JP5874854B1 - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
更に、前記誘電体は間隙をあけて層状に配置された複数枚の誘電体板で構成されているので、全体が誘電体物質で構成されている場合に比べて、誘電体を軽量化することができる。また、誘電体板の材料の選定範囲が広がるので、成膜、エッチング等の処理目的または対象基板に応じて誘電体板の材料選定を行うことが容易になる。
更に、誘電体板間の間隙は空間であり、そこにプラズマが点灯しない限りどの誘電体材料に比べても最も誘電率が小さいので、全体が誘電体物質で構成されている場合に比べて、前記誘電体全体としての誘電率をより小さくすることができ、それによって、当該誘電体を通してアンテナから真空容器内壁へ流出する高周波電流をより小さくすることができる。その結果、前記(a)〜(c)に示した効果をより高めることができる。
8 ガス
10 基板
16 プラズマ
20 アンテナ
56 高周波電源
61 上部空間
62 下部空間
66 誘電体
68 誘電体板
70 間隙
Claims (4)
- 金属製の真空容器内に配置されたアンテナに高周波電流を流すことによって前記真空容器内に誘導電界を発生させて誘導結合型のプラズマを生成し、当該プラズマを用いて基板に処理を施すプラズマ処理装置であって、
前記アンテナは、絶縁パイプと、その中に配置されたアンテナ本体とを備えており、
前記真空容器内の空間の内、前記アンテナよりも基板側の空間を下部空間、基板とは反対側の空間を上部空間と呼ぶと、当該上部空間に、当該上部空間におけるプラズマ生成を阻止する誘電体を配置しており、
前記誘電体は、間隙をあけて層状に配置された複数枚の誘電体板で構成されている、ことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 前記上部空間は前記下部空間よりも小さく、かつ前記誘電体は、当該上部空間の実質的に全体に及ぶ大きさを有している請求項1記載のプラズマ処理装置。
- 当該装置は、前記プラズマを用いて前記基板上に膜を形成するものであり、
前記誘電体の少なくとも基板側の面は、前記膜を構成する物質で形成されている請求項1または2記載のプラズマ処理装置。 - 前記アンテナは直線状のアンテナであり、当該アンテナを複数、前記基板の表面に沿う方向に並列に配置している請求項1、2または3記載のプラズマ処理装置。
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