JP5943970B2 - 機械アームシステムおよびその平行度校正方法 - Google Patents

機械アームシステムおよびその平行度校正方法 Download PDF

Info

Publication number
JP5943970B2
JP5943970B2 JP2014154933A JP2014154933A JP5943970B2 JP 5943970 B2 JP5943970 B2 JP 5943970B2 JP 2014154933 A JP2014154933 A JP 2014154933A JP 2014154933 A JP2014154933 A JP 2014154933A JP 5943970 B2 JP5943970 B2 JP 5943970B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mechanical arm
parallelism
calibration
measurement
distance measuring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2014154933A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2016007696A (ja
Inventor
武燈 謝
武燈 謝
漢雄 陳
漢雄 陳
長信 郭
長信 郭
耀仁 張
耀仁 張
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hiwin Technologies Corp
Original Assignee
Hiwin Technologies Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hiwin Technologies Corp filed Critical Hiwin Technologies Corp
Publication of JP2016007696A publication Critical patent/JP2016007696A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5943970B2 publication Critical patent/JP5943970B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J11/00Manipulators not otherwise provided for

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Description

本発明は、機械アームに関し、特に平行度校正機能を有する機械アームシステム、およびその平行度校正方法に関する。
機械アームは特定の作業を行う時末端面が作業平面と平行になる必要がある。よって、末端面に設けられているエフェクタが順調に作業を行う。例えば、エフェクタは、グリッパであり、軸棒を挟み取り、オリフィス板である作業平面の設置孔に軸棒を差し込む。機械アームは、軸棒を設置孔に挿入する時、軸棒と作業平面の垂直を維持する必要がある。この時、末端面と作業平面が平行である必要がある。
例えば特許文献1に開示された装置では、作業台に載置面が設けられており、機械アームの基座が載置面に固定されている。
米国特許US5218550号明細書
しかし、特許文献1の装置は、異なる作業ニーズに基づいて、機械アームの角度を変更することができない。また、載置面の加工精度が足りない場合、機械アームと作業台の間の平行度を確保することができない。
機械アームは様々な作業に使用されている。その座標系を、それと対応する作業台(例えば、取る作業及び置く作業を行う台、オリフィス板)の座標系に合わせることは難しい。よって、機械アームの末端面と作業台の作業平面の間の平行度を校正することは相当難しい。特に、機械アームは座標系が比較的に複雑である傾斜作業平面に対応する必要がある。この時、平行度の校正がさらに難しくなる。
上述の問題に鑑みて、本発明の目的は、機械アームが各種の作業に応じて迅速に作業平面と正確に平行となるようにする機械アームシステム、およびその平行度校正方法を提供することである。
上述の目的を達成するために、本発明の機械アームシステムは、機械アーム、機械アームの作動を制御する制御器、および平行度校正装置を備える。機械アームは、末端軸を有し、末端軸に末端面が形成されている。平行度校正装置は、末端軸の末端面に設けられており、基準面上に位置する少なくとも三つの測定点から末端面までの距離を測定するとともに測定信号を制御器に伝送する少なくとも一つの距離測定器を有する。
本発明の機械アームシステムの平行度校正方法は、以下のステップを含む。
ステップa:基準面に近い校正位置まで端末軸を移動する。
ステップb:平行度校正装置が、基準面上の測定点から末端面までの距離を測定し、測定信号を制御器に伝送する。
ステップc:平行度校正装置から伝送された測定信号に基づいて、測定点から末端面までの距離が等しくなるように制御器が機械アームの姿勢を調整する。
これにより、基準面の上の少なくとも三つの測定点と末端面の間の距離がすべて同じである時、末端面が基準面と平行になる。基準面は校正板の上側の表面であってもよい。この校正板の表面は、ステップcが行われた後に機械アームが作業を行う作業平面と平行になる。すると、ステップcが行われた後、末端面は基準面と平行になるので作業平面とも平行になる。または、基準面は、ステップcが行われた後に機械アームが作業を行う作業平面であってもよい。すると、ステップcが行われた後、末端面は作業平面と平行になる。
言い換えると、本発明は、機械アーム20の末端面222と作業平面53の平行度に対して直接に校正を行うことができる。または、校正板55を利用して、機械アーム20の末端面222と作業平面53の平行度に対して間接に校正を行うことができる。このような方法は、迅速かつ正確である。また、作業平面53を任意に変更する場合、または、座標系がより複雑な作業平面53を使用する場合であっても、本発明は機械アーム20の末端面222が速やかに作業平面53と正確に平行となるようにすることができる。
本発明の機械アームシステムおよびその平行度校正方法に係る詳細な構造、特徴、組み立てまたは使用方式を、後述の実施例に基づいて詳細に説明する。
しかし、本発明の技術分野における通常の知識を有する者は、後述の詳細な説明および実施例は本発明を説明するものであり、本発明の特許請求の範囲を限定するものではないことを了解するべきである。
本発明の第一実施例の機械アームシステムの斜視図。 本発明の第一実施例の機械アームシステムの機械アーム及び平行度校正装置の分解斜視図。 本発明の第一実施例の機械アームシステムの使用状態を示す正面図。 本発明の第一実施例の機械アームシステムの使用状態を示す斜視図。 本発明の第一実施例の機械アームシステムの他の使用状態を示す正面図。 本発明の第二実施例の機械アームシステムの機械アームと平行度校正装置の斜視図。
以下で紹介する実施例および図の中で、同じ符号は同じ又は類似する部材又は構成を示す。また、一方の部材が他方部材に設置されているという記述は、一方の部材が直接に他方部材に設置されていること、又は、一方の部材が間接に他方部材に設置されていること、つまり、二つの部材の間に一つ以上の他の部材が設けられていることを意味する。
(第一実施例)
図1及び2に示すように、本発明の第一実施例による機械アームシステム10は機械アーム20、制御器30、および平行度校正装置40を備える。
機械アーム20は従来の機械アームと同じ構成を有し制御器30の制御によりさまざまな姿勢を有する。機械アーム20は末端にエフェクタ(図示しない)を設けるのに用いる末端軸22を有する。機械アーム20の作動が制御器30により制御されることで、末端軸22は異なる位置まで移動し異なる角度を実現し異なる作業目的を達成する。本実施例では、末端軸22は、末端面222を有し、末端面222に直交する仮想軸線Lを回転中心として回転する。
平行度校正装置40は基座41および基座41に固定されている距離測定器42を有する。基座41は機械アーム20の末端軸22の末端面222に固定されている。すなわち、平行度校正装置40は末端軸22に設けられている。よって、平行度校正装置40は末端軸22とともに回転する。本実施例では、距離測定器42は接触式の測定器(例えば、ダイヤルゲージ)であり伸縮可能な測定棒422を有する。測定棒422は仮想軸線Lと平行である。距離測定器42は非接触式の測定器(例えば、レーザー距離測定装置、赤外線距離測定装置)であってもよい。距離測定器42が非接触式の測定器である場合、測定棒422から投射される光が仮想軸線Lと平行である。
以下、図3および図4に示す使用形態に基づいて機械アームシステム10の平行度校正方法を説明する。図3および図4は、作業台51、及び作業台51の載置面512に設けられている作業装置52(例えば、取る作業及び置く作業を行う台、オリフィス板)を示す。作業装置52は作業平面53を有する。この平行度校正方法は機械アーム20が作業平面53上で作業を行う時末端面222が作業平面53と平行になるようにし、以下のステップを含む。
ステップa:末端軸22が基準面54に近く位置する校正位置Pまで移動する。
本実施例では、作業台51の載置面512の上に校正板55が設けられている。基準面54は校正板55の上側の表面である。この校正板55の表面は作業平面53と平行である。距離測定器42は接触式の測定器であるので、ステップaは、末端軸22が校正位置Pに位置する時、距離測定器42の測定棒422が基準面54に接触するようにする。距離測定器42が非接触式の測定器である場合、距離測定器42を基準面54に接触させる必要がない。基準面54を測定することができればよい。
ステップb:平行度校正装置40は基準面54上の少なくとも三つの測定点から末端面222までの距離の差異を測定し、測定信号を制御器30に伝送する。
本実施例では、ステップbは末端軸22を一回り回転させ(または、所定角度回転してもよい)、距離測定器42の測定棒422は基準面54に継続して接触する。測定棒422は、末端軸22とともに回転し、基準面54上で円形(または、楕円形)の仮想軌跡56に沿って移動し、仮想軌跡56上の複数の測定点を測定する。末端面222が基準面54と平行でない時、複数の測定点から末端面222までの距離が異なる。この差異に基づいて、制御器30は、基準面54に対する末端面222の傾斜角度を算出することができる。
ステップc:制御器30は、平行度校正装置40が伝送した測定信号に基づいて、複数の測定点から末端面222間での距離が等しくなるように機械アーム20の姿勢を調整する。
基準面54上の測定点から末端面222までの距離がすべて等しくなるとき、末端面222が基準面54と平行になる。ステップcが行われた後、機械アーム20が作業平面53上で作業する時、末端面222は、基準面54と平行であるので、作業平面53と平行である。
しかし、前述の機械アーム装置の平行度校正方法では、必ず校正板55を使用する必要がない。作業台51の載置面512を基準面54とすることも可能である。または、作業平面53を基準面54とすることができる。このような校正方法はより直接でありより正確である。特に、図5に示すように、作業平面53が載置面512に対して傾斜している時、または、さらに複雑な座標系を有するとき、作業平面53を直接に基準面54とすれば、末端面222と作業平面53の平行度を迅速且つ正確に校正することができる。
(第二実施例)
図6を参照するように、本発明の第二実施例による機械アームシステムでは、第一実施例と異なる平行度校正装置60を使用する。平行度校正装置60は、基座61、基座61に固定されている長さが一定である基準棒62、および二つの距離測定器64を有する。各距離測定器64は、第一実施例の距離測定器42と同じであり、接触式または非接触式の距離測定器である。基準棒62および二つの距離測定器64の測定棒642(または測定用光)は、図2に示すとおり、いずれも機械アーム20の末端面222に対して垂直である。
第二実施例の機械アームシステムの平行度校正方法は、第一実施例の校正方法と類似するステップa、b、cを含む。図3及び図6を参照する。
第二実施例のステップaでは、基準棒62を基準面54に接触させる。すなわち、末端軸22が校正位置Pに位置する時、基準棒62が基準面54に接触し、接触点を測定点とする。この時、測定点と基準面54の間の距離は既知の一定値(すなわち、基準棒62の長さと基座61の厚さの和)である。
第二実施例のステップbでは、基準棒62は継続してこの測定点と接触し、二つの距離測定器64が基準面54に接触し、接触点を二つの測定点とする。すると、平行度校正装置60を回転させず、前述の三つの測定点と末端面222の間の距離の差を測定し、制御器30により末端面222が基準面54に対する傾斜角度を算出することができる。これにより、機械アーム20の姿勢を調整し、末端面222と基準面54が平行となるようにする。
上述したことをまとめると、本発明は、機械アーム20の末端面222と作業平面53の平行度に対して直接に校正を行うことができる。または、校正板55を利用して、機械アーム20の末端面222と作業平面53の平行度に対して間接に校正を行うことができる。このような方法は、迅速かつ正確である。また、作業平面53を任意に変更する場合、または、座標系がより複雑な作業平面53を使用する場合であっても、本発明は機械アーム20の末端面222が速やかに作業平面53と正確に平行になるようにすることができる。
最後に再び説明する必要があるのは、本発明の前述の実施例中の構成部材は、例を挙げて説明するためのものであり、本発明の範囲を限定するものではない。均等な効果を有する他の部材の代用または変化は、本発明の特許請求の範囲に含まれる。
10 機械アームシステム
20 機械アーム
22 末端軸
222 末端面
30 制御器
40 平行度校正装置
41 基座
42 距離測定器
422 測定棒
51 作業台
512 載置面
52 作業装置
53 作業平面
54 基準面
55 校正板
56 仮想軌跡(測定対象ポイント)
60 平行度校正装置
61 基座
62 基準棒
64 距離測定器
642 測定棒
L 仮想軸線
P 校正位置

Claims (3)

  1. 末端軸を有し、前記末端軸に末端面が形成されている機械アームと、
    前記機械アームの作動を制御する制御器と、
    前記末端軸の前記末端面に設けられており、基準面上に位置する少なくとも三つの測定点から前記末端面までの距離を測定するとともに測定信号を前記制御器に伝送する少なくとも一つの距離測定器を有する平行度校正装置と、
    を備えることを特徴とする機械アームシステム。
  2. 請求項1に記載の機械アームシステムの平行度校正方法であって、
    前記基準面に近い校正位置まで前記末端軸を移動するステップaと、
    前記平行度校正装置が、前記基準面上の測定点から前記末端面までの距離を測定し、測定信号を前記制御器に伝送するステップbと、
    前記平行度校正装置から伝送された測定信号に基づいて、前記測定点から前記末端面までの距離が等しくなるように前記制御器が前記機械アームの姿勢を調整するステップcと、
    を含み、
    前記平行度校正装置は、一つの基準棒、および二つの前記距離測定器を有し、
    前記ステップbにおいて、前記末端軸が前記校正位置に位置するとき、前記基準棒が一つの前記測定点と接触し、前記距離測定器が残りの二つの前記測定点に対して測定を行い、二つの前記距離測定器が前記基準面と接触することを特徴とする平行度校正方法。
  3. 前記基準面は、校正板の上側の表面であり、
    前記校正板の前記表面は、前記ステップcが終了後、前記機械アームが作業を行う時の作業平面に平行になることを特徴とする請求項2に記載の平行度校正方法。
JP2014154933A 2014-06-26 2014-07-30 機械アームシステムおよびその平行度校正方法 Active JP5943970B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW103122133A TW201600275A (zh) 2014-06-26 2014-06-26 機械手臂系統及其平行度校正方法
TW103122133 2014-06-26

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2016007696A JP2016007696A (ja) 2016-01-18
JP5943970B2 true JP5943970B2 (ja) 2016-07-05

Family

ID=54839611

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014154933A Active JP5943970B2 (ja) 2014-06-26 2014-07-30 機械アームシステムおよびその平行度校正方法

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP5943970B2 (ja)
KR (1) KR101673978B1 (ja)
CN (1) CN105215990B (ja)
DE (1) DE102014110548A1 (ja)
TW (1) TW201600275A (ja)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107433586A (zh) * 2016-05-26 2017-12-05 财团法人精密机械研究发展中心 检测模块、其定位修正方法及具有其的多轴移动载具装置
DE102016110908B4 (de) 2016-06-14 2019-01-10 Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. Messwerkzeug für einen Industrieroboter
CN109304730B (zh) * 2017-07-28 2020-11-17 华中科技大学 一种基于激光测距仪的机器人运动学参数标定方法
DE102017009939B4 (de) * 2017-10-25 2021-07-01 Kuka Deutschland Gmbh Verfahren und System zum Betreiben eines mobilen Roboters
KR102423644B1 (ko) 2017-11-28 2022-07-21 주식회사 상화 통합 플랫폼
TWI653130B (zh) 2017-12-05 2019-03-11 財團法人工業技術研究院 機械手臂的校正裝置及其校正方法
CN108527381A (zh) * 2018-04-09 2018-09-14 上海方立数码科技有限公司 一种基于姿态识别的服务型机器人
CN109174675A (zh) * 2018-07-17 2019-01-11 芜湖固高自动化技术有限公司 一种缸套加工用精密定位置换台及其定位方法
KR20200047150A (ko) 2018-10-26 2020-05-07 주식회사 상화 원격지에서 실시간으로 작동하는 체험 유닛
KR20200047149A (ko) 2018-10-26 2020-05-07 주식회사 상화 실시간으로 작동하는 체험 유닛
KR20200047148A (ko) 2018-10-26 2020-05-07 주식회사 상화 실시간으로 작동하는 체험 유닛
CN117381261B (zh) * 2023-12-13 2024-03-08 德阳市华建机械设备有限公司 一种自动化焊接机的故障识别装置及方法

Family Cites Families (37)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6317953B1 (en) * 1981-05-11 2001-11-20 Lmi-Diffracto Vision target based assembly
SE8304101L (sv) * 1983-07-22 1985-01-23 Ibm Svenska Ab System for automatisk kalibrering av rymdkoordinater hos en robotgripper i sex frihetsgrader
JPS638505A (ja) * 1986-06-30 1988-01-14 Nec Corp 部品リ−ドの位置ずれ測定装置
US4725965A (en) * 1986-07-23 1988-02-16 American Telephone And Telegraph Company Method for calibrating a SCARA robot
JPS63180492A (ja) 1987-01-21 1988-07-25 三菱電機株式会社 産業用ロボツト装置
DE3822597A1 (de) * 1988-07-04 1990-01-11 Siemens Ag Justiervorrichtung und verfahren zum justieren eines roboterarms zum einsatz in automatisierten produktionsbereichen insbesondere in der halbleitertechnik
JPH06304893A (ja) * 1993-04-22 1994-11-01 Fanuc Ltd 位置決め機構のキャリブレーション方式
KR0128220Y1 (ko) * 1993-07-30 1998-12-15 김회수 산업용 로보트의 기준자세 교정장치
SE501867C2 (sv) * 1993-11-15 1995-06-12 Asea Brown Boveri Förfarande och system för kalibrering av en industrirobot utnyttjande en sfärisk kalibreringskropp
US5740328A (en) * 1996-08-12 1998-04-14 The Regents Of The University Of California Apparatus for robotic positional referencing and calibration
FR2753925B1 (fr) * 1996-10-02 1998-10-23 Commissariat Energie Atomique Articulation oblique de robot
DE19826395A1 (de) * 1998-06-12 1999-12-23 Amatec Gmbh Verfahren zum Erfassen und Kompensieren von kinematischen Veränderungen eines Roboters
JP3421608B2 (ja) * 1999-04-08 2003-06-30 ファナック株式会社 教示モデル生成装置
DE19924511A1 (de) * 1999-05-28 2000-12-21 Bernd Scheibner Vermessungverfahren für eine Handhabungsvorrichtung
GB9914918D0 (en) * 1999-06-26 1999-08-25 British Aerospace Method and apparatus for calibrating a first co-ordinate frame of an indexing means in a second frame of a sensing means
GB0226764D0 (en) * 2002-11-15 2002-12-24 Rock Alan G Measuring device
JP2005157784A (ja) * 2003-11-26 2005-06-16 Tokyo Denki Univ 小型アーティファクトを用いた運動機構の校正方法
WO2006086021A2 (en) * 2004-10-25 2006-08-17 University Of Dayton Method and system to provide improved accuracies in multi-jointed robots through kinematic robot model parameters determination
CN1920473A (zh) * 2005-08-22 2007-02-28 宣德科技股份有限公司 共平面度检测设备
JP5059418B2 (ja) * 2007-01-12 2012-10-24 本田技研工業株式会社 ワーク取付けシステムおよびワーク取付け方法
NL1036673A1 (nl) * 2008-04-09 2009-10-12 Asml Holding Nv Robot Position Calibration Tool (RPCT).
JP2011102767A (ja) * 2009-11-11 2011-05-26 Nec Corp 非接触型位置・姿勢測定方法及び非接触型位置・姿勢測定装置並びにこれを備えた半導体実装装置
CN101797751B (zh) * 2010-01-26 2011-06-22 哈尔滨工程大学 一种用于管端作业的七轴串连工业机器人结构
JP5321532B2 (ja) * 2010-04-28 2013-10-23 株式会社安川電機 ロボットキャリブレーション装置及びキャリブレーション方法
CN202092578U (zh) * 2010-10-29 2011-12-28 西安北方捷瑞光电科技有限公司 一种平行度测量指示仪
CN102581851A (zh) * 2011-01-14 2012-07-18 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 机械手臂运动控制系统及方法
JP5786550B2 (ja) * 2011-08-18 2015-09-30 株式会社デンソーウェーブ 6軸ロボットの軸間オフセット検出方法
US8918210B2 (en) * 2011-03-18 2014-12-23 Denso Wave Incorporated Method of detecting an inter-axis offset of 6-axis robot
JP5672173B2 (ja) * 2011-06-28 2015-02-18 株式会社デンソーウェーブ 6軸ロボットの軸間オフセット検出方法
KR101194909B1 (ko) * 2011-03-30 2012-10-25 한양대학교 산학협력단 이중 코일 보빈 및 이를 포함하는 구형모터
CN103101060B (zh) * 2011-11-11 2015-07-01 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 机器人工具中心点的传感校正方法
CN102536201B (zh) * 2011-12-20 2014-07-02 西安思坦仪器股份有限公司 多臂成像数据校正方法
CN103659465B (zh) * 2012-09-21 2016-03-09 财团法人工业技术研究院 用于多轴机械的补偿控制方法
CN102878908A (zh) * 2012-09-24 2013-01-16 如皋市非标轴承有限公司 一种叉车侧滚轮轴头端面平行度检测工装
CN102967245A (zh) * 2012-11-14 2013-03-13 无锡麦铁精密机械制造有限公司 一种电机壳盖平行度检具
CN202947656U (zh) * 2012-11-14 2013-05-22 无锡麦铁精密机械制造有限公司 电机壳盖平行度检具
CN102997854A (zh) * 2012-11-27 2013-03-27 江阴市锦明玻璃技术有限公司 激光检测引导装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN105215990B (zh) 2019-05-24
TWI561354B (ja) 2016-12-11
KR20160001558A (ko) 2016-01-06
CN105215990A (zh) 2016-01-06
TW201600275A (zh) 2016-01-01
DE102014110548A1 (de) 2015-12-31
JP2016007696A (ja) 2016-01-18
KR101673978B1 (ko) 2016-11-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5943970B2 (ja) 機械アームシステムおよびその平行度校正方法
RU2559611C2 (ru) Устройство для исправления ошибок для станков с чпу
TWI512875B (zh) 用於調整聯結於一晶圓處理機器人之一進給手臂之校直及位置之系統以及用於調整聯結於一晶圓處理機器人之一進給手臂之校直及位置之方法
JP6622772B2 (ja) 計測システム
US10281255B2 (en) Method for performing measurements using a test element in a coordinate measuring machine or a machine tool
JP2006110705A5 (ja)
JP2014508050A (ja) ロボット作業対象セル較正のためのデバイス、システムおよび方法
JP2015203567A (ja) 計測システム
JP2006509194A (ja) 加工物検査方法
JP6657552B2 (ja) 平面度測定方法
TW201901183A (zh) 精確定位方法、定位系統以及機械手裝置
JP6285146B2 (ja) アーム型三次元測定機及びアーム型三次元測定機を支持する基部の傾斜補正方法
JP6274956B2 (ja) 研削装置
JP7401551B2 (ja) ロボットアームの装置と調整方法
JP6738661B2 (ja) 産業機械
JP2006162537A (ja) 三次元形状計測機のセンサ原点のキャリブレーション方法
CN209491778U (zh) 一体式机器人零位三维位姿校准系统
US10684127B2 (en) Zero positioning measuring device including improved probe units
JP2011102767A (ja) 非接触型位置・姿勢測定方法及び非接触型位置・姿勢測定装置並びにこれを備えた半導体実装装置
CN106643616A (zh) 接触式分中测量方法
JP2015112671A (ja) 加工装置
US20200141713A1 (en) Methods and apparatus for determining a height of an edge portion of a product
JP2004347492A (ja) ワークの精度測定装置と精度測定方法
JP2016205958A (ja) X−y基板検査装置の可動ヘッド位置補正方法およびx−y基板検査装置
JP6376279B2 (ja) センサ位置決め装置

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20151027

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160125

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20160510

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20160524

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5943970

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250