JP5891935B2 - 水晶振動板および当該水晶振動板を用いた水晶振動子 - Google Patents
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Description
本発明に係る水晶振動板は、稜部が面取り加工され、かつ、平面視形状が略矩形状であって、共振周波数が7MHz以上、9MHz以下であり、前記矩形の長辺および短辺の各寸法が1.5mm以上、2.4mm以下の範囲である水晶振動板において、主振動に対して、975kHz以上、1015kHz以下の範囲だけ高い周波数域に副振動が存在し、水晶振動板の平面視略矩形における、長辺(Z´軸方向)寸法をL、短辺寸法をWとして、短辺(X軸方向)端部から水晶振動板の中心方向に(1/4)Lずつ内側の領域で、かつ、長辺端部から水晶振動板の中心方向に(1/4)Wずつ内側の領域が薄肉化され、かつ、対角線方向において、ベベル加工前の対角線方向の両角部を仮想点Pとし、両仮想点P間の距離をDとし、前記両仮想点の各々から水晶振動板中心方向に(3/8)Dだけ内側の領域が薄肉化されている、ことを特徴とする。
本発明に係る水晶振動板は、稜部が面取り加工され、かつ、平面視形状が略矩形状であって、共振周波数が7MHz以上、9MHz以下であり、前記矩形の長辺および短辺の各寸法が1.5mm以上、2.4mm以下の範囲である水晶振動板において、主振動に対して、975kHz以上、1015kHz以下の範囲だけ高い周波数域に副振動が存在し、水晶振動板の平面視略矩形における4隅部において、ベベル加工前の長辺方向の辺長をL、ベベル加工後の曲率を有する領域を除いた長辺方向の辺長をL´とし、(L´/L)が0.45以上、0.5以下であり、かつ、ベベル加工前の短辺方向の辺長をW、ベベル加工後の曲率を有する領域を除いた短辺方向の辺長をW´とし、(W´/W)が0.27以上、0.34以下であり、かつ、4隅の曲率を有する部分は曲率半径が0.55mm以上、0.6mm以下である、ことを特徴とする。
本発明に係る水晶振動板は、稜部が面取り加工され、かつ、平面視形状が略矩形状であって、共振周波数が7MHz以上、9MHz以下であり、前記矩形の長辺および短辺の各寸法が1.5mm以上、2.4mm以下の範囲である水晶振動板において、主振動に対して、975kHz以上、1015kHz以下の範囲だけ高い周波数域に副振動が存在し、ベベル加工後の水晶振動子の平面視矩形の中央の厚みをaとし、短辺部中央の厚みをbとして、(b/a)が0.62以上、0.79以下であり、ベベル加工前における前記水晶振動板の角部を仮想点Pとして、点Pから長辺および短辺の各方向に0.1mmずつ離間した点から引いた垂線の交点における厚みをcとして、(c/a)が0.29以上、0.37以下である、ことを特徴とする。
2 水晶振動板
21 励振電極
23 接続電極
3 ベース
32 搭載電極
4 蓋体
Fs 主振動の周波数
F1 第1の副振動の周波数
F2 第2の副振動の周波数
L 水晶振動板の長辺寸法
W 水晶振動板の短辺寸法
Claims (5)
- 稜部が面取り加工され、かつ、平面視形状が略矩形状であって、
共振周波数が7MHz以上、9MHz以下であり、前記矩形の長辺および短辺の各寸法が1.5mm以上、2.4mm以下の範囲である水晶振動板において、
主振動に対して、975kHz以上、1015kHz以下の範囲だけ高い周波数域に副振動が存在し、
水晶振動板の側面厚み方向(Y方向)の稜線が、水晶振動板の長辺(Z´軸方向)寸法をLとし、長辺中央から各長辺端部方向にそれぞれ(1/4)Lまでの第1の領域は第1の曲率R1(ただし、R1は26mm以上、27mm以下)を有する形状であり、2つの長辺端部から中心方向にそれぞれ(1/4)Lだけ内側の第2の領域は第2の曲率R2(ただし、R2は7.9mm以上、8.9mm以下)を有する形状である、ことを特徴とする水晶振動板。 - 稜部が面取り加工され、かつ、平面視形状が略矩形状であって、
共振周波数が7MHz以上、9MHz以下であり、前記矩形の長辺および短辺の各寸法が1.5mm以上、2.4mm以下の範囲である水晶振動板において、
主振動に対して、975kHz以上、1015kHz以下の範囲だけ高い周波数域に副振動が存在し、
水晶振動板の平面視略矩形における、長辺(Z´軸方向)寸法をL、短辺寸法をWとして、短辺(X軸方向)端部から水晶振動板の中心方向に(1/4)Lずつ内側の領域で、かつ、長辺端部から水晶振動板の中心方向に(1/4)Wずつ内側の領域が薄肉化され、かつ、対角線方向において、ベベル加工前の対角線方向の両角部を仮想点Pとし、両仮想点P間の距離をDとし、前記両仮想点の各々から水晶振動板中心方向に(3/8)Dだけ内側の領域が薄肉化されている、ことを特徴とする水晶振動板。 - 稜部が面取り加工され、かつ、平面視形状が略矩形状であって、
共振周波数が7MHz以上、9MHz以下であり、前記矩形の長辺および短辺の各寸法が1.5mm以上、2.4mm以下の範囲である水晶振動板において、
主振動に対して、975kHz以上、1015kHz以下の範囲だけ高い周波数域に副振動が存在し、
水晶振動板の平面視略矩形における4隅部において、ベベル加工前の長辺方向の辺長をL、ベベル加工後の曲率を有する領域を除いた長辺方向の辺長をL´とし、(L´/L)が0.45以上、0.5以下であり、かつ、ベベル加工前の短辺方向の辺長をW、ベベル加工後の曲率を有する領域を除いた短辺方向の辺長をW´とし、(W´/W)が0.27以上、0.34以下であり、かつ、4隅の曲率を有する部分は曲率半径が0.55mm以上、0.6mm以下である、ことを特徴とする水晶振動板。 - 稜部が面取り加工され、かつ、平面視形状が略矩形状であって、
共振周波数が7MHz以上、9MHz以下であり、前記矩形の長辺および短辺の各寸法が1.5mm以上、2.4mm以下の範囲である水晶振動板において、
主振動に対して、975kHz以上、1015kHz以下の範囲だけ高い周波数域に副振動が存在し、
ベベル加工後の水晶振動子の平面視矩形の中央の厚みをaとし、短辺部中央の厚みをbとして、(b/a)が0.62以上、0.79以下であり、ベベル加工前における前記水晶振動板の角部を仮想点Pとして、点Pから長辺および短辺の各方向に0.1mmずつ離間した点から引いた垂線の交点における厚みをcとして、(c/a)が0.29以上、0.37以下である、ことを特徴とする水晶振動板。 - 請求項1ないし4のいずれかに記載の水晶振動板の表裏面に、
励振電極および当該励振電極から少なくとも前記水晶振動板の一端側へ延出された接続電極を形成するとともに、
当該水晶振動板を容器体内部に収容し、前記接続電極を前記容器体内部の搭載電極と導電接合した、ことを特徴とする水晶振動子。
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US4499395A (en) * | 1983-05-26 | 1985-02-12 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Cut angles for quartz crystal resonators |
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WO1998047226A1 (fr) * | 1997-04-14 | 1998-10-22 | Toyo Communication Equipment Co., Ltd. | Resonateur a cristal decoupe selon un angle at |
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JP3959723B2 (ja) * | 2003-12-03 | 2007-08-15 | セイコーエプソン株式会社 | 水晶振動片の加工管理方法 |
JP2007335941A (ja) * | 2006-06-12 | 2007-12-27 | Epson Toyocom Corp | 水晶振動片の加工管理方法 |
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