JP5903293B2 - 走査型ミラーデバイス - Google Patents
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Description
Claims (14)
- 少なくとも1つの軸の回りに回転可能に取り付けられているマイクロシステム走査型ミラー(2)と、
光ビーム(13)を発する光源(14)及び位置検出器(19)を有する検出モジュール(3)と
を有する走査型ミラーデバイスであって、
前記検出モジュール(3)は、後方から前記マイクロシステム走査型ミラーのミラー(7)上に前記光ビーム(13)を誘導し、その結果、該光ビーム(13)は、前記マイクロシステム走査型ミラー(2)の背面で、前記位置検出器(19)に反射され、該位置検出器(19)は、反射された光線ビーム(20)の位置を測定し、該測定された位置から、前記少なくとも1つの軸の回りの前記ミラー(7)の回転角を推定することができ、
前記検出モジュール(3)は、前記マイクロシステム走査型ミラー(2)の背面上に前記光ビーム(13)を合焦させる結像光学部品(15)と、前記マイクロシステム走査型ミラー(2)の背面によって反射された前記光線ビーム(20)を、前記位置検出器(19)上にコリメートされた光線ビーム(20)として結像させる投影光学部品(17)とを有する走査型ミラーデバイス。 - 前記結像光学部品(15)は、1:1結像光学部品として形成される、請求項1に記載の走査型ミラーデバイス。
- 前記結像光学部品(15)は、前記光源(14)からの前記光ビーム(13)と前記マイクロシステム走査型ミラー(2)の背面によって反射された前記光線ビーム(20)とを分離するのに役立つビームスプリッター(18)を含む、請求項1又は2に記載の走査型ミラーデバイス。
- 前記結像光学部品(15)は、少なくとも2つの部分レンズシステム(16、17)を有し、前記ビームスプリッター(18)は、前記2つの部分レンズシステム(16、17)の間に配置される、請求項1〜3のいずれか一項に記載の走査型ミラーデバイス。
- 前記位置検出器(19)は、象限検出器として形成される、請求項1〜4のいずれか一項に記載の走査型ミラーデバイス。
- 前記光源(14)の前記光ビーム(13)は、前記位置検出器を通過し、前記マイクロシステム走査型ミラー(2)の背面に当たる、請求項1〜5のいずれか一項に記載の走査型ミラーデバイス。
- 前記マイクロシステム走査型ミラー(2)はハウジング内に組込まれ、該ハウジングの底部は、前記光源(14)の前記光ビーム(13)を前記マイクロシステム走査型ミラー(2)の背面上に誘導することのできる通路を有する、請求項1〜6のいずれか一項に記載の走査型ミラーデバイス。
- 前記検出モジュール(3)は、前記反射された光ビーム(13)の測定位置を使用して、前記少なくとも1つの軸の回りの前記マイクロシステム走査型ミラー(7)の回転角を表す角度信号を発する、請求項1〜7のいずれか一項に記載の走査型ミラーデバイス。
- 前記マイクロシステム走査型ミラー(2)は、偏向ミラー(4)及び傾斜機構(10)を備え、キャリア(11)が設けられ、前記傾斜機構(10)は、前記キャリア(11)上に形成され、前記偏向ミラー(4)に接続されて、前記少なくとも1つの軸の回りに前記マイクロシステム走査型ミラー(2)を回転させる、請求項1〜8のいずれか一項に記載の走査型ミラーデバイス。
- 前記キャリア(11)は、前記光源(14)の前記光ビーム(13)を前記マイクロシステム走査型ミラー(2)の背面上に誘導することのできる通路を有する、請求項9に記載の走査型ミラーデバイス。
- 前記マイクロシステム走査型ミラー及び前記キャリア(11)は、モノリシックに形成された物である、請求項9又は10に記載の走査型ミラーデバイス。
- 前記マイクロシステム走査型ミラー(2)は、MEMS走査型ミラーである、請求項1〜11のいずれか一項に記載の走査型ミラーデバイス。
- 前記マイクロシステム走査型ミラー(2)は、モノリシックに形成された物である、請求項1〜12のいずれか一項に記載の走査型ミラーデバイス。
- 請求項1〜13のいずれか一項に記載の走査型ミラーデバイスを有するレーザー走査型顕微鏡。
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DE102017209645B4 (de) | 2017-06-08 | 2022-11-17 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanische Lichtumlenkvorrichtung, Verfahren zur Umlenkung von Licht mittels einer mikromechanischen Lichtumlenkvorrichtung und Lichtsendevorrichtung |
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DE102018209448A1 (de) * | 2018-06-13 | 2019-12-19 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Vorrichtung zur ortsaufgelösten Detektion und Verwendung einer solchen Vorrichtung |
DE102019204165A1 (de) * | 2019-03-26 | 2020-10-15 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optische anordnung und lithographieanlage |
CN111273435A (zh) * | 2020-03-27 | 2020-06-12 | 昂纳信息技术(深圳)有限公司 | 一种微振镜扫描结构、电能驱动系统及角度检测系统 |
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US4564757A (en) * | 1982-09-30 | 1986-01-14 | Burroughs Corporation | Mirror position sensor for improved track selection in optical data disk system |
JPS635208A (ja) * | 1986-06-26 | 1988-01-11 | Olympus Optical Co Ltd | 表面形状測定装置 |
US5450202A (en) | 1988-11-17 | 1995-09-12 | Tisue; James G. | Adaptive resonant positioner having random access capability |
EP0390969A3 (en) * | 1988-11-17 | 1992-04-29 | Charles Nater | Positioning system |
JPH03272028A (ja) * | 1990-03-22 | 1991-12-03 | Nikon Corp | ミラー回動アクチュエータの回動角度検出機構 |
JP3372307B2 (ja) * | 1993-07-29 | 2003-02-04 | オリンパス光学工業株式会社 | サンプリング信号発生装置および走査型光学顕微鏡 |
JPH11257936A (ja) * | 1997-12-05 | 1999-09-24 | Hitachi Ltd | 微小回転角センサを用いた装置 |
JP2001013417A (ja) * | 1999-07-01 | 2001-01-19 | Keyence Corp | 光走査装置 |
US6787745B2 (en) * | 2001-01-09 | 2004-09-07 | Avanex Corporation | Fiber optic signal detector with two switchable input channels |
JP3930784B2 (ja) * | 2001-09-17 | 2007-06-13 | シャープ株式会社 | 傾斜量検出装置 |
US7136172B1 (en) * | 2002-01-15 | 2006-11-14 | J.A. Woollam Co., Inc. | System and method for setting and compensating errors in AOI and POI of a beam of EM radiation |
DE10205207B4 (de) | 2002-02-08 | 2004-07-01 | Jenoptik Ldt Gmbh | Anordnung und Verfahren zur Messung an einem resonanten Schwinger und zu seiner Steuerung |
JP2004125554A (ja) * | 2002-10-01 | 2004-04-22 | Olympus Corp | ミラー角度検出装置 |
JP2004144926A (ja) * | 2002-10-23 | 2004-05-20 | Olympus Corp | 光学像取り込み装置 |
US20040184124A1 (en) * | 2002-11-13 | 2004-09-23 | Olympus Corporation | Optical deflection device |
US7014115B2 (en) | 2003-08-25 | 2006-03-21 | Advanced Nano Systems, Inc. | MEMS scanning mirror with distributed hinges and multiple support attachments |
FR2859542B1 (fr) | 2003-09-08 | 2005-11-04 | Commissariat Energie Atomique | Micro-miroir oscillant a actionnement bimorphe |
US7295726B1 (en) | 2003-12-02 | 2007-11-13 | Adriatic Research Institute | Gimbal-less micro-electro-mechanical-system tip-tilt and tip-tilt-piston actuators and a method for forming the same |
DE10357062B4 (de) * | 2003-12-04 | 2005-12-15 | Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, vertreten durch den Rektor | System zur Messung der Verkippung von strukturierten Oberflächen |
DE102005002189B4 (de) | 2005-01-17 | 2007-02-15 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Vorrichtung zum Ermitteln der Winkelposition eines Lichtstrahls und Verfahren zum Betreiben einer Vorrichtung zum Ermitteln der Winkelposition eines Lichtstrahls |
US7924441B1 (en) | 2008-08-08 | 2011-04-12 | Mirrorcle Technologies, Inc. | Fast and high-precision 3D tracking and position measurement with MEMS micromirrors |
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