JP5906159B2 - 有機EL素子のアノード電極用Al合金膜、有機EL素子およびAl合金スパッタリングターゲット - Google Patents
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- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 title claims description 68
- 238000005477 sputtering target Methods 0.000 title claims description 16
- 229910001325 element alloy Inorganic materials 0.000 title 1
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 claims description 23
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 claims description 20
- 239000003870 refractory metal Substances 0.000 claims description 12
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 6
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 5
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 22
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 14
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 14
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 14
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 12
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 11
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 10
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 9
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 8
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 6
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 5
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 5
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 5
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 4
- 238000009281 ultraviolet germicidal irradiation Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 3
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 3
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 3
- 229910000583 Nd alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910006303 Si—Nd Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 2
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 2
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910018125 Al-Si Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018520 Al—Si Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000573 alkali metal alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 235000012489 doughnuts Nutrition 0.000 description 1
- 238000004770 highest occupied molecular orbital Methods 0.000 description 1
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052747 lanthanoid Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002602 lanthanoids Chemical class 0.000 description 1
- 238000004768 lowest unoccupied molecular orbital Methods 0.000 description 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000004445 quantitative analysis Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052706 scandium Inorganic materials 0.000 description 1
- SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N scandium atom Chemical compound [Sc] SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 238000009718 spray deposition Methods 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B33/00—Electroluminescent light sources
- H05B33/12—Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces
- H05B33/26—Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces characterised by the composition or arrangement of the conductive material used as an electrode
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/80—Constructional details
- H10K59/805—Electrodes
- H10K59/8051—Anodes
- H10K59/80518—Reflective anodes, e.g. ITO combined with thick metallic layers
Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
・基板温度:室温〜50℃
・到達真空度:1×10-5Torr以下(1.3×10-3Pa以下)
・成膜時の(Ar)ガス圧:1〜4mTorr
・DCスパッタリングパワー密度(ターゲットの単位面積当たりのDCスパッタリングパワー):1.0〜20W/cm2
まずガラス基板(コーニング社製の無アルカリガラス#1737、直径:50mm、厚さ:0.7mm)上に、表1に示す成分組成のAl合金膜(いずれも、膜厚:100nm、かつ残部:Alおよび不可避的不純物)を、DCマグネトロンスパッタリング装置を用い、スパッタリング法により成膜した。
Al合金膜表面(外気にさらされている面)の仕事関数は、理研計器製の仕事関数測定装置(型番:AC−2)を用いて測定した。尚、仕事関数はその表面状態(大気中の有機物汚染など)に敏感であるため、上記AC−2で測定する直前にUV照射を行って、Al合金膜表面を洗浄した。上記UV照射は、GS YUASA社製UV照射装置(型番:DUV−800−6)を使用し、ランプ電圧:300VでUVを1分間照射した。そして、仕事関数が4.5eV以上の場合を合格とした。
上記試料を用いて電気抵抗率を測定した。詳細には、一般的に用いられる四探針法により、市販の測定器(日置電機株式会社製:3540ミリオームハイテスタ)を用いて測定した。そして下記式(1)に従い、積層体の電気抵抗率を算出した。尚、上記測定には、測定試料面積が探針間隔よりも十分に広い試料を利用し、かつ比例定数Fを下記数値とした。そして、電気抵抗率が21.0μΩ・cm以下の場合を良好、電気抵抗率が20.0μΩ・cm以下の場合を大変良好であると評価した。
電気抵抗率=四探針法測定値×膜厚×F …(1)
[上記式(1)において、F(比例定数)=π/ln2=4.532]
2 アノード電極(Al合金膜)
3 有機層(有機発光層)
4 カソード電極
5 封止材
Claims (9)
- 有機EL素子において、有機層と直接接続するアノード電極を構成するAl合金膜であって、
Si、Bi、In、SnおよびZnよりなる群から選択される1種以上のX群元素を含むと共に、希土類元素および/または高融点金属を0.2原子%以上5.0原子%以下含み、かつ仕事関数が4.5eV以上であることを特徴とする有機EL素子のアノード電極用Al合金膜。 - 前記X群元素、ならびに前記希土類元素および/または高融点金属を含み、残部はAlおよび不可避的不純物である請求項1に記載のAl合金膜。
- 前記X群元素としてBiを含む場合、Bi量は0.1原子%以上2原子%未満であり、前記X群元素としてBi以外の元素を含む場合、その含有量は合計で1原子%以上25原子%未満である請求項1または2に記載のAl合金膜。
- 前記希土類元素および/または高融点金属は、Nd、TiおよびTaよりなる群から選択される1種以上の元素である請求項1〜3のいずれかに記載のAl合金膜。
- 前記希土類元素および/または高融点金属は、Ndである請求項4に記載のAl合金膜。
- 請求項1〜5のいずれかに記載のAl合金膜をアノード電極に用いたことを特徴とする有機EL素子。
- 請求項6に記載の有機EL素子を備えた有機ELディスプレイ。
- 請求項6に記載の有機EL素子を備えた有機EL照明。
- 請求項1〜5のいずれかに記載のAl合金膜の形成に用いられるAl合金スパッタリングターゲットであって、
Si、Bi、In、SnおよびZnよりなる群から選択される1種以上のX群元素を含むと共に、希土類元素および/または高融点金属を0.2原子%以上5.0原子%以下含むことを特徴とするAl合金スパッタリングターゲット。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012201786A JP5906159B2 (ja) | 2012-09-13 | 2012-09-13 | 有機EL素子のアノード電極用Al合金膜、有機EL素子およびAl合金スパッタリングターゲット |
PCT/JP2013/072248 WO2014041974A1 (ja) | 2012-09-13 | 2013-08-21 | 有機EL素子のアノード電極用Al合金膜、有機EL素子およびAl合金スパッタリングターゲット |
TW102131292A TW201420794A (zh) | 2012-09-13 | 2013-08-30 | 有機電激發元件之陽極電極用Al合金膜,有機電激發元件及Al合金濺鍍靶材 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012201786A JP5906159B2 (ja) | 2012-09-13 | 2012-09-13 | 有機EL素子のアノード電極用Al合金膜、有機EL素子およびAl合金スパッタリングターゲット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014056770A JP2014056770A (ja) | 2014-03-27 |
JP5906159B2 true JP5906159B2 (ja) | 2016-04-20 |
Family
ID=50278098
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012201786A Active JP5906159B2 (ja) | 2012-09-13 | 2012-09-13 | 有機EL素子のアノード電極用Al合金膜、有機EL素子およびAl合金スパッタリングターゲット |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5906159B2 (ja) |
TW (1) | TW201420794A (ja) |
WO (1) | WO2014041974A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018032601A (ja) * | 2016-08-26 | 2018-03-01 | 株式会社神戸製鋼所 | 反射電極およびAl合金スパッタリングターゲット |
JP7053290B2 (ja) * | 2018-02-05 | 2022-04-12 | 株式会社神戸製鋼所 | 有機elディスプレイ用の反射アノード電極 |
JP7231487B2 (ja) * | 2019-05-30 | 2023-03-01 | 株式会社神戸製鋼所 | 反射アノード電極及びその製造方法、薄膜トランジスタ基板、有機elディスプレイ、並びにスパッタリングターゲット |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100546662B1 (ko) * | 2003-08-05 | 2006-01-26 | 엘지전자 주식회사 | 유기 el 소자 |
JP2010135300A (ja) * | 2008-11-10 | 2010-06-17 | Kobe Steel Ltd | 有機elディスプレイ用の反射アノード電極およびその製造方法 |
JP2010192413A (ja) * | 2009-01-22 | 2010-09-02 | Sony Corp | 有機電界発光素子および表示装置 |
JP5235011B2 (ja) * | 2009-11-16 | 2013-07-10 | 株式会社神戸製鋼所 | 有機elディスプレイ用の反射アノード電極 |
-
2012
- 2012-09-13 JP JP2012201786A patent/JP5906159B2/ja active Active
-
2013
- 2013-08-21 WO PCT/JP2013/072248 patent/WO2014041974A1/ja active Application Filing
- 2013-08-30 TW TW102131292A patent/TW201420794A/zh unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014056770A (ja) | 2014-03-27 |
TW201420794A (zh) | 2014-06-01 |
WO2014041974A1 (ja) | 2014-03-20 |
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