JP5936726B2 - ガラスクロス - Google Patents

Description

本発明は、ガラスクロスに関し、薄くて且つ樹脂を含浸して基板としたときにピンホールの発生が抑制可能な、ガラスクロスに関する。

近年、プリント配線板は、電子機器の小型化に伴い、薄型化が求められている。プリント配線板は、ガラスクロスに樹脂が含浸された基板を含むが、上記薄型化に伴って、ガラスクロスも厚さを例えば１４μｍ以下とすることが要求されている。

薄型化したガラスクロスとして、ガラスクロスの厚さが１５〜２０μｍで、且つ、タテ糸またはヨコ糸のうち少なくともどちらか一方が、平均フィラメント径３〜４μｍ、構成フィラメント数７０〜２００本のガラス糸で構成され、隣り合う糸同士が実質的に隙間無く配列されているプリント配線板用ガラスクロスが知られている（例えば、特許文献１参照。）。該ガラスクロスによれば、ガラスクロスを構成するタテ糸またはヨコ糸のうち少なくともどちらか一方が平均フィラメント径３〜４μｍ、構成フィラメント数７０〜２００本のガラス糸、好ましくは平均フィラメント径３〜３．７μｍ、フィラメント数８０〜１２０本のガラス糸を用いて、ガラスクロスの織り密度、糸の拡幅条件を最適化することで、実質的に隙間無く配列され、且つ厚みが２５μｍ以下のガラスクロスを得ることが可能となり、極めて良好なレーザ加工性の優れたプリント配線板が得られるとされている。

薄型化したガラスクロスとして、タテ糸及びヨコ糸の両方の平均フィラメント径が２．５μｍ以上であり、その少なくとも片方の平均フィラメント径が４．５μｍ未満であり、且つタテ糸及びヨコ糸の両方のフィラメント数が５本以上７０本以下のガラスヤーンで構成されるガラスクロスであって、厚さが５μｍ以上１２μｍ以下で、且つ表面ガラス糸被覆率が５０％以上８５％以下であるガラスクロスが知られている（例えば、特許文献２参照）。該ガラスクロスによれば、厚さが１５μｍ未満で且つ目曲がり量が小さいため、該ガラスクロスを用いたプリプレグを硬化させることで寸法安定性、機械的特性に優れたフィルム状基板を提供することができるとされている。同文献には、実施例１として、タテ糸及びヨコ糸として平均フィラメント直径が４．１μｍ、フィラメント数５０本のガラス糸を使用し、経糸及び緯糸の織密度を８０本／２５ｍｍとして製織し、開繊加工を施してガラスクロスを得たこと、該ガラスクロスの厚さが１２μｍであったことが開示されている。

特許第３７５６０６６号公報 特許第４４４６７５４号公報

しかしながら、特許文献１に開示されたガラスクロスは、構成フィラメント数が７０〜２００本と多いことから、厚さが１４μｍ以下とすることが困難であるという問題がある。そこで、該ガラスクロスの厚さを小さくする方法として、織密度を小さいものとしつつ、強い条件で開繊加工をおこない糸幅を拡幅する方法が考えられる。ところが、該方法により得られるガラスクロスは、エポキシ樹脂を含浸して薄い基板としたときに、基板に貫通孔が生じる、所謂ピンホールが発生しやすくなるという問題があった。

また、特許文献２に開示されたガラスクロスは、タテ糸及びヨコ糸の両方のフィラメント数が５本以上７０本以下とすることにより、厚さを薄くすることができるとされている。しかしながら、同文献に具体的な実施例として記載されている、タテ糸及びヨコ糸として同種の糸（平均フィラメント直径が４．１μｍ、フィラメント数５０本のガラス糸）を用いたガラスクロスも、エポキシ樹脂を含浸して薄い基板としたときに、ピンホールが発生しやすくなるという問題があった。

本発明の目的は、上記問題を解決し、厚さを１４μｍ以下と薄くしつつ、基板としたときにピンホールの発生を抑制することができる、ガラスクロスの提供を課題とする。

本発明者等は、上記特許文献１及び２に開示されているガラスクロスにおける、ピンホールの発生の原因について検討した。結果、ピンホールは、特に基板の厚さを薄くする目的で、ガラスクロスを含む基板の質量（ｇ／ｍ^２）に対するエポキシ樹脂の質量（ｇ／ｍ^２）の質量割合（以下、レジンコンテンツまたはＲＣと略することがある。）を少なくしたときに、顕著に発生することを知得した。

上記の原因について、本発明者等は、以下のように考えた。すなわち、エポキシ樹脂をガラスクロスに含浸する際には、経糸と緯糸によって形成される空間、所謂バスケットホール内において、樹脂溶液が薄膜を形成する。そして、ＲＣが少なくなるにつれて、該薄膜は厚さが薄くなる。そのとき、バスケットホールの面積が大きければ、バスケットホール内において樹脂溶液の表面張力により該薄膜が割れたり、バスケットホールから液垂れが発生したりしやすくなることから、部分的にバスケットホール内から樹脂が無くなり、ピンホールが発生するのではないかと考えた。そこで、本発明者等が検討を重ねた結果、バスケットホールの大きさがピンホールの発生に大きく影響を及ぼすことが判明した。

具体的に、特許文献１に開示されたガラスクロスは、上記したように、厚さを１４μｍ以下としようとすると目曲がり等が生じる。結果、部分的にバスケットホールの大きい部分が生じ、該部分にピンホールが発生することを突き止めた。

また、特許文献２の実施例に開示されたガラスクロスは、経糸緯糸ともに、同一のガラスヤーンを用い、同一の織密度としている。本発明者等の検討によれば、張力が比較的かかりにくい緯糸の方が開繊処理により拡幅しやすい傾向にあるため、得られるガラスクロスは、隣接する緯糸間の隙間間隔が、隣接する経糸間の隙間間隔よりは小さくなると推測される。しかしながら、該ガラスクロスは、隣接する経糸間の隙間間隔のみならず隣接する緯糸間の隙間間隔も依然大きく、ピンホールが発生することを突き止めた。

この時点で、ピンホールの発生の抑制には、バスケットホールの大きさをガラスクロス全体に均一に小さくすることが有効であろうことが判明したものの、厚さを１４μｍ以下としながらバスケットホールの大きさをガラスクロス全体に均一に小さくすることは以下の理由から非常に困難であった。

具体的に、特許文献２の実施例において、バスケットホールの大きさを小さくする方法としては、（ｉ）経糸、及び緯糸の織密度を高くする方法、（ｉｉ）経糸及び緯糸のフィラメント径を大きくする方法、（ｉｉｉ）経糸及び緯糸のフィラメント本数を多くする方法、が考えられた。

しかしながら、（ｉ）の方法は、織密度を高くする結果、経糸及び緯糸の屈曲が大きくなり織縮みが生じやすくなることから、バスケットホールの大きさにムラが生じやすくなり、結果ピンホールの発生を抑制することができなかった。加えて、織密度を高くしすぎると、生産性が悪くなり、コストパフォーマンスが悪くなるという問題もあった。また、（ｉｉ）の方法は、１４μｍ以下とすることが困難であった。さらに、（ｉｉｉ）の方法は、特許文献１に開示されているガラスクロスと同じ問題（目曲がり等が生じ、部分的にバスケットホールの大きい部分が生じ、該部分にピンホールが発生する）が生じる。

そこで、本発明者等が研究を重ねた結果、ピンホールの発生の抑制には、バスケットホールのサイズの縦横の長さのうち、いずれか一方の長さを短くすることが有効であることを見出した。そして、経糸、緯糸のうち、開繊しやすい方（通常は緯糸）のフィラメント本数をもう一方（通常は経糸）のフィラメント本数より多くなるようにして、隣接する開繊しやすい方のガラス糸同士の間隔を小さくすることにより、厚さを薄くしながらピンホールの発生を抑制することが達成できることを見出した。本発明は、かかる知見に基づいて、更に検討を重ねることにより完成するに至った。

即ち、本発明は、以下のとおりである。
（１）経糸及び緯糸のうち、一方の糸が、下記式（ｉ）に示す開繊度が他方の糸より小さいガラス糸Ａであり、該他方の糸が、前記開繊度が前記ガラス糸Ａより大きいガラス糸Ｂであるガラスクロスであって、前記ガラス糸Ａの平均フィラメント直径が３．０〜４．３μｍ、平均フィラメント本数が２０〜５５本であり、前記ガラス糸Ｂの平均フィラメント径が３．０〜４．３μｍ、平均フィラメント本数が３５〜７０本であり、前記ガラス糸Ａの平均フィラメント本数と前記ガラス糸Ｂの平均フィラメント本数との比率が０．９以下であり、ＪＩＳ Ｒ ３４２０：２０１３ ７．１０．１に従って測定される前記ガラスクロスの厚さが１４μｍ以下であることを特徴とする、ガラスクロス。
開繊度（％）＝｛（２５×１０００）／Ｗ_Ｄ−Ｉ｝／（Ｄ×Ｎ）×１００ （ｉ）
Ｗ_Ｄ：前記ガラスクロスの経糸または緯糸の織密度（本／２５ｍｍ）
Ｉ：前記ガラスクロスの隣接する経糸間または緯糸間の隙間間隔（μｍ）
Ｄ：前記ガラスクロスの経糸または緯糸の平均フィラメント直径（μｍ）
Ｎ：前記ガラスクロスの経糸または緯糸の平均フィラメント本数（本）
（２）隣接する前記ガラス糸Ｂ間の隙間間隔が６０μｍ以下である、前記（１）に記載のガラスクロス。
（３）前記ガラス糸Ａの織密度（本／２５ｍｍ）と前記ガラス糸Ｂの織密度（本／２５ｍｍ）との比率（ガラス糸Ａの織密度／ガラス糸Ｂの織密度）が０．９〜１．１である、前記（１）または（２）に記載のガラスクロス。
（４）前記ガラス糸Ａの織密度（本／２５ｍｍ）及び前記ガラス糸Ｂの織密度（本／２５ｍｍ）が８０本〜１３０本／２５ｍｍである、前記（１）〜（３）のいずれかに記載のガラスクロス。
（５）前記ガラス糸Ｂの開繊度が９０％以上である、前記（１）〜（４）のいずれかに記載のガラスクロス。
（６）前記ガラス糸Ａの平均フィラメント直径と前記ガラス糸Ｂの平均フィラメント直径との比率（ガラス糸Ａの平均フィラメント直径／ガラス糸Ｂの平均フィラメント直径）が０．９〜１．１である、前記（１）〜（５）のいずれかに記載のガラスクロス。
（７）前記（１）〜（６）のいずれかに記載のガラスクロスを含む、プリプレグ。
（８）前記（１）〜（６）のいずれかに記載のガラスクロスを含む、基板。
（９）前記（１）〜（６）のいずれかに記載のガラスクロスにエポキシ樹脂が含浸された層を含む、基板。
（１０）前記（８）または（９）に記載の基板を含む、集積回路。
（１１）前記（８）または（９）に記載の基板を含む、電子機器。

本発明のガラスクロスによれば、厚さを１４μｍ以下と薄くしつつ、樹脂を含浸して基板としたときにピンホールの発生を抑制することができる。従って、該ガラスクロスを用いた基板は、薄型化しつつ、ピンホールの発生を抑制することが可能となる。

ガラス糸の開繊度について説明する横断面模式図である。

以下、本発明について詳細に説明する。

本発明のガラスクロスは、経糸及び緯糸のうち、一方の糸が、下記式（ｉ）に示す開繊度が他方の糸より小さいガラス糸Ａであり、該他方の糸が、前記開繊度が前記ガラス糸Ａより大きいガラス糸Ｂである。

開繊度（％）＝｛（２５×１０００）／Ｗ_Ｄ−Ｉ｝／（Ｄ×Ｎ）×１００ （ｉ）
Ｗ_Ｄ：経糸または緯糸の織密度（本／２５ｍｍ）
Ｉ：隣接する経糸間または緯糸間の隙間間隔（μｍ）
Ｄ：経糸または緯糸の平均フィラメント直径（μｍ）
Ｎ：経糸または緯糸の平均フィラメント本数（本）

本発明において、上記開繊度は、仮想的にガラス糸中においてフィラメントが幅方向に隙間なく一列に配置されたガラス糸幅に対する、隣接するガラス糸間の隙間間隔及び該ガラス糸の織密度から計算される実際のガラス糸幅の比率によって評価する。具体的に、図１を用いて説明する。

図１（ａ）は、ガラス糸Ａ中において、仮想的にフィラメントが幅方向に隙間なく一列に配置された態様を例示する横断面模式図であり、図１（ｂ）は実際の隣接するガラス糸Ａの一態様を例示する横断面模式図であり、図１（ｃ）は、ガラス糸Ｂ中において、仮想的にフィラメントが幅方向に隙間なく一列に配置された態様を例示する横断面模式図であり、図１（ｄ）は、実際の隣接するガラス糸Ｂの一態様を例示する横断面模式図である。なお、図１においては、説明のため、仮に、ガラス糸Ａのフィラメント本数を８本、ガラス糸Ｂのフィラメント本数を１０本としている。

図１（ａ）及び（ｃ）において、ガラス糸１は、仮想的にフィラメント２が幅方向に隙間なく一列に配置されている。そして、図１（ａ）及び（ｃ）中、ＬＶＡ及びＬＶＢは、「仮想的にフィラメントが幅方向に隙間なく一列に配置されたガラス糸幅」を示し、平均フィラメント径×平均フィラメント数（Ｄ×Ｎ）により計算される。

図１（ｂ）及び（ｄ）中、ＬＡ及びＬＢは、ガラス糸Ａ及びガラス糸Ｂの実際の糸幅を示し、以下のように計算される。すなわち、ＬＡは、ガラス糸Ａの織密度（Ｗ_ＤＡ（本／２５ｍｍ））と隣接するガラス糸Ａ間の隙間間隔ＩＡを測定し、該織密度から、ガラス糸Ａの糸幅と隣接するガラス糸Ａ間の隙間間隔との合計（ＬＡ＋ＩＡ）を算出（ＬＡ＋ＩＡ＝（２５×１０００）／Ｗ_ＤＡ）し、該ガラス糸Ａの糸幅と隣接するガラス糸Ａ間の隙間間隔との合計から、隣接するガラス糸Ａ間の隙間間隔ＩＡを減じる（（ＬＡ＋ＩＡ）−ＩＡ）ことにより、計算される。また、ＬＢは、ガラス糸Ｂの織密度（Ｗ_ＤＢ（本／２５ｍｍ））と隣接するガラス糸Ｂ間の隙間間隔ＩＢを測定し、該織密度から、ガラス糸Ｂの糸幅と隣接するガラス糸Ｂ間の隙間間隔との合計（ＬＢ＋ＩＢ）を算出（ＬＢ＋ＩＢ＝（２５×１０００）／Ｗ_ＤＢ）し、該ガラス糸Ｂの幅と隣接するガラス糸Ｂ間の隙間間隔との合計から、隣接するガラス糸Ｂ間の隙間間隔ＩＢを減じる（（ＬＢ＋ＩＢ）−ＩＢ）ことにより、計算される。

そして、開繊度は、仮想的にフィラメントが幅方向に隙間なく一列に配置されたガラス糸幅に対する、隣接するガラス糸間の隙間間隔及び該ガラス糸の織密度から計算される実際のガラス糸幅の比率であり、例えば、図１中、ガラス糸Ａの開繊度（％）は、ＬＡ／ＬＶＡ×１００によって計算され、ガラス糸Ｂの開繊度（％）は、ＬＢ／ＬＶＢ×１００によって計算される。すなわち、例えば、開繊度が１００％を超えるものであれば、仮想的にガラス糸中においてフィラメントが幅方向に隙間なく一列に配置されたガラス糸よりも、実際のガラス糸の方が開繊していることを示し（例えば、図１（ｄ）参照。）、開繊度が１００％未満のものであれば、仮想的にガラス糸中においてフィラメントが幅方向に隙間なく一列に配置されたガラス糸よりも、実際のガラス糸が開繊していない（集束する方向、例えば図１（ｂ）参照。）ことを示す。

ガラスクロスは、経糸の開繊度と緯糸の開繊度とを同一にするのは困難であり、通常、張力が比較的かかりにくい緯糸の方が、張力が比較的かかりやすい経糸に比して、開繊しやすい傾向にある。開繊しやすいということは、ガラス糸自体が扁平となりやすく、開繊度が大きくなりやすい。従って、通常は、ガラス糸Ａは経糸であり、ガラス糸Ｂは緯糸である。一方、例えば、開繊処理時に、経方向の張力を小さくし、緯方向の張力を大きくすると、経糸の方が緯糸より開繊度が高いものとすることもでき、この場合、ガラス糸Ａを緯糸、ガラス糸Ｂを経糸とすることも可能である。

ガラス糸Ａの開繊度とガラス糸Ｂの開繊度との比率（ガラス糸Ａの開繊度／ガラス糸Ｂの開繊度）としては、例えば、０．５〜０．９とすることが挙げられる。

本発明において、ガラス糸Ａは、平均フィラメント直径が３．０〜４．３μｍである必要があり、３．６〜４．３μｍが好ましく、３．８〜４．３μｍがより好ましい。平均フィラメント直径が４．３μｍを超える場合、得られるガラスクロスは厚さが１４μｍ以下となりにくくなる。また、平均フィラメント直径が３．０μｍ未満の場合、得られるガラスクロスは、毛羽が多くなりやすく、また、強度が低くなりやすくなる。

ガラス糸Ａは、平均フィラメント本数が２０〜５５本である必要がある。平均フィラメント本数が５５本を越える場合、得られるガラスクロスは厚さが１４μｍ以下となりにくくなる。また、平均フィラメント本数が２０本未満の場合、得られるガラスクロスは、毛羽が多くなりやすく、また、強度が低くなりやすくなる。ガラスクロスの厚さをより薄くするという観点からは、２０本〜４５本が好ましく、２０本〜３０本がより好ましい。

ガラス糸Ａの番手は、１．５ｔｅｘ以下であることが好ましい。ガラス糸Ａの番手が１．５ｔｅｘを超える場合、得られるガラスクロスは厚さが１４μｍ以下となりにくくなる場合がある。ガラスクロスの厚さを１４μｍ以下とすることと、樹脂を含浸して基板としたときにピンホールの発生をより一層抑制することとをより一層両立させやすくするという観点から、０．５〜１．５ｔｅｘが好ましく、１．０〜１．５ｔｅｘがより好ましく、１．２〜１．４ｔｅｘが特に好ましい。また、ガラスクロスの厚さをより一層薄くするという観点からは、０．８〜１．１ｔｅｘが好ましく、０．８〜０．９ｔｅｘがより好ましい。

ガラス糸Ａの撚り数は、ガラス糸Ａをより開繊しやすくし、ガラスクロスの厚さをより薄くしやすくするという観点から、０（無撚り）〜１．０回／２５ｍｍが好ましく、０〜０．７回／２５ｍｍがより好ましく、０〜０．５回／２５ｍｍが特に好ましい。本発明において、撚り数は、ＪＩＳ Ｒ ３４２０ ２０１３ ７．５に従い、測定、算出される値である。撚りの方向としては、Ｓ、Ｚのいずれでもよい。

本発明において、ガラス糸Ａの開繊度は、ガラスクロスの厚さをより薄くしやすくなるという観点から、５０〜９０％であることが好ましく、７０〜９０％がより好ましい。ガラス糸Ａの開繊度を、５０〜９０％とする方法としては、例えば、平均フィラメント本数が２０〜５５本のガラス糸を経糸とし、開繊処理として、水流加工による開繊処理をおこなうことが挙げられる。このとき、水流加工による開繊処理条件としては、ガラスクロスの張力を経方向が５０〜１００Ｎ／ｍとしながら開繊処理をおこなうことが好ましく挙げられる。開繊処理時にガラスクロスにかかる張力の測定には、フィルム分野で一般的に使用される張力検出器を用いた張力検出方法によることが好ましい。該張力検出方法においては、ガイドロール２つ（以下、ガイドロールＸ、ガイドロールＹという。）と張力検出用ロール１つを左右対称になるように二等辺三角形の頂点に配置し、ガラスクロスがガイドロールＸ、張力検出用ロール、ガイドロールＹの順に通るようにセットする。張力検出用ロールにおいては、ガイドロールＸ側に働く張力、ガイドロールＹ側に働く張力、及び該張力検出用ロールに働く重力の合力が荷重として該張力検出用ロールに作用するので、該張力検出用ロールにセットした荷重センサーの測定値から計算によってガラスクロスにかかる張力を求めることができる。また、ガラス糸Ａの開繊度を７０〜９０％とする方法としては、上記ガラスクロスの張力を経方向が５０〜１００Ｎ／ｍとしながら開繊処理をおこなうことに加え、経糸の織密度を８０〜１００本／２５ｍｍとすることが挙げられる。

本発明において、ガラス糸Ｂは、平均フィラメント径が３．０〜４．３μｍである必要があり、３．６〜４．３μｍが好ましく、３．８〜４．３μｍがより好ましい。平均フィラメント直径が４．３μｍを超える場合、得られるガラスクロスは厚さが１４μｍ以下となりにくくなる。また、平均フィラメント直径が３．０μｍ未満の場合、得られるガラスクロスは、毛羽が多くなりやすく、また、強度が低くなりやすくなる。

本発明において、ガラス糸Ｂは、平均フィラメント本数が３５〜７０本である必要があり、３５〜６０本が好ましく、３５〜５５本がより好ましく、４５〜５５本が特に好ましい。本発明においては、開繊度の高いガラス糸Ｂのフィラメント本数を、３５〜７０本としつつ、後述するように、開繊度の低いガラス糸Ａのフィラメント本数より多くすることにより、厚さを薄くしながらピンホールの発生を抑制することが可能となる。すなわち、前述のように、本発明者等は、ピンホールの発生の抑制には、バスケットホールのサイズの縦横の長さのうち、いずれか一方の長さを短くすることが有効であることを見出した。そこで、比較的開繊しやすいガラス糸Ｂのフィラメント本数を上記構成とすることにより、厚さを薄くしながら隣接するガラス糸Ｂ間の隙間間隔を効率的に小さくでき、ピンホールの発生を抑制することが可能となるのである。

本発明において、ガラス糸Ｂの番手は、１．６〜２．４ｔｅｘが好ましく、１．６〜２．０ｔｅｘがより好ましく、１．６〜１．８ｔｅｘが特に好ましい。これにより、得られるガラスクロスは、厚さをより薄くしやすくなり、隣接するガラス糸Ｂ間の隙間間隔をより効率的に小さくしやすくなる。

本発明において、ガラス糸Ｂの撚り数は、ガラス糸Ｂをより開繊しやすくし、ガラスクロスの厚さをより薄くしやすくするという観点から、０（無撚り）〜１．０回／２５ｍｍが好ましく、０〜０．７回／２５ｍｍがより好ましく、０〜０．５回／２５ｍｍが特に好ましい。

本発明において、ガラス糸Ｂの開繊度は、９０％以上であることが好ましく、９０〜１２０％がより好ましく、９０〜１１０％がより好ましい。これにより、ガラスクロスの厚さをより薄くしやすくなり、隣接するガラス糸Ｂ間の隙間間隔をより効率的に小さくしやすくなる。ガラス糸Ｂの開繊度を９０％以上とする方法としては、例えば、平均フィラメント本数を３５〜７０本のガラス糸を緯糸とし、開繊処理としては、水流加工による開繊処理をおこなうことが挙げられる。このとき、水流加工による開繊処理条件としては、ガラスクロスの張力を経方向が５０〜１００Ｎ／ｍとしながら開繊処理をおこなうことが挙げられる。

本発明において、前記ガラス糸Ａの平均フィラメント本数と前記ガラス糸Ｂの平均フィラメント本数との比率（ガラス糸Ａの平均フィラメント本数／ガラス糸Ｂの平均フィラメント本数）が０．９以下であることが必要であり、０．３以上０．９以下が好ましく、０．３０以上０．８０以下がより好ましい。経糸、緯糸のうち、開繊度の高いガラス糸Ｂのフィラメント本数が開繊度の低いガラス糸Ａのフィラメント本数より多くなるようにして、隣接するガラス糸Ｂ同士の間隔を小さくすることにより、厚さを薄くしながらピンホールの発生を抑制することが達成できる。

本発明において、ＪＩＳ Ｒ ３４２０：２０１３ ７．１０．１に従って測定される前記ガラスクロスの厚さは、１４μｍ以下である必要があり、１０〜１４μｍが好ましく、１１〜１４μｍがより好ましい。

本発明において、ガラス糸Ａの平均フィラメント直径とガラス糸Ｂの平均フィラメント直径との比率（ガラス糸Ａの平均フィラメント直径／ガラス糸Ｂの平均フィラメント直径）は、０．９〜１．１であることが好ましく、０．９〜１．０がより好ましい。これにより、得られるガラスクロスは、縦緯の寸法安定性がより優れたものとなり、目曲がり等がより生じにくくなり、ピンホールの発生がより抑制しやすくなる。

本発明において、ガラス糸Ａ及びガラス糸Ｂを構成するガラス材料については、特に制限されず、公知のガラス材料を用いることができる。ガラス材料としては、具体的には、無アルカリガラス（Ｅガラス）、耐酸性の含アルカリガラス（Ｃガラス）、高強度・高弾性率ガラス（Ｓガラス、Ｔガラス等）、耐アルカリ性ガラス（ＡＲガラス）等が挙げられる。これらのガラス材料の中でも、好ましくは汎用性の高い無アルカリガラス（Ｅガラス）が挙げられる。ガラス繊維布帛２を構成するガラス繊維は、１種類のガラス材料からなるものであってもよいし、異なるガラス材料からなるガラス繊維を２種類以上組み合わせたものであってもよい。

本発明のガラスクロスは、特定のガラス糸Ａ及びガラス糸Ｂにより構成されることにより、厚さを薄くしつつ、隣接するガラス糸Ｂ間の隙間間隔を効率的に小さくすることができる。隣接する該ガラス糸Ｂ間の隙間間隔として、具体的に６０μｍ以下とすると、厚さを薄くしつつ、とりわけ低ＲＣとして後述する合成樹脂、より好ましくはエポキシ樹脂を含浸させた際にもピンホールの発生をより一層抑制することができやすくなるため、好ましい。厚さを薄くすることと、ピンホールの発生を抑制することとをより一層両立させることに加え、コストパフォーマンスをより一層優れたものとするという観点からは、上記隙間間隔は、３０〜６０μｍがより好ましく、４０〜５５μｍがより一層好ましい。

本発明のガラスクロスは、ガラス糸Ａの織密度（本／２５ｍｍ）と前記ガラス糸Ｂの織密度（本／２５ｍｍ）との比率（ガラス糸Ａの織密度／ガラス糸Ｂの織密度）が０．９〜１．４であることが好ましく、０．９〜１．１がより好ましい。これにより、経糸と緯糸との拘束力が均一なものとなりやすく、目曲がり等がより生じにくくなり、ピンホールの発生がより抑制しやすくなる。

ガラス糸Ａの織密度（本／２５ｍｍ）及びガラス糸Ｂの織密度（本／２５ｍｍ）は、厚さを薄くすることと、ピンホールの発生を抑制することとをより一層両立させることに加え、コストパフォーマンスをより一層優れたものとするという観点からは、８０本〜１３０本／２５ｍｍであることが好ましく、８０〜１１０本がより好ましく、８０〜１００本が特に好ましい。

ガラス繊維織物の織組織としては、特に制限されないが、例えば、平織、朱子織、綾織、斜子織、畦織などが挙げられる。中でも、平織が好ましい。

次に、本発明のガラスクロスの製造方法について説明する。

まず、ガラス糸Ａ及びガラス糸Ｂを用いて織成する。織成方法は、従来公知の任意の方法を採用すればよく、例えば、ガラス糸Ａを整経工程及び糊付工程を施した後、ジェット織機（例えば、エアージェット織機、ウォータージェット織機等）、スルザー織機、レピヤー織機等を用いてガラス糸Ｂを緯糸として打ち込むことが挙げられる。

ガラスクロスの厚さをより薄くしながら、隣接するガラス糸Ｂ間の隙間間隔をより効率的に小さくするという観点から、開繊処理を施すのが好ましい。開繊処理する方法としては、例えば、得られたガラスクロスに水流の圧力による開繊処理、水（例えば脱気水、イオン交換水、脱イオン水、電解陽イオン水又は電解陰イオン水等）等を媒体とした高周波振動による開繊処理、ロールによる加圧での加工処理等が挙げられる。かかる開繊処理は織成と同時に行ってもよいし、織成後に行ってもよい。後述するヒートクリーニング前或いは後若しくはヒートクリーニングと同時に行ってもよいし、後述する表面処理と同時に若しくは後に行ってもよい。

中でも、前述のように、ガラス糸Ｂの開繊度を９０％以上とする場合には、開繊処理として、前述した水流加工による開繊処理をおこなうことが好ましく挙げられる。

織成したガラスクロスに、集束剤等、基板とする際のマトリックス樹脂の密着性、含浸性を阻害する物質が付着している場合は、例えば、ヒートクリーニング処理等により該物質を除去するのが好ましい。更に、ヒートクリーニング処理されたガラスクロスは従来公知のシランカップリング剤で表面処理が施されるのが好ましい。かかる表面処理手段は、従来公知の手段でよく、例えば、シランカップリング剤をガラスクロスに含浸する方法、塗布する方法、スプレーする方法等が挙げられる。

本発明のプリプレグは、本発明のガラスクロスを含む。これにより、得られるプリプレグは、薄型化しつつ、ピンホールの発生が抑制することができる。

本発明の基板は、本発明のガラスクロスを含む。これにより、得られる基板は、薄型化しつつ、ピンホールの発生が抑制することができる。

本発明のプリプレグ及び基板において、本発明のガラスクロスに含浸される樹脂としては、本発明のガラスクロスと複合し得る合成樹脂であれば得に限定されず、例えば、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂、これらの複合樹脂等が挙げられる。

上記熱硬化性樹脂は、熱硬化性を有する樹脂であれば特に限定されず、例えば、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、エポキシアクリレート樹脂、ポリエステル樹脂（例えば不飽和ポリエステル樹脂等）、ビニルエステル樹脂、メラミン樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂、ＢＴ（ポリビスマレイミドトリアジン）樹脂、シアネート樹脂（例えばシアネートエステル樹脂等）、シリコーン樹脂、ＰＰＥ（ポリフェニレンエーテル）樹脂、ＰＥＳ（ポリエーテルサルフォン）樹脂、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）樹脂、ＣＰレジン、これらの共重合体樹脂、これら樹脂を変性させた変性樹脂、又はこれら混合物などが挙げられる。

上記熱可塑性樹脂は、熱可塑性を有する樹脂であれば特に限定されず、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）樹脂、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）樹脂、ポリトリメチレンテレフタレート（ＰＴＴ）樹脂、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）樹脂、液晶ポリエステル樹脂等のポリエステル樹脂、ポリエチレン（ＰＥ）樹脂、ポリプロピレン（ＰＰ）樹脂、ポリブチレン樹脂等のポリオレフィン樹脂、スチレン系樹脂、ポリオキシメチレン（ＰＯＭ）樹脂、ポリアミド（ＰＡ）樹脂、ポリカーボネート（ＰＣ）樹脂、ポリメチレンメタクリレート（ＰＭＭＡ）樹脂、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）樹脂、ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）樹脂、ポリフェニレンエーテル（ＰＰＥ）樹脂、ポリフェニレンオキサイド（ＰＰＯ）樹脂、ポリイミド（ＰＩ）樹脂、ポリアミドイミド（ＰＡＩ）樹脂、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）樹脂、ポリスルホン（ＰＳＵ）樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリケトン（ＰＫ）樹脂、ポリエーテルケトン（ＰＥＫ）樹脂、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）樹脂、ポリアリレート（ＰＡＲ）樹脂、ポリエーテルニトリル（ＰＥＮ）樹脂、フェノール（ノボラック型など）樹脂、フェノキシ樹脂、フッ素樹脂、ポリスチレン系、ポリオレフィン系、ポリウレタン系、ポリエステル系、ポリアミド系、ポリブタジエン系、ポリイソプレン系又はフッ素系等の熱可塑性エラストマー、又はこれらの共重合体樹脂又は変性体樹脂等が挙げられる。

上記複合樹脂は、例えば、上記熱硬化性樹脂に熱可塑性樹脂を混合したもの（例えばエポキシ樹脂−ＰＥＳ、エポキシ樹脂−ＰＳＵ又はエポキシ樹脂−ＰＰＳ等）などが挙げられる。

上記合成樹脂の中では、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ＢＴ樹脂、シアネートエステル樹脂、ＰＰＥ樹脂等の熱硬化性樹脂が好ましく、エポキシ樹脂がより好ましい。この場合、本発明の基板は、本発明のガラスクロス１枚にエポキシ樹脂が含浸された層を含むことが好ましい。

本発明の基板において、ＲＣ（ガラスクロスを含む基板の質量（ｇ／ｍ^２）に対するエポキシ樹脂の質量（ｇ／ｍ^２）の質量割合）としては、例えば、５０〜８０質量％が挙げられる。

本発明のプリプレグ及び基板の製造方法は、特に限定されず、従来公知の任意の製造方法が採用されればよい。

本発明の基板の製造方法としては、ガラスクロスに含浸されたエポキシ樹脂を硬化する工程を含むことが好ましい。硬化の方法は特に限定されず、例えば、ガラスクロスに含浸されたエポキシ樹脂を含むプリプレグを製造したあとに硬化する方法等が挙げられる。

本発明の集積回路は、上記本発明の基板を含む。本発明の基板は、薄型化しつつ、ピンホールの発生が抑制することができることから、集積回路とするのに好適である。特に、ＬＳＩに用いるのに好適であり、ＬＳＩの中でも、携帯電話やスマートフォンに用いられるアプリケーションプロセッサに用いることが好適である。

本発明の電子機器は、上記本発明の基板を含む。本発明の基板は、薄型化しつつ、ピンホールの発生が抑制することができるので、電子機器を小型化することが可能となる。電子機器としては、例えば、映像機器（例えばテレビ、ＶＴＲ、ＤＶＤ−ビデオ、ビデオカメラ、デジタルカメラ又はカーナビゲーションシステム等）、音声機器（例えばラジカセ、ヘッドホンステレオ若しくはテープデッキ等のテープレコーダー、セット若しくはコンポーネント等のステレオ、カーステレオ、カー用スピーカ、ラジオ、拡声装置、又は補聴器等）、電気計測器（例えば電気計器又は環境計測器等）、事務用機械（例えば謄写機、事務用印刷機、複写機、マイクロ写真機械又はタイプライタ等）、通信機器（例えば有線通信機器又は無線通信機器等）、コンピューター、又はコンピューター関連機器（例えばプリンタ等）等が挙げられ、特に、小型の通信機器、例えば、携帯電話やスマートフォン等が好ましく挙げられる。

以下、実施例によって本発明を詳しく説明する。ただし、本発明は以下の実施例によって限定されるものではない。

以下の実施例、比較例における測定及び評価は下記の方法でおこなった。

１．ガラス糸の平均フィラメント直径Ｄ（μｍ）、平均フィラメント本数（本）
得られたガラスクロスを３０ｃｍ角にカットしたものを２枚用意し、一方を経糸観察用、他方を緯糸観察用として、それぞれをエポキシ樹脂（丸本ストルアス株式会社製商品名３０９１）に包埋して硬化させ、経糸、緯糸が観察可能な程度に研磨し、ＳＥＭ（日本電子株式会社製商品名ＪＳＭ−６３９０Ａ）を用い、倍率５００倍で観察、測定をおこなった。
（１）ガラス糸の平均フィラメント直径Ｄ（μｍ）
経糸、緯糸それぞれについて無作為に２０本選び、該２０本のガラス糸の全フィラメントの直径（最も大きい部分）を測定して平均値を算出し、ガラス糸の平均フィラメント直径とした。
（２）平均フィラメント本数Ｎ（本）
経糸、緯糸それぞれについて無作為に２０本選び、２０本のガラス糸の全フィラメント数を測定して平均値を算出し、ガラス糸の平均フィラメント直径とした。

２．ガラスヤーンの番手（ｔｅｘ）
ＪＩＳ Ｒ ３４２０ ２０１３ ７．１に従い、測定、算出した。

３．ガラスクロスの織密度Ｗ_Ｄ（本／２５ｍｍ）
ＪＩＳ Ｒ ３４２０ ２０１３ ７．９に従い、経、緯糸の織密度を測定、算出した。

４．ガラスクロスの厚さ（μｍ）
ＪＩＳ Ｒ ３４２０ ２０１３ ７．１０．１Ａ法に従い、マイクロメータを用いて０．００１ｍｍ（１μｍ）の桁まで測定した。これを５か所についておこない、該５か所の平均値をＪＩＳ Ｚ ８４０１規則Ｂによって数値を丸め、０．００１ｍｍ（１μｍ）の桁まで算出した。１４μｍ以下のものを合格とした。

５．隣接する経糸間及び緯糸間の隙間間隔Ｉ（μｍ）
得られたガラスクロスにおいて無作為に１０箇所選び、マイクロスコープを用いて倍率１００倍として観察し、隣接する経糸間及び緯糸間の隙間間隔を測定し、該１０箇所の平均値を隙間間隔とした。なお、隙間間隔は、隣接するガラス糸同士の最短距離を隙間間隔とした。

６．経糸及び緯糸の開繊度（％）
前記した方法により測定、算出した。

７．ピンホール発生の評価
得られたガラスクロスを下記処方のエポキシ樹脂ワニスに充分に浸漬することにより、ガラスクロスに該ワニスを塗布した。ガラスクロスに塗布した該ワニスの付着量を、ギャップロールを用いて、表１に記載のＲＣになるように調整し、乾燥機を用いて加熱硬化させることにより、ガラスクロス／エポキシ樹脂複合シートを得た。得られたガラスクロス／エポキシ樹脂複合シートを無作為に３０ｃｍ角にカットしたものを３枚用意し、目視でピンホールの数を観察した。ＲＣが７１質量％及び６７質量％としたときにピンホールの数が０個のものを合格とした。なお、参考までにＲＣが７４質量％としたときも評価した。

＜処方＞
エポキシ樹脂（三菱化学株式会社製 ｊＥＲ５０４５Ｂ８０） １００質量部
硬化剤（三菱化学株式会社製 ｊＥＲキュアＤＩＣＹ７） ２．７質量部
（ジシアンジアミド）
硬化促進剤（三菱化学株式会社製２−エチル−４−メチルイミダゾール） ０．２質量部
希釈溶剤（キシダ化学株式会社製ジメチルホルムアミド） ２０質量部

実施例１
経糸としてユニチカグラスファイバー株式会社製商品名ＢＣ３７５０ １／０（平均フィラメント径４．１μｍ、平均フィラメント本数４０本）、緯糸としてユニチカグラスファイバー株式会社製商品名ＢＣ３０００ １／０（平均フィラメント径４．１μｍ、平均フィラメント本数５１本）を用い、エアージェット織機で製織し、経糸密度が９５本／２５ｍｍ、緯糸密度が９５本／２５ｍｍの平織のガラスクロスを得た。ついで、得られたガラスクロスに付着している紡糸集束剤と製織集束剤を４００℃で３０時間加熱して除去した。その後、表面処理剤のシランカップリング剤（Ｓ−３５０：Ｎ−ビニルベンジル−アミノエチル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン（塩酸塩）チッソ株式会社）を１５ｇ／Ｌの濃度に調整しパダーロールで絞った後、１２０℃で１分乾燥・キュアリングした。そして、水流加工でガラスクロスの張力を経方向が１００Ｎ／ｍとしながら開繊処理を施し、実施例１のガラスクロスを得た。

実施例２
緯糸密度を９０本として製織した以外は、実施例１と同様におこない、実施例２のガラスクロスを得た。

実施例３
経糸密度を８５本として製織した以外は、実施例１と同様におこない、実施例３のガラスクロスを得た。

実施例４
経糸としてユニチカグラスファイバー株式会社製商品名ＢＣ５０００ １／０（平均フィラメント径４．１μｍ、平均フィラメント本数３０本）、緯糸としてユニチカグラスファイバー株式会社製商品名ＢＣ３０００ １／０（平均フィラメント径４．１μｍ、平均フィラメント本数５１本）を用い、エアージェット織機で製織し、経糸密度が１１５本／２５ｍｍ、緯糸密度が９５本／２５ｍｍの平織のガラスクロスを得た。ついで、得られたガラスクロスに付着している紡糸集束剤と製織集束剤を３００℃で３０時間加熱して除去した。その後、表面処理剤のシランカップリング剤（Ｓ−３５０ Ｎ−ビニルベンジル−アミノエチル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン（塩酸塩）チッソ株式会社）を１５ｇ／Ｌの濃度に調整しパダーロールで絞った後、１２０℃で１分乾燥・キュアリングした。そして、水流加工でガラスクロスの張力を経方向が５０Ｎ／ｍとしながら開繊処理を施し、実施例４のガラスクロスを得た。

実施例５
経糸としてユニチカグラスファイバー株式会社製商品名ＢＣ６０００ １／０（平均フィラメント径４．１μｍ、平均フィラメント本数２５本）、緯糸としてユニチカグラスファイバー株式会社製商品名ＢＣ３０００ １／０（平均フィラメント径４．１μｍ、平均フィラメント本数５１本）を用い、エアージェット織機で製織し、経糸密度が１２５本／２５ｍｍ、緯糸密度が９５本／２５ｍｍの平織のガラスクロスを得た。ついで、得られたガラスクロスに付着している紡糸集束剤と製織集束剤を３００℃で３０時間加熱して除去した。その後、表面処理剤のシランカップリング剤（Ｓ−３５０ Ｎ−ビニルベンジル−アミノエチル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン（塩酸塩）チッソ株式会社）を１５ｇ／Ｌの濃度に調整しパダーロールで絞った後、１２０℃で１分乾燥・キュアリングした。そして、水流加工でガラスクロスの張力を経方向が５０Ｎ／ｍとしながら開繊処理を施し、実施例５のガラスクロスを得た。

実施例６
経糸密度を１１５本／２５ｍｍとして製織した以外は、実施例１と同様におこない、実施例６のガラスクロスを得た。

比較例１
経糸及び緯糸としてユニチカグラスファイバー株式会社製商品名ＢＣ３７５０ １／０（平均フィラメント径４．１μｍ、平均フィラメント本数４０本）を用い、エアージェット織機で製織し、経糸密度が９５本／２５ｍｍ、緯糸密度が９５本／２５ｍｍの平織のガラスクロスを得た。ついで、得られたガラスクロスに付着している紡糸集束剤と製織集束剤を４００℃で３０時間加熱して除去した。その後、表面処理剤のシランカップリング剤（Ｓ−３５０ Ｎ−ビニルベンジル−アミノエチル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン（塩酸塩）チッソ株式会社）を１５ｇ／Ｌの濃度に調整しパダーロールで絞った後、１２０℃で１分乾燥・キュアリングした。そして、水流加工でガラスクロスの張力を経方向が１００Ｎ／ｍとしながら開繊処理を施し、比較例１のガラスクロスを得た。

比較例２
経糸及び緯糸としてユニチカグラスファイバー株式会社製商品名ＢＣ３０００ １／０（平均フィラメント径４．１μｍ、平均フィラメント本数５１本）を用い、エアージェット織機で製織し、経糸密度が９５本／２５ｍｍ、緯糸密度が９５本／２５ｍｍの平織のガラスクロスを得た。ついで、得られたガラスクロスに付着している紡糸集束剤と製織集束剤を４００℃で３０時間加熱して除去した。その後、表面処理剤のシランカップリング剤（Ｓ−３５０ Ｎ−ビニルベンジル−アミノエチル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン（塩酸塩）チッソ株式会社）を１５ｇ／Ｌの濃度に調整しパダーロールで絞った後、１２０℃で１分乾燥・キュアリングした。そして、水流加工でガラスクロスの張力を経方向が１００Ｎ／ｍとしながら開繊処理を施し、比較例２のガラスクロスを得た。

比較例３
経糸としてユニチカグラスファイバー株式会社製商品名ＢＣ３０００ １／０（平均フィラメント径４．１μｍ、平均フィラメント本数５１本）、緯糸としてユニチカグラスファイバー株式会社製商品名ＢＣ３７５０ １／０（平均フィラメント径４．１μｍ、平均フィラメント本数４０本）を用い、エアージェット織機で製織し、経糸密度が９５本／２５ｍｍ、緯糸密度が９５本／２５ｍｍの平織のガラスクロスを得た。ついで、得られたガラスクロスに付着している紡糸集束剤と製織集束剤を４００℃で３０時間加熱して除去した。その後、表面処理剤のシランカップリング剤（Ｓ−３５０ Ｎ−ビニルベンジル−アミノエチル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン（塩酸塩）チッソ株式会社）を１５ｇ／Ｌの濃度に調整しパダーロールで絞った後、１２０℃で１分乾燥・キュアリングした。そして、水流加工でガラスクロスの張力を経方向が１００Ｎ／ｍとしながら開繊処理を施し、比較例３のガラスクロスを得た。

比較例４
経糸及び緯糸としてユニチカグラスファイバー株式会社製商品名ＢＣ３７５０ １／０（平均フィラメント径４．１μｍ、平均フィラメント本数４０本）を用い、エアージェット織機で製織し、経糸密度が９５本／２５ｍｍ、緯糸密度が１０５本／２５ｍｍの平織のガラスクロスを得た。ついで、得られたガラスクロスに付着している紡糸集束剤と製織集束剤を４００℃で３０時間加熱して除去した。その後、表面処理剤のシランカップリング剤（Ｓ−３５０ Ｎ−ビニルベンジル−アミノエチル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン（塩酸塩）チッソ株式会社）を１５ｇ／Ｌの濃度に調整しパダーロールで絞った後、１２０℃で１分乾燥・キュアリングした。そして、水流加工でガラスクロスの張力を経方向が１００Ｎ／ｍとしながら開繊処理を施し、比較例４のガラスクロスを得た。

得られた結果を表１に示す。

実施例１〜６は、開繊度が比較的小さいガラス糸Ａ（経糸）の平均フィラメント直径が３．０〜４．３μｍ、平均フィラメント本数が２０〜５５本であり、開繊度が比較的大きいガラス糸Ｂ（緯糸）の平均フィラメント径が３．０〜４．３μｍ、平均フィラメント本数が３５〜７０本であり、かつ、ガラス糸Ａの平均フィラメント本数とガラス糸Ｂの平均フィラメント本数との比率が０．９以下であったことから、得られたガラスクロスは、厚さが１４μｍ以下と薄くしつつ、ピンホールの発生を抑制できるものであった。

特に、実施例１〜３は、ガラス糸Ａの織密度（本／２５ｍｍ）とガラス糸Ｂの織密度（本／２５ｍｍ）との比率（ガラス糸Ａの織密度／ガラス糸Ｂの織密度）が０．９〜１．１であったことから、経緯の寸法安定性がより優れたものとなり、目曲がり等がより生じにくくなり、ピンホールの発生がより抑制しやすくなるものであった。加えて、実施例１〜３は、ガラス糸Ａの織密度（本／２５ｍｍ）及び前記ガラス糸Ｂの織密度（本／２５ｍｍ）が８０本〜１１０本／２５ｍｍであったことから、コストパフォーマンスもより優れたものであった。

また、実施例４及び５は、ガラス糸Ａの番手が０．５〜１．１ｔｅｘであったことから、厚さがより一層薄いものであった。

一方、比較例１は、緯糸として、経糸と同種であるＢＣ３７５０ １／０を用いた（すなわち、ガラス糸Ａの平均フィラメント本数とガラス糸Ｂの平均フィラメント本数との比率が０．９を超えるものであった）ことから、得られたガラスクロスは、隣接する緯糸間隔が大きくなりすぎ、ＲＣが６７及び７１質量％のときにピンホールが発生した。

比較例２は、経糸として、緯糸と同種であるＢＣ３０００ １／０を用い、ガラス糸Ａの平均フィラメント本数とガラス糸Ｂの平均フィラメント本数との比率が０．９を超えるものであったことから、得られたガラスクロスは、厚さが大きくなりすぎ、１４μｍを超えるものとなった。

比較例３は、経糸としてＢＣ３０００ １／０を用い、ガラス糸Ａの平均フィラメント本数とガラス糸Ｂの平均フィラメント本数との比率が０．９を大きく超えるものであったことから、得られたガラスクロスは、ＲＣが６７及び７１質量％のときにピンホールが発生し、厚さも１４μｍを超えるものとなった。

比較例４は、比較例１において緯糸の織密度を向上させたものの、ガラス糸Ａの平均フィラメント本数とガラス糸Ｂの平均フィラメント本数との比率が０．９を超えるものであったことから、効率的に緯糸間の隙間間隔を小さくすることができず、依然緯糸間の隙間間隔が大きく、ＲＣが６７及び７１質量％のときにピンホールが発生した。

１ ガラス糸
２ フィラメント

Claims (11)

1. 経糸及び緯糸のうち、一方の糸が、下記式（ｉ）に示す開繊度が他方の糸より小さいガラス糸Ａであり、該他方の糸が、前記開繊度が前記ガラス糸Ａより大きいガラス糸Ｂであるガラスクロスであって、
   前記ガラス糸Ａの平均フィラメント直径が３．０〜４．３μｍ、平均フィラメント本数が２０〜５５本であり、
   前記ガラス糸Ｂの平均フィラメント径が３．０〜４．３μｍ、平均フィラメント本数が３５〜７０本であり、
   前記ガラス糸Ａの平均フィラメント本数と前記ガラス糸Ｂの平均フィラメント本数との比率（ガラス糸Ａの平均フィラメント本数／ガラス糸Ｂの平均フィラメント本数）が０．９以下であり、
   ＪＩＳ Ｒ ３４２０：２０１３ ７．１０．１に従って測定される前記ガラスクロスの厚さが１４μｍ以下であることを特徴とする、ガラスクロス。
   開繊度（％）＝｛（２５×１０００）／Ｗ_Ｄ−Ｉ｝／（Ｄ×Ｎ）×１００ （ｉ）
   Ｗ_Ｄ：前記ガラスクロスの経糸または緯糸の織密度（本／２５ｍｍ）
   Ｉ：前記ガラスクロスの隣接する経糸間または緯糸間の隙間間隔（μｍ）
   Ｄ：前記ガラスクロスの経糸または緯糸の平均フィラメント直径（μｍ）
   Ｎ：前記ガラスクロスの経糸または緯糸の平均フィラメント本数（本）
2. 隣接する前記ガラス糸Ｂ間の隙間間隔が６０μｍ以下である、請求項１に記載のガラスクロス。
3. 前記ガラス糸Ａの織密度（本／２５ｍｍ）と前記ガラス糸Ｂの織密度（本／２５ｍｍ）との比率（ガラス糸Ａの織密度／ガラス糸Ｂの織密度）が０．９〜１．１である、請求項１または２に記載のガラスクロス。
4. 前記ガラス糸Ａの織密度（本／２５ｍｍ）及び前記ガラス糸Ｂの織密度（本／２５ｍｍ）が８０本〜１３０本／２５ｍｍである、請求項１〜３のいずれか１項に記載のガラスクロス。
5. 前記ガラス糸Ｂの開繊度が９０％以上である、請求項１〜４のいずれか１項に記載のガラスクロス。
6. 前記ガラス糸Ａの平均フィラメント直径と前記ガラス糸Ｂの平均フィラメント直径との比率（ガラス糸Ａの平均フィラメント直径／ガラス糸Ｂの平均フィラメント直径）が０．９〜１．１である、請求項１〜５のいずれか１項に記載のガラスクロス。
7. 請求項１〜６のいずれか１項に記載のガラスクロスを含む、プリプレグ。
8. 請求項１〜６のいずれか１項に記載のガラスクロスを含む、基板。
9. 請求項１〜６のいずれか１項に記載のガラスクロスにエポキシ樹脂が含浸された層を含む、基板。
10. 請求項８または９に記載の基板を含む、集積回路。
11. 請求項８または９に記載の基板を含む、電子機器。
    

Images