JP5910291B2 - 位置検出機能を有するステージ装置、及び撮影装置の撮像素子駆動装置 - Google Patents

Description

本発明は、位置検出機能を有するステージ装置、及び、同ステージ装置を利用した撮影装置の撮像素子駆動装置に関する。

従来、位置検出機能を有するステージ装置として、特許文献１ないし３に記載のものが知られている。これらのステージ装置は、カメラの像ブレ補正装置の撮像素子駆動用（特許文献２、３）に開発され、あるいは特定撮影エリアを拡大撮影するための撮像素子駆動用（特許文献１）に開発されたもので、固定基板と、該固定基板の平面方向に移動自在に支持した可動基板（ＸＹステージ）とを備え、この可動基板に撮像素子を搭載している。可動基板と固定基板の間にはＸ方向駆動用とＹ方向駆動用の一対のボイスコイルモータ（磁気駆動デバイス、ボイスコイル（ＶＣ）と永久磁石）が備えられている。可動基板の位置検出は、特許文献１ではエンコーダが用いられ、特許文献２、３ではホールセンサ（磁気センサ）と永久磁石からなる磁気式位置検出デバイスが用いられている。

可動基板の駆動にボイスコイルモータを用い、位置検出に磁気式位置検出デバイスを用いて、特定撮影エリアを拡大撮影するための部分映像拡大撮影装置とすると、解像度の高い撮像素子を全体の撮影エリア内の特定の拡大撮影エリアに移動させるために、大きい移動距離を確保すると同時に、その駆動位置を正確に検出する必要がある。ところが、特許文献２、３のステージ装置において、可動基板の移動距離を大きくすると、磁気センサによる位置検出精度が著しく落ち、実用に耐えないことが分かった。

図１２は、移動距離の大きい可動基板の位置を検出するための従来の磁気式位置検出デバイスを示している。可動基板に固定するホールセンサ３０５には、図の中央のホール素子ｐと、このホール素子ｐに対して上下に位置をずらせたホール素子ｑとホール素子ｒの３個のホール素子が含まれている。理論的には、このホールセンサ３０５が各永久磁石２１２に対して下方（図１２（ａ））、中央（図１２（ｂ））、上方（図１２（ｃ））に移動すると、下方領域ではホール素子ｑの出力が変位に対し直線性を維持し（図１２（ａ’））、中央領域ではホール素子ｐの出力が変位に対し直線性を維持し（図１２（ｂ’））、上方領域ではホール素子ｒの出力が変位に対し直線性を維持する（図１２（ｃ’））。これらのホール素子ｐ、ｑ、ｒの出力を合成すると、図１２（ｄ）に示すように、ホールセンサ３０５（可動基板）の全移動域（例えば４mm）において変位に対して直線性のある出力が得られる。つまり、ホールセンサ３０の位置を正しく検出することができる。３つのホール素子ｐ、ｑ、ｒの出力の合成手法は知られている。

ところが、以上の理想的なホールセンサ３０５の出力は、ホールセンサ３０５に永久磁石２１２の磁力（磁束）のみが作用している状態でなければ得られないことが分かった。別言すると、従来の可動基板の駆動にボイスコイルモータを用い、位置検出に磁気式位置検出デバイスを用いたステージ装置では、ホールセンサ３０５にボイスコイルモータの永久磁石の磁力が作用することが避けられないため、ホールセンサ３０５（可動体）の移動量が大きくなると、その磁気的な位置検出が困難になっていた。

特開２００２-３３５４３５号公報 特開２００２-２２９０９０号公報 特開２００８-１６０９４７号公報

従って本発明は、可動基板の駆動にボイスコイルモータを用い、位置検出に磁気式位置検出デバイスを用いたステージ装置において、可動基板の移動距離を大きくしても、磁気センサによる正しい位置検出が可能なステージ装置を得ることを目的とする。

本発明者らは、可動基板の駆動にボイスコイルモータを用い、位置検出に磁気式位置検出デバイスを用いた従来のステージ装置において、可動基板の移動距離が大きくなると、磁気センサによる位置検出精度が落ちる原因を追及した結果、次の結論に達した。
１）従来装置では、ボイスコイルモータの永久磁石（の磁力）が、磁気式位置検出デバイスの磁気センサに作用してしまう結果、位置検出精度が落ちる。
２）そして、ボイスコイルモータの永久磁石（の磁力）が、磁気式位置検出デバイスの磁気センサに作用する原因は、ボイスコイルモータと磁気式位置検出デバイスのそれぞれの永久磁石が、固定基板と可動基板の対向面に位置しているためであり、装置全体の小型化を維持しながらボイスコイルモータの永久磁石（の磁力）が磁気センサに及ばないようにするのは非常に困難である。

以上の解析に基づき、本発明は、固定基板（固定体）と可動基板（可動体）の間に設けるボイスコイルモータと磁気式位置検出デバイスを基板の平面方向と直交する方向に離間させて設けるという着眼に基づいて完成されたものである。

すなわち、本発明による位置検出機能を備えたステージ装置は、固定体を互いに連動する一対の第１、第２の固定基板から構成する一方、可動体を上記一対の固定基板に該固定基板の平面方向に可動に支持された互いに連動された一対の第１、第２の可動基板から構成して、これら一対の固定基板と一対の可動基板を、第１の固定基板、第１の可動基板、第２の固定基板、第２の可動基板の順に位置させ、上記一対の固定基板に対して上記一対の可動基板を該固定基板の平面方向に移動させるボイスコイルと磁石からなる磁気駆動デバイス（ボイスコイルモータ）と、上記一対の固定基板に対する上記一対の可動基板の該固定基板方向の平面方向の位置を検出する磁気センサと磁石からなる磁気式位置検出デバイスのうち、上記磁気駆動デバイスの磁石と上記磁気式位置検出デバイスの磁石は上記第２の固定基板の表裏に設け、上記ボイスコイルは上記第１の可動基板に設け、上記磁気センサは上記第２の可動基板に設けたこと、を特徴としている。

上記磁気式位置検出デバイスの磁石は、第２の固定基板上に、磁石ホルダを介して支持されて位置検出機能を備えてもよい。

上記磁気式位置検出デバイスは、可動基板内の直交二方向の位置と回転位置の検出用に３セットが設けられてもよい。

上記磁気駆動デバイスは、上記可動体を直交二方向に駆動するための一対が備えられてもよい。

本発明の位置検出機能を有するステージ装置は、可動体に撮像素子を搭載して、撮影装置の撮像素子駆動装置として使用できる。

本発明は、固定体に移動自在に支持された可動体の駆動をボイスコイルモータによって行い、位置検出を磁気式位置検出デバイスによって行う位置検出機能を有するステージ装置において、ボイスコイルモータと磁気式位置検出デバイスを基板の平面方向と直交する方向に離間させて設けることができるので、ボイスコイルモータの磁石の磁力が磁気センサに及ぼされるのを防止または抑制し、正しく可動体の位置検出を行うことができる。

本発明によるステージ装置を適用する撮影装置の系統図である。 同撮影装置を使用した監視カメラシステム及び同撮影装置による全体映像と部分拡大映像のイメージ図である。 本発明のステージ装置の一実施形態を示す平面図である。 図３のIV−IV線に沿う断面図である 図３のV−V線に沿う断面図である 図３のVI−VI線に沿う断面図である 図３からホールセンサホルダを除去して描いた平面図である。 （Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、本発明のステージ装置の一実施形態を示す図３の上面側と下面側から描いた斜視図である。 （Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、図８から上板（第２の固定基板）を除去して上面側と下面側から描いた斜視図である。 図８（Ａ）から上板（第２の固定基板）とホールセンサフレキシブル回路基板を除去して描いた斜視図である。 図８（Ａ）から上板（第２の固定基板）とボイスコイルモータの一方の永久磁石を除去して描いた斜視図である。 磁気式位置検出デバイスの磁気センサ（ホールセンサ）と永久磁石の位置関係及び磁気センサの出力例を示す図である。

図１は、本発明によるステージ装置を適用する全体映像と部分拡大映像を表する撮影装置１０を概念的に示したものである。この撮影装置１０は、特開２００２-３３５４３５号公報（特許文献２）で提案されているもので、撮影対象（被写体）１２からの被写体光束を集光する撮影光学系１４に続いてビームスプリッター１６を配置し、撮影光学系１４からの被写体光束を２つに分割している。

ビームスプリッター１６としては光学プリズムやハーフミラーなどの入射光を２方向に分割できる光学機器を使用する。この例では、ビームスプリッター１６で分割した被写体光束の光量は５０％ずつの等分割とする。

ビームスプリッター１６で分割された一方の被写体光束は全体映像撮影部１８に入射され、全体映像撮影部１８で撮影対象１２の像全体領域を撮影して全体映像信号Ｅ１を出力する。

一方、ビームスプリッター１６で分割された他方の被写体光束は部分拡大映像撮影部２０に入射される。部分拡大映像撮影部２０は、撮影対象１２の像全体領域における一部領域の像を撮像素子２１で撮像して高解像度の部分拡大映像信号Ｅ２を出力する。すなわち、部分拡大映像撮影部２０の撮像素子２１の画像解像度は、全体映像撮影部１８の撮像素子の画像解像度より高い。撮像素子２１は、全体映像撮影部１８の撮像素子よりサイズが小さいものを使用する。撮像素子２１の画素数は、全体映像撮影部１８の撮像素子の画素数と同一でもよいが、より解像度を高めるために画素数の多いものを使用してもよい。

図２は、この撮影装置１０を使用した監視カメラシステム及び全体映像信号Ｅ１と部分拡大映像信号Ｅ２のモニタ２２への表示例である。モニタ２２の上方に全体映像Ｇ１が表示され、下方に全体映像Ｇ１から選択した分割エリアの部分拡大映像Ｇ２が表示されている。この例では、全体映像Ｇ１のエリアが９分割されており、その９分割エリアから選択した一つの分割エリア（中央下の分割エリア）の拡大映像が部分拡大映像Ｇ２として表示されている。

部分拡大映像撮影部２０にあっては、全体映像の任意の位置について部分拡大映像を撮影できるようにするため、外部（撮影制御・録画装置５０）から部分拡大映像の撮影位置を位置決めするための駆動電流Ｅ３が与えられる。そして、この部分拡大映像を撮影する全体映像中の位置（撮像素子２１の位置）について位置検出が行われ、外部に位置検出信号Ｅ４として出力される。本実施形態は、撮像素子２１の移動量が大きい（例えば直交二方向にそれぞれ±４mm移動する）場合にも、正しく直交二方向駆動及び位置検出を行うことができるステージ装置を提供する。すなわち、全体映像撮影部１８と部分拡大映像撮影部２０とで同一の撮影光学系１４を使用する場合は、撮像素子２１を各分割エリアに対応する部分拡大映像Ｇ２が得られる撮影位置に移動するために、撮像素子２１を、直交二方向に撮像素子２１の有効受光面の縦、横長さの２倍の長さ移動可能にする。なお、撮像素子サイズ、撮影光学系の焦点距離が異なる場合など、撮像素子２１の移動量が異なる。また、顔認識、動体検知などの機能を有する場合、認識した顔、検知した動体を拡大表示できる任意の位置に移動可能にする。本実施形態は、このように撮像素子２１の移動量が大きい場合や、任意の位置への移動が要求される場合にも、正しく直交二方向駆動及び位置検出を行うことができるステージ装置を提供するものである。

この撮影装置１０及びモニタ２２の制御並びに録画は、撮影制御・録画装置５０により行う。撮影制御・録画装置５０は、撮影装置１０が出力した全体映像信号Ｅ１、部分拡大映像信号Ｅ２を入力して所定の映像処理を施して、それぞれを全体映像Ｇ１、部分拡大映像Ｇ２としてモニタ２２に表示する。図示実施形態では単一のモニタ２２に全体映像Ｇ１、部分拡大映像Ｇ２を表示しているが、それぞれ独立した異なるモニタに表示してもよい。撮影制御・録画装置５０は、全体映像信号Ｅ１及び部分拡大映像信号Ｅ２を記録する電子媒体を備えている。

また撮影制御・録画装置５０は、全体映像Ｇ１から部分拡大映像Ｇ２として表示する分割エリアを選択するスイッチを備えている。撮影制御・録画装置５０は、操作されたスイッチに対応する分割エリアの部分拡大映像Ｇ２が得られるように、部分拡大映像撮影部２０から出力される位置検出信号Ｅ４をチェックし、部分拡大映像撮影部２０に撮像素子２１を移動させる駆動電流Ｅ３を出力して、撮像素子２１を移動する。本発明による位置検出機能を有するステージ装置は、撮像素子２１を各分割エリアを撮影する位置に正確に移動させることができる。

図３以下は、以上の部分拡大映像撮影部２０に用いる本発明によるステージ装置１００の一実施形態を示している。このステージ装置１００は、固定体２００と可動体３００を備えている。以下の説明では、固定体２００側の部材に２００台の符号を付し、可動体３００側の部材に３００台の符号を付す。

固定体２００は、図４ないし図６に明らかなように、互いに平行な下板（第１の固定基板）２０１と上板（第２の固定基板）２０２を有し、この下板２０１と上板２０２は、複数箇所のスタッド（間隔保持固定部材）２０３によって強固に結合されている。下板２０１と上板２０２の平面（と平行な方向）内の直交二方向をＸ方向、Ｙ方向とし、同平面方向と直交する方向をＺ方向とする。

下板２０１と上板２０２の間には、同下板２０１及び上板２０２と平行に可動体３００の可動板（第１の可動基板）３０１が位置している。この可動板３０１には、スタッド２０３を緩通させる緩通孔３０１ａ（図６）が形成されている。そして、この可動板３０１は、固定体２００と可動板３０１との間に設けた３箇所以上の転動機構４００によってＸＹ平面と平行な任意の方向に移動自在に支持されている。各転動機構４００は、下板２０１に形成した貫通穴２０４、この貫通穴２０４の図６の下面を閉塞する硬質の押さえ板２０５、可動板３０１に固定した硬質の摺動板３０７、上板２０２に固定したスリーブ２０６にねじ込んだ押さえねじ２０７、押さえ板２０５と摺動板３０７の間に挿入したボール４０１、及び摺動板３０７と押さえねじ２０７の間に挿入したボール４０２を備えている。押さえねじ２０７の締め付け量を適当な大きさにすることにより、可動板３０１は、固定体２００（下板２０１及び上板２０２）に対する遊びが極小の状態で極めて小さい移動抵抗で移動することができる。

可動板３０１には、Ｚ方向に向けた上述の撮像素子２１が固定されている。以下、撮像素子２１が向いている方向を下方（被写体方向）、その反対を上方とする。下板２０１の中央部には、正面視長方形の中央貫通孔２０１ａが穿設されていて、撮像素子２１はこの中央貫通孔２０１ａ内に位置している。中央貫通孔２０１ａは、撮像素子２１がＸ方向及びＹ方向に所定量移動するのを許容する大きさに形成されている。

可動板３０１には、ホールセンサホルダ３０２が固定されており、このホールセンサホルダ３０２は、上板２０２に形成した貫通孔２１０を通って、上板２０２の上方に突出している。このホールセンサホルダ３０２は、可動板３０１に固定される中央のコ字状断面部３０２ａと、このコ字状断面部３０２ａの一方と他方の脚部に連続するホールセンサ基板（第２の可動基板）３０２ｂと３０２ｃとを有している。ホールセンサ基板３０２ｂはＸ方向に長く、コ字状断面部３０２ａとホールセンサ基板３０２ｃはホールセンサ基板３０２ｂの中央部からＹ方向に形成されていて、ホールセンサ基板３０２ｃとホールセンサ基板３０２ｂはＹ方向の補強板３０２ｄ（図９、図１１）によって接続されている。すなわち、ホールセンサホルダ３０２は全体として平面Ｔ字形状をなしており、ホールセンサ基板３０２ｂと３０２ｃ（及び補強板３０２ｄ）は、可動板３０１及び上板２０２と平行をなし、かつ、上板２０２から十分離間している（ホールセンサ基板３０２ｂ、３０２ｃと上板２０２の間隔は、コ字状断面部３０２ａのＺ方向の長さによって設定することができ、可動板３０１と上板２０２の間隔より大きい）。ホールセンサ基板３０２ｂと３０２ｃは図示例では軽量化のために分断され、補強板３０２ｄで接続されているが、上板２０２と平行な一連の板材であってもよい。

以上の固定体２００と可動体３００の間には、ＸＹ二方向のボイスコイルモータ５００（Ｘ、Ｙ）と、３組の磁気式位置検出デバイス６００（Ａ、Ｂ、Ｃ）が設けられている。ボイスコイルモータ５００（Ｘ、Ｙ）は、ホールセンサホルダ３０２のコ字状断面部３０２ａとホールセンサ基板３０２ｃの左右に各一対（図９（Ａ）、図１０）が設けられたＸ方向ボイスコイルモータ５００ＸとＹ方向ボイスコイルモータ５００Ｙからなっている。ＸＹ方向ボイスコイルモータ５００Ｙのボイスコイル３０３Ｙは、可動板３０１上のＸ方向左右端部に配置され、その間のホールセンサ基板３０２ｃにホールセンサ３０５ｃが配置されている。Ｘ方向ボイスコイルモータ５００Ｘのボイスコイル３０３Ｘは可動板３０１上のＹ方向中央寄りに配置され、ホールセンサホルダ３０２のＴ字上端のホールセンサ基板３０２ｂ両端部にホールセンサ３０５ａ、３０５ｂが配置されている。ボイスコイルモータ５００Ｘと５００Ｙはそれぞれ、可動板３０１に固定したボイスコイル３０３Ｘ、３０３Ｙと、このボイスコイル３０３Ｘ、３０３Ｙに対向させて上板２０２に固定した永久磁石２１１Ｘ、２１１Ｙからなっていて（図４、図５）、ボイスコイル３０３Ｘ、３０３Ｙに流す電流の正逆及び大きさによって、可動体３００をＸＹ平面と平行な方向に自由に移動させることができる。ボイスコイル３０３Ｘ、３０３Ｙは、フレキシブル回路基板３０４上に設けられており、可動板３０１に形成した貫通孔３０１ｂ内に位置して永久磁石２１１Ｘ、２１１Ｙに対向している。

磁気式位置検出デバイス６００は、ホールセンサ基板３０２ｂ上にＸ方向に離間させて設けた一対のホールセンサ３０５ａ、３０５ｂと、ホールセンサ基板３０２ｃ上に設けた一つのホールセンサ３０５ｃを有し、上板２０２には、このホールセンサ３０５ａ、３０５ｂ、３０５ｃに対向させて、対応する永久磁石２１２ａ、２１２ｂ、２１２ｃが固定されている。詳細には、永久磁石２１２ａ、２１２ｂ、２１２ｃはそれぞれ磁性材料からなる個別の磁石ホルダ２１３ａ、２１３ｂ、２１３ｃに固定されており、これらの磁石ホルダ２１３ａ、２１３ｂ、２１３ｃが上板２０２に固定されている。このホールセンサ３０５ａと永久磁石２１２ａ（磁気式位置検出デバイス６００Ａ）は例えば可動体３００のＸ方向位置検出用、ホールセンサ３０５ｂと永久磁石２１２ｂ（磁気式位置検出デバイス６００Ｂ）は回転位置検出用、ホールセンサ３０５ｃと永久磁石２１２ｃ（磁気式位置検出デバイス６００Ｃ）はＹ方向位置検出用である。ホールセンサ３０５ａ、３０５ｂ、３０５ｃはフレキシブル回路基板３０６上に設けられており、ホールセンサ基板３０２ｂ、３０２ｃに形成した貫通孔３０２ｅ（図３、図６）内に位置して永久磁石２１２ａ、２１２ｂ、２１２ｃに対向している。なお、ホールセンサ３０５ａ、３０５ｂ、３０５ｃ及び対応する永久磁石２１２ａ、２１２ｂ、２１２ｃの構成は、図１２に示した公知のホールセンサ３０５と永久磁石２１２の構成と同一である。

ボイスコイルモータ５００Ｘ、５００Ｙ用の永久磁石２１１Ｘ、２１１Ｙと、磁気式位置検出デバイス６００Ａ、６００Ｂ、６００Ｃ用の永久磁石２１２ａ、２１２ｂ、２１２ｃが固定された上板２０２は、磁性材料からなっており、磁気回路のヨークを構成している。

上記構成のステージ装置１００は、駆動電流をボイスコイルモータ５００Ｘ、５００Ｙ（ボイスコイル３０３Ｘ、３０３Ｙ）に流すことにより、可動板３０１（撮像素子２１）をＸＹ平面と平行な所定の方向に移動させることができる。同時に、可動板３０１（撮像素子２１）の位置を磁気式位置検出デバイス６００Ａ、６００Ｂ、６００Ｃにより検出し、位置検出信号を出力する。図２に示した監視カメラシステムでは、このステージ装置１００を搭載した撮影装置１０（部分拡大映像撮影部２０）、撮影制御・録画装置５０及びモニタ２２を備えた撮影制御・録画装置５０が、磁気式位置検出デバイス６００Ａ、６００Ｂ、６００Ｃが出力した位置検出信号Ｅ４により可動板３０１（可動撮像素子２１）の位置を測定しながら、駆動電流Ｅ３を出力して、可動板３０１（撮像素子２１）を何れかの分割エリアに対応する撮影位置に移動し、その撮影位置に保持する。

以上の本実施形態では、ボイスコイルモータ５００Ｘ、５００Ｙ用の永久磁石２１１Ｘ、２１１Ｙは、上板２０２の可動板３０１側の面（図４ないし図６の下面）に設けられ、ホールセンサ３０５ａ、３０５ｂ、３０５ｃは、上板２０２の図の上方に位置するホールセンサ基板（第２の可動基板）３０２ｂと３０２ｃに設けられているため、永久磁石２１１Ｘ、２１１Ｙの磁力がホールセンサ３０５ａ、３０５ｂ、３０５ｃに悪影響を与えることがない。また、磁気式位置検出デバイス６００の永久磁石２１２ａ、２１２ｂ、２１２ｃが、永久磁石２１１Ｘ、２１１Ｙとホールセンサ３０５ａ、３０５ｂ、３０５ｃの間に位置しているため、同様に、永久磁石２１１Ｘ、２１１Ｙの磁力がホールセンサ３０５ａ、３０５ｂ、３０５ｃに悪影響を与えることがない。このため、図１２で説明した磁気センサの位置検出原理に基づき、可動体３００の移動距離が大きくても正しくその位置を検出することができる。また本実施形態では、ホールセンサホルダ３０２のコ字状断面部３０２ａのＺ方向の長さ（永久磁石２１１Ｘ、２１１Ｙと、ホールセンサ３０５ａ、３０５ｂ、３０５ｃのＺ軸方向の間隔）を、永久磁石２１１Ｘ、２１１Ｙの磁力がホールセンサ３０５ａ、３０５ｂ、３０５ｃに作用しないように定めることができるので、可動体３００の移動距離が大きくてもその位置を正確に、高精度に検出することができる。

この実施形態では可動体３００がＸ方向、Ｙ方向、及び回転方向の３方向に移動自由度があるため、これら３自由度に対応させて磁気式位置検出デバイス６００を３セット設けているが、可動体３００の移動自由度が制限されている場合には、それに応じて磁気式位置検出デバイス６００のセット数を減らすことができる。

本実施形態では、第１、第２の固定基板、第１、第２の可動基板は、下から上に順番をつけているが、本発明は、上から順に順番をつけても同じである。つまり、Ｚ方向にボイスコイル３０３Ｘ、３０３Ｙ、永久磁石２１１Ｘ、２１１Ｙ、永久磁石２１２ａ、２１２ｂ、２１２ｃ、ホールセンサ３０５ａ、３０５ｂ、３０５ｃの順またはその逆順に配置でき、永久磁石２１２ａ、２１２ｂ、２１２ｃと永久磁石２１１Ｘ、２１１ＹをＺ方向に離反させて配置できれば、各部材の上下位置関係は問わない。

１０ 撮影装置
１４ 撮影光学系
１６ ビームスプリッター
１８ 全体映像撮影部
２０ 部分拡大映像撮影部
２１ 撮像素子
２２ モニタ
１００ ステージ装置
２００ 固定体
２０１ 下板（第１の固定基板）
２０１ａ 中央貫通孔
２０２ 上板（第２の固定基板）
２０３ スタッド（間隔保持固定部材）
２０４ 貫通穴
２０５ 押さえ板
２０７ 押さえねじ
２１１Ｘ ２１１Ｙ 永久磁石（磁石）
２１２ 永久磁石
２１２ａ ２１２ｂ ２１２ｃ 永久磁石（磁石）
２１３ａ ２１３ｂ ２１３ｃ 磁石ホルダ
３００ 可動体
３０１ 可動板（第１の可動基板）
３０２ ホールセンサホルダ（第２の可動基板）
３０２ａ コ字状断面部（第２の可動基板）
３０２ｂ ホールセンサ基板（第２の可動基板）
３０２ｃ ホールセンサ基板（第２の可動基板）
３０２ｄ 補強板
３０３Ｘ ３０３Ｙ ボイスコイル
３０４ フレキシブル回路基板
３０５ ホールセンサ
３０５ａ ３０５ｂ ３０５ｃ ホールセンサ
３０６ フレキシブル回路基板
３０７ 摺動板
４００ 転動機構
５００ ボイスコイルモータ
５００Ｘ Ｘ方向ボイスコイルモータ
５００Ｙ Ｙ方向ボイスコイルモータ
６００ 磁気式位置検出デバイス
６００Ａ ６００Ｂ ６００Ｃ 磁気式位置検出デバイス

Claims (5)

1. 互いに連動する一対の第１、第２の固定基板を有する固定体；
   上記一対の固定基板に該固定基板の平面方向に可動に支持された互いに連動する一対の第１、第２の可動基板を有する可動体；
   上記一対の固定基板に対して上記一対の可動基板を該固定基板の平面方向に移動させるボイスコイルと磁石からなる磁気駆動デバイス；及び
   上記一対の固定基板に対する上記一対の可動基板の該固定基板方向の平面方向の位置を検出する磁気センサと磁石からなる磁気式位置検出デバイス；を有し、
   上記一対の固定基板と一対の可動基板は、第１の固定基板、第１の可動基板、第２の固定基板、第２の可動基板の順に位置していること；及び
   上記磁気駆動デバイスの磁石と上記磁気式位置検出デバイスの磁石は、上記第２の固定基板の表裏に設けられ、上記ボイスコイルは上記第１の可動基板に設けられ、上記磁気センサは上記第２の可動基板に設けられていること；
   を特徴とする位置検出機能を有するステージ装置。
2. 請求項１記載の位置検出機能を有するステージ装置において、磁気式位置検出デバイスの磁石は、第２の固定基板上に、磁石ホルダを介して支持されている位置検出機能を有するステージ装置。
3. 請求項１または２記載の位置検出機能を有するステージ装置において、上記磁気式位置検出デバイスは、可動基板内の直交二方向の位置と回転位置の検出用に３セットが設けられている位置検出機能を有するステージ装置。
4. 請求項１ないし３のいずれか１項記載の位置検出機能を有するステージ装置において、上記磁気駆動デバイスは、上記可動体を直交二方向に駆動するための一対が備えられている位置検出機能を有するステージ装置。
5. 請求項１ないし４のいずれか１項記載の位置検出機能を有するステージ装置において、可動体に撮像素子が搭載されている撮影装置の撮像素子駆動装置。