JP5920818B2 - 光電変換素子及びその製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の光電変換素子は、基板上に、酸化亜鉛(ZnO)が含まれるn型層と、ZnOが含まれるp型層とが形成された構成を具備する光電変換素子であって、前記p型層として、あるいは前記n型層と前記p型層の間に挿入された層として、平均粒径が10〜500nmの範囲でありZnOを主成分とするp型ZnO微粒子が少なくとも含まれる微粒子が結合されて構成され、光を吸収する微粒子層が形成されたことを特徴とする。
本発明の光電変換素子において、前記微粒子層は前記p型層であり、前記p型ZnO微粒子は、窒素濃度が1018〜1020cm−3とされたことを特徴とする。
本発明の光電変換素子において、前記微粒子層は、前記p型ZnO微粒子と、窒化ガリウム(GaN)又は酸化錫(SnO2)を主成分とする微粒子が混合されて構成されたことを特徴とする。
本発明の光電変換素子において、前記微粒子層は、前記n型層と前記p型層の間に挿入された層であることを特徴とする。
本発明の光電変換素子において、前記微粒子層は、バインダーを介して前記微粒子が結合されて構成されたことを特徴とする。
本発明の光電変換素子は、前記基板上に、導電層を介して、前記n型層と前記p型層とが形成されたことを特徴とする。
本発明の光電変換素子において、前記基板及び前記導電層は前記微粒子層が吸収する光に対して透明であることを特徴とする。
本発明の光電変換素子の製造方法は、基板上に、酸化亜鉛(ZnO)が含まれるn型層と、ZnOが含まれるp型層とが形成された構成を具備する光電変換素子の製造方法であって、平均粒径が10〜500nmの範囲でありZnOを主成分とするp型ZnO微粒子が少なくとも含まれる微粒子が混合された塗布液を塗布した後に焼成して、前記微粒子が焼結された微粒子層を、前記p型層として、あるいは前記n型層と前記p型層の間に挿入された層として形成する微粒子層形成工程、を具備することを特徴とする。
本発明の光電変換素子の製造方法は、前記微粒子層形成工程において、前記塗布液に、窒化ガリウム(GaN)又は酸化錫(SnO2)を主成分とする微粒子を混合してから前記塗布液を塗布することを特徴とする。
本発明の光電変換素子の製造方法は、前記微粒子層形成工程によって、前記微粒子層を前記n型層と前記p型層の間に挿入された層として形成することを特徴とする。
本発明の光電変換素子の製造方法において、前記微粒子層は前記p型層であり、前記p型ZnO微粒子は焼結後における窒素濃度が1018〜1020cm−3とされたことを特徴とする。
本発明の光電変換素子の製造方法は、減圧酸素雰囲気とされたチャンバー内において亜鉛材料をアーク放電によって蒸発させた状態から粒子化させることによって、前記p型ZnO微粒子を製造することを特徴とする。
本発明の光電変換素子の製造方法は、前記基板上に、導電層及び前記n型層とをスパッタリング法によって順次形成する下地工程を具備し、当該下地工程の後に、前記微粒子層形成工程によって前記p型層を前記n型層の上に形成することを特徴とする。
本発明の光電変換素子の製造方法は、前記微粒子層形成工程において、前記塗布液にはバインダーが混合されたことを特徴とする。
本発明の光電変換素子の製造方法は、前記微粒子層形成工程において、焼成温度を300℃以下とすることを特徴とする。
11 基板
12 ZnO系透明導電膜
13 n型ZnO系薄膜
14、23、34 微粒子層
15 n側電極
16 p側電極
24、35 p型ZnO層
141 微粒子
231 n型ZnO微粒子
341 ZnO微粒子
342 GaN微粒子
Claims (15)
- 基板上に、酸化亜鉛(ZnO)が含まれるn型層と、ZnOが含まれるp型層とが形成された構成を具備する光電変換素子であって、
前記p型層として、あるいは前記n型層と前記p型層の間に挿入された層として、
平均粒径が10〜500nmの範囲でありZnOを主成分とするp型ZnO微粒子が少なくとも含まれる微粒子が結合されて構成され、光を吸収する微粒子層が形成されたことを特徴とする光電変換素子。 - 前記微粒子層は前記p型層であり、前記p型ZnO微粒子は、窒素濃度が1018〜1020cm−3とされたことを特徴とする請求項1に記載の光電変換素子。
- 前記微粒子層は、前記p型ZnO微粒子と、窒化ガリウム(GaN)又は酸化錫(SnO2)を主成分とする微粒子が混合されて構成されたことを特徴とする請求項1に記載の光電変換素子。
- 前記微粒子層は、前記n型層と前記p型層の間に挿入された層であることを特徴とする請求項3に記載の光電変換素子。
- 前記微粒子層は、バインダーを介して前記微粒子が結合されて構成されたことを特徴とする請求項1から請求項4までのいずれか1項に記載の光電変換素子。
- 前記基板上に、導電層を介して、前記n型層と前記p型層とが形成されたことを特徴とする請求項1から請求項5までのいずれか1項に記載の光電変換素子。
- 前記基板及び前記導電層は前記微粒子層が吸収する光に対して透明であることを特徴とする請求項6に記載の光電変換素子。
- 基板上に、酸化亜鉛(ZnO)が含まれるn型層と、ZnOが含まれるp型層とが形成された構成を具備する光電変換素子の製造方法であって、
平均粒径が10〜500nmの範囲でありZnOを主成分とするp型ZnO微粒子が少なくとも含まれる微粒子が混合された塗布液を塗布した後に焼成して、前記微粒子が焼結された微粒子層を、前記p型層として、あるいは前記n型層と前記p型層の間に挿入された層として形成する微粒子層形成工程、
を具備することを特徴とする光電変換素子の製造方法。 - 前記微粒子層形成工程において、
前記塗布液に、窒化ガリウム(GaN)又は酸化錫(SnO2)を主成分とする微粒子を混合してから前記塗布液を塗布することを特徴とする請求項8に記載の光電変換素子の製造方法。 - 前記微粒子層形成工程によって、前記微粒子層を前記n型層と前記p型層の間に挿入された層として形成することを特徴とする請求項9に記載の光電変換素子の製造方法。
- 前記微粒子層は前記p型層であり、前記p型ZnO微粒子は焼結後における窒素濃度が1018〜1020cm−3とされたことを特徴とする請求項8に記載の光電変換素子の製造方法。
- 減圧酸素雰囲気とされたチャンバー内において亜鉛材料をアーク放電によって蒸発させた状態から粒子化させることによって、前記p型ZnO微粒子を製造することを特徴とする請求項11に記載の光電変換素子の製造方法。
- 前記基板上に、導電層及び前記n型層とをスパッタリング法によって順次形成する下地工程を具備し、
当該下地工程の後に、前記微粒子層形成工程によって前記p型層を前記n型層の上に形成することを特徴とする請求項11又は12に記載の光電変換素子の製造方法。 - 前記微粒子層形成工程において、前記塗布液にはバインダーが混合されたことを特徴とする請求項8から請求項13までのいずれか1項に記載の光電変換素子の製造方法。
- 前記微粒子層形成工程において、焼成温度を300℃以下とすることを特徴とする請求項14に記載の光電変換素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012037574A JP5920818B2 (ja) | 2012-02-23 | 2012-02-23 | 光電変換素子及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012037574A JP5920818B2 (ja) | 2012-02-23 | 2012-02-23 | 光電変換素子及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2013175507A JP2013175507A (ja) | 2013-09-05 |
JP5920818B2 true JP5920818B2 (ja) | 2016-05-18 |
Family
ID=49268188
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012037574A Active JP5920818B2 (ja) | 2012-02-23 | 2012-02-23 | 光電変換素子及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5920818B2 (ja) |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002105625A (ja) * | 2000-09-27 | 2002-04-10 | Japan Science & Technology Corp | 低抵抗p型酸化亜鉛薄膜の製造方法 |
US7227196B2 (en) * | 2003-05-20 | 2007-06-05 | Burgener Ii Robert H | Group II-VI semiconductor devices |
JP4072620B2 (ja) * | 2003-08-08 | 2008-04-09 | 国立大学法人島根大学 | 酸化亜鉛超微粒子および酸化亜鉛超微粒子の製造方法 |
JP3952076B1 (ja) * | 2006-04-25 | 2007-08-01 | 株式会社村田製作所 | 紫外線センサ |
JP2008161854A (ja) * | 2006-12-05 | 2008-07-17 | Utsunomiya Univ | 半導体粒子及びその製造方法 |
JP5275950B2 (ja) * | 2009-05-01 | 2013-08-28 | 富士フイルム株式会社 | 積層膜とその製造方法、光電変換素子とその製造方法、及び太陽電池 |
JP2010267865A (ja) * | 2009-05-15 | 2010-11-25 | Toyota Central R&D Labs Inc | 太陽電池及びその製造方法 |
-
2012
- 2012-02-23 JP JP2012037574A patent/JP5920818B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013175507A (ja) | 2013-09-05 |
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