JP5874613B2 - 分析または測定のための所定の室内のガス置換装置 - Google Patents
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Description
そして、実際の置換動作における上記弁制御手段からの出力と圧力センサによる圧力検出出力との関係が、記憶手段に記憶している内容に対してあらかじめ設定されている限度を超えて相違しているか否かを判別し、相違している場合にはその旨を報知する。
図2は本発明をエネルギ分散型の蛍光X線分析装置に適用した実施の形態の構成図で、機械的構成を表す模式図と配管系統図、および要部の機能的構成を表すブロック図とを併記して示している。
1a X線照射窓
2 カバー
3 分析室
4 X線管球
5 X線検出器
6 信号処理部
7 データ処理部
8 表示器
9 制御部
10 操作部
11 配管
12 調圧器
13 ガスボンベ
14 流量制御弁
15 圧力センサ
16 弁制御部
17 演算部
18 圧力信号取込部
19 判別部
20 記憶部
W 試料
Claims (1)
- 分析もしくは測定に用いる分析室等の所定の室内の雰囲気を特定ガスにより置換するための装置であって、
上記室とガス源を繋ぐ配管と、その配管上に設けられた電動式の流量制御弁と、その流量制御弁と上記室との間の上記配管上に設けられた圧力センサと、上記流量制御弁の弁開度を制御する弁制御手段と、上記特定のガスを上記配管に流したときの上記弁制御手段からの出力と上記圧力センサの出力との関係を記憶する記憶手段と、ガス置換動作時における上記弁制御手段からの出力と上記圧力センサの出力との関係が、上記記憶手段に記憶している関係に対してあらかじめ設定されている限度を超えて相違しているか否かを判別する判別手段を有し、相違している場合に上記特定ガス以外のガスが流れている旨の出力を発生することを特徴とする分析または測定のための室内のガス置換装置。
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