JP5921477B2 - Mems素子 - Google Patents
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Description
図1は、実施形態に係るMEMS素子を模式的に示す断面図である。本実施形態は、MEMSを可変容量素子に適用した例である。
ここで、ε0は真空の誘電率、Sは電極面積(下部電極3と上部電極7との対向面積)、teffは実効的な膜厚(下部電極3と上部電極7との間の実効的な距離)を示している
teffは下記の式(2)で与えられる。
ここで、tHillockは誘電体層6の凸部(下地のヒロックによって生じた凸部)の高さ、tNODFは誘電体層6の厚さ、εNODFは誘電体層6の比誘電率を示している。
αε0S/(tBump/εBump+tNODF/εNODF) (3)
ここで、αは下部電極における誘電体バンプ5の専有面積率、tBumpは誘電体バンプ層5の膜厚、εBumpは誘電体バンプ層5の比誘電率である。本実施形態においてα<<1であるため式(3)は次式に近似できる。
式(4)はダウンステートにおける静電容量がヒロック高さtHillockに依存せず、tBump及びtNODFで制御できることを示している。
複数の微小な凸部が形成された上面を有する下部電極と、
前記下部電極の前記上面上に設けられ、前記凸部の高さよりも厚い複数の誘電体バンプと、
前記誘電体バンプおよび前記下部電極上に設けられた誘電体層と
前記誘電体層の上方に設けられ、前記下部電極との間の静電容量を変えられるように可動な上部電極と
を具備してなるMEMS素子。
前記誘電体バンプの材料と前記誘電体層の材料とは異なることを特徴とする付記1に記載のMEMS素子。
前記誘電体層の材料は、前記誘電体バンプの材料よりも誘電率が高いことを特徴とする付記2に記載のMEMS素子。
前記誘電体バンプの材料は、前記誘電体層の材料よりも高いエッチングレートで加工できることを特徴とする付記2に記載のMEMS素子。
前記誘電体層の材料はシリコン窒化物であり、前記誘電体バンプの材料はシリコン酸化物であることを特徴とする付記2に記載のMEMS素子。
前記誘電体バンプの材料と前記誘電体層の材料とは同じあることを特徴とする付記1に記載のMEMS素子。
前記複数の誘電体バンプ下に前記凸部が存在しないことを特徴とする付記1に記載のMEMS素子。
前記複数の誘電体バンプ下に存在する前記凸部の数は、前記複数の誘電体バンプの間に存在する前記凸部の数よりも少ないことを特徴とする付記1に記載素子のMEMS素子。
前記下部電極の前記複数の微小な凸部上の前記誘電体層の表面は凸形状になっていることを特徴とする付記1に記載のMEMS素子。
前記上部電極の上面には複数の微小な凸部が形成されていることを特徴とする付記1に記載のMEMS素子。
前記上部電極の上面の前記複数の微小な凸部は、ランダムに形成されていることを特徴とする付記10に記載のMEMS素子。
前記上部電極の上面の前記複数の微小な凸部は、前記上部電極の材料を含むヒロックを含むことを特徴とする付記10に記載のMEMS素子。
前記上部電極の周縁下には前記誘電体バンプが配置されていることを特徴とする付記1に記載のMEMS素子。
前記上部電極は開口を有し、前記開口下には前記誘電体バンプが配置されておらず、かつ、前記開口のエッジ下には前記誘電体バンプが配置されていることを特徴とする付記13に記載のMEMS素子。
前記下部電極の前記複数の微小な凸部は、ランダムに形成されていることを特徴とする付記1に記載のMEMS素子。
前記下部電極の前記複数の微小な凸部は、前記下部電極の材料を含むヒロックを含むことを特徴とする付記1に記載のMEMS素子。
前記複数の誘電体バンプは、前記下部電極の前記複数の微小な凸部の平均高さよりも厚いことを特徴とする付記1に記載のMEMS素子。
前記複数の誘電体バンプは、前記下部電極の前記複数の微小な凸部の最大高さよりも厚いことを特徴とする付記1に記載のMEMS素子。
Claims (4)
- 複数の微小な凸部が形成された上面を有する下部電極と、
前記下部電極の前記上面上に設けられ、前記凸部の高さよりも厚い複数の誘電体バンプと、
前記誘電体バンプおよび前記下部電極上に設けられた誘電体層と
前記誘電体層の上方に設けられ、前記下部電極との間の静電容量を変えられるように可動な上部電極と
を具備し、前記上部電極の周縁下には前記誘電体バンプが配置されていることを特徴とするMEMS素子。 - 前記誘電体バンプの材料と前記誘電体層の材料とは異なることを特徴とする請求項1に記載のMEMS素子。
- 前記誘電体層の材料は、前記誘電体バンプの材料よりも誘電率が高いことを特徴とする請求項2に記載のMEMS素子。
- 前記複数の誘電体バンプ下に存在する前記凸部の数は、前記複数の誘電体バンプの間に存在する前記凸部の数よりも少ないことを特徴とする請求項1に記載素子のMEMS素子。
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