04-07 | 2009-07-07 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Angular velocity measuring device |
UA79166C2 (en) * | 2005-05-31 | 2007-05-25 | Yurii Oleksiiovych Yatsenko | Detecting element of a vibratory gyroscope sensitive to coriolis acceleration |
US7607350B2 (en) | 2005-10-06 | 2009-10-27 | Northrop Grumman Guidance And Electronics Company, Inc. | Circuit board mounting for temperature stress reduction |
US7281426B1 (en) * | 2006-06-15 | 2007-10-16 | Innalabs Technologies, Inc. | Stemless hemispherical resonator gyroscope |
JP2008185369A (ja) * | 2007-01-26 | 2008-08-14 | Sony Corp | 角速度センサ、角速度センサの製造方法、電子機器、及び回路基板 |
JP2008185385A (ja) * | 2007-01-29 | 2008-08-14 | Sony Corp | 角速度センサ及び電子機器 |
RU2362121C2 (ru) * | 2007-07-09 | 2009-07-20 | Закрытое акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Медикон" | Малогабаритный твердотелый волновой гироскоп |
US8109145B2 (en) * | 2007-07-31 | 2012-02-07 | Northrop Grumman Guidance And Electronics Company, Inc. | Micro hemispheric resonator gyro |
US7839059B2 (en) * | 2007-08-03 | 2010-11-23 | Northrop Grumman Guidance And Electronics Company, Inc. | Inner-forcer milli-hemispherical resonator gyro |
RU2362975C1 (ru) * | 2008-01-09 | 2009-07-27 | Сергей Михайлович Бражнев | Твердотельный волновой гироскоп |
-
2009
- 2009-11-12 FR FR0905428A patent/FR2952428B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-11-10 EP EP10773929.4A patent/EP2499455B1/en active Active
- 2010-11-10 US US13/509,523 patent/US9303995B2/en active Active
- 2010-11-10 EP EP19180116.6A patent/EP3569978B1/en active Active
- 2010-11-10 KR KR1020127014148A patent/KR101735579B1/ko active IP Right Grant
- 2010-11-10 JP JP2012538324A patent/JP5947722B2/ja active Active
- 2010-11-10 CN CN201080056371.1A patent/CN102695941B/zh active Active
- 2010-11-10 WO PCT/EP2010/067217 patent/WO2011058060A1/en active Application Filing
- 2010-11-10 RU RU2012123939/28A patent/RU2540249C2/ru active
-
2015
- 2015-06-17 JP JP2015122378A patent/JP6254120B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2011058060A1 (en) | 2011-05-19 |
CN102695941B (zh) | 2015-11-25 |
FR2952428B1 (fr) | 2011-12-16 |
EP3569978A1 (en) | 2019-11-20 |
JP2013511029A (ja) | 2013-03-28 |
KR20120094937A (ko) | 2012-08-27 |
EP3569978B1 (en) | 2021-06-16 |
JP2015180893A (ja) | 2015-10-15 |
EP2499455A1 (en) | 2012-09-19 |
CN102695941A (zh) | 2012-09-26 |
US9303995B2 (en) | 2016-04-05 |
RU2540249C2 (ru) | 2015-02-10 |
RU2012123939A (ru) | 2013-12-20 |
EP2499455B1 (en) | 2019-09-25 |
KR101735579B1 (ko) | 2017-05-24 |
US20120227497A1 (en) | 2012-09-13 |
JP6254120B2 (ja) | 2017-12-27 |
FR2952428A1 (fr) | 2011-05-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6254120B2 (ja) | ジャイロセンサ | |
US6634231B2 (en) | Accelerometer strain isolator | |
EP0461761B1 (en) | Inertial sensors | |
EP2414775B1 (en) | Environmentally robust disc resonator gyroscope | |
JP5450451B2 (ja) | 垂直方向に集積した電子回路およびウェハスケール密封包装を含むx−y軸二重質量音叉ジャイロスコープ | |
US20020092352A1 (en) | Whiffletree accelerometer | |
US20060196270A1 (en) | Acceleration sensor | |
EP2006636B1 (en) | Angular velocity detecting device | |
US6257060B1 (en) | Combined enhanced shock load capability and stress isolation structure for an improved performance silicon micro-machined accelerometer | |
US7104128B2 (en) | Multiaxial micromachined differential accelerometer | |
CN113029321B (zh) | 可抑制振动干扰的电容式mems矢量声波传感器及其加工方法 | |
JP2004506883A (ja) | マイクロメカニカル回転速度センサおよびその製造方法 | |
WO2002041006A2 (en) | Silicon capacitive accelerometer | |
CN118500371B (zh) | 芯片级封装熔融石英微半球谐振陀螺结构及其制备方法 | |
WO2014030492A1 (ja) | 慣性力センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20131004 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140730 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140805 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20141031 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20141110 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141205 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20150217 |
|
A524 | Written submission of copy of amendment under article 19 pct |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A524 Effective date: 20150617 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20150817 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20150911 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160603 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5947722 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |