JP5944571B2 - 液体吐出ヘッド、およびこれを備える記録装置 - Google Patents

Description

本発明は、液体吐出ヘッド、およびこれを備える記録装置に関する。

近年、インクジェットプリンタあるいはインクジェットプロッタなどの、インクジェット記録方式を利用した印刷装置が、一般消費者向けのプリンタだけでなく、例えば電子回路の形成、液晶ディスプレイ用のカラーフィルタの製造、有機ＥＬディスプレイの製造といった工業用途にも広く利用されている。

このようなインクジェット方式の印刷装置は、液体吐出ヘッドと、記録媒体を液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、液体吐出ヘッドを制御する制御部とを備え、この液体吐出ヘッドを駆動することにより印刷が行われている。

液体吐出ヘッドは、複数の吐出孔、複数の吐出孔と連通する複数の加圧室、および複数の加圧室に対応して設けられた加圧部を有するヘッド本体と、加圧部に電気的に接続されたフレキシブル配線板と、ヘッド本体上に設けられた第１部材と、第１部材上に設けられた第２部材とを備えている。また、第１部材にはフレキシブル配線板が挿通される穴部を有している（例えば、特許文献１参照）。

特開２００７−３０１８８０号公報

しかしながら、第１部材に設けられた穴部から液体吐出ヘッドの内部配置されたヘッド本体に、例えば霧状のインクが入り込む可能性があり、浸入したインクによって液体吐出ヘッドに不具合が生じる可能性がある。

本発明の液体吐出ヘッドは、複数の吐出孔、複数の該吐出孔と連通する複数の加圧室、および複数の該加圧室に対応して設けられた加圧部を有するヘッド本体と、前記加圧部に電気的に接続されたフレキシブル配線板と、前記ヘッド本体上に設けられており、穴部を有する第１部材と、該第１部材上に設けられた第２部材とを備えている。また、前記第２部材の一部は、平面視して前記穴部を覆うように設けられている。また、前記フレキシブル配線板は、前記穴部を通って前記第１部材と前記第２部材の間から引き出されている。

また、本発明の記録装置は、上記の液体吐出ヘッドと、記録媒体を液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、液体吐出ヘッドを制御する制御部とを備えている。

本発明によれば、ヘッド本体にインクが浸入する可能性を低減することができる。

第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドを有する記録装置であるプリンタの概略構成図である。 図１に示す液体吐出ヘッドの斜視図である。 図１に示す液体吐出ヘッドの分解平面図である。 図２に示すＩ―Ｉ線断面図である。 図１に示す液体吐出ヘッドを示し、（ａ）は側面図、（ｂ）は平面図である。 図１に示す液体吐出ヘッドの断面図である。 図１の液体吐出ヘッドを構成する流路部材および圧電アクチュエータの平面図である。 図７の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図である。 図７の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図であり、説明のため一部の流路を省略した図である。 図８のＩＩ−ＩＩ線縦断面図である。 第２の実施形態に係る液体吐出ヘッドの分解斜視図である。 図１１に示す液体吐出ヘッドを構成する第２部材の平面図である。 第３の実施形態に係る液体吐出ヘッドを示し、（ａ）は第１部材の分解斜視図、（ｂ）は断面図である。 第４の実施形態に係る液体吐出ヘッドを示し、（ａ）は斜視図、（ｂ）は断面図である。

＜第１の実施形態＞
図１は、本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッドを含む記録装置であるカラーインクジェットプリンタの概略構成図である。カラーインクジェットプリンタ１（以下、プリンタ１とする）は、４つの液体吐出ヘッド２を有している。これらの液体吐出ヘッド２は、印刷用紙Ｐの搬送方向に沿って並べられ、プリンタ１に固定されている。液体吐出ヘッド２は、図１の手前から奥へ向かう方向に細長い形状を有している。この長い方向を一方方向と呼ぶことがある。

プリンタ１には、印刷用紙Ｐの搬送経路に沿って、給紙ユニット１１４、搬送ユニット１２０および紙受け部１１６が順に設けられている。また、プリンタ１には、液体吐出ヘッド２あるいは給紙ユニット１１４などのプリンタ１の各部における動作を制御するための制御部１００が設けられている。

給紙ユニット１１４は、用紙収容ケース１１５と給紙ローラ１４５とを有している。用紙収容ケース１１５は、複数枚の印刷用紙Ｐを収容することができる。給紙ローラ１４５は、用紙収容ケース１１５に積層して収容された印刷用紙Ｐのうち、最も上にある印刷用紙Ｐを１枚ずつ送り出すことができる。

給紙ユニット１１４と搬送ユニット１２０との間には、印刷用紙Ｐの搬送経路に沿って、二対の送りローラ１１８ａ，１１８ｂ、ならびに、１１９ａ，１１９ｂが配置されている。給紙ユニット１１４から送り出された印刷用紙Ｐは、これらの送りローラ１１８ａ，１１８ｂによってガイドされて、さらに搬送ユニット１２０へと送り出される。

搬送ユニット１２０は、搬送ベルト１１１と２つのベルトローラ１０６，１０７を有している。搬送ベルト１１１は、ベルトローラ１０６，１０７に巻き掛けられている。搬送ベルト１１１は、２つのベルトローラ１０６，１０７に巻き掛けられたとき所定の張力で張られるような長さに調整されている。これにより、搬送ベルト１１１は、２つのベルトローラ１０６，１０７の共通接線をそれぞれ含む互いに平行な２つの平面に沿って、弛むことなく張られている。これら２つの平面のうち、液体吐出ヘッド２に近い方の平面が、印刷用紙Ｐを搬送する搬送面１２７である。

ベルトローラ１０６には、図１に示されるように、搬送モータ１７４が接続されている。搬送モータ１７４は、ベルトローラ１０６を矢印Ａの方向に回転させている。また、ベルトローラ１０７は、搬送ベルト１１１に連動して回転することができる。したがって、搬送モータ１７４を駆動してベルトローラ１０６を回転させることにより、搬送ベルト１１１は、矢印Ａの方向に沿って移動する。

ベルトローラ１０７の近傍には、ニップローラ１３８とニップ受けローラ１３９とが、搬送ベルト１１１を挟むように配置されている。ニップローラ１３８は、図示しないバネによって下方に付勢されている。ニップローラ１３８の下方のニップ受けローラ１３９は、下方に付勢されたニップローラ１３８を、搬送ベルト１１１を介して受け止めている。２つのニップローラは回転可能に設置されており、搬送ベルト１１１に連動して回転する。

給紙ユニット１１４から搬送ユニット１２０へと送り出された印刷用紙Ｐは、ニップローラ１３８と搬送ベルト１１１との間に挟み込まれる。これにより、印刷用紙Ｐは、搬送ベルト１１１の搬送面１２７に押し付けられ、搬送面１２７上に固着する。そして、印刷用紙Ｐは、搬送ベルト１１１の回転に従って、液体吐出ヘッド２が設置されている方向へと搬送される。なお、搬送ベルト１１１の外周面１１３に粘着性のシリコンゴムによる処理を施してもよい。これにより、印刷用紙Ｐを搬送面１２７に確実に固着させることができる。

４つの液体吐出ヘッド２は、搬送方向に沿って互いに近接して配置されている。各液体吐出ヘッド２は、下端にヘッド本体１３を有している。ヘッド本体１３の下面には、液体を吐出する多数の吐出孔８（図１０参照）が設けられている吐出孔面４ａ（図１０参照）となっている。

１つの液体吐出ヘッド２に設けられた吐出孔８からは、同じ色の液体（インク）が吐出されるようになっている。各液体吐出ヘッド２の吐出孔８は一方方向に等間隔で配置されているため、一方方向に隙間なく印刷することができる。各液体吐出ヘッド２から吐出される液体の色は、それぞれ、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）およびブラック（Ｋ）である。各液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体１３の下面の吐出孔面４ａと搬送ベルト１１１の搬送面１２７との間にわずかな隙間をおいて配置されている。

搬送ベルト１１１によって搬送された印刷用紙Ｐは、液体吐出ヘッド２と搬送ベルト１１１との間の隙間を通過する。その際に、液体吐出ヘッド２を構成するヘッド本体１３から印刷用紙Ｐの上面に向けて液滴が吐出される。これにより、印刷用紙Ｐの上面には、制御部１００によって記憶された画像データに基づくカラー画像が形成される。

搬送ユニット１２０と紙受け部１１６との間には、剥離プレート１４０と二対の送りローラ１２１ａ，１２１ｂ，１２２ａ，１２２ｂとが配置されている。カラー画像が印刷された印刷用紙Ｐは、搬送ベルト１１１によって剥離プレート１４０へと搬送される。このとき、印刷用紙Ｐは、剥離プレート１４０の右端によって、搬送面１２７から剥離される。そして、印刷用紙Ｐは、送りローラ１２１ａ，１２１ｂ，１２２ａ，１２２ｂによって、紙受け部１１６に送り出される。このように、印刷済みの印刷用紙Ｐが順次紙受け部１１６に送られ、紙受け部１１６に重ねられる。

なお、印刷用紙Ｐの搬送方向について最も上流側にある液体吐出ヘッド２とニップローラ１３８との間には、紙面センサ１３３が設置されている。紙面センサ１３３は、発光素子および受光素子によって構成され、搬送経路上の印刷用紙Ｐの先端位置を検出することができる。紙面センサ１３３による検出結果は制御部１００に送られる。制御部１００は、紙面センサ１３３から送られた検出結果により、印刷用紙Ｐの搬送と画像の印刷とが同期するように、液体吐出ヘッド２や搬送モータ１７４等を制御することができる。

次に、液体吐出ヘッド２について説明する。図２は液体吐出ヘッド２の斜視図である。液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体１３と、ヘッド本体１３上に設けられたリザーバ流路部材４０と、筐体９０とを含んでいる。筐体９０は金属製であり、一部に駆動信号が伝達される信号ケーブル（不図示）が通る孔９０ｃが設けられている。

図２に示すように、筐体９０の上面の一部に孔９０ｃが設けられており、孔９０ｃは制御部１００（図１参照）と繋がる駆動信号が伝達される信号ケーブルが通っており、樹脂製の蓋体などで塞がれている。リザーバ流路部材４０の端部には液体導入孔４１ｂが設けられており、液体導入孔４１ｂを介してリザーバ流路部材４０に液体が供給される。なお、リザーバ流路部材４０が、本発明の第１部材に係る一実施形態であり、以下、第１部材についてはリザーバ流路部材４０を用いて説明する。

図３〜６に示すように、液体吐出ヘッド２は、一方方向に長いヘッド本体１３と、フレキシブル配線板９２と、分岐流路部材６０と、リザーバ流路部材４０と、位置決め部材７と、基板９４とを備えている。分岐流路部材６０は、ヘッド本体１３上に配置されている。リザーバ流路部材４０は、分岐流路部材６０上に配置されており、ヘッド本体１３と分岐流路部材６０とを覆うように設けられている。すなわち、リザーバ流路部材４０は、ヘッド本体１３上に設けられている。位置決め部材７は、リザーバ流路部材４０上に配置されている。基板９４は、位置決め部材７の開口７ａ内に位置するように、リザーバ流路部材４０上に配置されている。リザーバ流路部材４０は４つの穴部４２を有しており、ヘッド本体１３に接続された各フレキシブル配線板９２が穴部４２にそれぞれ挿通されている。なお、位置決め部材７が、本発明の第２部材に係る一実施形態であり、以下、第２部材については位置決め部材７を用いて説明する。

ヘッド本体１３は、流路部材４と圧電アクチュエータ基板２１とを備えている。圧電アクチュエータ基板２１にはフレキシブル配線板９２が接続されている。

分岐流路部材６０は、ヘッド本体１３上に配置されており、ヘッド本体１３に液体を供給する機能を有している。分岐流路部材６０には、分岐流路６１（図６参照）が設けられており、その一端の分岐流路６１の液体導入孔６１ｂは、リザーバ流路部材４０の中のリザーバ流路４１（図６参照）の液体導出孔４１ａと繋がっており、途中で分岐して、流路部材４の中のマニホールドの開口５ｂ（図７参照）に複数の場所で繋がっている。

リザーバ流路部材４０は、ヘッド本体１３および分岐流路部材６０を保護する機能を有している。また、リザーバ流路部材４０は、内部にリザーバ流路４１を有しており、外部から供給された液体を分岐流路部材６０に供給する機能を有している。

位置決め部材７は、図５に示すように、一方方向に長くなっており、一方方向の両端に形成された位置決め部７ｃ，７ｄと、位置決め部７ｃ，７ｄ同士を接続する連結部７ｂと、位置決め部７ｃ，７ｄおよび連結部７ｂにより形成された開口７ａとを備えている。連結部７ｂは、リザーバ流路部材４０の穴部４２上に配置されている。そのため、リザーバ流路部材４０の穴部４２は、平面視して、位置決め部材７により覆われている。

位置決め部材７は、プリンタ１に取り付けられる際に位置決めに用いられる。そして、位置決め部７ｃ，７ｄが、液体吐出ヘッド２の一方方向の両端に配置されている。位置決め部７ｃ，７ｄは連結部７ｂにより一体化された構造になっている。そのため、位置決め部７ｃ，７ｄが一体化されているため、一方の位置決め部７ｃを位置決めすると、他方の位置決め部７ｄの位置が所定の位置に配置されるため、組立やすい構成となっている。

また、位置決め部７ｃ，７ｄが、一方方向の両端に配置されていることにより、位置決め部７ｃ，７ｄ同士の距離が長くなっている。そのため、位置決め部７ｃを固定した際に位置決め部材７に変形が生じたとしても、位置決め部７ｄに与える影響が小さくなり、位置決め部材７の取り付けの位置精度を向上させることができる。

フレキシブル配線板９２は、分岐流路部材６０の外側を通り、リザーバ流路部材４０の内部に導入され、リザーバ流路部材４０の穴部４２を通って上方へ向けて引き出されている。穴部４２から引き出されたフレキシブル配線板９２は、位置決め部材７およびリザーバ流路部材４０に当接しており、上部に設けられた位置決め部材７により押圧され、位置決め部材７の開口７ａから上方へ向けて引き出されている。フレキシブル配線板９２は、表面にドライバＩＣ５５が実装されており、位置決め部材７の上方に設けられた基板９４のコネクタ９５に電気的に接続されている。

液体吐出ヘッド２は、位置決め部材７の一部がリザーバ流路部材４０に設けられた穴部４２上に設けられており、フレキシブル配線板９２が穴部４２を挿通して位置決め部材７の上方に引き出されている。そのため、位置決め部材７が穴部４２を覆い隠すように配置されることとなる。その結果、液体吐出ヘッド２を駆動させて印画を行った際に、霧状のインクが、穴部４２の上方に流入した場合においても、位置決め部材７により穴部４２へ霧状のインクが侵入することを低減することができる。これにより、霧状のインクがヘッド本体１３に浸入する可能性を低減することができる。

また、フレキシブル配線板９２が、位置決め部材７に当接した状態で穴部４２の上方へ引き出されている。そのため、霧状のインクがフレキシブル配線板９２に付着し、フレキシブル配線板９２に付着したインクが、フレキシブル配線板９２を伝わって下方に流れた場合においても、当接された位置決め部材７によりインクの侵入を防ぐことができる。

さらに、フレキシブル配線基板９２が、位置決め部材７およびリザーバ流路部材４０に当接しており、位置決め部材７およびリザーバ流路部材４０により挟持されていることから、フレキシブル配線板９２に付着したインクが、フレキシブル配線板９２を伝わって下方に流れた場合においても、当接された位置決め部材７およびリザーバ流路部材４０によりインクの侵入を防ぐことができる。

また、液体吐出ヘッド２は、フレキシブル配線板９２を穴部４２に挿通した後に、位置決め部材７がフレキシブル配線板９２を押圧することにより、フレキシブル配線板９２が穴部４２を封止するように機能することとなり、封止性を向上させることができる。

また、フレキシブル配線板９２が、位置決め部材７の開口７ａの内側から上方へ向けて引き出されており、位置決め部材７により押圧されていることから、フレキシブル配線板９２が、開口７aの内側へ向けて折り曲げられる構成となり、フレキシブル配線板９２に実装されたドライバＩＣ５５が、他の部材に接触して剥離する可能性を低減することができる。

また、フレキシブル配線板９２が、位置決め部材７の開口７ａの内側から上方へ向けて挿通されている。そのため、フレキシブル配線板９２が位置決め部材７の連結部７ｂの内部を通過することとなり、フレキシブル配線板９２が、他の部材と接触する可能性を低減することができる。それにより、フレキシブル配線板９２が破損する可能性を低減することができる。特に、筐体９０を設けない液体吐出ヘッド２においては、本発明は有効に作用する。

なお、図４においては、フレキシブル配線板９２が、位置決め部材７の開口７ａの内側から上方へ向けて穴部４２を通した例を示したが、これに限定されるものではない。例えば、位置決め部材７の開口７ａの外側から上方へ向けて穴部４２を通していてもよい。また、位置決め部材７が開口７ａを有さない平板状のものを用いてもよい。これらの場合においても、穴部４２の上方に位置決め部材７の一部が存在することにより、位置決め部材７が穴部４２とフレキシブル配線板９２とを覆うため、液体吐出ヘッド２にインクが浸入する可能性を低減することができる。

図４に示すように、リザーバ流路部材４０には側面保護板４３が設けられており、側面保護板４３が、流路部材４の長辺の側面と接している。これにより、圧電アクチュエータ基板２１に収納されている凹部６３は閉じられた空間となり、外部と通じているのは、上方の穴部４２の開口だけになる。なお、図６においては、側面保護板４３は省略して示している。

側面保護板４３と流路部材４の長辺の側面とは接着していても良い。また、側面保護板４３を樹脂として、その弾性変形で抑えるようにしていても良い。また、間にインクなどの液体の侵入を防ぐように流動するが粘度の高い薬剤などを配置しても良い。分岐流路部材６０と、リザーバ流路部材４０との接続を一方方向の中央部のみで行なった場合、その弾性変形で抑えるようにしたり、粘度の高い薬剤などを入れたりすることにより、液体の侵入を抑制することと、熱膨張係数差に起因する応力の緩和を両立させることができる。なお、側面保護板４３は必ずしも設けなくともよい。

また、リザーバ流路部材４０には、ヘッド本体１３の位置を決めるための位置決め部材７と、断熱性弾性部材９７が付けられたフレーム９６と、コネクタ９５が実装された基板９４とが固定されている。なお、フレーム９６は図４の断面図では、接続していないが、この断面以外の部分で固定されている。

制御部１００（図１参照）から信号ケーブル（不図示）を介して基板９４に送られた駆動信号は、コネクタ９５を介してフレキシブル配線板９２に送られる。フレキシブル配線板９２に実装されたドライバＩＣ５５は、駆動信号を処理し、処理後の駆動信号はフレキシブル配線板９２を通じて、圧電アクチュエータ基板２１の液体吐出素子である変異素子５０を駆動し、流路部材４内部の液体を加圧することにより、液滴が吐出される。なお、基板９４は、例えば、吐出信号を複数のドライバＩＣ５５に分岐し、あるいは吐出信号の整流など行なってもよいが、基板９４を設けず、制御部１００からの信号ケーブルを直接フレキシブル配線板９２に接続するようにしてもよい。

フレキシブル配線板９２は可撓性を有する帯状のもので、内部に金属の配線を有し、配線の一部は、フレキシブル配線板９２の表面に露出しており、露出した配線により、コネクタ９５、ドライバＩＣ５５および圧電アクチュエータ基板２１と電気的に接続される。フレキシブル配線板９２は、例えば、フレキシブルフラットケーブル、あるいはフレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ）を例示することができる。

ドライバＩＣ５５は、上述の駆動信号処理を行なう際に発熱する。ドライバＩＣ５５が断熱性弾性部材９７によりフレキシブル配線板９２を介して押されて、金属製の筐体９０に押し当てられているため、発生した熱は主に筐体９０に伝わり、さらに筐体９０全体に速く広がり、外部に放熱される。なお、筐体９０は必ずしも設ける必要はない。

図５を用いて、位置決め部材７とリザーバ流路部材４０との接合について説明する。位置決め部材７とリザーバ流路部材４０とは、位置決め部材７側から螺子７０により螺子止め固定されている。それにより、位置決め部材７とリザーバ流路部材４０とを接合することができる。なお、螺子７０が、本発明の接合部材に係る一実施形態であり、以下、接合部材については螺子７０を用いて説明する。

螺子７０により一体化された液体吐出ヘッド２は、位置決め部材７により位置決めされ、プリンタ（不図示）に搭載される。位置決めは、プリンタに立設して設けられた２つの位置決めピン７２ａ，７２ｂに、位置決め部７ｃ，７ｄを当接させることにより行われる。

まず、一方の位置決めピン７２ａに、位置決め部材７の一方の位置決め部７ｃを図５（ｂ）に示すように当接させる。次に、当接させた位置決めピン７２ａを中心に液体吐出ヘッド２を回転させ、他方の位置決め部７ｄを他方の位置決めピン７２ｂに当接させる。このようにして、位置決めを行うことで液体吐出ヘッド２が搬送方向に対して傾くことなくプリンタに搭載することができる。

なお、接合部材として螺子７０を用いた例を示したがこれに限定されるものではない。接合部材として接着剤あるいは両面テープを用いてもよい。また、位置決め部材７とリザーバ流路部材４０とを螺子７０にして螺子止め固定、あるいは、位置決め部材７とリザーバ流路部材４０とを直接固定してもよい。位置決め部材７とリザーバ流路部材４０とを螺子止め固定あるいは直接固定することで、位置決め部材７と、リザーバ流路部材４０に接続された流路部材４の吐出孔８との位置精度を高くすることができる。

図６を用いてヘッド本体１３のリザーバ流路部材４０および分岐流路部材６０について説明する。図６は、流路部材４、分岐流路部材６０およびリザーバ流路部材４０の断面図である。

ヘッド本体１３は、流路部材４の上に分岐流路部材本体６０ａが積層されており、その上にさらに、リザーバ流路部材本体４０ａが積層されている。分岐流路部材本体６０ａの凹部６３には加圧部を含む圧電アクチュエータ基板２１が収められている。分岐流路部材本体６０ａには分岐流路６１が設けられており、リザーバ流路部材本体４０ａにはリザーバ流路４１が設けられている。

リザーバ流路部材４０は、リザーバ流路４１となる溝が形成されたリザーバ流路部材本体４０ａと、リザーバ流路部材本体４０ａを覆い隠すプレート４０ｂとにより形成されている。分岐流路部材６０は、分岐流路６１となる溝が形成された分岐流路部材本体６０ａと、分岐流路部材本体６０ａを覆い隠すプレート６０ｂとにより形成されている。

リザーバ流路部材４０は、リザーバ流路部材本体４０ａの一方側にて、リザーバ流路４１と対向してプレート４０ｂが配置され、リザーバ流路４１を形成しており、リザーバ流路部材本体４０ａの他方側にて、プレート６０ｂが配置されている。プレート６０ｂの反対側には分岐流路部材本体６０ａが設けられており、分岐流路部材本体６０ａに設けられた溝とプレート６０ｂにより分岐流路６１が形成されている。分岐流路部材本体６０ａの反対側には、圧電アクチュエータ基板２１が配置された流路部材４が設けられている。

リザーバ流路４１の液体導入孔４１ｂは外部液体タンク（図示せず）に繋がる部分で、リザーバ流路４１の液体導入孔４１ｂから入った液体は、リザーバ流路４１の液体導出孔４１ａを通り、分岐流路６１の液体導入孔６１ｂからリザーバ流路６１に入り、途中で分岐する複数の流路にそれぞれ流れ、分岐流路６１の液体導出孔６１ａを通り、複数のマニホールドの開口５ｂから共通流路であるマニホールド５に流れ込む。

リザーバ流路４１の液体導入孔４１ｂは２箇所あるが、一方は基本的には最初に液体を入れる際の空気あるいは液体を抜くために使用されだけで、印刷時には、液体はどちらか一方から供給され他方は閉じられる。そのようにするとリザーバ流路４１内の液体は、液体が導入されるほうのリザーバ流路４１の液体導入孔４１ｂから中央のリザーバ流路４１の液体導出孔４１ａまでの流れが主になり、閉じられている方の側ではあまり液体は流動しない。外部から入ってくる液体の温度が、ヘッド本体１３の温度と異なる場合、ヘッド本体１３の温度が変動するが、前述の液体の動きのアンバランスさにより、液体が入ってくる側の温度の変動が大きくなる。

リザーバ流路４１の内壁の一部は弾性変形可能な材質のダンパ４７になっている。ダンパ４７のリザーバ流路４１と反対の面が面する方向に変形できるようになっているため、ダンパ４７は弾性変形することでリザーバ流路４１の体積を変化させることができ、液体吐出量が急激に多くなった場合などに、安定して液体が供給できるようになる。なお、ヒータ６５を収めるようにするために、ダンパ４７をリザーバ流路部材本体４０ａに設けた空間に面するようにすればスペース効率がよくなり、液体吐出ヘッド２を小型化できる。さらに、液体の導入をダンパ４７のある側から行なうことで、熱伝導がさらに抑制できる。

また、リザーバ流路４１の中にフィルタ４５を設けて、液体の中に含まれる異物が分岐流路部材４に入っていき難いようにするのが好ましく、異物が詰まることによって起こる不吐出を抑制できる。

リザーバ流路部材本体４０ａ、および分岐流路部材本体６０ａは、金属または合金の部材を用いて形成することができる。また、樹脂によりこれらの部材を作製することもできる。樹脂により形成することで、リザーバ流路４１および分岐流路６１が複雑な形状であった場合においても、安価に作成することができる。プレート４０ｂ，６０ａも金属または合金の部材、あるいは樹脂により形成することができる。

次に液体吐出ヘッド２を構成する流路部材４について説明する。図７は、ヘッド本体１３のうち流路部材４および圧電アクチュエータ基板２１を示す平面図である。図８は、図７の一点鎖線で囲まれた領域の拡大平面図であり、ヘッド本体１３の一部である。図９は、図８と同じ位置の拡大透視図で、吐出孔８の位置が分かりやすいように、一部の流路を省略して描いている。なお、図８，９において、図面を分かりやすくするために、圧電アクチュエータ基板２１の下方にあって破線で描くべき加圧室１０（加圧室群９）、しぼり１２および吐出孔８を実線で描いている。図１０は図８のＩＩ−ＩＩ線に沿った縦断面図である。

ヘッド本体１３は、平板状の流路部材４と、流路部材４上に設けられた、加圧部を含む圧電アクチュエータ基板２１とを有している。圧電アクチュエータ基板２１は台形形状をなしており、台形の１対の平行対向辺が流路部材４の一方方向に平行になるように流路部材４の上面に配置されている。

また、流路部材４の一方方向に平行な２本の仮想直線のそれぞれに沿って２つずつ、つまり合計４つの圧電アクチュエータ基板２１が、全体として千鳥状に流路部材４上に配列されている。流路部材４上で隣接し合う圧電アクチュエータ基板２１の斜辺同士は、流路部材４の短手方向について部分的にオーバーラップしている。

流路部材４の内部にはマニホールド５が形成されている。マニホールド５は流路部材４の一方方向に沿って延び細長い形状を有しており、流路部材４の上面にはマニホールド５の開口５ｂが形成されている。開口５ｂは、流路部材４の一方方向に平行な２本の直線（仮想線）のそれぞれに沿って５個ずつ、合計１０個形成されている。開口５ｂは、４つの圧電アクチュエータ基板２１が配置された領域を避ける位置に形成されている。マニホールド５には開口５ｂを通じて図示されていない液体タンクから液体が供給されている。

流路部材４内に形成されたマニホールド５は、複数本に分岐している。なお。分岐した部分のマニホールド５を副マニホールド５ａということがあり、開口５ｂから副マニホールド５ａまでのマニホールド５を液体供給路５ｃと称する場合がある。開口５ｂに繋がる液体供給路５ｃは、圧電アクチュエータ基板２１の斜辺に沿うように延在しており、流路部材４の一方方向と交差して配置されている。２つの圧電アクチュエータ基板２１に挟まれた領域では、１つのマニホールド５が、隣接する圧電アクチュエータ基板２１に共有されており、副マニホールド５ａがマニホールド５の両側から分岐している。これらの副マニホールド５ａは、流路部材４の内部の各圧電アクチュエータ基板２１に対向する領域に互いに隣接してヘッド本体１３の一方方向に延在している。すなわち、副マニホールド５ａの両端は、液体供給路５ｃに繋がっている。

流路部材４は、複数の加圧室１０がマトリクス状（すなわち、２次元的かつ規則的）に形成されている４つの加圧室群９を有している。加圧室１０は、角部にアールが施されたほぼ菱形の平面形状を有する中空の領域である。加圧室１０は流路部材４の上面に開口するように形成されている。これらの加圧室１０は、流路部材４の上面における圧電アクチュエータ基板２１に対向する領域のほぼ全面にわたって配列されている。したがって、これらの加圧室１０によって形成された各加圧室群９は圧電アクチュエータ基板２１とほぼ同一の大きさおよび形状の領域を占有している。また、各加圧室１０の開口は、流路部材４の上面に圧電アクチュエータ基板２１が接着されることで閉塞されている。

本実施形態では、図９に示されているように、マニホールド５は、流路部材４の短手方向に互いに平行に並んだ４列のＥ１〜Ｅ４の副マニホールド５ａに分岐し、各副マニホールド５ａに繋がった加圧室１０は、等間隔に流路部材４の一方方向に並ぶ加圧室１０の列を構成し、その列は、短手方向に互いに平行に４列配列されている。副マニホールド５ａに繋がった加圧室１０の並ぶ列は副マニホールド５ａの両側に２列ずつ配列されている。

全体では、マニホールド５から繋がる加圧室１０は、等間隔に流路部材４の一方方向に並ぶ加圧室１０の列を構成し、その列は、短手方向に互いに平行に１６列配列されている。各加圧室列に含まれる加圧室１０の数は、加圧部である変位素子５０の外形形状に対応して、その長辺側から短辺側に向かって次第に少なくなるように配置されている。吐出孔８もこれと同様に配置されている。これによって、全体として一方方向に６００ｄｐｉの解像度で画像形成が可能となっている。

つまり、流路部材４の一方方向に平行な仮想直線に対して直交するように吐出孔８を投影すると、図９に示した仮想直線のＲの範囲に、各副マニホールド５ａ繋がっている４つの吐出孔８、つまり全部で１６個の吐出孔８が６００ｄｐｉの等間隔になっている。また、各副マニホールド５ａには平均すれば１５０ｄｐｉに相当する間隔で個別流路３２が接続されている。これは、６００ｄｐｉ分の吐出孔８を４つ列の副マニホールド５ａに分けて繋ぐ設計をする際に、各副マニホールド５ａに繋がる個別流路３２が等しい間隔で繋がるとは限らないため、マニホールド５ａの延在方向、すなわち主走査方向に平均１７０μｍ（１５０ｄｐｉならば２５．４ｍｍ／１５０＝１６９μｍ間隔である）以下の間隔で個別流路３２が形成されている。

圧電アクチュエータ基板２１の上面における各加圧室１０に対向する位置には後述する個別電極３５がそれぞれ形成されている。個別電極３５は加圧室１０より一回り小さく、加圧室１０とほぼ相似な形状を有しており、圧電アクチュエータ基板２１の上面における加圧室１０と対向する領域内に収まるように配置されている。

流路部材４の下面の液体吐出面４ａには多数の吐出孔８が形成されている。これらの吐出孔８は、流路部材４の下面側に配置された副マニホールド５ａと対向する領域を避けた位置に配置されている。

また、これらの吐出孔８は、流路部材４の下面側における圧電アクチュエータ基板２１と対向する領域内に配置されている。これらの吐出孔８は、１つの群として圧電アクチュエータ基板２１とほぼ同一の大きさおよび形状の領域を占有しており、対応する圧電アクチュエータ基板２１の変位素子５０を変位させることにより吐出孔８から液滴が吐出できる。吐出孔８は、流路部材４の一方方向に平行な複数の直線に沿って等間隔に配列されている。

ヘッド本体１３に含まれる流路部材４は、複数のプレートが積層された積層構造を有している。これらのプレートは、流路部材４の上面から順に、キャビティプレート２２、ベースプレート２３、アパーチャ（しぼり）プレート２４、サプライプレート２５、２６、マニホールドプレート２７，２８，２９、カバープレート３０およびノズルプレート３１である。これらのプレートには多数の孔が形成されている。各プレートは、これらの孔が互いに連通して個別流路３２および副マニホールド５ａを構成するように、位置合わせして積層されている。

ヘッド本体１３は、図１０に示されているように、加圧室１０は流路部材４の上面に、副マニホールド５ａは内部の下面側に、吐出孔８は下面にと、個別流路３２を構成する各部分が異なる位置に互いに近接して配設され、加圧室１０を介して副マニホールド５ａと吐出孔８とが繋がる構成を有している。

各プレートに形成された孔について説明する。これらの孔には、次のようなものがある。第１に、キャビティプレート２２に形成された加圧室１０である。第２に、加圧室１０の一端から副マニホールド５ａへと繋がる流路を構成する連通孔である。この連通孔は、ベースプレート２３（詳細には加圧室１０の入り口）からサプライプレート２５（詳細には副マニホールド５ａの出口）までの各プレートに形成されている。なお、この連通孔には、アパーチャプレート２４に形成されたしぼり１２と、サプライプレート２５、２６に形成された個別供給流路６とが含まれている。

第３に、加圧室１０の他端から吐出孔８へと連通する流路を構成する連通孔であり、この連通孔は、以下の記載においてディセンダ（部分流路）と呼称される。ディセンダは、ベースプレート２３（詳細には加圧室１０の出口）からノズルプレート３１（詳細には吐出孔８）までの各プレートに形成されている。

第４に、副マニホールド５ａを構成する連通孔である。この連通孔は、マニホールドプレート２７〜２９に形成されている。

このような連通孔が相互に繋がり、副マニホールド５ａからの液体の流入口（副マニホールド５ａの出口）から吐出孔８に至る個別流路３２を構成している。副マニホールド５ａに供給された液体は、以下の経路で吐出孔８から吐出される。まず、副マニホールド５ａから上方向に向かって、個別供給流路６を通り、しぼり１２の一端部に至る。次に、しぼり１２の延在方向に沿って水平に進み、しぼり１２の他端部に至る。そこから上方に向かって、加圧室１０の一端部に至る。さらに、加圧室１０の延在方向に沿って水平に進み、加圧室１０の他端部に至る。そこから少しずつ水平方向に移動しながら、主に下方に向かい、下面に開口した吐出孔８へと進む。

圧電アクチュエータ基板２１は、図１０に示されるように、２枚の圧電セラミック層２１ａ，２１ｂからなる積層構造を有している。これらの圧電セラミック層２１ａ，２１ｂはそれぞれ２０μｍ程度の厚さを有している。圧電アクチュエータ基板２１全体の厚さは４０μｍ程度である。圧電セラミック層２１ａ，２１ｂのいずれの層も複数の加圧室１０を跨ぐように延在している（図８参照）。これらの圧電セラミック層２１ａ，２１ｂは、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなる。

圧電アクチュエータ基板２１は、Ａｇ−Ｐｄ系などの金属材料からなる共通電極３４およびとＡｕ系などの金属材料からなる個別電極３５を有している。個別電極３５は上述のように圧電アクチュエータ基板２１の上面における加圧室１０と対向する位置に配置されている。個別電極３５の一端は、加圧室１０と対向する領域外に引き出されて接続電極３６が形成されている。この接続電極３６は例えばガラスフリットを含む銀−パラジウムからなり、厚さが１５μｍ程度で凸状に形成されている。また、接続電極３６は、フレキシブル配線板９２に設けられた電極と電気的に接合されている。詳細は後述するが、個別電極３５には、制御部１００からフレキシブル配線板９２を通じて駆動信号が供給される。駆動信号は、印刷媒体Ｐの搬送速度と同期して一定の周期で供給される。

共通電極３４は、圧電セラミック層２１ａと圧電セラミック層２１ｂとの間の領域に面方向のほぼ全面にわたって形成されている。すなわち、共通電極３４は、圧電アクチュエータ基板２１に対向する領域内の全ての加圧室１０を覆うように延在している。共通電極３４の厚さは２μｍ程度である。共通電極３４は図示しない領域において接地され、グランド電位に保持されている。本実施形態では、圧電セラミック層２１ｂ上において、個別電極３５からなる電極群を避ける位置に個別電極３５とは異なる表面電極（不図示）が形成されている。表面電極は、圧電セラミック層２１ｂの内部に形成されたスルーホールを介して共通電極３４と電気的に接続されているとともに、多数の個別電極３５と同様に、フレキシブル配線板９２上の別の電極と接続されている。

図１０に示されるように、共通電極３４と個別電極３５とは、最上層の圧電セラミック層２１ｂのみを挟むように配置されている。圧電セラミック層２１ｂにおける個別電極３５と共通電極３４とに挟まれた領域は活性部と呼称され、活性部に対応する圧電セラミックスには分極が施されている。本実施形態の圧電アクチュエータ基板２１においては、最上層の圧電セラミック層２１ｂのみが活性部を含んでおり、圧電セラミック２１ａは活性部を含んでおらず、振動板として働く。圧電アクチュエータ基板２１はいわゆるユニモルフタイプの構成を有している。

なお、後述のように、個別電極３５に選択的に所定の駆動信号が供給されることにより、個別電極３５に対応する加圧室１０内の液体に圧力が加えられる。これによって、個別流路３２を通じて、対応する液体吐出口８から液滴が吐出される。すなわち、圧電アクチュエータ基板２１における各加圧室１０に対向する部分は、各加圧室１０および液体吐出口８に対応する個別の変位素子５０（アクチュエータ）に相当する。つまり、２枚の圧電セラミック層からなる積層体中には、図１０に示されているような構造を単位構造とする圧電アクチュエータである変位素子５０が加圧室１０毎に、加圧室１０の直上に位置する振動板２１ａ、共通電極３４、圧電セラミック層２１ｂ、個別電極３５により作り込まれており、圧電アクチュエータ基板２１には加圧部である変位素子５０が複数含まれている。なお、本実施形態において１回の吐出動作によって液体吐出口８から吐出される液体の量は５〜７ｐｌ（ピコリットル）程度である。

多数の個別電極３５は、個別に電位を制御することができるように、それぞれがフレキシブル配線板９２および配線を介して、個別に制御部１００に電気的に接続されている。

本実施形態における圧電アクチュエータ基板２１においては、個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にして圧電セラミック層２１ｂに対してその分極方向に電界を印加したとき、この電界が印加された部分が、圧電効果により歪む活性部として働く。この時圧電セラミック層２１ｂは、その厚み方向すなわち積層方向に伸長または収縮し、圧電横効果により積層方向と垂直な方向すなわち面方向には収縮または伸長しようとする。一方、残りの圧電セラミック層２１ａは、個別電極３５と共通電極３４とに挟まれた領域を持たない非活性層であるので、自発的に変形しない。つまり、圧電アクチュエータ基板２１は、上側（つまり、加圧室１０とは離れた側）の圧電セラミック層２１ｂを、活性部を含む層とし、かつ下側（つまり、加圧室１０に近い側）の圧電セラミック層２１ａを非活性層とした、いわゆるユニモルフタイプの構成となっている。

この構成において、電界と分極とが同方向となるように、制御部１００により個別電極３５を共通電極３４に対して正または負の所定電位とすると、圧電セラミック層２１ｂの電極に挟まれた部分（活性部）が、面方向に収縮する。一方、非活性層の圧電セラミック層２１ａは電界の影響を受けないため、自発的には縮むことがなく活性部の変形を規制しようとする。この結果、圧電セラミック層２１ｂと圧電セラミック層２１ａとの間で分極方向への歪みに差が生じて、圧電セラミック層２１ｂは加圧室１０側へ凸となるように変形（ユニモルフ変形）する。

本実施の形態における実際の駆動手順は、予め個別電極３５を共通電極３４より高い電位とする第１の電圧Ｖ１（Ｖ）（ボルト、以下で省略することがある）にしておき、吐出要求がある毎に個別電極３５を共通電極３４とを一旦、第１の電圧Ｖ１よりも低い第２の電圧を加えて低電位、例えば同じ電位にし、その後所定のタイミングで再び高電位とする。これにより、個別電極３５が低電位になるタイミングで、圧電セラミック層２１ａ，ｂが元の形状に戻り、加圧室１０の容積が初期状態（両電極の電位が異なる状態）と比較して増加する。このとき、加圧室１０内に負圧が与えられ、液体がマニホールド５側から加圧室１０内に吸い込まれる。

その後再び個別電極３５を高電位にしたタイミングで、圧電セラミック層２１ａ，ｂが加圧室１０側へ凸となるように変形し、加圧室１０の容積減少により加圧室１０内の圧力が正圧となり液体への圧力が上昇し、液滴が吐出される。つまり、液滴を吐出させるため、高電位を基準とするパルスを含む駆動信号を個別電極３５に供給することになる。このパルス幅は、加圧室１０内において圧力波がマニホールド５から吐出孔８まで伝播する時間長さであるＡＬ（Acoustic Length）が理想的である。これによると、加圧室１０内部が負圧状態から正圧状態に反転するときに両者の圧力が合成され、より強い圧力で液滴を吐出させることができる。

また、階調印刷においては、吐出孔８から連続して吐出される液滴の数、つまり液滴吐出回数で調整される液滴量（体積）で階調表現が行われる。このため、指定された階調表現に対応する回数の液滴吐出を、指定されたドット領域に対応する吐出孔８から連続して行なう。一般に、液体吐出を連続して行なう場合は、液滴を吐出させるために供給するパルスとパルスとの間隔をＡＬとすることが好ましい。これにより、先に吐出された液滴を吐出させるときに発生した圧力の残余圧力波と、後に吐出させる液滴を吐出させるときに発生する圧力の圧力波との周期が一致し、これらが重畳して液滴を吐出するための圧力を増幅させることができる。なお、この場合後から吐出される液滴の速度が速くなると考えられるが、その方が複数の液滴の着弾点が近くなり好ましい。

＜第２の実施形態＞
図１１，１２を用いて、第２の実施形態に係る液体吐出ヘッド２０２について説明する。なお、同一の部材については同一の符号を付し、以下同じとする。

液体吐出ヘッド２０２は、リザーバ流路部材２４０が、第１リザーバ流路部材２４０ｃと、第１リザーバ流路部材２４０ｃを取り囲む第２リザーバ流路部材２４０ｄとにより構成されている。第１リザーバ流路部材２４０ｃは、第２リザーバ流路部材２４０ｄに嵌め込まれることにより、リザーバ流路部材２４０を形成している。なお、第１リザーバ流路部材２４０ｃが、本発明の第１カバー部材に係る一実施形態であり、以下、第１カバー部材についてはリザーバ流路部材２４０ｃを用いて説明する。また、第２リザーバ流路部材２４０ｄが、本発明の第２カバー部材に係る一実施形態であり、以下、第２カバー部材についてはリザーバ流路部材２４０ｄを用いて説明する。

第１リザーバ流路部材２４０ｃは、内部にリザーバ流路（不図示）が形成されており、側面に４つの凹部２４０ｅを有している。第２リザーバ流路部材２４０ｄは、中央部に開口部２４３を有しており、この開口部２４３に第１リザーバ流路部材２４０ｃが配置される。そのため、第２リザーバ流路部材２４０ｄの開口部２４３と、第１リザーバ流路部材２４０ｃの凹部２４０ｅとにより形成された部分が、リザーバ流路部材２４０の穴部２４２を構成することとなる。

このように、液体吐出ヘッド２０２は、リザーバ流路部材２４０が第１リザーバ流路部材２４０ｃおよび第２リザーバ流路部材２４０ｄにより形成されており、かつ穴部２４２が第１リザーバ流路部材２４０ｃおよび第２リザーバ流路部材２４０ｄにより形成されている。

そのため、ヘッド本体１３上に、分岐流路部材６０および第１リザーバ流路部材２４０ｃを配置して、第１リザーバ流路部材２４０ｃの凹部２４０ｅからフレキシブル配線板９２を挿通させ、フレキシブル配線板９２の外側に第２リザーバ流路部材２４０ｄを配置することで、フレキシブル配線板９２を穴部２４２に挿通することができる。それにより、容易に液体吐出ヘッド２４０を組み立てることができ、液体吐出ヘッド２の生産性を向上させることができる。

図１２に示すように、位置決め部材２０７は、位置決め部２０７ｄの形状が、位置決め部材７と異なっている。その他の点は位置決め部材７と同様である。

位置決め部材２０７は、位置決め部２０７ｃが、平面視してＬ字形状をなしており、位置決め部２０７ｄが、端部に窪み部２０７ｅを有している。

位置決め部材２０７の位置決め方法について説明すると、まず、位置決め部２０７ｄの窪み部２０７ｅと、一方の位置決めピン７２ａとを当接させる。この際に、窪み部２０７ｅを構成する２辺と位置決めピン７２ａとが接するように当接させる。

次に、窪み部２０７ｅに接するように配置された位置決めピン７２ａを中心として、液体吐出ヘッド２０２を回転させる。そして、他方の位置決めピン７２ｂと位置決め部２０７ｃとを当接させることにより、液体吐出ヘッド２０２をプリンタに実装することができる。

このように、位置決め部２０７ｄが、窪み部２０７ｅを有し、窪み部２０７ｅと接するように位置決めピン７２ａが配置されることにより、液体吐出ヘッド２０２の一方方向のずれを少なくすることができる。また、位置決めする際の液体吐出ヘッド２０２と位置決めピン７２ａ，７２ｂとの接合を強固なものとすることができる。

また、位置決め部材２０７と第２リザーバ流路部材２４０ｄとを固定する螺子７０が、２つ設けられており、２つの螺子７０の間の位置に位置決めピン７２ａ，７２ｂが配置されるため、位置決めする際の液体吐出ヘッド２０２と位置決めピン７２ａ，７２ｂとの接合をさらに強固なものとすることができる。

＜第３の実施形態＞
図１３を用いて第３の実施形態について説明する。液体吐出ヘッド３０２は、リザーバ流路部材３４０の構成が液体吐出ヘッド２０２（図１１参照）と異なっており、図１３（ａ）では、リザーバ流路部材３４０のみ示している。なお、図１３（ｂ）では、筐体９０（図４参照）を省略している。

第１リザーバ流路部材３４０ｃは、側面に４つの凹部３４０ｅを有している。第２リザーバ流路部材３４０ｄは、中央部に開口部３４３を有しており、この開口部３４３に第１リザーバ流路部材３４０ｃが配置される。そのため、第２リザーバ流路部材３４０ｄの開口部３４３と、第１リザーバ流路部材３４０ｃの凹部３４０ｅとにより形成された部分が、リザーバ流路部材３４０の穴部３４２を構成することとなる。

第１リザーバ流路部材３４０ｃの凹部３４０ｅには、穴部３４２に向けて突出する第１突出部１７ｃを有している。また、第２リザーバ流路部材３４０ｄには、穴部３４２に向けて突出する第２突出部１７ｄを有している。

そして、図１３（ｂ）に示すように、第１突出部１７ｃと第２突出部１７ｄとが異なる高さに設けられている。なお、図示されていないが、４つの全ての穴部３４２に第１突出部１７ｃおよび第２突出部１７ｄが設けられている。

それにより、フレキシブル配線板９２は、穴部３４２を挿通する際に第１突出部１７ｃおよび第２突出部１７ｄに押圧されることとなる。そのため、フレキシブル配線板９２が、図１３（ｂ）に示すように、折れ曲がる構成となり、穴部４４２を埋めるように機能する。それにより、液体吐出ヘッド３０２の内部にインクが浸入する可能性を低減することができる。

特に、インクが霧状の状態で穴部３４２の近傍を浮遊していた場合においても、穴部４４２に浸入したインクは、フレキシブル配線板９２の折れ曲がった部位にて、フレキシブル配線板９２と広い面積が接触することとなり、インクがフレキシブル配線板９２に付着することとなる。それゆえ、インクが液体吐出ヘッド３０２の内部に浸入することを抑えることができる。

平面視して、第１突出部１７ｃおよび第２突出部１７ｄは、穴部３４２を塞ぐように設けることが好ましい。つまり、穴部３４２の平面視した幅よりも、第１突出部１７ｃおよび第２突出部１７ｄの幅の合計を長くすることで、フレキシブル配線板９２を確実に折り曲げる構成となり、インクが浸入する可能性を低減することができる。

なお、液体吐出ヘッド３０２では、第１突出部１７ｃおよび第２突出部１７ｄを備える例を示したが、これに限定されるものではない。例えば、第１リザーバ流路部材３２０ｃが第１突出部１７ｃのみを有する構成としてもよく、あるいは第２リザーバ流路部材３２０ｄが第２突出部１７ｄのみを有する構成としてもよい。その場合においても、フレキシブル配線板９２を折り曲げる構成とすることができ、インクが浸入する可能性を低減することができる。

また、第１突出部１７ｃおよび第２突出部１７ｄをそれぞれ複数設ける構成としてもよい。その場合は、断面視して交互となるように設けることが好ましい。断面視して交互となるように第１突出部１７ｃおよび第２突出部１７ｄを設けることにより、フレキシブル配線板９２の折り曲げ回数を増加させることができ、インクが浸入する可能性をさらに低減することができる。

つまり、霧状のインクが、穴部３４２に侵入したとしても、フレキシブル配線板９２が複数回屈曲していることから、霧状のインクがフレキシブル配線板９２と穴部３４２とに接触する回数を増加させることができる。それにより、液体吐出ヘッド３０２の内部にインクが侵入する可能性を低減することができる。

さらに、フレキシブル配線板９２にインクが付着し、付着したインクが下方に向かって流れた場合においても、位置決め部材３０７、第１突出部１７ｃ、および第２突出部１７ｄにて下方に流れるインクを堰き止めることができ、液体吐出ヘッド３０２の内部にインクが侵入する可能性を低減することができる。

また、第１突出部１７ｃおよび第２突出部１７ｄが、液体吐出ヘッド３０２の一方方向に沿って延びる形状を例示したが、第１突出部１７ｃおよび第２突出部１７ｄを間欠的に設けた場合においても同様の効果を奏することができる。

なお、第１リザーバ流路３４２ｃに第１突出部１７ｃを設け、かつ第２リザーバ流路３４２ｄに第２突出部１７ｄに設けた例を示したが、どちらか一方のみ設けてもよい。

＜第４の実施形態＞
図１４を用いて第４の実施形態について説明する。第４の実施形態は、位置決め部材４０７およびリザーバ流路部材４４０の構成が他の実施形態とは異なっている。

図１４（ｂ）に示すように、位置決め部材４０７は、連結部４０７ｂにフランジ４０７ｆが設けられている。フランジ４０７ｆは、連結部４０７ｂの開口４０７ａ側に配置されている。それにより、フレキシブル配線板９２が、フレーム９６とフランジ４０７ｆとに挟持されることとなる。その結果、フレキシブル配線板９２にインクが付着し、付着したインクが下方に流れた場合においても、フランジ４０７ｆによりインクの流入を抑えることができる。

また、位置決め部材４０７が、フランジ４０７ｆを有することから、フレキシブル配線板９２と位置決め部材４０７との当接により、フレキシブル配線板９２に摩耗が生じる可能性を低減することができる。

また、位置決め部材４０７が、連結部４０７ｂにフランジ４０７ｆを有することから、連結部４０７ｂの剛性を高めることができる。それにより、位置決め部４０７ｃ，４０７ｄが変形しにくくなり、位置決めの精度を向上させることができる。

リザーバ流路部材４４０は、上面に突出部４４４を備えており、突出部４４４は位置決め部材７の開口７ａの内部に配置されている。突出部４４４上には基板９４が載置されている。被覆部材５１は、リザーバ流路部材４４０の穴部４４２を覆うように配置されている。

それにより、フレキシブル配線板９２と位置決め部材７とにより、穴部４４２を覆うことに加えて、被覆部材５１により穴部４４２をさらに被覆することにより、封止性をさらに向上することができる。

液体吐出ヘッド４０２は、リザーバ流路部材４４０の穴部４４２と、フレキシブル配線板９２との隙間を封止するように被覆部材５１が設けられている。より詳細には、被覆部材５１が、位置決め部材４０７の連結部４０７ｂを覆うように設けられている。

リザーバ流路部材４４０の穴部４４２は、上方に位置決め部材４０７の連結部４０７ｂが配置されることにより、フレキシブル配線板９２が押圧され、屈曲した後に上方へ引き出されている。それにより、図１４（ｂ）に示す矢印Ａの方向から霧状のインクが侵入した場合、屈曲したフレキシブル配線板９２によりインクの侵入を防ぐことができる。

また、被覆部材５１が、開口４０７ａの外側から連結部４０７ｂを覆うように配置されていることにより、図１４（ｂ）に示す矢印Ｂの方向から霧状のインクが侵入した場合、被覆部材５１によりインクの侵入を防ぐことができる。

つまり、フレキシブル配線板９２が開口４０７ａの内側から挿通され、被覆部材５１が開口４０７ａの外側から連結部４０７ｂを覆うように設けられていることにより、霧状のインクがヘッド本体１３まで侵入する可能性を低減することができる。

また、被覆部材５１は、位置決め部材７の連結部７ｂと、第１部材１６との接合を強固なものとすることができる。

さらに、被覆部材５１が開口４０７ａの外側から連結部４０７ｂを覆うように設けることにより、位置決め部材４０７にてフレキシブル配線板９２を押圧した後に、被覆部材５１を塗布することができ、穴部４４２の封止性を向上させることができる。また、被覆部材５１を容易に塗布することができ、インクジェットヘッド２の製造工程の作業性を向上させることができる。

被覆部材５１としては、例えば、熱硬化性樹脂、シリコーンあるいは紫外線硬化樹脂等を例示することができる。さらに、放熱性の樹脂あるいは、金属の粒子等の放熱粒子を含有させた樹脂を用いた放熱部材により被覆部材５１を形成することが好ましい。

被覆部材５１を放熱部材により形成することで、駆動に伴って生じたドライバＩＣ５５の熱が、フレキシブル配線板９２の内部配線（不図示）を介して熱伝導してきた場合、被覆部材５１に熱伝導することで、他の部材に放熱することができる。なお、位置決め部材４０７を熱伝導率の高い金属あるいは合金により形成していた場合、さらに効果的に放熱することができる。

なお、本実施形態では、加圧部として圧電変形を用いた変位素子５０を示したが、これに限られるものでなく、加圧室１０中の液体を加圧できるものなら他のものでよく、例えば、加圧室１０中の液体を加熱して沸騰させて圧力を生じさせるものや、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）を用いたものでも良い。

また、第１部材としてリザーバ流路部材４０を用いる場合について説明したが、リザーバ流路部材４０でなくてもよく、内部に流路を有しないカバー部材であってもよい。例えば、液体吐出ヘッド２の構成を、マニホールド５の液体導入孔５ｂにチューブ等により外部より液体を供給する構成としてもよい。この場合、第１部材は、圧電アクチュエータ基板２１を保護する機能を有していればよい。この場合においても、位置決め部材７とフレキシブル配線板９２により穴部４２を覆うことができ、同等の効果を奏することができる。

また、第２部材として位置決め部材７を用いる場合について説明したが、位置決め部材７でなくてもよい。例えば、穴部４２を覆うための蓋部材であってもよい。また、位置決め部材７は、連結部７ｂにより位置決め部７ｃ，７ｄが接続されていないものであってもよい。例えば、位置決め部７ｃ,７ｄがそれぞれ別体で構成されている位置決め部材７であってもよい。

なお、本実施形態では、フレキシブル配線板９２と位置決め部材７とが当接した例を示したがこれに限定されるものではない。穴部４２の上方に位置決め部材７が配置されていれば良く、フレキシブル配線板９２と位置決め部材７とが当接していなくてもよい。この場合においても、穴部４２の上方に配置された位置決め部材７により、霧状のインクが上方から穴部４２へ侵入する可能性を低減することができ、液体吐出ヘッド２の内部にインクが侵入する可能性を低減することができる。

また、リザーバ流路部材４０とフレキシブル配線板９２との間、位置決め部材７とフレキシブル配線板９２との間に隙間があってもよい。霧状のインクは、多くは穴部４２の上方から侵入するため、この場合においても、穴部４２の上方に配置された位置決め部材７により、霧状のインクが上方から穴部４２へ侵入する可能性を低減することができ、液体吐出ヘッド２の内部にインクが侵入する可能性を低減することができる。

１・・・プリンタ
２・・・液体吐出ヘッド
４・・・流路部材
４ａ・・・吐出孔面
４ｂ・・・加圧室面
５・・・マニホールド（共通流路）
５ａ・・・副マニホールド
５ｂ・・・マニホールドの開口（液体導入孔）
５ｃ・・・液体供給路
６・・・個別供給流路
７・・・位置決め部材
７ａ・・・開口
７ｂ・・・連結部
７ｃ・・・位置決め部
７ｄ・・・位置決め部
８・・・吐出孔
９・・・加圧室群
１０・・・加圧室
１２・・・しぼり
１５ａ，ｂ，ｃ，ｄ・・・吐出孔列
１７・・・突出部
１７ｃ・・・第１突出部
１７ｄ・・・第２突出部
２１・・・圧電アクチュエータ基板
２２〜３１・・・プレート
３２・・・個別流路
３４・・・共通電極
３５・・・個別電極
３６・・・接続電極
４０・・・リザーバ流路部材
４０ａ・・・リザーバ流路部材本体
４０ｂ・・・プレート
４０ｃ・・・第１リザーバ流路部材
４０ｄ・・・第２リザーバ流路部材
４１・・・リザーバ流路
４２・・・穴部
４３・・・側面保護板
４５・・・フィルタ
４７・・・ダンパ
５０・・・変位素子（加圧部）
５１・・・被覆部材
６０・・・分岐流路部材
６０ａ〜６０ｃ・・・プレート
６１・・・分岐流路
９０・・・筐体
９０ｃ・・・孔
９２・・・フレキシブル配線板
９４・・・基板
９５・・・コネクタ
９６・・・フレーム
９７・・・断熱性弾性部材

Claims (16)

1. 吐出孔、加圧室および加圧部を有するヘッド本体と、
   前記加圧部に電気的に接続されたフレキシブル配線板と、
   前記ヘッド本体の上方に設けられており、穴部を有する第１部材と、
   該第１部材の上方に、前記第１部材と間隔を開けて設けられた第２部材と、
   を備え、
   前記第２部材の一部は、平面視して前記穴部を覆うように設けられており、
   前記フレキシブル配線板は、前記穴部を通過してから屈曲して前記第１部材と前記第２部材との間の間隙を通過して上方へ延出されている、
   ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記第２部材が、前記フレキシブル配線板に当接した状態で配置されている、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記第１部材が、前記フレキシブル配線板に当接した状態で配置されており、
   前記フレキシブル配線板が、前記第１部材と前記第２部材とにより挟持されている、請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記第２部材が、前記フレキシブル配線板を押圧している、請求項２または３に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記第１部材と前記第２部材とが接合部材により接合されている、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記ヘッド本体は、１つの方向に長くなっており、
   前記第２部材は、前記１つの方向の両端に設けられた位置決め部と、該位置決め部同士を接続する連結部とを備え、
   該連結部が、前記穴部を覆うように設けられている、請求項１乃至５のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記第２部材には、前記位置決め部および前記連結部により開口が形成されており、
   前記フレキシブル配線板は、前記第２部材の前記開口を通って上方へ引き出されている、請求項６に記載の液体吐出ヘッド。
8. 前記第１部材は、第１カバー部材と、第２カバー部材と、を備え、
   前記第１カバー部材と前記第２カバー部材との間隙により前記穴部が構成されている、請求項１乃至７のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
9. 前記第１カバー部材は、前記第２カバー部材へ向けて突出する第１突出部を有する、請求項８に記載の液体吐出ヘッド。
10. 前記第２カバー部材は、前記第１カバー部材へ向けて突出する第２突出部を有する、請求項８に記載の液体吐出ヘッド。
11. 前記第１カバー部材は前記第２カバー部材へ向けて突出する第１突出部を有し、前記第２カバー部材は前記第１カバー部材へ向けて突出する第２突出部を有するとともに、
    前記第１突出部と前記第２突出部とが異なる高さに設けられている、請求項８に記載の液体吐出ヘッド。
12. 前記第１カバー部材が前記第２カバー部材に嵌め込まれて前記第１部材が構成されていることを特徴とする請求項８乃至１１のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
13. 前記第１部材の前記穴部と、前記フレキシブル配線板との隙間を封止するように、被覆部材が設けられている、請求項１乃至１２のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
14. 前記加圧室を複数有しており、複数の前記加圧室が１６列の加圧室列を含んでいる、請求項１乃至１３のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
15. 平面視したときに、複数の前記加圧室のそれぞれは、第１方向の寸法が該第１方向に直交する方向の寸法よりも小さい形状を有しており、前記加圧室列は、前記加圧室が前記第１方向に列を成すように配置されて構成されている、請求項１４に記載の液体吐出ヘッド。
16. 請求項１乃至１５のいずれかに一項に記載の液体吐出ヘッドと、
    記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、
    前記液体吐出ヘッドを制御する制御部と、を備えることを特徴とする記録装置。