JP5936876B2 - 薄膜太陽電池の製造方法および製造装置 - Google Patents
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Description
本発明のカルコパイライト型薄膜太陽電池の製造方法を説明するが、途中の段階までは公知の製造工程を経由することができる。すなわち、まず、図1(a)〜(b)に示すように、ソーダライムガラス(SLG)等からなる基板上10に、正極として機能する金属Mo等からなる裏面電極層11が金属Moターゲット等を用いてスパッタリング法等により成膜される。
10…基板、
11…裏面電極層、
11a、11b…分割された裏面電極層、
12…光吸収層、
12a、12b…分割された光吸収層、
13…透明電極層、
13a、13b…分割された透明電極層、
13c…コンタクト電極部、
20…加工ヘッド、
21…レーザ照射手段、
21a…レーザ、
22…切削手段、
22a…ニードル、
30…筐体、
31…ステージ、
32…リニアモーター、
33…ガイド、
34…アーチ。
Claims (4)
- 裏面電極層、光吸収層、透明電極層を備えた薄膜太陽電池の製造方法であって、
基板上の上面に前記裏面電極層を成膜する工程と、
裏面電極層を切削して複数の裏面電極層に分割する工程と、
複数の裏面電極上に光吸収層および透明電極層を成膜する工程と、
光吸収層および透明電極層を機械的に切削して分離溝を形成し、太陽電池素子の分離を行う素子分離工程と、
分離溝に隣接する光吸収層および透明電極層にレーザを照射し、レーザが照射された光吸収層部分の導電性を高めて透明電極層と裏面電極層とを接続するコンタクト電極部を形成するコンタクト電極部形成工程と、を備え、
前記素子分離工程および前記コンタクト電極部形成工程は、素子分離用切削手段およびレーザ照射手段が一体に搭載された加工ヘッドを太陽電池素子に対して相対的に移動させながら行うものであり、前記素子分離用切削手段および前記レーザ照射手段は前記加工ヘッドの前記太陽電池素子に対する移動方向に対して左右にオフセットされて取り付けられており、素子分離用切削手段を太陽電池素子上に載置して加工ヘッドを太陽電池素子に対して静止状態とするステップと、前記加工ヘッドを前記静止状態から太陽電池素子上を相対的に加速して素子分離用切削手段による分離溝の形成を開始するステップと、加工ヘッドが前記加速状態から等速状態に達した後、形成された分離溝に隣接する透明電極層および光吸収層に等速状態でレーザ照射を開始し、コンタクト電極部を形成するステップと、を備えることを特徴とする薄膜太陽電池の製造方法。 - 前記レーザの照射は、前記加工ヘッドの移動方向に対し、前記素子分離用切削手段より後方の透明電極層および光吸収層に実施されることを特徴とする請求項1に記載の薄膜太陽電池の製造方法。
- 基板上の上面側に裏面電極層を形成する裏面電極層成膜手段と、
前記裏面電極層上に光吸収層を形成する光吸収層成膜手段と、
前記光吸収層上に透明電極層を形成する透明電極層成膜手段と、
前記裏面電極層、前記光吸収層、および前記透明電極層のそれぞれを分割する分離溝を形成する素子分離用切削手段と、
前記分離溝に隣接する透明電極層および光吸収層にレーザを照射し、レーザが照射された光吸収層部分の導電性を高めて前記透明電極層と前記裏面電極層とを接続するコンタクト電極部を形成するレーザ照射手段と、を備えた薄膜太陽電池の製造装置において、
前記素子分離用切削手段および前記レーザ照射手段は、加工ヘッドに一体に設けられ、かつ、前記素子分離用切削手段および前記レーザ照射手段は、前記加工ヘッドの前記太陽電池素子に対する移動方向に対して左右にオフセットされて取り付けられており、
前記加工ヘッドが太陽電池素子上を移動して加工するに際して、
前記レーザ照射手段は、前記太陽電池素子上に静止状態で載置された素子分離用切削手段が加速し、加速状態から等速状態となった後にレーザを照射することを特徴とする薄膜太陽電池の製造装置。 - 前記加工ヘッドは、前記太陽電池素子に対する移動方向に対し、前記素子分離用切削手段が前記レーザ照射手段よりも前方に配置されていることを特徴とする請求項3に記載の薄膜太陽電池の製造装置。
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